JP2009189905A - 熱回収型洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被洗浄物を高温の洗浄液で洗浄する洗浄機1と、該洗浄機1に洗浄液を供給する手段と、該洗浄機1から洗浄排液を排出する手段とを有する洗浄装置において、該洗浄機1から排出される高温の洗浄排液と該洗浄機1に供給される洗浄液とを熱交換して該洗浄排液を冷却する熱交換器4を設けたことを特徴とする熱回収型洗浄装置。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の熱回収型洗浄装置の実施の形態を示す系統図である。
図1に示す洗浄装置により、熱回収効率の評価を行った。
熱交換器4、加温手段5としては以下のものを用いた。
熱交換器:接液部がチタン製のプレート式熱交換器
加温手段:接液部が石英製の赤外線ヒータ(最大容量500kW)
実施例1〜4において、各々、熱交換器を省略し、図2に示す洗浄装置で、洗浄排液をそのまま系外へ排出するようにしたこと以外は同様にして評価を行い、結果を表2に示した。なお、図2に示す洗浄装置は、熱交換器を省略して、導入される洗浄液を直接加温手段に送給し、洗浄排液はそのまま系外へ排出するようにしたこと以外は図1の洗浄装置と同様の構成とされており、同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。
2 洗浄槽
3 排液受槽
4 熱交換器
5 加温手段
6 温度調整器
Claims (6)
- 被洗浄物を高温の洗浄液で洗浄する洗浄機と、該洗浄機に洗浄液を供給する手段と、該洗浄機から洗浄排液を排出する手段とを有する洗浄装置において、該洗浄機から排出される高温の洗浄排液と該洗浄機に供給される洗浄液とを熱交換して該洗浄排液を冷却する熱交換器を設けたことを特徴とする熱回収型洗浄装置。
- 請求項1において、前記洗浄排液の温度が60℃以上であることを特徴とする熱回収型洗浄装置。
- 請求項1又は2において、前記洗浄機に供給される洗浄液が、超純水、或いは超純水にガス及び/又は薬品を溶解させた液であることを特徴とする熱回収型洗浄装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記熱交換器の洗浄液が接する接液部が、チタン、ステンレススチール、フッ素樹脂、ポリビニリデンクロライド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、石英、又はガラスで構成されていることを特徴とする熱回収型洗浄装置。
- 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記熱交換器で洗浄排液と熱交換した後の洗浄液を加温する加温手段を有することを特徴とする熱回収型洗浄装置。
- 請求項5において、前記加温手段が電熱線又は赤外線ヒーターを含むことを特徴とする熱回収型洗浄装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012157821A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 温水洗浄システムおよび温水洗浄方法 |
CN103506333A (zh) * | 2013-09-28 | 2014-01-15 | 无锡荣能半导体材料有限公司 | 一种硅片脱胶预冲洗装置 |
CN106540821A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-03-29 | 广西大学 | 一种用于清洗回收铝合金的设备 |
WO2017081155A1 (de) * | 2015-11-10 | 2017-05-18 | Krones Ag | Vorrichtung und verfahren die wärme aus flüssigkeiten zurückgewinnt beim reinigen eines zu reinigenden anlagenteils einer getränkeabfüllanlage |
WO2022252110A1 (zh) * | 2021-06-01 | 2022-12-08 | 王志猛 | 热交换装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5943185A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-10 | 中越パルプ工業株式会社 | パルプ漂白アルカリ温排液の熱回収方法 |
JPS6314433A (ja) * | 1986-07-05 | 1988-01-21 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 洗浄槽の温度制御方式 |
JPH06349805A (ja) * | 1993-06-04 | 1994-12-22 | Fujitsu Ltd | 加温純水リサイクルシステム |
JPH1050654A (ja) * | 1996-08-01 | 1998-02-20 | Nec Corp | ウェーハ処理装置 |
JP2002210422A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-30 | Sony Corp | 被処理基板の洗浄処理装置と洗浄方法 |
JP2002367944A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2003077878A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法及び液処理装置 |
JP2006066727A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び薬液交換方法 |
-
2008
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5943185A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-10 | 中越パルプ工業株式会社 | パルプ漂白アルカリ温排液の熱回収方法 |
JPS6314433A (ja) * | 1986-07-05 | 1988-01-21 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 洗浄槽の温度制御方式 |
JPH06349805A (ja) * | 1993-06-04 | 1994-12-22 | Fujitsu Ltd | 加温純水リサイクルシステム |
JPH1050654A (ja) * | 1996-08-01 | 1998-02-20 | Nec Corp | ウェーハ処理装置 |
JP2002210422A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-30 | Sony Corp | 被処理基板の洗浄処理装置と洗浄方法 |
JP2002367944A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2003077878A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法及び液処理装置 |
JP2006066727A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び薬液交換方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012157821A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 温水洗浄システムおよび温水洗浄方法 |
CN103506333A (zh) * | 2013-09-28 | 2014-01-15 | 无锡荣能半导体材料有限公司 | 一种硅片脱胶预冲洗装置 |
WO2017081155A1 (de) * | 2015-11-10 | 2017-05-18 | Krones Ag | Vorrichtung und verfahren die wärme aus flüssigkeiten zurückgewinnt beim reinigen eines zu reinigenden anlagenteils einer getränkeabfüllanlage |
CN107847987A (zh) * | 2015-11-10 | 2018-03-27 | 克罗内斯股份公司 | 用于清洁饮料灌装设施的要清洁的设施部件的设备 |
JP2018533462A (ja) * | 2015-11-10 | 2018-11-15 | クロネス アーゲー | 飲料充填プラントにおいて清浄対象部分を清浄する装置 |
US11084068B2 (en) | 2015-11-10 | 2021-08-10 | Krones Ag | Device and method which recovers heat from liquids during cleaning of a plant part that is to be cleaned of a beverage filling plant |
JP2021192911A (ja) * | 2015-11-10 | 2021-12-23 | クロネス アーゲー | 飲料充填プラントにおいて清浄対象部分を清浄する装置 |
JP7163029B2 (ja) | 2015-11-10 | 2022-10-31 | クロネス アーゲー | 飲料充填プラントにおいて清浄対象部分を清浄する装置 |
CN106540821A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-03-29 | 广西大学 | 一种用于清洗回收铝合金的设备 |
WO2022252110A1 (zh) * | 2021-06-01 | 2022-12-08 | 王志猛 | 热交换装置 |
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