JP2009212342A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高耐熱性と高耐電圧性を達成できると共に半導体素子の被覆部と支持体との密着性を向上できる半導体装置を提供する。
【解決手段】この半導体装置は、GTOサイリスタ素子1を覆う被覆部15が、シロキサン(Si−O−Si結合体)による橋かけ構造を一箇所以上有する珪素含有重合体を含有し、かつ硬化反応触媒である白金系触媒、および鉄族含有錆体を含有する第1の珪素含有硬化性組成物で形成されている。また、被覆部15および支持体11上のアノード端子5,ゲート端子8を覆う被覆部16が、上記第1の珪素含有硬化性組成物に絶縁性セラミックスとして粒径20μmのアルミナ微粒子を50%の体積充填率で配合した第2の珪素含有硬化性組成物で形成されている。
【選択図】 図1
Description
上記半導体素子を外部機器に電気的に接続するための電気接続部と、
上記半導体素子を被覆すると共に上記電気接続部の少なくとも一部を被覆する珪素含有硬化性組成物で作製された被覆部とを備え、
上記珪素含有硬化性組成物は、
下記の(A)成分、(B)成分および(C)成分のうちの少なくとも一つの珪素含有重合体を含有し、かつ、下記の(D)成分および(E)成分および(F)成分を含有し、かつ、上記(C)成分を含有しない場合は上記(A)成分および(B)成分の両方を含有する珪素含有硬化性組成物であり、
上記被覆部は、上記珪素含有硬化性組成物を熱硬化させた硬化物であり、上記硬化物の線膨張係数が50〜200ppm/℃であることを特徴とする半導体装置。
(B)成分:Si−H基を有し、Si−O−Si結合による橋かけ構造を一箇所以上有し、分子量が100〜100万である珪素含有重合体(ただし、さらに上記反応基(A')を有するものは除く)
(C)成分:上記反応基(A')を一種または二種以上有し、さらにSi−H基を有し、Si−O−Si結合による橋かけ構造を一箇所以上有し、分子量が100〜100万である珪素含有重合体
(D)成分:白金系触媒である硬化反応触媒
(E)成分:鉄族含有錯体
(F)成分:セラミックス粒子
この発明の半導体装置では、上記半導体素子を覆うと共に電気接続部の少なくとも一部を被覆する被覆部を、珪素含有硬化性組成物で作製した。そして、この珪素含有硬化性組成物は、シロキサン(Si−O−Si結合体)による橋かけ構造を一箇所以上有し、分子量が100〜100万である珪素含有重合体を含有し、かつ硬化反応触媒である白金系触媒、および鉄族含有錯体を含有する珪素含有硬化性組成物に充填剤としてセラミックス粒子を配合している。これにより、この発明の半導体装置によれば、上記被覆部は高温(例えば200℃以上)で使用してもクラック等が発生せず、高絶縁耐力を達成できる。また、上記被覆部は上記セラミックスが配合されたことで線膨張係数が小さくなり、例えば銅等の金属で作製されて半導体素子を支持する支持体との線膨張係数の差が小さくなるので、被覆部と支持体との密着性を向上できる。
また、上記(F)成分のセラミックス粒子の例としては、コロイダルシリカ、シリカフィラー、シリカゲル、マイカやモンモリロナイト等の鉱物、酸化アルミニウムや酸化亜鉛、二酸化珪素等の金属酸化物、窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、炭化珪素等のセラミックス等が挙げられる。耐熱性の点から、酸化アルミニウムが好ましい。
上記半導体素子を覆うと共に上記第1の被覆部で覆われており、かつ、上記(A)成分、(B)成分および(C)成分のうちの少なくとも一つの珪素含有重合体を含有し、かつ、上記(D)成分および(E)成分を含有し、かつ、上記(C)成分を含有しない場合は上記(A)成分および(B)成分の両方を含有する珪素含有硬化性組成物からなる第2の被覆部を有する。
図1は、この発明の半導体装置の第1実施形態の断面図である。この第1実施形態の半導体装置は、耐圧5kVのSiC−GTOサイリスタ装置であり、半導体素子としてSiCのGTO(ゲート・ターン・オフ)サイリスタ素子1を備える。
また、上記(A)成分,(B)成分,(C)成分のうちの上記(A)成分と上記(C)成分とを含有してもよい。また、上記(A)成分,(B)成分,(C)成分のうちの上記(B)成分と上記(C)成分を含有してもよい。また、上記(A)成分,(B)成分,(C)成分のうちの(C)成分のみを含有してもよい。ただし、上記(C)成分を含有しない場合は、上記(A)成分と(B)成分の両方を含有する必要がある。
