JP2009186405A - 磁気センサ集積回路 - Google Patents
磁気センサ集積回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009186405A JP2009186405A JP2008028706A JP2008028706A JP2009186405A JP 2009186405 A JP2009186405 A JP 2009186405A JP 2008028706 A JP2008028706 A JP 2008028706A JP 2008028706 A JP2008028706 A JP 2008028706A JP 2009186405 A JP2009186405 A JP 2009186405A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic sensor
- magnetic
- sensor element
- substrate
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
【課題】 インターフェース回路ICと安価で扱いやすい材料を用いた磁気抵抗センサを一体形成し、安定した温度補正が可能な構成を有することにより、価格を含め、使い勝手の良い多軸の磁気センサモジュールを提供する。
【解決手段】 半導体基板の裏面の一部に形成した当該基板面に対して傾いた面に磁性体磁気抵抗体による複数の磁気センサエレメントを設け、同一面に形成した磁性材シールド膜を備えた磁気センサエレメントと磁性材シールド膜のない磁気センサエレメントとを対にして差動的に磁気抵抗変化を検出する構成とし、安定に半導体基板と垂直な磁界成分を求めている。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体基板の裏面の一部に形成した当該基板面に対して傾いた面に磁性体磁気抵抗体による複数の磁気センサエレメントを設け、同一面に形成した磁性材シールド膜を備えた磁気センサエレメントと磁性材シールド膜のない磁気センサエレメントとを対にして差動的に磁気抵抗変化を検出する構成とし、安定に半導体基板と垂直な磁界成分を求めている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、磁性体を用いた磁気抵抗素子を組み合わせた磁気センサと集積回路とからなる磁気センサ集積回路の構成に関する。
磁界により抵抗値が減少する磁性体磁気抵抗素子が磁界を検出するセンサとして磁気記録媒体の読み出しヘッドや磁気を用いた回転体回転検出など幅広い用途で用いられている。
一般的磁気センサとしては図10に示すように九十九折形状にパターニングされた磁気センサエレメント101及び磁気センサエレメント103と、これらとパターンの長手方向の向きが90°異なる磁気センサエレメント102及び磁気センサエレメント104を基板105上に形成し、それぞれ二つのエレメントを直列接続し、四つのエレメントが環状に繋がったブリッジ接続とし、磁気センサ素子としている。
磁気抵抗素子は磁気抵抗エレメント膜の面内方向でパターンの長手方向と直交する磁界成分に対して感度を持つ。このため、図10の従来例では4つの磁気センサエレメントを載せた基板の面内で直交した2方向の磁界成分を検出することが可能であるが、基板面に垂直な磁界成分は検出できない。
基板面以外の磁界を検出するため、セラミックス等の基板に凹部を形成し、この凹部が基板面対して傾いた面を有し、この傾斜面に一対の薄膜ヨークを形成し、これらのヨークの間に形成された磁気抵抗素子に磁束を集めて流し、高感度を得るとともに基板面と直交した方向の磁界の検出を実現する構成が公開されている(特許文献1参照)。
特開2004−354182号公報
基板面方向の磁界と基板面と垂直に方向の磁界を検出する安価な3軸のセンサを提供するためには信号処理を行うインターフェース回路ICと一体化する必要があり、また、特殊な磁気抵抗素子材料を用いず、加工の手間のかかる薄膜ヨークは用いないことが望ましい。
また、凹部にはインターフェース回路を形成することができず、ICの上に薄膜磁気センサを形成した場合には平坦性が保てないためセンサの感度特性の制御が難しく、回路と磁気センサエレメントを面方向に重ならないよう配置する必要があるが、IC面積が大きくなってしまう。
更に、磁気抵抗素子の抵抗値は大きな温度特性を持ち、適切な温度補正を行わなければ磁界による抵抗値の変化を正確に検出することができないため、一般的には、同形状で異なる方向に対して磁気感度を持つ二つの磁気センサエレメントを組み合わせて温度特性をキャンセルさせて用いるが、正確に補正するためには二つの磁気センサエレメントを同一の工程で、同一の条件で作成することが望まれ、基板面と斜面で特性の揃った磁気センサエレメントを得ることは難しい。
そこでこの発明は、扱いやすい材料であるパーマロイ系材料のみを用いてインターフェース回路ICと磁気抵抗センサエレメントを一体とし、安定した温度補正が可能な構成を有することにより、価格を含め、使い勝手の良い多軸の磁気センサ集積回路を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は、半導体基板と、前記半導体基板の表面に形成されたインターフェース回路と、前記半導体基板の裏面の一部であって前記裏面に対して一定の傾きを持って形成された面に配置され、前記インターフェース回路に接続された、磁性体磁気抵抗体による第1の磁気センサエレメントと、からなることを特徴とする。
