JP2009170526A - 部品搬送装置、該部品搬送装置を備えた部品実装装置、前記部品搬送装置を備えた部品検査装置および部品搬送装置の異常検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】認識される可動子の位置にずれが生じた場合に速やかにこれを検出し、電子部品の搭載に悪影響を及ぼすことを防止する。
【解決手段】本発明の部品搬送装置は、ヘッドに設けられた可動子と、ノズル部材と、一定間隔毎の位置を示す位置信号情報、および、所定の位置に記録され、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記可動子の位置を示すリニアスケールと、該リニアスケールに記録された情報を検出するセンサと、該センサによって検出された情報に基づいて前記可動子の駆動を制御する制御部とを備えている。とくに、前記制御部は、前記ヘッド動作中に、前記センサが前記原点信号情報読み取り位置を通過するように前記可動子を昇降させ、前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する。
【選択図】図６

Description

本発明は、部品搬送装置、該部品搬送装置を備えた部品実装装置、前記部品搬送装置を備えた部品検査装置および部品搬送装置の異常検出方法に関する。

従来、部品実装装置などのヘッドユニット（部品搬送装置の一部）には、ノズル部材等を昇降させるための駆動機構としてリニアモータが備えられている（特許文献１参照）。リニアモータには、固定子と、その固定子に沿って直線的に往復移動する可動子とが備えられている。このようなリニアモータにおいては、可動子または固定子の一方に設けられた電磁石に電流を供給し、他方に設けられた永久磁石との間に適切な駆動力を発生させて、可動子を推進させる。ノズル部材は、可動子と一体に取り付けられ、可動子とともに昇降する。

また、可動子の位置は、リニアモータに取り付けられたリニアスケールとセンサによってその移動量が検出され、検出された移動量に基づいて特定される。そして可動子を所望の位置に移動させることによって、可動子に取り付けられたノズル部材の先端の高さが調整される。
特開２００６−１８０６４５号公報

ところが、上記従来の技術では、実装動作中に、可動子、リニアスケールまたはセンサなどの位置関係にずれが生じると、可動子の位置を誤って認識してしまうという問題がある。このような問題が生じると、可動子に取り付けられたノズル部材の昇降が適切に行われず、電子部品の吸着や装着に悪影響を及ぼす。

本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、認識される可動子の位置にずれが生じた場合に速やかにこれを検出し、電子部品の搭載に悪影響を及ぼすことを防止することができる部品搬送装置、該部品搬送装置を備えた部品実装装置、前記部品搬送装置を備えた部品検査装置および部品搬送装置の異常検出方法を提供することを目的としている。

本発明の部品搬送装置は、部品を高さ方向の所望の位置で保持するヘッドが備えられ、前記ヘッドが部品供給部から部品を吸着して所定の目的位置に前記部品を搬送する部品搬送装置であって、前記ヘッドに設けられた上下方向に往復移動する可動子と、該可動子に一体に取り付けられ、前記可動子の移動とともに昇降し、前記部品をその先端に保持するノズル部材と、一定間隔毎の位置を示す位置信号情報、および、所定の位置に記録され、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記可動子の位置を示すリニアスケールと、該リニアスケールに記録された情報を検出するセンサと、該センサによって検出された情報に基づいて前記可動子の駆動を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記ヘッド動作中に、前記センサが前記原点信号情報読み取り位置を通過するように前記可動子を昇降させ、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するようになっていることを特徴とする。

この発明によれば、部品搬送の作業途中において、ヘッド動作中に、センサが原点信号情報読み取り位置を通過するように可動子を昇降させ、センサで、原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置を得る。そして、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較し、可動子、センサまたはリニアスケールなどの位置関係にずれが生じたか否かの判定を行う。このように、部品搬送の作業途中で幾度も原点信号情報を読み取り、可動子、センサまたはリニアスケールなどの位置関係にずれが生じたか否かの判定を行うことで、認識される可動子の位置にずれが生じた場合に速やかにこれを検出し、電子部品の搭載に悪影響を及ぼすことを防止することができる。

また、前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置で部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲内に、前記原点信号情報が記録されている場合において、前記制御部は、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、前記ノズル部材の前記部品の吸着または離脱のための昇降時に行うことが好ましい。

また、前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置で部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲外に、前記原点信号位置が記録されている場合において、前記制御部は、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、繰り返し行われる前記ノズル部材による前記部品の搬送作業の間に行うことが好ましい。

この発明によれば、ノズル部材が前記部品の吸着または目的位置で部品の離脱を行うための昇降時に、リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲内に原点信号情報が記録されている場合と、ノズル部材が前記部品の吸着または目的位置で部品の離脱を行うための昇降時に、リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲外に原点信号情報が記録されている場合とで異なるタイミングで原点信号情報の再チェックを行うことによって、リニアスケールに記録された原点信号情報が１つだけであっても、部品搬送投装置の異常の有無を速やかに検知することができる。

本発明の部品実装装置は、上記のいずれかに記載の部品搬送装置を備え、前記ヘッドにより部品供給部と搬入されたプリント基板上の所定の位置とにわたって前記部品が搬送されることを特徴とする。

本発明の部品検査装置は、上記のいずれかに記載の部品搬送装置を備え、前記ヘッドにより部品供給部とテストユニットとにわたって前記部品が搬送されることを特徴とする。

本発明の部品搬送装置の異常検出方法は、部品を高さ方向の所望の位置で保持するヘッドが備えられ、前記ヘッドが部品供給部から部品を吸着して所定の目的位置に前記部品を搬送し、前記ヘッドに設けられた上下方向に往復移動する可動子と、該可動子に一体に取り付けられ、前記可動子の移動とともに昇降し、前記部品をその先端に保持するノズル部材と、一定間隔毎の位置を示す位置信号情報、および、所定の位置に記録され、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記可動子の位置を示すリニアスケールと、該リニアスケールに記録された情報を検出するセンサと、該センサによって検出された情報に基づいて前記可動子の駆動を制御する制御部とを備えた部品搬送装置の異常検出方法であって、前記ヘッド動作中に、前記センサが前記原点信号情報読み取り位置を通過するように前記可動子を昇降させ、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するステップを含むことを特徴とする。

