JP2009196068A - 研削装置および研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク固定治具11により支持されているワーク101(102)にラッピングフィルム20を押し付けるバックアップシュー15を有し、ラピングフィルム20をワーク101(102)とバックアップシュー15の間で移動させる。
【選択図】図1
Description
弾性部材13によってクランプ機構12に取り付けられており、支軸21によって回転可能となっている。これは、この支軸21によってワーク101(102)に横方向の不要な力が加わった場合(たとえば、ラッピングフィルムによってワークが一時的に引っ張られるなど)に、ワーク固定治具11がワーク101(102)ごと回転して、このような力によるワーク101(102)の損傷やラッピングフィルム20が切れるのを防止する。
11 ワーク固定治具、
12 クランプ機構、
13 弾性部材、
14 エアシリンダ、
15 バックアップシュー、
20 ラッピングフィルム、
100 ワーク。
Claims (6)
- 一方の面に砥粒が設けられた可撓性部材と、
前記可撓性部材をワークに押し付けるバックアップシューと、
前記可撓性部材を前記ワークと前記バックアップシューとの間で移動させる移動手段と、
を有することを特徴とする研削装置。 - 前記ワークが第1のワークと第2のワークからなる2つであって、
前記第1のワークと前記第2のワークのそれぞれの加工部位に前記可撓性部材が接し、かつそれぞれの加工部位により前記バックアップシューを挟み込むように前記第1のワークと前記第2のワークを固定するワーク固定手段を有することを特徴とする請求項1記載の研削装置。 - 前記バックアップシューは、前記ワークが押し付けられる方向に対して直交する方向に移動自在であることを特徴とする請求項1または2記載の研削装置。
- ワークに対し、前記ワークと接する面側に砥粒が設けられた可撓性部材をバックアップシューによって押し付けつつ、前記可撓性部材を移動することを特徴とする研削方法。
- 前記ワークが第1のワークと第2のワークからなる2つであって、
前記第1のワークと前記第2のワークのそれぞれの加工部位により前記バックアップシューを挟み込むように前記第1のワークと前記第2のワークを固定して、前記第1のワークと前記第2のワークを前記バックアップシューの方向へ押し付け、前記第1のワークと前記バックアップシューの間、および前記第2のワークバックアップシューの間で前記可撓性部材を移動させることを特徴とする請求項4記載の研削方法。 - 前記バックアップシューを前記ワークが押し付けられる方向に対して直交する方向に移動することを特徴とする請求項5記載の研削方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014201649A1 (zh) * | 2013-06-17 | 2014-12-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 研磨装置及研磨方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208572A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Ebara Corp | 研磨装置 |
JP2007181886A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Ntn Corp | テープ研磨装置 |
JP2007326175A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Nihon Micro Coating Co Ltd | クリーニングテープ及び方法 |
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2008
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