また本発明は、上述のインターフェース回路と接続され、上述の半導体基板の裏面の基板面内に形成された、前記基板面内方向の磁界を検出する第2の磁気センサエレメントと、前記基板面内方向の磁界を検出する前記第2の磁気センサエレメントの出力により前記基板面に対して傾いた面に形成された前記第1の磁気センサエレメンの出力を補正し、前記基板面と垂直な磁界成分を計算する補正回路と、をさらに有することを特徴とする。
また本発明は、上述の第1の磁気センサエレメントは積層された磁性材シールド膜を備えた磁気センサエレメントを少なくともひとつ含むことを特徴とする。
また本発明は、上述の第1の磁気センサエレメントおよび上述の第2の磁気センサエレメントはそれぞれ積層された磁性材シールド膜を備えた磁気センサエレメントを少なくともひとつ含むことを特徴とする。
また本発明は、半導体基板と、前記半導体基板の表面に形成したインターフェース回路と、前記半導体基板の裏面に形成した4辺の傾斜面に配置した少なくとも4個の磁気センサエレメントと、前記磁気センサエレメントにバイアス磁界を加えるための少なくとも2分割されたコイルと、前記インターフェース回路と前記複数の磁気センサエレメント及び前記複数のコイルを接続する手段と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、取扱が容易で安定した1種類の材料のみで磁気センサを構成でき、特性のそろった磁気センサエレメントを作ることができ、温度特性のキャンセルが正確に行え、磁気センサ・インターフェース回路ICと一体化しているため、極めて使い勝手の良い3軸磁気センサ集積回路が得られる。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による磁気センサを説明する。
基板面内方向の磁界を検出する磁気抵抗センサに関しては従来例である図10と同様で、インターフェース回路IC基板の表面あるいは裏面の平面に形成され、スルーホールを形成してインターフェース回路と接続される。
図1及び図2は基板面と垂直な磁界成分を検出するための磁気抵抗センサ部の最終状態及び加工中間状態を示す斜視図である。
インターフェース回路IC基板1に裏面外周の一辺をエッチング加工により基板面と傾いた面を形成する。例えばIC用Si基板を異方性ウエットエッチングにより55度程度の角度が得られ、等方性ウエットエッチングにより45度程度の角度が得られ、異方性ドライエッチングで90度近い角度が得られる。得られた傾斜面に対してNi80Fe20などの磁気抵抗磁性体をスパッタリングし、二つの同形の九十九折パターンを有し、直列接続された磁気センサエレメント2及び磁気センサエレメント3のパターニング加工を行う。磁気センサエレメント2の一端と磁気センサエレメント3の一端との接続点への配線、磁気センサエレメント2の他端への配線、磁気センサエレメント3の他端への配線はインターフェース回路IC基板1の側面を介して表面に繋がり、インターフェース回路に接続される。
次に磁気センサエレメント2及び磁気センサエレメント3の上にポリイミドなどの絶縁膜を形成する。更に、磁気センサエレメント3全体を覆う寸法のNi80Fe20などの磁性材シールド膜4をメッキ法などにより形成する。
磁性材シールド膜4の作用により磁気センサエレメント3に印加される磁界の大部分が磁性材シールド膜4を通り、磁気センサエレメント3を通る磁界は極わずかとなる。
磁気センサエレメント3全体を磁性材シールド膜が覆っているわけではないが適切な寸法の磁性材シールド膜4を重ねることにより磁気センサエレメント3の磁界を数分の一程度に減少させることができる。磁気抵抗素子の磁界による抵抗値変化はほぼ加わる磁界の自乗に比例するので、抵抗値変化は十分の一以下に抑制される。
この磁性材シールド膜4は磁気センサエレメント2の一部を覆っても良いが、磁気センサエレメント2の大部分には磁性材シールド膜4がない配置としている。
図3は磁気センサエレメント2及び磁気センサエレメント3を接続するインターフェース回路の一部回路図である。なお、磁気センサエレメントの番号は図1ならびに図2と同一の番号を使用している。
磁気センサエレメント2の一端は電源に接続され、磁気センサエレメント2の他端は磁気センサエレメント3に接続され、磁気センサエレメント3の他端は接地されている。この磁気センサエレメント2と磁気センサエレメント3の接続点はインターフェース回路8の中の差動増幅回路5の片方の入力端子に接続される。差動増幅回路5の他方の入力端子にはインターフェース回路IC内蔵あるいは外付けで、特性の揃った抵抗6と抵抗7との直列接続点が接続され、抵抗6の他端は電源に接続され、抵抗7の他端は接地されている。
差動増幅回路5の出力は直接、あるいは他の回路を介して補正回路9に接続され、基板1の表面あるいは裏面に形成された基板面内方向の磁界を検出する磁気抵抗センサ10の出力も補正回路9に入力される。
差動増幅回路5の出力は直接、あるいは他の回路を介して補正回路9に接続され、基板1の表面あるいは裏面に形成された基板面内方向の磁界を検出する磁気抵抗センサ10の出力も補正回路9に入力される。
磁気センサエレメント2と磁気センサエレメント3とは同じ形状で作成されているため磁界が加わらない状態では磁気センサエレメント2と磁気センサエレメント3の抵抗はほぼ同一で、磁気センサエレメント2と磁気センサエレメント3の接続点はほぼ電源電圧の2分の1の電位となる。同様に抵抗6と抵抗7の接続点も電源電圧の2分の1の電位となる。このため、差動増幅回路5の出力は差動入力ゼロに対応した出力電圧を出す。
