JP2009200437A - Iii族窒化物半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】活性層19は、第1の光ガイド層21と第2の光ガイド層23との間に設けられる。活性層19は、井戸層27a、27b、27cを含むことができ、またこれらの井戸層の間に設けられた少なくとも一つの第1の障壁層29aを有する。第1及び第2の光ガイド層21、23が、第1の障壁層29aのバンドギャップE29よりも小さい第1及び第2のInGaN領域21a、23aを含むので、第1及び第2の光ガイド層21、23の平均屈折率nGUIDEを第1の障壁層29aの屈折率n29よりも大きくできる。これ故に、光閉じ込めが良好になる。また、第1の障壁層29aのバンドギャップE29が第1及び第2のInGaN領域21a、23aのバンドギャップE21、E23よりも大きい。
【選択図】図1
Description
特許文献2には、サファイア基板を用いた発光素子が記載されている。発光素子は、In0.08Ga0.92Nからなる第1中間層、In0.15Ga0.85Nからなる第2中間層、及びIn0.20Ga0.80Nからなる発光層を含む。
特許文献3には、III族窒化物系化合物半導体発光素子が記載されている。この発光素子は、In0.03Ga0.97N中間層、n型クラッド層、及び発光層を含む。n型クラッド層は中間層と発光層との間に位置する。発光層は、GaNバリア層及びIn0.20Ga0.80N井戸層を含む。
JJAP, vol.46, No.35, 2007, p.L820- L822
図3(a)〜図3(c)は、本実施の形態に係る実施例の半導体レーザの構造を示す図面である。図4(a)〜図4(c)は、図3に示された半導体レーザのバンドダイアグラムを示す図面である。
LD1 LD2 LD3
ガイド層のIn組成 0.04 0.02 0.04
障壁層のIn組成 0.02 0.02 0.04
しきい値 550mA 900mA 600mA
実施例の半導体レーザLD1が最も良好な特性を示した。
図4(d)に示されるバンドダイアグラムを有する半導体レーザLD4を作製した。半導体レーザLD4では、光ガイド層と障壁層との境界付近で、In組成を傾斜させた。この組成傾斜は成長温度を連続的に変化させることによって実現しており、光ガイド層と障壁層との境界から両側にそれぞれ10nm(合計20nm)の領域で組成傾斜を形成した。
LD1 LD4(組成傾斜)
ガイド層のIn組成 0.04 0.04
障壁層のIn組成 0.02 0.02
しきい値 550mA 500mA。
半導体レーザLD4のしきい値は、半導体レーザLD1よりも小さい。この組成傾斜により活性層へのキャリアの注入効率が改善されたと考えられる。
半導体レーザLD5を実施例1と同様な方法で形成した。第1及び第2の光ガイド層のインジウム組成は0.04であり、第2及び第3の障壁層のインジウム組成は0.05であった。第2及び第3の障壁層の厚さは15nm、その成長温度は摂氏830度であった。半導体レーザLD5のしきい値は実施例2とほぼ同等の低い値であった。また、ELスペクトルの測定結果によれば、光ガイド層に由来するピークは非常に小さかった。半導体レーザLD5は、実施例2の半導体レーザと同じく、光ガイド層にキャリアへの蓄積が避けられる。そして、キャリア注入効率が向上される。また、半導体レーザLD5の発光特性は、半導体レーザLD2、3の発光特性よりも良好である。この理由として、内側の2つの障壁層のIn組成が小さいので、これらの障壁層の成長温度を上げることができ、この結果、結晶品質の回復が行われたと考えられる。
a軸方向に2度、20度、40度のオフ角を有するGaNウエハを準備した。これらのGaNウエハ上に実施例1と同じレーザ構造を上に作製した。レーザ導波路をm軸の方向に形成した。電極を形成した後に、m面で劈開してレーザバーを作製した。
オフ角 閾値電流
0.3度 550mA(実施例1)
2度 500mA
20度 550mA
40度 550mA
2度オフのGaNウエハ上に作製された半導体レーザのしきい値電流は約500mAであり、実施例1に比べて低くなった。ステップフロー成長で結晶品質や表面平坦性が改善された効果と考えられる。20度、40度のオフ角のGaNウエハ上に作製された半導体レーザのしきい値電流は、実施例1と同等又は僅かに高かった。オフ角が大きくなると、InGaN層の成長においてインジウムの取り込みにくくなる。このため、InGaNの成長温度を下げることが必要であった。しかしながら、しきい値電流が実施例1とほぼ同等であることは、更なる改善が可能であると考えられる。これらのオフ角のウエハでは、ピエゾ電界が小さいので、実施例1に比べてレーザ発振までのブルーシフトが小さい。
a軸方向に2度のオフ角を有するInGaN基板を準備した。InGaN基板は、In0.05Ga0.95Nからなる。このInGaN基板上に、レーザ構造のためのエピタキシャルウエハを以下のように作製した。InGaN基板を成長炉に配置した。成長炉に窒素を供給しながら、InGaN基板の温度を接し800度に上昇した。InGaN基板上に、AlGaN層を成長した。AlGaN層は、n型Al0.02Ga0.98Nからなり、その厚みは例えば10nmである。AlGaNの成長温度は、例えば摂氏800度である。次いで、AlGaN層上にn型クラッド層を成長した。n型クラッド層は、例えばSi添加GaNからなり、その厚みは例えば2μmである。GaNの成長温度は、例えば摂氏1100度である。成長炉の温度を摂氏800度に下げた後に、光ガイド層をn型クラッド層上に成長した。光ガイド層は、例えばアンドープIn0.08Ga0.92Nからなり、その厚みは例えば100nmである。
Claims (21)
- 主面を有する基板と、
前記基板上に設けられIII族窒化物半導体からなるn型クラッド層と、
前記基板上に設けられIII族窒化物半導体からなるp型クラッド層と、
前記n型クラッド層と前記p型クラッド層との間に設けられた活性層と、
前記n型クラッド層と前記活性層との間に設けられた第1の光ガイド層と、
前記p型クラッド層と前記活性層との間に設けられた第2の光ガイド層と
を備え、
前記活性層は、複数の井戸層と、前記井戸層の間に設けられた少なくとも一つの第1の障壁層とを含み、
前記第1の光ガイド層は、前記第1の障壁層のバンドギャップよりも小さく且つ前記井戸層のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有するInGaNからなる第1のInGaN領域を含み、
前記第2の光ガイド層は、InGaNからなる第2のInGaN領域を含み、
前記活性層の前記井戸層のうち前記第1の光ガイド層に最も近い井戸層は、第1の井戸層であり、
前記活性層の前記井戸層のうち前記第2の光ガイド層に最も近い井戸層は、第2の井戸層であり、
前記活性層は、前記第1の井戸層と前記第1の光ガイド層との間に設けられた第2の障壁層と、前記第2の井戸層と前記第2の光ガイド層との間に設けられた第3の障壁層とを含む、ことを特徴とするIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第2のInGaN領域は、前記第1の障壁層のバンドギャップよりも小さく且つ前記井戸層のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有するInGaNからなり、
前記第2の障壁層は、前記第1のInGaN領域のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有する部分を含み、
前記第3の障壁層は、前記第2のInGaN領域のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有する部分を含む、ことを特徴とする請求項1に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第2及び第3の障壁層は、前記第1の障壁層と同じ窒化ガリウム系半導体からなる、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。
