JP2009200322A - 化合物半導体エピタキシャルウェハの製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の基板4が周方向に沿って設置される円盤状のディスク1と、ディスク1をその中心軸回りに水平に回転させる回転機構(回転軸)2と、ディスク1に基板4を設置するためのホルダ5と、ディスク1に対向して配置され、ディスク1との間にガス流路11を形成する対向板6と、複数の基板4を加熱するヒーター3とを備え、ホルダ5のガス流路11に面した成長面5aと基板4のガス流路11に面した成長面4aとが同一平面上に位置するように、ホルダ5と基板4が配置され、且つディスク1のガス流路11に面した成長面1aよりもホルダ5の成長面5aが対向板6側に突出して配置されている。
【選択図】図1
Description
には、III族原料ガス、V族原料ガス、ドーパント原料ガス等をリアクタ内に導入し、デ
ィスク(サセプタ、基板保持テーブルとも呼ばれる)上に設置されヒーターで加熱された基板上に、これらの原料ガスを供給し熱分解させることで、基板表面にGaAsなどの化合物半導体結晶を気相成長させる。
対向板6の中心部にはガス供給管9が接続され、ガス流路11の中心部に原料ガスGが導入される。導入された原料ガスGはガス流路11を放射状に広がって流れ、ヒーター3によって加熱された基板4上で熱分解され、分解された物質が基板4上にエピタキシャル成長する。円筒状のホルダ5の上端フランジ部はベアリング7により回転可能にディスク1に支持されている。また、円筒状のホルダ5の上端フランジ部には外歯が形成され、この外歯とリアクタ10の内周面に沿って形成された内歯8とが噛み合い、ディスク1の公転に合わせて、基板4が公転しながらディスク1上で自転する仕組みになっている。
より、サセプタの表面と化合物半導体ウェハの表面の高さを同位置になるように調節し、サセプタの交換回数を低減させるという方法(特許文献1)がある。サセプタの交換頻度を低減でき生産性を大幅に向上できるものの、サセプタ昇降機構などが必要となり、図2に示すような自公転型(プラネタリ型)の半導体製造装置には適用しにくい。
本発明は、上記課題を解決し、簡易に生産性の向上が図れる化合物半導体エピタキシャルウェハの製造装置及び製造方法を提供することにある。
法において、前記ホルダの前記ガス流路に面した成長面と前記基板の前記ガス流路に面した成長面とが同一平面上に位置するように、前記ホルダと前記基板を配置し、且つ前記ディスクの前記ガス流路に面した成長面よりも前記ホルダの成長面が前記対向板側に突出するよう配置して、半導体結晶を成長させることを特徴とする化合物半導体エピタキシャルウェハの製造方法である。
図1に示すように、化合物半導体エピタキシャルウェハの製造装置に用いられる円筒状のリアクタ(反応容器)10内には、円盤状のディスク1が水平に設けられている。リアクタ10の上部壁を貫通して設けられた回転軸2の下端部がディスク1の中央部に取り付けられており、回転軸2に連結されたモータ(図示せず)の駆動により、ディスク1がその中心軸回りに水平に回転する。
PE法)により成長する場合には、III族原料ガス、V族原料ガス、希釈用ガス及びドー
パント原料ガスが含まれる。
具体的には、V族原料ガスとしては、AsH3(アルシン)、As(CH3)3(トリメチル砒素)、PH3(ホスフィン)などが挙げられる。III族原料としては、Al(C
H3)3(トリメチルアルミニウム)、Al(CH3CH2)3(トリエチルアルミニウム)、Ga(CH3)3(トリメチルガリウム)、Ga(CH3CH2)3(トリエチルガリウム)、In(CH3)3(トリメチルインジウム)、In(CH3CH2)3(トリエチルインジウム)などが挙げられる。
また、希釈用ガスとしては、H2(水素)、N2(窒素)などが挙げられ、ドーパント原料ガスとしては、Zn(C2H5)2(ジエチルジンク)、Cp2Mg(ビスペンタジエニルマグネシウム)、ジシラン(Si2H6)、Te(C2H5)2(ジエチルテルル)、H2Se(セレン化水素)、CBr4(四臭化炭素)などが挙げられる。
下の範囲にすることが望ましい。これは、0.2mmよりも大きな段差が存在すると、原
料ガスGの流れが乱されて、基板4上を原料ガスGが均一に流れなくなるからである。
図3は実施例及び比較例で作製した化合物半導体エピタキシャルウェハの断面構造を模式的に示す断面図である。
図3に示すように、この化合物半導体エピタキシャルウェハは、n型GaAs基板20上に、シリコンをドーピングしたAl0.50Ga0.50As層21を2000nm、ア
ンドープのAl0.30Ga0.70As層22を10nm、アンドープのGaAs層23を5nm、アンドープのAl0.30Ga0.70As層24を10nm及び亜鉛をドーピングしたAl0.50Ga0.50As層25を2000nm、順次積層した構造となっている。
実施例として、図1に示す上記実施形態の化合物半導体製造装置を用い、図3に示す構造の3インチ径の化合物半導体エピタキシャルウェハの成長を繰り返し行った。この繰り返し成長の途中において、リアクタ内の堆積物の累積膜厚200μmおきにホルダを交換しながら繰り返した。図4に、本実施例でのリアクタ内の堆積物の膜厚[μm]の変化に対するエピタキシャル厚さ分布[%]の推移を測定した結果を示す。