磁気センサエレメント2の長手方向と直行する成分を持った磁界が加わった場合、抵抗6と抵抗7の接続点の電位は変わらないが、磁界を受けて磁気センサエレメント2の抵抗値は減少する。一方、磁気センサエレメント3は磁性材シールド膜4の作用により抵抗値がほとんど変化しない。このため、磁気センサエレメント2と磁気センサエレメント3の接続点の電位は上昇する。これにより、差動増幅回路5の入力の差動成分が発生し、この差動入力電圧に応じて増幅された電圧が出力され、磁界が検出できる。
最終的に基板面と垂直な磁界成分を求めるため、補正回路9では傾斜面で検出した磁界に対して、磁気抵抗センサ10で検出した基板面方向の磁界で補正する。傾斜面で検出した磁界は基板面磁界成分と基板と垂直な磁界成分をそれぞれ傾斜角に応じた成分に分解し、加算したものなので、基板面の磁界成分が分かれば容易に基板と垂直な磁界成分を計算することができる。
なお、磁性材シールド膜付き磁気センサエレメント2個と磁性材シールド膜なしの磁気センサエレメント2個を組み合わせて、いわゆるフルブリッジ構成とすることも可能である。
図4、図5は本発明の別の実施形態である基板面と垂直な磁界成分を検出するための磁気抵抗センサ部の構成を示す斜視図及び加工中間状態を示す断面図である。
基板11の裏面に、エッチングにより基板面と傾いた面を有する九十九折形状の細長いV字溝12及びV字溝13を形成する。V字溝12及びV字溝13の傾いた面に、エッチングされた凹凸構造またはメタルマスク等を用いて磁気抵抗効果を持つNi80Fe20等の磁性材を斜め方向からスパッタリングし、V字溝の片方の面にのみ九十九折形状で繋がった磁気センサエレメント14及び磁気センサエレメント15を形成する。ただし、細長いV字溝同士を繋ぐ短いV字溝部では両方の傾斜面に磁性材を乗せて電気的接続をとっている。このような加工を行うことにより、V字溝エッチングと磁性材のスパッタリング工程のみで磁気センサエレメントのパターニングも同時に行っており、加工工程を減らすことができる。
次に薄い絶縁膜を形成し(図5では省略している)、磁気センサエレメント15の上面には磁気センサエレメント15を平面的に完全に隠す形状の磁性材シールド膜16を形成する。
磁気センサエレメント14と磁気センサエレメント15は直列接続され、それぞれの磁気センサエレメントの他端を含めて3点が基板8の側面を介してインターフェース回路に接続される。
磁気センサとしての動作は図1、図2、図3の実施形態と同様なので説明を省略する。
図6は本発明の更に別の実施形態を説明するための斜視図である。
基板17の2辺に傾斜面を形成し、ひとつの傾斜面には磁気センサエレメント18と、磁気センサエレメント18と同形状の九十九折磁気抵抗膜パターンの上に絶縁した磁気シールド用磁性材を重ねた磁性材シールド付きエレメント19を形成している。他の一辺の傾斜面に磁気センサエレメント20を、基板17の裏面面内に磁気センサエレメント21と、磁性材シールド付きエレメント19と同様な磁性材シールド付きエレメント22を設けている。
磁性材シールド付きエレメント22と磁気センサエレメント21を用いて基板面内の一方向の磁界を検出する。磁性材シールド付きエレメント19と磁気センサエレメント20を用いて磁気センサエレメント21で検出した方向の磁界の傾斜面成分と基板17に垂直な磁界の傾斜面成分の合成磁界を検出する。磁気センサエレメント21で基板面方向の磁束密度が測定されているので、この値を用いて磁気センサエレメント20で検出した磁界から基板17に垂直な成分を分離できる。最後に、磁気センサエレメント18と磁性材シールド付きエレメント19を用いて基板17の面内で磁気センサエレメント21により検出した向きと直交する向きの磁界の傾斜面成分と基板17に垂直な磁界の傾斜面成分の合成磁界を検出し、既に基板17と垂直な磁束密度が計算されているため基板17の面内で磁気センサエレメント21により検出した向きと直交する向きの磁界を分離することができる。
なお、要求される精度やコストに合わせて、磁性材シールド付きエレメント19と磁性材シールド付きエレメント22を兼用としてひとつにしたり、逆に磁気センサエレメント20と同一面に別個の磁性材シールド付きエレメントを設けたりすることも可能である。
図7、図8は磁界の向きも検出できる本発明の実施形態を示す平面図である。
磁気抵抗素子そのものは磁界の強さの自乗にほぼ比例して抵抗値が変化し、磁界の向きを検出することができない。磁気抵抗素子に一定のバイアス磁界を加えると、この磁界に対して被測定磁界が加わり、被測定磁界の向きに応じてバイアス磁界との合成磁界が増加したり減少したりするため磁界の向きを判定することができる。また、磁界の強さの自乗にほぼ比例して抵抗値が変化する特性から、磁気飽和しない範囲でバイアス磁界が大きい程、バイアス磁界に加減算される比較的弱い被測定磁界に対する感度が高くなる。
図7は基板23の裏面であり、基板23外側の4辺に傾斜面を設け、各辺順番に磁気センサエレメント24、磁気センサエレメント25、磁気センサエレメント26、磁気センサエレメント27を配置している。
図8はバイアス磁界を発生するコイルを示している。コイル基板28には磁気センサエレメント27と磁気センサエレメント24に対してバイアス磁界を供給する三角形のコイル29と磁気センサエレメント25と磁気センサエレメント26に対してバイアス磁界を供給する三角形のコイル30が設けられている。これらのコイルは磁気センサエレメントが配置されている基板23に一体的に作成することも可能だが本実施形態では別体で作成し、重ね合わせて機能させる構成としている。