この発明によれば、部品搬送の作業途中において、ヘッド動作中に、センサが原点信号情報読み取り位置を通過するように可動子を昇降させ、センサで、原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置を得る。そして、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較し、可動子、センサまたはリニアスケールなどの位置関係にずれが生じたか否かの判定を行う。このように、部品搬送の作業途中で幾度も原点信号情報を読み取り、可動子、センサまたはリニアスケールなどの位置関係にずれが生じたか否かの判定を行うことで、認識される可動子の位置にずれが生じた場合に速やかにこれを検出し、電子部品の搭載に悪影響を及ぼすことを防止することができる。

また、前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置での部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲内に、前記原点信号情報が記録されている場合において、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、前記ノズル部材の前記部品の吸着または離脱のための昇降時に行うことが好ましい。

また、前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置での部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲外に、前記原点信号位置が記録されている場合において、前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、繰り返し行われる前記ノズル部材による前記部品の搬送作業の間に行うことが好ましい。

この発明によれば、ノズル部材が前記部品の吸着または目的位置での部品の離脱を行うための昇降時に、リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲内に原点信号情報が記録されている場合と、ノズル部材が前記部品の吸着または目的位置での部品の離脱を行うための昇降時に、リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲外に原点信号情報が記録されている場合とで異なるタイミングで原点信号情報の再チェックを行うことによって、リニアスケールに記録された原点信号情報が１つだけであっても、部品搬送投装置の異常の有無を速やかに検知することができる。

また、前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するステップの後に、前記原点信号情報が読み取られた位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とが相違する場合に、前記部品搬送装置の駆動を停止させるステップを含むことが好ましい。

この発明によれば、原点信号情報が読み取られた位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とが相違する場合に、部品搬送装置の駆動を停止させるので、速やかに部品搬送装置の異常を検知することができる。

また、前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するステップの後に、前記原点信号情報が読み取られた位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とが相違する場合に、ずれ量を算出し、前記リニアセンサから読み取られる情報から認識される位置を、前記ずれ量によって補正するステップを含むことが好ましい。

この発明によれば、原点信号情報が読み取られた位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とが相違する場合に、これらの原点位置のずれ量を算出し、原点信号情報が読み取られた位置における位置信号情報から認識される原点位置に、算出したずれ量を加算して可動子の位置を特定するので、部品搬送装置の可動子、リニアスケール、センサなどの位置関係に異常が生じても、精度を大きく低下させることなく、部品搬送の動作を続行することができる。

本発明によれば、認識される可動子の位置にずれが生じた場合に速やかにこれを検出し、電子部品の搭載に悪影響を及ぼすことを防止することができる。

本発明の部品搬送装置は、部品を高さ方向の所望の位置で保持するヘッドが備えられ、前記ヘッドが部品供給部から部品を吸着して所定の目的位置に前記部品を搬送する部品搬送装置であって、前記ヘッドに設けられた上下方向に往復移動する可動子と、該可動子に一体に取り付けられ、前記可動子の移動とともに昇降し、前記部品をその先端に保持するノズル部材と、一定間隔毎の位置を示す位置信号情報、および、所定の位置に記録され、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記可動子の位置を示すリニアスケールと、該リニアスケールに記録された情報を検出するセンサと、該センサによって検出された情報に基づいて前記可動子の駆動を制御する制御部とを備えている。とくに、前記制御部は、前記ヘッド動作中に、前記センサが前記原点信号情報読み取り位置を通過するように前記可動子を昇降させ、前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する。

以下で、本発明の部品搬送装置、該部品搬送装置を備えた部品実装装置、前記部品搬送装置を備えた部品検査装置および部品搬送装置の異常検出方法について、図面を用いて詳細に説明する。

ここで、本明細書中において、部品搬送装置とは、ヘッドユニットおよび該ヘッドユニットを水平方向に移動させるための機構を含む概念である。

（実施の形態１）
図１は、本発明に係る部品搬送装置が適用される部品実装装置１０００の概略構成を示す平面図である。なお、本実施の形態では、使用する図面に、各図の方向関係を明確にするためのＸＹＺ直角座標軸を付して説明する。

図１に示されるように、部品実装装置１０００の基台４０上には、基板搬送機構としてコンベア４１が配置されており、このコンベア４１によりプリント基板Ｐが図１の紙面右側から左側に搬送されて所定の作業位置（図１に示されるプリント基板Ｐの位置）に搬入されるようになっている。作業位置の下方領域には、実装作業中にプリント基板Ｐをバックアップピンにより支持する基板支持装置４２が配置されている。

コンベア４１の両側（図１では上下両側）にはそれぞれフィーダ設置領域４３が設けられている。各フィーダ設置領域４３には、テープフィーダ４３ａなどの部品供給装置がコンベア４１に沿って並列に配置されている。各テープフィーダ４３ａは、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、抵抗、コンデンサなどの小片状のチップ部品を所定間隔で収納、保持したテープが巻回されたリールを保持している。このリールから前記テープを繰り出すことによりフィーダ先端の部品供給位置に部品を供給する。また、基台４０の上方には、部品実装用のヘッドユニット１００が設けられ、ヘッドユニット１００により部品をピックアップさせるように構成されている。