- 前記第2の光ガイド層は、前記第3の障壁層と前記第2のInGaN領域との間に設けられた第3のInGaN領域を含み、
前記第3のInGaN領域のインジウム組成は、前記第3の障壁層から前記第2のInGaN領域への方向に増加する、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第3の障壁層は、InGaN領域を有しており、
前記第3の障壁層の前記InGaN領域のインジウム組成は、前記第2の井戸層から前記第2のInGaN領域への方向に増加する、ことを特徴とする請求項4に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第2の光ガイド層は、前記第2のInGaN領域と前記p型クラッド層との間に設けられた第4のInGaN領域を含み、
前記第4のInGaN領域のインジウム組成は前記第2のInGaN領域から前記p型クラッド層に向けて減少する、ことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項4及び請求項5のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第1の光ガイド層は、前記第2の障壁層と前記第1のInGaN領域との間に設けられた第5のInGaN領域を含み、
前記第5のInGaN領域のインジウム組成は、前記第2の障壁層から前記第1のInGaN領域への方向に増加する、請求項1、請求項2、及び請求項4〜請求項6のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第2の障壁層は、InGaN領域を有しており、
前記第2の障壁層の前記InGaN領域のインジウム組成は、前記第1の井戸層から前記第1のInGaN領域への方向に増加する、ことを特徴とする請求項7に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第1の光ガイド層は、前記第1のInGaN領域と前記n型クラッド層との間に設けられた第6のInGaN領域を含み、
前記第6のInGaN領域のインジウム組成は、前記第1のInGaN領域から前記n型クラッド層への方向に減少する、請求項1、請求項2、及び請求項4〜請求項8のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第2の障壁層は、前記第1のInGaN領域のバンドギャップよりも小さいバンドギャップを有する部分を含み、
前記第3の障壁層は、前記第2のInGaN領域のバンドギャップよりも小さいバンドギャップを有する部分を含む、ことを特徴とする請求項1に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第2の光ガイド層は、前記第2のInGaN領域と前記p型クラッド層との間に設けられた第7のInGaN領域を含み、
前記第7のInGaN領域のインジウム組成は前記第2のInGaN領域から前記p型クラッド層に向けて減少する、ことを特徴とする請求項10に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第1の光ガイド層は、前記第1のInGaN領域と前記n型クラッド層との間に設けられた第8のInGaN領域を含み、
前記第8のInGaN領域のインジウム組成は、前記第1のInGaN領域から前記n型クラッド層への方向に減少する、ことを特徴とする請求項10または請求項11に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記活性層は、当該III族窒化物半導体レーザの発光波長が430nm以上の波長領域内にあるように設けられた多重量子井戸構造を有する、ことを特徴とする請求項1〜請求項12のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。
- 前記第1の光ガイド層の厚さは150nm以下であり、
前記第2の光ガイド層の厚さは150nm以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項13のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第1の光ガイド層の第1のInGaN領域のインジウム組成は0.03以上であり、
前記第2の光ガイド層の第2のInGaN領域のインジウム組成は0.03以上である、ことを特徴とする請求項1〜請求項14のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記第1の光ガイド層の第1のInGaN領域のインジウム組成は0.12以下であり、
前記第2の光ガイド層の第2のInGaN領域のインジウム組成は0.12以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項15のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記基板は、III族窒化物半導体からなり、
前記基板の前記主面は、前記III族窒化物半導体のc面に対して1度以上の角度で傾斜しており、
前記基板の前記主面は、前記III族窒化物半導体のc面に対して50度以下の角度で傾斜している、ことを特徴とする請求項1〜請求項16のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。 - 前記主面の傾斜の方向は、前記III族窒化物半導体のa軸方向である、ことを特徴とする請求項17に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。
- 前記基板はGaNからなる、ことを特徴とする請求項1〜請求項18のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。
- 前記基板はInGaNからなる、ことを特徴とする請求項1〜請求項18のいずれか一項に記載されたIII族窒化物半導体レーザ。
- III族窒化物半導体レーザを作製する方法であって、
第1導電型クラッド層上に、第1の温度で第1のInGaN光ガイド層を成長する工程と、
前記第1のInGaN光ガイド層を成長した後に、障壁層を成長する工程と、
前記障壁層を成長した後に、InGaN井戸層を成長する工程と、
前記InGaN井戸層を成長した後に、第2の温度で別の障壁層を成長する工程と、
前記別の障壁層を成長した後に、別のInGaN井戸層を成長する工程と、
前記別のInGaN井戸層を成長した後に、更なる別の障壁層を成長する工程と、
前記更なる別の障壁層を成長した後に、第3の温度で第2のInGaN光ガイド層を成長する工程と
を備え、
前記第2の温度は、前記第1及び第3の温度よりも高い、ことを特徴とする方法。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4518209B1 (ja) * | 2009-09-07 | 2010-08-04 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶基板、エピ層付iii族窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法 |
US7854804B2 (en) | 2005-06-23 | 2010-12-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Nitride crystal, nitride crystal substrate, epilayer-containing nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
WO2011097325A3 (en) * | 2010-02-04 | 2012-09-13 | Ostendo Technologies, Inc. | High injection efficiency polar and non-polar iii-nitrides light emitters |
