JP2009206398A - 冷却モジュール及び複合実装基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子1の実装基板3が所定の隙間Gで複数積層された構造体であってその構造体の最上段にダミー基板4が設けられているスタック構造体5と、そのスタック構造体5の少なくとも対向する側部との間及びそのスタック構造体5の上部との間にそれぞれ空間10,11を有するようにスタック構造体4を配置して密封するパッケージ7と、そのパッケージ7の内部にスタック構造体5を沈める水位まで充填された冷媒6と、を有するように構成して上記課題を解決した。冷媒6は、蒸発−凝縮サイクルでパッケージ内を環流する絶縁性で不活性の冷媒であり、気化した冷媒は空間10を上昇し、液化した冷媒は前記気化した冷媒が上昇する空間10以外の部位で落下する。
【選択図】図1
Description
2 基板
3 実装基板
4 ダミー基板
5 スタック構造体
6 冷媒
7 パッケージ
8 冷却フィン
9 モジュールの接続手段
10 側部空間
11 上部空間
12,13 傾斜面
14 仕切板
15 実装基板間の接続手段
16 ダミー基板と実装基板との間の接続手段
17 実装基板の底面
18,19 傾斜面
21 冷媒蒸気の流れ
22 液体冷媒の流れ
30 基板
50,51,52,53 冷却モジュール
60 複合実装基板
G 実装基板間の隙間
S 上部空間の隙間
T 仕切板によって形成された基板との間の隙間
Claims (8)
- 半導体素子の実装基板が所定の隙間で複数積層された構造体であって該構造体の最上段にダミー基板が設けられているスタック構造体と、
前記スタック構造体の少なくとも対向する側部との間及び前記スタック構造体の上部との間にそれぞれ空間を有するように該スタック構造体を配置して密封するパッケージと、
前記パッケージの内部に前記スタック構造体を沈める水位まで充填された冷媒と、を有することを特徴とする冷却モジュール。 - 前記冷媒は、蒸発−凝縮サイクルで前記パッケージ内を環流する絶縁性で不活性の冷媒であり、
気化した前記冷媒は前記スタック構造体の側部と前記パッケージとの間の空間を上昇し、液化した前記冷媒は前記気化した冷媒が上昇する空間以外の部位で落下する、請求項1に記載の冷却モジュール。 - 前記パッケージの天井は、平面構造からなる、請求項1又は2に記載の冷却モジュール。
- 前記パッケージの天井は、該天井の中央に向かうにしたがって前記ダミー基板に近づく傾斜構造からなる、請求項1又は2に記載の冷却モジュール。
- 前記空間を前記パッケージとの間に有する側部のうち、前記スタック構造体の少なくとも1辺を構成する側部には、個々の実装基板間で気化した前記冷媒の通過を妨げる仕切板が個々の実装基板間にそれぞれ設けられている、請求項1又は2に記載の冷却モジュール。
- 前記パッケージの天井は、前記仕切板が設けられた側の空間に向かうにしたがって厚くなる傾斜構造からなる、請求項5に記載の冷却モジュール。
- 前記実装基板の下面は、気化した前記冷媒が上昇する空間に向かうにしたがって薄くなる傾斜構造からなる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の冷却モジュール。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の冷却モジュールを同一基板面上に複数配置してなることを特徴とする複合実装基板。
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