上記エピタキシャル厚さ分布[%]は、{(周辺部のエピタキシャル厚さ−中心のエピタキシャル厚さ)/中心のエピタキシャル厚さ×100}から求めた。ここでいう周辺部とは、エピタキシャルウェハの中心から半径方向に30mm離れた位置のことを指す。
なお、エピタキシャル厚さ分布[%]は、5%以内であることを条件とし、5%を超えたところで成膜を中止した。以下の比較例でも同じである。また、エピタキシャル厚さ分布[%]の測定は、以下の比較例でも実施例と同一である。
(比較例1)
比較例1として、図2に示す従来の化合物半導体製造装置を用い、図3に示す構造の3インチ径の化合物半導体エピタキシャルウェハの成長を繰り返した。比較例1においては、繰り返し成長の途中で、ホルダの交換を行わずに成長を繰り返し行った。図5に、比較例1でのリアクタ内の堆積物の膜厚の変化に対するエピタキシャル厚さ分布の推移を測定した結果を示す。
(比較例2)
比較例2として、図2に示す従来の化合物半導体製造装置を用い、図3に示す構造の3インチ径の化合物半導体エピタキシャルウェハの成長を繰り返した。この繰り返し成長の途中において、リアクタ内の堆積物の累積膜厚200μmおきにホルダを交換しながら繰り返し行った。図6に、比較例2でのリアクタ内の堆積物の膜厚の変化に対するエピタキシャル厚さ分布の推移を測定した結果を示す。
(比較例3)
比較例3として、図1に示す上記実施形態の化合物半導体製造装置を用い、図3に示す構造の3インチ径の化合物半導体エピタキシャルウェハの成長を繰り返した。比較例3においては、繰り返し成長の途中で、ホルダの交換を行わずに成長を繰り返し行った。図7に、比較例3でのリアクタ内の堆積物の膜厚の変化に対するエピタキシャル厚さ分布の推移を測定した結果を示す。
また、図5の比較例1(従来装置、ホルダ交換せず)と、図7の比較例3(実施形態の装置、ホルダ交換せず)の測定結果から、本発明の実施形態の化合物半導体製造装置を用いてエピタキシャル成長を繰り返しても、途中でホルダの交換を行わなかった場合には、堆積物の累積膜厚に対するエピタキシャル厚さ分布の悪化は、ある程度堆積物が累積すると、ほとんど改善されないことが分かる。
この結果から、本発明を用いれば、ディスクとホルダのメンテナンス時に、ディスクの堆積物の膜厚が原料ガスの流れを不均一にさせる厚さに至るまでは、ホルダの交換のみを行えば良いことになるので、化合物半導体エピタキシャルウェハの生産効率を大幅に向上させることができると言える。
1a 成長面(下面)
2 回転軸
3 ヒーター
4 基板
4a 成長面
5 ホルダ
5a 成長面(下面)
6 対向板
7 ベアリング
8 内歯
9 ガス供給管
Δ 突出量
Claims (3)
- 複数の基板が周方向に沿って設置される円盤状のディスクと、前記ディスクをその中心軸回りに水平に回転させる回転機構と、前記ディスクに基板を設置するためのホルダと、前記ディスクに対向して配置され、前記ディスクとの間にガス流路を形成する対向板と、前記複数の基板を加熱するヒーターとを備え、前記ガス流路の中心部から放射状に原料ガスを流して前記ディスクに設置された前記複数の基板上に化合物半導体結晶を気相エピタキシャル成長させる化合物半導体エピタキシャルウェハの製造装置において、
前記ホルダの前記ガス流路に面した成長面と前記基板の前記ガス流路に面した成長面とが同一平面上に位置するように、前記ホルダと前記基板が配置され、且つ前記ディスクの前記ガス流路に面した成長面よりも前記ホルダの成長面が前記対向板側に突出して配置されていることを特徴とする化合物半導体エピタキシャルウェハの製造装置。 - 複数の基板が周方向に沿って設置される円盤状のディスクと、前記ディスクをその中心軸回りに水平に回転させる回転機構と、前記ディスクに基板を設置するためのホルダと、前記ディスクに対向して配置され、前記ディスクとの間にガス流路を形成する対向板と、前記複数の基板を加熱するヒーターとを備え、前記ガス流路の中心部から放射状に原料ガスを流して前記ディスクに設置された前記複数の基板上に化合物半導体結晶を気相エピタキシャル成長させる化合物半導体エピタキシャルウェハの製造方法において、
前記ホルダの前記ガス流路に面した成長面と前記基板の前記ガス流路に面した成長面とが同一平面上に位置するように、前記ホルダと前記基板を配置し、且つ前記ディスクの前記ガス流路に面した成長面よりも前記ホルダの成長面が前記対向板側に突出するよう配置して、半導体結晶を成長させることを特徴とする化合物半導体エピタキシャルウェハの製造方法。 - 請求項2に記載の化合物半導体エピタキシャルウェハの製造方法において、前記ディスク及び前記ホルダに堆積した堆積物を取り除くための交換作業における、前記ディスクの交換頻度が前記ホルダの交換頻度より少ないことを特徴とする化合物半導体エピタキシャルウェハの製造方法。
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2008
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KR102565962B1 (ko) * | 2016-09-27 | 2023-08-09 | 주식회사 엘엑스세미콘 | 에피택셜 웨이퍼 제조장치 및 제조방법 |
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