磁気センサエレメント24磁気センサエレメント26を組み合わせて基板23の面と垂直(以降単に垂直と呼ぶ)な磁界と基板23の面内で磁気センサエレメント24と磁気センサエレメント26を結ぶ方向(以降x方向と呼ぶ)の磁界との合成磁界を検出することができる。コイル29とコイル30に電流を流して両コイルが共に基板23の裏面から表面に向かって磁界を発生させると、垂直方向の被測定磁界に対しては磁気センサエレメント24と磁気センサエレメント26で同方向のバイアスとなり、磁気センサエレメント24と磁気センサエレメント26の抵抗値変化の差動成分には垂直方向の被測定磁界成分は現れない。一方、x方向の磁界に対しては、x方向の被測定磁界の傾斜面成分とバイアス磁界の傾斜面成分との合成となり、磁気センサエレメント24と磁気センサエレメント26とでは逆向きのバイアスとなる。このため、磁気センサエレメント24と磁気センサエレメント26の抵抗値変化の差動成分としてx方向磁界が検出できる。また、コイル29とコイル30の発生する磁界の向きが逆になるよう電流を流せば垂直方向の磁界を検出できる。
同様に、磁気センサエレメント25と磁気センサエレメント27を組み合わせることにより基板23の面内で磁気センサエレメント25と磁気センサエレメント27を結ぶ方向の磁界を検出することができる。
なお、バイアスコイルは三角形である必要はなく、さまざまな形状に変えることもでき、二分割ではなく各辺に対応して4分割でも機能させることができる。
また、傾斜面を持つ4辺の位置は図9に示すように基板31の裏面中央付近をエッチングすることにより凹部を形成し、この凹部の4面に順番に磁気センサエレメント32、磁気センサエレメント33、磁気センサエレメント34、磁気センサエレメント35を配置することにより図7を用いて説明した実施形態と同様に動作させることが可能である。
図3の補正回路9はハードウェアによる演算回路として説明したが、ソフトウェアによる補正も可能であり、その場合も本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
1 インターフェース回路IC基板1
2、3、14、15、18、20、21、24、25、26、27 磁気センサエレメント
3 磁気センサエレメント
4、16 磁性材シールド膜
5 差動増幅回路
6、7 抵抗
8 インターフェース回路
9 補正回路
10 磁気抵抗センサ
11、17、23 基板
12、13 V字溝
19、22 磁性材シールド付きセンサエレメント
28 コイル基板
29、30 三角形のコイル
2、3、14、15、18、20、21、24、25、26、27 磁気センサエレメント
3 磁気センサエレメント
4、16 磁性材シールド膜
5 差動増幅回路
6、7 抵抗
8 インターフェース回路
9 補正回路
10 磁気抵抗センサ
11、17、23 基板
12、13 V字溝
19、22 磁性材シールド付きセンサエレメント
28 コイル基板
29、30 三角形のコイル
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成されたインターフェース回路と、
前記半導体基板の裏面の一部であって前記裏面に対して一定の傾きを持って形成された面に配置され、前記インターフェース回路に接続された、磁性体磁気抵抗体による第1の磁気センサエレメントと、からなる磁気センサ集積回路。 - 前記インターフェース回路と接続され、前記半導体基板の裏面の基板面内に形成された、前記基板面内方向の磁界を検出する第2の磁気センサエレメントと、
前記基板面内方向の磁界を検出する前記第2の磁気センサエレメントの出力により前記基板面に対して傾いた面に形成された前記第1の磁気センサエレメンの出力を補正し、前記基板面と垂直な磁界成分を計算する補正回路と、をさらに有する請求項1記載の磁気センサ集積回路。 - 前記第1の磁気センサエレメントは積層された磁性材シールド膜を備えた磁気センサエレメントを少なくともひとつ含む請求項1記載の磁気センサ集積回路。
- 前記第1の磁気センサエレメントおよび前記第2の磁気センサエレメントはそれぞれ積層された磁性材シールド膜を備えた磁気センサエレメントを少なくともひとつ含む請求項2記載の磁気センサ集積回路。
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成したインターフェース回路と、
前記半導体基板の裏面に形成した4辺の傾斜面に配置した少なくとも4個の磁気センサエレメントと、
前記磁気センサエレメントにバイアス磁界を加えるための少なくとも2分割されたコイルと、
前記インターフェース回路と前記複数の磁気センサエレメント及び前記複数のコイルを接続する手段と、を有することを特徴とする磁気センサ集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008028706A JP2009186405A (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 磁気センサ集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008028706A JP2009186405A (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 磁気センサ集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009186405A true JP2009186405A (ja) | 2009-08-20 |