ヘッドユニット１００は、テープフィーダ４３ａから部品を吸着してプリント基板Ｐ上に搬送すると共に、プリント基板Ｐ上の所定の位置に実装するものである。ヘッドユニット１００は、所定領域内でＸ軸方向（コンベア１２によるプリント基板Ｐの搬送方向）および水平面上でこれと直交するＹ軸方向にそれぞれ移動可能とされている。すなわち、ヘッドユニット１００は、Ｘ軸方向に延びる支持部材４４に移動可能に支持されている。また、支持部材４４は、その両端部がＹ軸方向に延びる固定レール４５に支持され、この固定レール４５に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。そして、Ｘ軸サーボモータ４６によりボールねじ軸４７を介してヘッドユニット１００がＸ軸方向に駆動される一方、Ｙ軸サーボモータ４８によりボールねじ軸４９を介して支持部材４４がＹ軸方向に駆動されるようになっている。

また、基台４０上には、図１に示されるように、ヘッドユニット１００の各ヘッドＡにに吸着された部品を撮像するための部品撮像ユニット５０が設けられている。部品撮像ユニット５０は、エリアカメラおよび照明装置などから構成されており、基台４０上に上向きの姿勢で固定されている。これにより、部品吸着後、ヘッドユニット１００が部品撮像ユニット５０の上方に配置されると、各ヘッドＡによって吸着された電子部品を部品撮像ユニット５０で撮像可能となっている。

図２は、リニアモータ２を使用したヘッドユニット１００を説明するためのヘッドユニット１００の正面図である。本実施の形態のリニアモータ２は、図２に示されるように、部品実装装置などのヘッドユニット１００のヘッドＡに用いられる。

ヘッドユニット１００は、電子部品をフィーダ設置領域４３から吸着し、吸着した電子部品を実装機上に搬入されたプリント基板Ｐ上の所定の位置まで運び、搭載するためのものである。ヘッドユニット１００は、１回の往復で複数の電子部品を搬送するために、複数のヘッドＡを備えている。本実施の形態では、合計１０個のヘッドＡがＸ軸方向に列状に配置されている。

また、ヘッドユニット１００には、さらに基板撮像ユニット１００ａが搭載されている。この基板撮像ユニット１００ａは、ＣＣＤ等の撮像素子を持つエリアカメラおよび照明装置などからなる。そして、基板撮像ユニット１００ａは、ヘッドユニット１００に対して下向きの姿勢で固定されており、作業位置に搬入されるプリント基板Ｐ上の各種マークを撮像可能となっている。

図３は、ヘッドユニット１００に用いられるヘッドＡを説明するための斜視図である。図４は、リニアモータ２の可動子２４および可動子２４に取り付けられたノズル部材３の動きを説明するための側面図であり、（ａ）はノズル部材３が上方にある状態を示し、（ｂ）はノズル部材３が下方にある状態を示す。

各ヘッドＡは、図３に示されるように、電子部品をその先端に吸着した状態で保持するノズル部材３と、ノズル部材３を昇降させるための昇降駆動機構であるリニアモータ２とを備えている。

ノズル部材３は、駆動シャフト３１と、駆動シャフト３１の先端に着脱可能に備えられた吸着ノズル３２とを含む。

ノズル部材３は、駆動シャフト３１の内部通路および切換弁（図示しない）などを介して負圧発生装置に接続されており、部品吸着時には、吸着ノズル３２の先端に前記負圧発生装置から負圧吸引力が与えられることにより、部品の吸着、保持が可能となっている。ノズル部材３は、ヘッドユニット１００に対して昇降（Ｚ軸方向の移動）およびノズル中心軸回りの回転が可能とされ、昇降駆動機構（後述のリニアモータ２）および回転駆動機構によりそれぞれ駆動されるようになっている。これらの駆動機構のうち、昇降駆動機構は各ヘッドＡに各々組み込まれている。

リニアモータ２は、図３に示されるように、モータ制御部（制御部）２０（図５参照）と、フレーム部材２１と、可動子２４と、固定子２５と、リニアスケール２７と、センサ２２と、リターンスプリング２８とを含む。

モータ制御部２０は、後述の固定子２５の電磁石２５ａに供給する電流を制御するための電流制御部（図示しない）と、可動子２４の移動量を計測するための位置信号検出部（図示しない）と、可動子２４の移動量を計測するための原点位置を検出するための原点信号検出部（図示しない）とを備えている。

フレーム部材２１は、可動子２４、固定子２５、リニアスケール２７、センサ２２およびリターンスプリング２８を一体に収容、保持するための部材である。フレーム部材２１には、可動子２４、固定子２５などを収容するための空間である収容部２１ａと、ノズル部材３を可動子２４に一体に取り付けた状態で上下方向に移動させるための開口であるノズル用開口部２１ｂとが形成されている。フレーム部材２１には、可動子２４を案内するためのリニアガイド２６が上下方向に延びるような姿勢で取り付けられ、また、リニアガイド２６の両端を挟むように、フレーム部材２１の上方および下方に互いに向かい合うようにストッパ２３が１対設けられている。

可動子２４は、フレーム部材２１に取り付けられたリニアガイド２６上に、リニアガイド２６の長手方向に移動可能に取り付けられている。可動子２４は、断面略コ字形の縦長枠状に形成されている。可動子２４には、ノズル部材３が取り付けられる。また、可動子２４には、複数の永久磁石２４ａが取り付けられている。

永久磁石２４ａは、可動子２４に対して、可動子２４の移動方向に沿って、Ｎ極とＳ極が交互に現れるように所定の間隔で１列に配設されている。そして、この永久磁石２４ａが可動子２４の側面に固定されるとともに、ノズル部材３が、可動子２４の下端部側面に、取付アーム２９を介して取り付けられている。

そして、リニアガイド２６に摺動可能に係合するスライダ２６ａに、上記可動子２４がボルト等で固定されることにより、可動子２４の一方の端面がフレーム部材２１の上部に設けられたストッパ２３に当接する位置から、可動子２４の他方の端面がフレーム部材２１の下部に設けられたストッパ２３に当接する位置までにわたり、可動子２４がリニアガイド２６に沿って移動可能となっている。