US8771552B2 (en) | 2005-06-23 | 2014-07-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group III nitride crystal substrate, epilayer-containing group III nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US9124071B2 (en) | 2012-11-27 | 2015-09-01 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor laser element |
US9708735B2 (en) | 2005-06-23 | 2017-07-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group III nitride crystal substrate, epilayer-containing group III nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US9774169B2 (en) | 2015-11-30 | 2017-09-26 | Nichia Corporation | Semiconductor laser element and method of manufacturing semiconductor laser element |
JP2018050012A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子 |
US10305257B2 (en) | 2015-05-26 | 2019-05-28 | Nichia Corporation | Semiconductor laser device |
WO2020039904A1 (ja) * | 2018-08-24 | 2020-02-27 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 発光素子 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8897329B2 (en) * | 2010-09-20 | 2014-11-25 | Corning Incorporated | Group III nitride-based green-laser diodes and waveguide structures thereof |
KR101990095B1 (ko) * | 2011-07-11 | 2019-06-18 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 |
KR101916020B1 (ko) * | 2011-07-11 | 2018-11-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 |
JP5351290B2 (ja) * | 2012-01-05 | 2013-11-27 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ、及びエピタキシャル基板 |
KR102284535B1 (ko) * | 2014-11-12 | 2021-08-02 | 서울바이오시스 주식회사 | 발광 소자 및 그 제조 방법 |
US20160359086A1 (en) | 2015-06-05 | 2016-12-08 | Ostendo Technologies, Inc. | Light Emitting Structures with Multiple Uniformly Populated Active Layers |
US10396240B2 (en) | 2015-10-08 | 2019-08-27 | Ostendo Technologies, Inc. | III-nitride semiconductor light emitting device having amber-to-red light emission (>600 nm) and a method for making same |
US20220085574A1 (en) * | 2020-09-14 | 2022-03-17 | Lumentum Japan, Inc. | Optical semiconductor device |
KR102452494B1 (ko) * | 2021-03-17 | 2022-10-07 | 서울대학교산학협력단 | 광자결정 반도체 레이저 소자 및 그 제작 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07170022A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ装置 |
JP2006173621A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Palo Alto Research Center Inc | 半導体レーザ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100350641C (zh) * | 1995-11-06 | 2007-11-21 | 日亚化学工业株式会社 | 氮化物半导体器件 |
JP3341576B2 (ja) | 1996-03-27 | 2002-11-05 | 豊田合成株式会社 | 3族窒化物化合物半導体発光素子 |
TW412889B (en) * | 1997-09-24 | 2000-11-21 | Nippon Oxygen Co Ltd | Semiconductor laser |
JP2000236142A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-08-29 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体レーザ素子 |
JP2000286448A (ja) | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物系化合物半導体発光素子 |
US6586762B2 (en) * | 2000-07-07 | 2003-07-01 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor device with improved lifetime and high output power |
MY129352A (en) * | 2001-03-28 | 2007-03-30 | Nichia Corp | Nitride semiconductor device |
JP2003332697A (ja) | 2002-05-09 | 2003-11-21 | Sony Corp | 窒化物半導体素子及びその製造方法 |
-
2008
- 2008-02-25 JP JP2008043398A patent/JP4720834B2/ja active Active
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2009
- 2009-02-17 US US12/600,300 patent/US7949026B2/en not_active Expired - Fee Related
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- 2009-02-24 TW TW098105842A patent/TW200945712A/zh unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07170022A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ装置 |
