JP2009194165A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MOSFET1は、n+SiC基板10と、n−SiC層20と、一対のpウェル21と、n+ソース領域22と、ソースコンタクト電極80と、一対のpウェル21内のそれぞれにおいて、n+ソース領域22とn+SiC基板10との間の領域からソースコンタクト電極80に接する位置にまで延在するように形成され、pウェル21よりも高濃度のp型不純物を含むp+領域23とを備えている。一対のpウェル21のうち、一方のpウェル21内に形成されたn+ソース領域22と他方のpウェル21内に形成されたn+ソース領域22との距離L1は、一方のpウェル21内に形成されたp+領域23と他方のpウェル21内に形成されたp+領域23との距離L2よりも小さくなっている。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施の形態である実施の形態1における半導体装置である酸化膜電界効果トランジスタ(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor;MOSFET)の構成を示す概略断面図である。まず、図1を参照して、実施の形態1におけるMOSFETについて説明する。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図9は、本発明の一実施の形態である実施の形態2における半導体装置であるMOSFETの構成を示す概略断面図である。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に形成された第1導電型の半導体層と、
前記半導体層において、前記基板側の主面である第1の主面とは反対側の主面である第2の主面を含むように形成された前記第1導電型とは異なる第2導電型の一対の第2導電型領域と、
前記一対の第2導電型領域内のそれぞれに前記第2の主面を含むように形成され、前記半導体層よりも高濃度の前記第1導電型の不純物を含む高濃度第1導電型領域と、
前記高濃度第1導電型領域に接するように形成された電極と、
前記一対の第2導電型領域内のそれぞれにおいて、前記高濃度第1導電型領域と前記基板との間の領域から前記電極に接する位置にまで延在するように形成され、前記第2導電型領域よりも高濃度の前記第2導電型の不純物を含む高濃度第2導電型領域とを備え、
前記一対の第2導電型領域のうち、一方の第2導電型領域内に形成された前記高濃度第1導電型領域と他方の第2導電型領域内に形成された前記高濃度第1導電型領域との距離は、前記一方の第2導電型領域内に形成された前記高濃度第2導電型領域と前記他方の第2導電型領域内に形成された前記高濃度第2導電型領域との距離よりも小さくなっている、半導体装置。 - 前記高濃度第2導電型領域の前記第2導電型の不純物濃度は、前記第2導電型領域の前記第2導電型の不純物濃度よりも前記高濃度第1導電型領域の前記第1導電型の不純物濃度に近い、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記高濃度第2導電型領域は、前記第2導電型領域における、前記高濃度第1導電型領域の前記基板に対向する面に沿った領域である底面側の領域から、前記一対の第2導電型領域のうち一方の第2導電型領域に形成された前記高濃度第1導電型領域から見て他方の第2導電型領域に形成された前記高濃度第1導電型領域に対向する面とは反対側の前記高濃度第1導電型領域の面に沿った領域である側面側の領域にまで延在するように形成されており、
前記高濃度第2導電型領域における前記第2導電型の不純物の濃度は、前記側面側の領域に比べて前記底面側の領域において高くなっている、請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記高濃度第2導電型領域は、前記第2導電型領域における、前記高濃度第1導電型領域の前記基板に対向する面に沿った領域である底面側の領域に形成されており、
前記電極は、前記第2導電型領域における、前記一対の第2導電型領域のうち一方の第2導電型領域に形成された前記高濃度第1導電型領域から見て他方の第2導電型領域に形成された前記高濃度第1導電型領域に対向する面とは反対側の前記高濃度第1導電型領域の面に沿った領域である側面側の領域から、前記第2の主面上にまで延在するように形成されている、請求項1または2に記載の半導体装置。 - 基板を準備する工程と、
前記基板上に第1導電型の半導体層を形成する工程と、
前記半導体層において、前記基板側の主面である第1の主面とは反対側の主面である第2の主面を含むように前記第1導電型とは異なる第2導電型の一対の第2導電型領域を形成する工程と、
前記一対の第2導電型領域のそれぞれに、前記第2導電型領域よりも高濃度の前記第2導電型の不純物を含む高濃度第2導電型領域を形成する工程と、
前記一対の第2導電型領域のそれぞれに、前記第2の主面を含むとともに、前記基板との間に前記高濃度第2導電型領域を挟むように、前記半導体層よりも高濃度の前記第1導電型の不純物を含む高濃度第1導電型領域を形成する工程と、
前記高濃度第1導電型領域に接するとともに、前記高濃度第2導電型領域に接するように電極を形成する工程とを備え、
前記高濃度第2導電型領域を形成する工程および前記高濃度第1導電型領域を形成する工程では、前記一対の第2導電型領域のうち、一方の第2導電型領域内の前記高濃度第1導電型領域と他方の第2導電型領域内の前記高濃度第1導電型領域との距離が、前記一方の第2導電型領域内の前記高濃度第2導電型領域と前記他方の第2導電型領域内の前記高濃度第2導電型領域との距離よりも小さくなるように、前記高濃度第2導電型領域および前記高濃度第1導電型領域が、前記一対の第2導電型領域内の両方に形成される、半導体装置の製造方法。 - 前記高濃度第2導電型領域の前記第2導電型の不純物濃度が、前記第2導電型領域の前記第2導電型の不純物濃度よりも前記高濃度第1導電型領域の前記第1導電型の不純物濃度に近くなるように、前記第2導電型領域を形成する工程、前記高濃度第2導電型領域を形成する工程および前記高濃度第1導電型領域を形成する工程が実施される、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度第2導電型領域を形成する工程では、前記高濃度第2導電型領域のうち前記基板に対向する面を含む領域に他の領域に比べて高濃度の前記第2導電型の不純物を含む高濃度領域を有するように、前記高濃度第2導電型領域が形成される、請求項5または6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度第2導電型領域を形成する工程よりも後であって、前記電極を形成する工程よりも前に、前記第2の主面から前記高濃度第2導電型領域の前記高濃度領域に到達するように前記第2導電型領域に溝を形成する工程をさらに備えた、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
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