固定子２５は、櫛型のコアと、モータ駆動時に固定子両端の磁束形成を補う１対のサブティースと、コアに巻き付けられたコイルとを備えている。リニアモータ２の駆動時には、各コイルに、互いに位相が異なるｕ相、ｖ相、ｗ相のうちのいずれかの相の電流を供給することにより、各コイルの周りに所定の磁束を生じさせ、電磁石２５ａを得る。固定子２５は、その電磁石２５ａが、可動子２４に取り付けられた永久磁石２４ａと対向する位置に固定される。

リニアスケール２７は、可動子２４の側部に固定される。リニアスケール２７は、位置情報を磁気的に記録した磁気スケールである。具体的には、位置信号情報２７ａと、原点位置情報とが記録されている（図５参照）。位置信号情報２７ａは、微小な一定間隔を空けて、可動子２４の移動方向に沿うように記録されている。原点信号情報２７ｂは、基準点を示すものであり、リニアスケール２７の所定の位置に１箇所記録されている。後述のセンサ２２は、可動子２４の移動時に、可動子２４に固定されたリニアスケール２７の位置信号情報２７ａを読み取る。そして、モータ制御部２０で、読み取ったパルスの数をカウントすることで、可動子２４の移動量を把握する。また、センサ２２は、可動子２４の移動時にリニアスケール２７の所定の位置に記録された原点信号情報２７ｂを読み取る。従来、原点信号情報２７ｂは、センサ２２によって、基準位置を設定するためにヘッドユニット１００の駆動開始時に１度読み取られ、モータ制御部２０が、原点信号情報２７ｂを読み取った位置を可動子２４の基準点（すなわち可動子２４の移動量が０の位置）に設定して、可動子２４の移動量を計測する。本実施の形態では、原点信号情報２７ｂを、ヘッドユニット１００の作業時に幾度も検出し、駆動開始時に原点信号情報２７ｂが読み取られたときの、位置信号情報２７ａのパルスのカウント値と、その後原点信号情報２７ｂが読み取られたときの、位置信号情報２７ａのパルスのカウント値とが一致しているか否かを判定している。

ノズル部材３の先端部３ａは、図４（ａ）のように、可動子２４がフレーム部材２１の上部に設けられたストッパ２３に当接した状態で、最上位置Ｌ１に位置する。また、ノズル部材３の先端部３ａは、図４（ｂ）のように、可動子２４がフレーム部材２１の下部に設けられたストッパ２３に当接した状態で、最下位置Ｌ２に位置する。このように、ノズル部材３の先端部３ａは、可動子２４の上下方向に所定の距離だけ移動可能になっている。

さらに、ノズル部材３の先端部３ａは、その作業内容に応じて、高さ方向に異なる範囲に位置する。具体的には、電子部品を吸着し、電子部品を吸着した状態でヘッドユニット１００の移動に伴って水平方向に移動し、電子部品をプリント配線板上の所定の位置に搭載するという電子部品の運搬作業を行う場合には、ノズル部材３は、昇降可能な範囲の中の所定高さ位置から最下位置Ｌ２までの実装動作範囲Ｉ内を移動する。また、電子部品の運搬作業を伴わずにヘッドユニット１００の移動のみを行う場合には、ノズル部材３は、上記所定高さ位置もしくはこれより上方の非実装動作範囲ＩＩ内を移動する。したがって、可動子２４を介してノズル部材３と一体に設けられたリニアスケール２７についても、電子部品ＥＣの吸着、搬送および搭載を行う場合には、リニアスケール２７における実装動作範囲Ｉ’内に記録された情報がセンサ２２で読み取られ、電子部品ＥＣの運搬作業を伴わずに、ヘッドユニット１００の移動のみを行う場合には、リニアスケール２７における非実装動作範囲ＩＩ’内に記録された情報がセンサ２２で読み取られることになる（図５参照）。

さらに、本実施の形態において、原点信号情報２７ｂは、リニアスケール２７における非実装動作範囲ＩＩ’内（ノズル部材３が電子部品ＥＣの吸着または装着を行う昇降時の、リニアスケール２７に記録された情報の読み取り範囲外）に記録されている（図５参照）。

センサ２２は、フレーム部材２１上の、可動子２４に固定されたリニアスケール２７と向かい合うような位置に固定される。センサ２２は、磁気記録情報を読み取り可能なＭＲセンサである。

本実施の形態では、磁気式のリニアスケールとリニアセンサを用いているが、光学式のリニアスケールとリニアセンサを用いてもよい。

リターンスプリング２８は、フレーム部材２１の上部と可動子２４の下部の取付アーム２９との間に取り付けられたスプリングからなり、可動子２４を上方に付勢している。そして、可動子２４が下方へ移動する場合には、リターンスプリング２８の付勢力に逆らってノズル部材３が下降し、可動子２４が上方へ移動する場合には、リターンスプリング２８の付勢力を受けてノズル部材３が上昇する。

固定子２５のコイルに所定の電流が供給されると、コイルの周りに磁束が発生するとともに、この磁束と、可動子２４の永久磁石２４ａとの相互作用により、可動子２４を固定子２５に対して相対移動させる推進力が発生する。可動子２４は、図４（ａ）および図４（ｂ）に示されるように、１対のストッパ２３の間を、固定子２５に沿って直線的に上下方向に往復移動する。このような可動子２４の駆動により、可動子２４に取り付けられているノズル部材３が昇降する。