JP2006173621A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Palo Alto Research Center Inc | 半導体レーザ |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10078059B2 (en) | 2005-06-23 | 2018-09-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Nitride crystal, nitride crystal substrate, epilayer-containing nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US8192543B2 (en) | 2005-06-23 | 2012-06-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Nitride crystal, nitride crystal substrate, epilayer-containing nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US9499925B2 (en) | 2005-06-23 | 2016-11-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group III nitride crystal substrate, epilayer-containing group III nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US9708735B2 (en) | 2005-06-23 | 2017-07-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group III nitride crystal substrate, epilayer-containing group III nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US9570540B2 (en) | 2005-06-23 | 2017-02-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Nitride crystal, nitride crystal substrate, epilayer-containing nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US7854804B2 (en) | 2005-06-23 | 2010-12-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Nitride crystal, nitride crystal substrate, epilayer-containing nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US8771552B2 (en) | 2005-06-23 | 2014-07-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group III nitride crystal substrate, epilayer-containing group III nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US8828140B2 (en) | 2005-06-23 | 2014-09-09 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Nitride crystal, nitride crystal substrate, epilayer-containing nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP2011073957A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-04-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶基板、エピ層付iii族窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法 |
JP4518209B1 (ja) * | 2009-09-07 | 2010-08-04 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶基板、エピ層付iii族窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法 |
WO2011027580A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-10 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶基板、エピ層付iii族窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法 |
WO2011097325A3 (en) * | 2010-02-04 | 2012-09-13 | Ostendo Technologies, Inc. | High injection efficiency polar and non-polar iii-nitrides light emitters |
US9124071B2 (en) | 2012-11-27 | 2015-09-01 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor laser element |
US9312661B2 (en) | 2012-11-27 | 2016-04-12 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor laser element |
US10305257B2 (en) | 2015-05-26 | 2019-05-28 | Nichia Corporation | Semiconductor laser device |
US10686298B2 (en) | 2015-05-26 | 2020-06-16 | Nichia Corporation | Method of manufacturing semiconductor laser device |
US9774169B2 (en) | 2015-11-30 | 2017-09-26 | Nichia Corporation | Semiconductor laser element and method of manufacturing semiconductor laser element |
JP2018050012A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子 |
WO2020039904A1 (ja) * | 2018-08-24 | 2020-02-27 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 発光素子 |
JPWO2020039904A1 (ja) * | 2018-08-24 | 2021-08-12 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 発光素子 |
JP7355740B2 (ja) | 2018-08-24 | 2023-10-03 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 発光素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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