JP2009193789A - X線発生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、着脱可能なターゲットを有しながらも、高い真空度の維持を可能としたX線発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 X線発生装置1は、電子銃3から出射された電子が通過する第1の電子通路18を有し、真空状態が保持された筒状部2と、筒状部2の一方端に設けられており、第1の電子通路18と連通する第2の電子通路21を有し、かつ第2の電子通路21までに至る凹部24を有するヘッド部20と、先端部にターゲット31を有し、凹部24に挿入されたターゲット支持部27と、ターゲット支持部27の外周面と凹部24との間に配置されたOリング32、33と、を備え、ターゲット支持部27は、ターゲット支持部27の先端部とOリング32との間に形成された第1の段差面29aを有し、凹部24を形成する壁面は、第1の段差面29aに対応した形状をなす第2の段差面24aを有する。
【選択図】 図2
Description
Claims (5)
- 電子銃から出射された電子をターゲットに入射することにより前記ターゲットでX線を発生させるX線発生装置において、
電子銃から出射された電子が通過する第1の電子通路を有し、真空状態が保持された筒状部と、
前記筒状部の一方端に設けられており、前記第1の電子通路と連通する第2の電子通路を有し、かつ外面から前記第2の電子通路までに至る凹部を有するヘッド部と、
先端部に前記ターゲットを有し、前記ヘッド部の前記凹部に挿入されたターゲット支持部と、
前記ターゲット支持部の外周面と前記凹部を形成する壁面との隙間を封止するシール部と、を備え、
前記ターゲット支持部は、前記ターゲット支持部の前記先端部と前記シール部との間に形成された第1の段差面を有し、前記凹部を形成する前記壁面は、前記第1の段差面に対応した形状をなす第2の段差面を有することを特徴とするX線発生装置。 - 前記ターゲット支持部は、その内部に前記ターゲットに向かって延びる冷却水通路部を有することを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。
- 前記冷却水通路部は、前記ターゲット支持部の前記シール部が配置されている位置付近まで延びることを特徴とする請求項2に記載のX線発生装置。
- 前記ヘッド部は、前記第2の電子通路と前記凹部との連通部に前記ターゲット支持部の前記先端部と当接する位置決め部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のX線発生装置。
- 前記シール部は前記ターゲット支持部の前記外周面に沿って並設して装着されている2以上のOリングからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のX線発生装置。
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