以下で、本実施の形態の部品搬送装置の異常検出方法について、詳しく説明する。本実施の形態の部品搬送装置の異常検出方法は、大きく分けて、（１）センサ２２で、原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値を第１の原点位置情報（正規の原点位置）として保存するステップと、（２）電子部品ＥＣの吸着を行うステップと、（３）部品認識を行うステップと、（４）電子部品ＥＣをプリント基板Ｐの所定の位置に搭載するステップと、（５）原点信号情報２７ｂの再チェックを行うか否かを判定するステップと、（６）センサ２２で、原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａパルスのカウント値である第２の原点位置情報（読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置）と保存された第１の原点位置情報とを比較するステップとを含む。

図５は、リニアモータ２を説明するための概念図である。図６は、本実施の形態のヘッドユニット１００の動きを説明するためのフローチャートである。図７は、本実施の形態の原点信号の再チェックのフローチャートである。図８（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態の原点信号の再チェック時における、ノズル部材３のノズル先端３ａの位置について説明するための図である。

（１）センサ２２で、原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値を第１の原点位置情報として保存するステップ（ステップＳ１）
図６のフローチャートの処理がスタートすると、まず、ステップＳ１で原点信号情報２７ｂのチェックが行われる。具体的には、可動子２４を１対のストッパ２３のうちフレーム部材２１の上部に設けられた一方のストッパ２３に当接する位置まで移動させる。そして、可動子２４を一方のストッパ２３から離れる方向へ、すなわち他方のストッパ２３へ向けて推進させる。このとき、センサ２２で、可動子２４に固定されたリニアスケール２７に等間隔に記録された位置信号情報２７ａを読み取り、モータ制御部２０で読み取った位置信号情報２７ａのパルスの数をカウントするとともに、センサ２２で、リニアスケール２７の所定の位置に一箇所記録されている原点信号情報２７ｂを読み取る。

そして、モータ制御部２０は、原点信号情報２７ｂを読み取った位置を、可動子２４の移動量を計測する際の原点位置に決定する。すなわち、可動子２４が原点信号情報２７ｂの位置にある状態において、可動子２４の移動量がゼロであると認識される。

さらに、モータ制御部２０には、原点信号情報２７ｂを読み取ったときの、位置信号情報２７ａのパルスのカウント値が、第１の原点位置情報として保存される。この第１の原点位置情報は、可動子２４、センサ２２またはリニアスケール２７などの位置関係にずれが生じたか否かを検知するために、後述の第２の原点位置情報と比較される。

（２）電子部品ＥＣの吸着を行うステップ（ステップＳ２〜ステップＳ５）
つぎに、ステップＳ２〜ステップＳ５で電子部品ＥＣの吸着を行う。具体的には、ヘッドユニット１００は、部品実装装置１０００の基台４０上に設けられたフィーダ設置領域４３上まで移動し、それぞれのヘッドＡが、そのノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ下降させ（ステップＳ３）、ノズル先端３ａに、所定のテープフィーダ４３ａから所定の電子部品ＥＣを吸着させる（ステップＳ４）。そして、電子部品ＥＣをノズル先端３ａに吸着させた状態で、ノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ上昇させる（ステップＳ５）。

（３）部品認識を行うステップ（ステップＳ６）
電子部品ＥＣの吸着動作を終えると、ヘッドユニット１００は、部品実装装置１０００の基台４０に設けられた部品撮像ユニット５０上まで水平移動する。そして、部品撮像ユニット５０では、各ヘッドＡのノズル先端３ａに吸着された電子部品ＥＣを撮像することによって、各ヘッドＡのノズル先端３ａに吸着された電子部品ＥＣが、所定の姿勢で吸着されているか否かが判断される。そして、電子部品ＥＣが所定の姿勢で吸着されていない場合には、プリント基板Ｐへの搭載時の補正量が算出される。

（４）電子部品ＥＣをプリント基板Ｐの所定の位置に搭載するステップ（ステップＳ７〜ステップＳ１１）
つぎに、ヘッドユニット１０００は、基台４０上の所定の位置に搬入されたプリント基板Ｐ上の部品装着位置まで水平移動し（ステップＳ７）、電子部品ＥＣの装着動作を開始する（ステップＳ８）。具体的には、それぞれのヘッドＡが、ノズル先端３ａに電子部品ＥＣが吸着された状態のノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ下降させ（ステップＳ９）、プリント基板Ｐ上の所定の位置に電子部品ＥＣを搭載する（ステップＳ１０）。そして、電子部品ＥＣをノズル先端３ａから放した状態で、ノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ上昇させる（ステップＳ１１）。

（５）原点信号情報の再チェックを行うか否かを判定するステップ（ステップＳ１２〜Ｓ１３）
プリント基板Ｐ上の所定の位置に電子部品ＥＣを搭載し終えると、ヘッドユニット１００は、基台４０上に設けられたフィーダ設置領域４３まで水平移動する（ステップ１２）。

そして、原点信号情報の再チェックを行うか否かを判定する。具体的には、ヘッドユニット１００の電子部品ＥＣの搬送往復回数を記憶し、これを基に、原点信号情報の再チェックを行うか否かを判定してもよい。たとえば、往復回数３回ごとに原点信号情報の再チェックを行ってもよいし、往復回数５回ごとに原点信号情報の再チェックを行ってもよい。このように、所定の間隔を空けて原点信号情報２７ｂの再チェックを行うことによって、実装動作に要する時間が延びるのを回避することができる。

原点信号情報の再チェックを行うと判定された場合には、ステップＳ１４で原点信号情報２７ｂの再チェックが行われ、原点信号情報２７ｂの再チェックを行わないと判定された場合には、ステップＳ２に戻ってフィーダ設置領域４３で、電子部品ＥＣの吸着動作が開始される。