次に、この発明の半導体装置の第2実施形態を説明する。この第2実施形態は、前述の第1実施形態における第2の被覆部15および第1の被覆部16を形成する珪素含有硬化性組成物の組成が、前述の第1実施形態と異なる。よって、この第2実施形態では、前述の第1実施形態と異なる点を説明する。
次に、この発明の第1比較例を説明する。この第1比較例は、上述の第1実施形態における上記第1の被覆部16を上記第2の珪素含有硬化性組成物に替えて第5の珪素含有硬化性組成物で形成した点だけが、上述の第1実施形態と異なる。よって、この第1比較例では、上述の第1実施形態と異なる点を説明する。
次に、図2の断面図を参照して、この発明の第2の比較例を説明する。図2に示すように、この第2比較例は、上述の第1実施形態の被覆部15,16に替えて被覆部21を備えた点が、上述の第1実施形態と異なる。
次に、上述した第1,第2実施形態および第1,第2比較例による半導体装置について耐熱性試験を実施した。また、第2比較例の被覆部21に替えて市販品のエポキシ樹脂から得た硬化物を被覆部とした第3比較例とし、この第3比較例についても耐熱性試験を行なった。この耐熱性試験は、それぞれの半導体装置を空気中にて「200℃に昇温し、20分間放置した後、0℃まで降温し、20分間放置」を1サイクルとして、100サイクルの熱サイクル試験を行い、被覆部,第1の被覆部の剥がれを観察することにより行った。
2 アノード電極
3、7 リード線
5 アノード端子
6 ゲート電極
8 ゲート端子
10 カソード電極
11 支持体
12,13 絶縁材
15 第2の被覆部
16 第1の被覆部
Claims (3)
- 半導体素子と、
上記半導体素子を外部機器に電気的に接続するための電気接続部と、
上記半導体素子を被覆すると共に上記電気接続部の少なくとも一部を被覆する珪素含有硬化性組成物で作製された被覆部とを備え、
上記珪素含有硬化性組成物は、
下記の(A)成分、(B)成分および(C)成分のうちの少なくとも一つの珪素含有重合体を含有し、かつ、下記の(D)成分および(E)成分および(F)成分を含有し、かつ、上記(C)成分を含有しない場合は上記(A)成分および(B)成分の両方を含有する珪素含有硬化性組成物であり、
上記被覆部は、上記珪素含有硬化性組成物を熱硬化させた硬化物であり、上記硬化物の線膨張係数が50〜200ppm/℃であることを特徴とする半導体装置。
(A)成分:Si−CH=CH2、Si−R1−CH=CH2およびSi−R1−OCOC(R2)=CH2 [式中、R1は炭素数1〜9のアルキレン基またはフェニレン基であり、R2は水素またはメチル基である]からなる群から選ばれる反応基(A')を一種または二種以上有し、Si−O−Si結合による橋かけ構造を一箇所以上有し、分子量が100〜100万である珪素含有重合体(ただし、さらにSi−H基を有するものは除く)
(B)成分:Si−H基を有し、Si−O−Si結合による橋かけ構造を一箇所以上有し、分子量が100〜100万である珪素含有重合体(ただし、さらに上記反応基(A')を有するものは除く)
(C)成分:上記反応基(A')を一種または二種以上有し、さらにSi−H基を有し、Si−O−Si結合による橋かけ構造を一箇所以上有し、分子量が100〜100万である珪素含有重合体
(D)成分:白金系触媒である硬化反応触媒
(E)成分:鉄族含有錯体
(F)成分:セラミックス粒子 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記被覆部を第1の被覆部とし、
上記半導体素子を覆うと共に上記第1の被覆部で覆われており、かつ、上記(A)成分、(B)成分および(C)成分のうちの少なくとも一つの珪素含有重合体を含有し、かつ、上記(D)成分および(E)成分を含有し、かつ、上記(C)成分を含有しない場合は上記(A)成分および(B)成分の両方を含有する珪素含有硬化性組成物からなる第2の被覆部を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
上記半導体素子が、ワイドギヤップ半導体であるSiCで作製されたSiC半導体素子またはワイドギヤップ半導体であるGaNで作製されたGaN半導体素子であることを特徴とする半導体装置。
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