Family
ID=41069788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008028706A Pending JP2009186405A (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 磁気センサ集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009186405A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019131812A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁気センサモジュール及びこれに用いるicチップ |
-
2008
- 2008-02-08 JP JP2008028706A patent/JP2009186405A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019131812A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁気センサモジュール及びこれに用いるicチップ |
JPWO2019131812A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2020-12-10 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁気センサモジュール及びこれに用いるicチップ |
JP7011668B2 (ja) | 2017-12-27 | 2022-01-26 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁気センサモジュール及びこれに用いるicチップ |
US11346898B2 (en) | 2017-12-27 | 2022-05-31 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Magnetic sensor module and IC chip employed in same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7795862B2 (en) | Matching of GMR sensors in a bridge | |
JP5876583B2 (ja) | 磁気センサ及びその磁気検出方法 | |
EP1720027B1 (en) | Magnetic field detector and current detection device, position detection device and rotation detection device using the magnetic field detector | |
JP5531215B2 (ja) | 電流センサ | |
JP4360998B2 (ja) | 電流センサ | |
JP4259937B2 (ja) | 角度検出センサ | |
US9964601B2 (en) | Magnetic sensor | |
US9810748B2 (en) | Tunneling magneto-resistor device for sensing a magnetic field | |
JP4529783B2 (ja) | マグネト・インピーダンス・センサ素子 | |
JP5187538B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2021036199A (ja) | 磁気センサ及び電流センサ | |
US20050140363A1 (en) | Sensor for detection of the orientation of a magnetic field | |
JP6321323B2 (ja) | 磁気センサ | |
CN109655767B (zh) | 一种集成磁结构 | |
JP2013088370A (ja) | 電流センサ | |
JP5799882B2 (ja) | 磁気センサ装置 | |
JP7156249B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP5877728B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
WO2018198901A1 (ja) | 磁気センサー | |
JP2009186405A (ja) | 磁気センサ集積回路 | |
WO2017199787A1 (ja) | 磁気センサ | |
WO2017018056A1 (ja) | 磁気センサ、これを備える電流センサおよび電力変換装置 | |
US20170352800A1 (en) | Magnetic Field Sensor with Integrated Field Concentrators | |
JP2013142604A (ja) | 電流センサ | |
JP3961265B2 (ja) | 磁気センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091108 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091113 |