（６）センサ２２で、原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値である第２の原点位置情報と保存された第１の原点位置情報とを比較するステップ（ステップＳ１４〜ステップＳ１５）
ステップ１３で原点信号情報２７ｂの再チェックを行うと判定された場合には、ステップＳ１４でリニアモータ２の可動子２４をＺ軸上方への移動が開始され、ステップＳ１５で原点信号情報２７ｂの再チェックが行われる。具体的には、図７に示されるように、ステップＳ１５で、原点信号情報２７ｂの再チェックの処理が開始されると（ステップＳＳ１０）、まず、リニアモータ２の可動子２４を原点信号情報２７ｂを検出する位置よりもＺ軸上方位置に移動させ、当該位置からＺ軸下方へ推進させる。そして、このとき、センサ２２で、可動子２４に固定されたリニアスケール２７に等間隔に記録された位置信号情報２７ａを再び読み取り、モータ制御部２０で、センサ２２が読み取った位置信号情報２７のパルスの数を再びカウントするとともに、センサ２２で、リニアスケール２７の所定の位置に一箇所記録されている原点信号情報２７ｂを再び読み取る。そして、モータ制御部２０には、原点信号情報２７ｂを読み取ったときの、位置信号情報２７ａのパルスのカウント値が、第２の原点位置情報として保存される（ステップＳＳ１１）。

つぎに、ステップＳ１の初回原点信号チェックにおいて、保存された第１の原点位置情報と、ステップＳ１５のステップＳＳ１１において保存された第２の原点位置情報とを比較する（ステップＳＳ１２）。そして、第１の原点位置情報と第２の原点位置情報とが一致している場合には、可動子２４、リニアスケール２７またはセンサ２２などに位置ずれが発生していないと判定し、第１の原点位置情報と第２の原点位置情報とが一致してない場合には、可動子２４、リニアスケール２７またはセンサ２２などに位置ずれが発生していると判定する。

位置ずれが発生していないと判定された場合には、ステップＳ２へ戻り電子部品ＥＣの吸着動作を開始し（ステップＳＳ１３’）、位置ずれが発生していると判定された場合には、部品実装装置の実装動作を停止させる（ステップＳＳ１３）。

ステップＳ１５（すなわち、ステップＳＳ１０〜ＳＳ１２）の一連の動作は、図８（ａ）、図８（ｂ）および図８（ｃ）に示されるように、ノズル先端３ａがＺ方向（高さ方向）の所定範囲内で行われる。すなわち、ノズル先端３ａが、非実装動作範囲ＩＩ内に位置した状態で行われる。これは、リニアスケール２７に記録された原点信号情報２７ｂがリニアスケール２７の非実装動作範囲ＩＩ’内に記録されているためである。したがって、実施の形態１では、繰り返し行われるノズル部材３による電子部品ＥＣの搭載作業の間に、位置ずれが発生しているか否かが判定される。

実施の形態１によれば、まず、センサ２２で原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値を第１の原点位置情報として保存する。その後、ヘッドユニット１００の作業途中において、センサ２２で、原点信号情報２７ｂを再度読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値である第２の原点位置情報を得る。そして、第１の原点位置情報と第２の原点位置情報とを比較し、両者が一致する場合には、リニアモータの駆動を続行させ、両者が相違する場合には、リニアモータ２の駆動を停止させる。このように、ヘッドユニット１００の作業途中で幾度も原点信号情報２７ｂを読み取り、可動子２４、センサ２２またはリニアスケール２７などの位置関係にずれが生じたか否かの判定を行うことで、異常が生じている場合には速やかに部品搬送装置を停止させ、可動子２４の上下方向の位置を誤って認識するのを防ぐことができる。したがって、電子部品ＥＣをプリント基板Ｐ上に搭載する際に、ノズル部材３のノズル先端３ａで過度に電子部品ＥＣを押圧することによる電子部品の破損を避けることができる。

（実施の形態２）
実施の形態２の部品実装装置、ヘッドユニットおよびヘッドの構成については、原点信号情報２７ｂが、リニアスケール２７の実装動作範囲Ｉ’内（ノズル部材３が電子部品ＥＣの吸着または装着を行う昇降時の、リニアスケール２７に記録された情報の読み取り範囲内）に記録されていること以外は、実施の形態１と同様であるので、ここでの説明を省略する。

図９は、実施の形態２のヘッドユニットの動きを説明するためのフローチャートである。図１０（ａ）〜（ｅ）および図１１（ａ）〜（ｅ）は、実施の形態２の原点信号情報２７ｂのチェックを説明するための図である。

実施の形態２の部品搬送装置の異常検出方法は、（１）センサ２２で、原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値を正規の原点位置として保存するステップと、（２）電子部品ＥＣの吸着を行うステップと、（３）部品認識を行うステップと、（４）電子部品ＥＣをプリント基板Ｐの所定の位置に装着するステップとを含み、（２）および（４）のステップにおいて、センサ２２で、原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値である原点位置と保存された正規の原点位置とを比較する。

すなわち、電子部品ＥＣをフィーダ設置領域４３から吸着するためにノズル部材３を昇降させる時（図１０（ａ）〜図１０（ｅ）参照）、および、電子部品ＥＣをプリント基板Ｐ上に搭載するためにノズル部材３を昇降させる時（図１１（ａ）〜図１１（ｅ）参照）に、ヘッドユニット１００の異常の有無を検知している（図９参照）。なお、上記（１）のステップは、図９のフローチャートでは省略するが、たとえば、前述の図６中のステップＳ１に相当する処理で予め原点位置を調べ、保存しておくようにすればよい。

図９に示されるように、ヘッドユニット１００は、部品実装装置１０００の基台４０上に設けられたフィーダ設置領域４３上まで移動し（ステップＳ１’）、それぞれのヘッドＡが、そのノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ下降させる（ステップＳ２’）。このとき、ノズル部材３の下降途中でリニアスケール２７の実装動作範囲ＩＩ’に記録された原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値である原点位置と保存された正規の原点位置とを比較し、原点信号チェックを行う（ステップＳ３’）。そして、正規の原点位置と再チェック時に特定された原点位置とを比較し、両者が一致する場合には、リニアモータ２の駆動を続行させ、両者が相違する場合には、リニアモータ２の駆動を停止させる。リニアモータ２の駆動を続行させる場合には、ノズル部材３をさらに下降させて、ノズル先端３ａに、所定のテープフィーダ４３ａから所定の電子部品ＥＣを吸着させる（ステップＳ４’）。そして、電子部品ＥＣをノズル先端３ａに吸着させた状態で、ノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ上昇させる（ステップＳ５’）。

