JP2009170886A - ウエハ貼着用貼着シートおよびウエハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材フィルム1と、該基材フィルム上に形成された粘着剤層2とからなる粘着シートであって、該粘着シートを幅7mmに加工した試験片を用いて動的粘弾性測定装置で測定した損失係数(23℃、周波数1〜100Hz)が0.15以上であるウエハ貼着用粘着シート。および、このウエハ貼着用粘着シートにウエハを貼合し、該ウエハのダイシングを行うウエハの加工方法であって、基材フィルムまで切り込みを行わないウエハの加工方法。
【選択図】図1
Description
ダイシング時には、チッピングと呼ばれるチップの欠け・ヒビが生じ、大きさは100μm以上となることは珍しくなく、回路面にチッピングが達すると回路そのものの性能に支障を来たすこともある。また、ピックアップ工程の際にチッピングにより生じたチップの破片が他のチップ表面に付着し、回路そのものを破壊することがある。
すなわち、本発明は、
(1)基材フィルムと、該基材フィルム上に形成された粘着剤層とからなる粘着シートであって、該粘着シートを幅7mmに加工した試験片を用いて、動的粘弾性測定装置によりフィルム状で測定した損失係数(23℃、周波数1〜100Hz)が0.15以上であることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート、
(2)前記基材フィルムを構成する層のうち少なくとも1層が、スチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体、スチレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体またはスチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体を含有することを特徴とする(1)に記載のウエハ貼着用粘着シート、
(3)前記基材フィルムを構成する層のうち少なくとも1層が、スチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体、スチレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体またはスチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体とポリプロピレンとの混合物からなることを特徴とする(2)記載のウエハ貼着用粘着シート、
(4)前記基材フィルムにおけるスチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体、スチレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体またはスチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体の含有量が10〜75質量%であることを特徴とする(2)または(3)記載のウエハ貼着用粘着シート、
(5)前記粘着剤層を形成する粘着剤がアクリル系粘着剤であることを特徴とする(1)〜(4)のいずれか1項に記載のウエハ貼着用粘着シート、および、
(6)前記(1)〜(5)のいずれか1項に記載のウエハ貼着用粘着シートにウエハを貼合し、該ウエハのダイシングを行うウエハの加工方法であって、前記基材フィルムまで切り込みを行わないことを特徴とするウエハの加工方法、
を提供するものである。
なお、上記「スチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体」は、「スチレン−水添イソプレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体」を意味する。
これらの樹脂からなる伸張可能なフィルムは、2種以上を配合または積層して組み合わせて用いることもできる。基材フィルムが複数層から構成される場合には、少なくとも1層はSEPS、SIS、SEBS又はSEEPSを含有する層であることが好ましく、前記少なくとも1層が、SEPS、SIS、SEBS又はSEEPSとポリプロピレンとの混合物からなることがさらに好ましい。
また、基材フィルム1が複数の層で構成される場合には、上記SEPS、SIS、SEBS又はSEEPS含有層の厚さは5〜100μmであることが好ましい。
該架橋剤としては、ベースポリマーに対応して、例えばイソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン樹脂などが挙げられる。さらに粘着剤には、本発明の目的が損なわれない範囲で、所望により、各種添加成分を含有させることができる。
このような光重合開始剤としては、具体的には、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどが挙げられる。
(粘着剤)
アクリル系ベースポリマー(2−エチルヘキシルアクリレート、メチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートからなる共重合体、重量平均分子量20万、ガラス転移点=−35℃)100質量部にポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン社製、商品名コロネートL)3質量部、光重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物としてテトラメチロールメタンテトラアクリレート10質量部、光重合開始剤としてα−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン1質量部を添加し、混合して得た。
スチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体(SEPS)(クラレ社製、「セプトンKF−2104」)とホモプロピレン(PP)(宇部興産社製、「J−105G」)を表1で示す配合比で混合し、2軸混練機で、約200℃でフィルム押し出し成形にて加工し、厚さ100μmの基材フィルムを製造した。
得られた基材フィルムの一方の表面に、上記の粘着剤を厚さ10μmに塗工して、粘着剤層を形成し、実施例1〜3、比較例1のウエハ貼着用粘着シートを製造した。
上記スチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体(SEPS)に代えて、次の共重合体をそれぞれ表1に示す配合比で混合した以外は、実施例1と同様に行いウエハ貼着用粘着シートを製造した。
スチレン−イソプレン−スチレン共重合体(SIS)
(クラレ社製、「ハイブラー5127」)
スチレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体(SEBS)
(クラレ社製、「セプトン8104」)
スチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体(SEEPS)
(クラレ社製、「セプトン4033」)
(損失係数)
動的粘弾性測定装置(レオメトリック社製、ARES)にて、フィルム測定ツールを用い、実施例および比較例のシートを幅7mm×長さ60mmの試験片に加工し、支持用治具(チャック)に固定した。測定温度23℃、測定周波数1〜100Hzで測定し、JIS G 0602「制振鋼板の振動減衰特性試験方法」に基づく中央加振法に準じて、損失係数を算出した。
また、上記の測定は、初期荷重200g、歪み1%で、回転力を引張力に変換する方法で引張荷重と変位を与えて行った。
(チッピング性)
ダイシング後、UV照射を実施し(500mJ/m2)、1枚のウエハからランダムに50チップを取り出し、チップ裏面(粘着面)の各辺における最大のチッピング値を顕微鏡(100〜200倍)で測定し、全値の平均を算出した。
2 粘着剤層
11 ホルダー
12 粘着シート
13 半導体ウエハ
14 素子小片(チップ)
15 実線矢印方向
16 エキスパンダー
17 点線矢印方向
Claims (6)
- 基材フィルムと、該基材フィルム上に形成された粘着剤層とからなる粘着シートであって、該粘着シートを幅7mmに加工した試験片を用いて、動的粘弾性測定装置によりフィルム状で測定した損失係数(23℃、周波数1〜100Hz)が0.15以上であることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート。
- 前記基材フィルムを構成する層のうち少なくとも1層が、スチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体、スチレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体またはスチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体を含有することを特徴とする請求項1に記載のウエハ貼着用粘着シート。
- 前記基材フィルムを構成する層のうち少なくとも1層が、スチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体、スチレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体またはスチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体とポリプロピレンとの混合物からなることを特徴とする請求項2記載のウエハ貼着用粘着シート。
- 前記基材フィルムにおけるスチレン−水添イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体、スチレン−水添ブタジエン−スチレン共重合体またはスチレン−水添イソプレン/ブタジエン−スチレン共重合体の含有量が10〜75質量%であることを特徴とする請求項2または請求項3記載のウエハ貼着用粘着シート。
- 前記粘着剤層を形成する粘着剤がアクリル系粘着剤であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のウエハ貼着用粘着シート。
- 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のウエハ貼着用粘着シートにウエハを貼合し、該ウエハのダイシングを行うウエハの加工方法であって、前記基材フィルムまで切り込みを行わないことを特徴とするウエハの加工方法。
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