電子部品ＥＣの吸着動作を終えると、ヘッドユニット１００は、部品実装装置１０００の基台４０に設けられた部品撮像ユニット５０上まで水平移動する（ステップＳ６’）。そして、部品撮像ユニット５０では、各ヘッドＡのノズル先端３ａに吸着された電子部品ＥＣを撮像することによって、各ヘッドＡのノズル先端３ａに吸着された電子部品ＥＣが、所定の姿勢で吸着されているか否かが判断される。そして、電子部品ＥＣが所定の姿勢で吸着されていない場合には、プリント基板Ｐへの搭載時の補正量が算出される。

つぎに、ヘッドユニット１０００は、基台４０上の所定の位置に搬入されたプリント基板Ｐ上の部品装着位置まで水平移動し（ステップＳ８’）、電子部品ＥＣの装着動作を開始する。具体的には、それぞれのヘッドＡが、ノズル先端３ａに電子部品ＥＣが吸着された状態のノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ下降させる（ステップＳ９’）。このとき、ノズル部材３の下降途中でリニアスケール２７の実装動作範囲ＩＩ’に記録された原点信号情報２７ｂを読み取り、読み取った位置における位置信号情報２７ａのパルスのカウント値である原点位置と保存された正規の原点位置とを比較し、原点信号チェックを行う（ステップＳ１０’）。そして、正規の原点位置と再チェック時に特定された原点位置とを比較し、両者が一致する場合には、リニアモータ２の駆動を続行させ、両者が相違する場合には、リニアモータ２の駆動を停止させる。リニアモータ２の駆動を続行させる場合には、ノズル部材３をさらに下降させて、プリント基板Ｐ上の所定の位置に電子部品ＥＣを搭載する（ステップＳ１１’）。そして、電子部品ＥＣをノズル先端３ａから放した状態で、ノズル部材３をＺ軸方向に所定の距離だけ上昇させ（ステップＳ１２’）、ヘッドユニット１００を再度、フィーダ設置領域４３まで移動させる（ステップＳ１３’）。

実施の形態２によれば、電子部品ＥＣの吸着時には、図１０（ｂ）および図１０（ｄ）に示されるように、電子部品ＥＣの搭載時には、図１１（ｂ）および図１１（ｄ）に示されるように、実装動作範囲Ｉの上端であって、非実装動作範囲ＩＩの下端である中間位置ＭＬから最下位置Ｌ２までの実装動作範囲Ｉ内において、原点信号情報２７ｂの再チェックが行われる。すなわち、電子部品ＥＣの吸着時および搭載時における原点信号情報２７ｂの再チェックは、ノズル先端３ａが中間位置ＭＬから最下位置Ｌ２付近まで下降するとき、およびノズル先端３ａが最下位置Ｌ２付近から中間位置ＭＬ付近まで上昇するときに行われる。そして、正規の原点位置と再チェック時に特定された原点位置とを比較し、両者が一致する場合には、リニアモータの駆動を続行させ、両者が相違する場合には、リニアモータ２の駆動を停止させる。このように、ヘッドユニット１００の作業途中で幾度も原点信号情報２７ｂを読み取り、可動子２４、センサ２２またはリニアスケール２７などの位置関係にずれが生じたか否かの判定を行うことで、異常が生じている場合には速やかに部品搬送装置を停止させ、可動子２４の上下方向の位置を誤って認識するのを防ぐことができる。したがって、電子部品ＥＣをプリント基板Ｐ上に搭載する際に、ノズル部材３のノズル先端３ａで過度に電子部品ＥＣを押圧することによる電子部品の破損を避けることができる。

このように、実施の形態１のように、リニアスケール２７の非実装動作範囲ＩＩ’内に原点信号情報２７ｂが記録されている場合と、実施の形態２のように、リニアスケール２７の実装動作範囲Ｉ’内に原点信号情報２７ｂが記録されている場合とで、異なるタイミングで原点信号情報２７ｂの再チェックを行うことによって、リニアスケール２７に記録された原点信号情報２７ｂが１つだけであっても、異常の有無を速やかに検知することができる。

なお、上記実施の形態では、原点信号情報の再チェックにおいて、位置ずれが発生していると判定された場合に、実装動作を停止させる形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１２に示されるように、原点信号情報の再チェックにおいて、位置ずれが発生していると判定された場合に、位置ずれのずれ量を算出し（ステップＳＳ２３）、現在位置にずれ量を加算し、現在位置を補正したうえで（ステップＳＳ２４）、次の動作（すなわち、電子部品の吸着動作）へ進む形態であってもよい。

また、上記実施の形態１では、ヘッドユニットの部品搬送往復回数を基に、原点信号情報の再チェックを行うか否かを判定する形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、原点信号情報の再チェックを毎回行う形態であってもよい。

また、上記実施の形態２では、電子部品ＥＣの吸着および装着時のノズル部材３の下降の際に原点信号情報２７ｂの再チェックを行う形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、電子部品の吸着時にのみ原点信号情報の再チェックを行ってもよいし、電子部品の装着時にのみ原点信号情報の再チェックを行ってもよい。また、ノズル部材の上昇時にのみ原点信号情報の再チェックを行ってもよい。

また、上記実施の形態では、部品実装装置に備えられた部品搬送装置の異常検出方法について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、本発明は、部品を保持可能な部品保持部材が搭載された移動可能なヘッドユニットを備え、部品保持部材に設けられた部品を吸着する吸着ノズルを有するノズル部材を昇降駆動することにより、部品供給部からの部品の取り出し、および所定の部品検査領域への部品の移動を行うように構成された部品検査装置についても適用可能である。あるいは、ディスペンサに本発明の部品搬送装置の異常検出方法を適用してもよい。

また、上記実施の形態１では、第１の原点位置情報（正規の原点位置）を得るための初回原点信号チェックを部品搬送装置の駆動時に毎回行う形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１の原点位置情報は、部品搬送装置、部品実装装置または部品検査装置の組み立て終了時に１度チェックし、部品搬送装置の駆動時に初回原点信号チェックを行わない形態であってもよい。

部品実装装置を説明するための平面図である。 部品実装装置のヘッドユニットを説明するための正面図である。 ヘッドユニットに取り付けられるヘッドを説明するための斜視図である。 リニアモータの可動子および可動子に取り付けられたノズル部材の動きを説明するための図であり、（ａ）はノズル部材が上方にある状態を示し、（ｂ）はノズル部材が下方にある状態を示す。 リニアモータを説明するための概念図である。 実施の形態１のヘッドユニットの動きを説明するためのフローチャートである。 実施の形態１の原点信号情報の再チェックのフローチャートである。 （ａ）〜（ｃ）は、実施の形態１の原点信号のチェック時におけるノズル部材のノズル先端の位置について説明するための図である。 実施の形態２のヘッドユニットの動きを説明するためのフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、実施の形態２の原点信号情報のチェックを説明するための図である。 （ａ）〜（ｅ）は、実施の形態２の原点信号情報のチェックを説明するための図である。 原点信号情報の再チェックの他の形態を示すフローチャートである。

符号の説明

２０ 制御部
２２ センサ
２４ 可動子
２７ リニアスケール
２７ａ 位置信号情報
２７ｂ 原点信号情報
３ ノズル部材
１０００ 部品実装装置
ＥＣ 電子部品（部品）
Ａ ヘッド

Claims (10)

1. 部品を高さ方向の所望の位置で保持するヘッドが備えられ、前記ヘッドが部品供給部から部品を吸着して所定の目的位置に前記部品を搬送する部品搬送装置であって、
   前記ヘッドに設けられた上下方向に往復移動する可動子と、
   該可動子に一体に取り付けられ、前記可動子の移動とともに昇降し、前記部品をその先端に保持するノズル部材と、
   一定間隔毎の位置を示す位置信号情報、および、所定の位置に記録され、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記可動子の位置を示すリニアスケールと、
   該リニアスケールに記録された情報を検出するセンサと、
   該センサによって検出された情報に基づいて前記可動子の駆動を制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記ヘッド動作中に、前記センサが前記原点信号情報読み取り位置を通過するように前記可動子を昇降させ、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するようになっていることを特徴とする部品搬送装置。
2. 前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置で部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲内に、前記原点信号情報が記録されている場合において、
   前記制御部は、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、前記ノズル部材の前記部品の吸着または離脱のための昇降時に行う請求項１記載の部品搬送装置。
3. 前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置で部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲外に、前記原点信号位置が記録されている場合において、
   前記制御部は、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、繰り返し行われる前記ノズル部材による前記部品の搬送作業の間に行う請求項１記載の部品搬送装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品搬送装置を備え、前記ヘッドにより部品供給部と搬入されたプリント基板上の所定の位置とにわたって前記部品が搬送される部品実装装置。
5. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品搬送装置を備え、前記ヘッドにより部品供給部とテストユニットとにわたって前記部品が搬送される部品検査装置。
6. 部品を高さ方向の所望の位置で保持するヘッドが備えられ、前記ヘッドが部品供給部から部品を吸着して所定の目的位置に前記部品を搬送し、前記ヘッドに設けられた上下方向に往復移動する可動子と、該可動子に一体に取り付けられ、前記可動子の移動とともに昇降し、前記部品をその先端に保持するノズル部材と、一定間隔毎の位置を示す位置信号情報、および、所定の位置に記録され、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記可動子の位置を示すリニアスケールと、該リニアスケールに記録された情報を検出するセンサと、該センサによって検出された情報に基づいて前記可動子の駆動を制御する制御部とを備えた部品搬送装置の異常検出方法であって、
   前記ヘッド動作中に、前記センサが前記原点信号情報読み取り位置を通過するように前記可動子を昇降させ、前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するステップを含むことを特徴とする部品搬送装置の異常検出方法。
7. 前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置での部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲内に、前記原点信号情報が記録されている場合において、
   前記センサで前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、前記ノズル部材の前記部品の吸着または離脱のための昇降時に行う請求項６記載の部品搬送装置の異常検出方法。
8. 前記ノズル部材が部品供給部での前記部品の吸着または目的位置での部品の離脱を行うための昇降時の、前記リニアスケールに記録された情報の読み取り範囲外に、前記原点信号位置が記録されている場合において、
   前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較する制御を、繰り返し行われる前記ノズル部材による前記部品の搬送作業の間に行う請求項６記載の部品搬送装置の異常検出方法。
9. 前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するステップの後に、
   前記原点信号情報が読み取られた位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とが相違する場合に、前記部品搬送装置の駆動を停止させるステップを含む請求項６〜８のいずれかに記載の部品搬送装置の異常検出方法。
10. 前記センサで、前記原点信号情報を読み取り、読み取った位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とを比較するステップの後に、
    前記原点信号情報が読み取られた位置における位置信号情報から認識される原点位置と正規の原点位置とが相違する場合に、ずれ量を算出し、前記リニアセンサから読み取られる情報から認識される位置を、前記ずれ量によって補正するステップを含む請求項６〜８のいずれかに記載の部品搬送装置の異常検出方法。

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