JP2009164297A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 入射光の波面に位相分布を与えて所定面に光強度分布を形成する計算機ホログラムであって、
   入射光の偏光状態を変化させる異方性媒質を含む複数の異方性セルと、
   入射光の偏光状態を変化させない等方性媒質を含む複数の等方性セルと、
   を有し、
   前記入射光の第１の方向の直線偏光成分が前記所定面に第１の光強度分布を形成し、
   前記入射光の前記第１の方向に直交する第２の方向の直線偏光成分が前記所定面に前記第１の光強度分布とは異なる第２の光強度分布を形成し、
   前記第１の光強度分布と前記第２の光強度分布とが重なり合う領域において、前記第１の方向の直線偏光成分の位相と前記第２の方向の直線偏光成分の位相とが等しくなるように、又は、πずれるように、前記複数の異方性セル及び前記複数の等方性セルの寸法及び配列が設定されていることを特徴とする計算機ホログラム。
2. 前記等方性媒質は、前記第１の方向の直線偏光成分に対する屈折率と前記第２の方向の直線偏光成分に対する屈折率との差が前記入射光の波長に対して０以上０．００１以下であることを特徴とする請求項１に記載の計算機ホログラム。
3. 前記入射光は、前記第１の方向の直線偏光成分と、前記第２の方向の直線偏光成分とを含む直線偏光であり、
   前記第１の光強度分布と前記第２の光強度分布とが重なり合う領域に光強度分布を形成する光は、前記第１の方向の直線偏光成分及び前記第２の方向の直線偏光成分を含む偏光であることを特徴とする請求項１又は２に記載の計算機ホログラム。
4. 前記第１の光強度分布と前記第２の光強度分布とが重なり合う領域は、前記第１の方向の直線偏光成分の位相と前記第２の方向の直線偏光成分の位相とが等しい等位相領域と、前記第１の方向の直線偏光成分の位相と前記第２の方向の直線偏光成分の位相とがπずれている反転位相領域とを含み、
   前記等位相領域に光強度分布を形成する直線偏光の偏光方向と前記反転位相領域に光強度分布を形成する直線偏光の偏光方向とが異なることを特徴とする請求項３に記載の計算機ホログラム。
5. 前記等位相領域に光強度分布を形成する直線偏光の偏光方向と前記入射光の偏光方向とが等しい、又は、前記等位相領域に光強度分布を形成する直線偏光の偏光方向と前記入射光の偏光方向とが形成する鋭角の間に前記第１の方向及び前記第２の方向が含まれないことを特徴とする請求項４に記載の計算機ホログラム。
6. 前記反転位相領域に光強度分布を形成する直線偏光の偏光方向と前記入射光の偏光方向とが垂直の関係にある、又は、前記反転位相領域に光強度分布を形成する直線偏光の偏光方向と前記入射光の偏光方向とが形成する鋭角の間に前記第１の方向及び前記第２の方向が含まれることを特徴とする請求項４に記載の計算機ホログラム。
7. 前記入射光は、前記第１の方向の直線偏光成分の振幅と前記第２の方向の直線偏光成分の振幅とが等しい直線偏光であることを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の計算機ホログラム。
8. 前記異方性媒質は、複屈折材料、又は、構造複屈折を生じる凹凸構造を含むことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の計算機ホログラム。
9. 入射光の波面に位相分布を与えて所定面に光強度分布を形成する計算機ホログラムを製造するためのデータをコンピュータを用いて生成する生成方法であって、
   前記所定面に形成するべき光強度分布を、第１の方向の直線偏光成分を含む第１の光強度分布と前記第１の方向に直交する第２の方向の直線偏光成分を含む第２の光強度分布とに分割して、前記第１の光強度分布の形状及び前記第２の光強度分布の形状を決定する第１の決定ステップと、
   前記入射光の偏光方向と前記所定面に形成するべき光強度分布の偏光方向との関係に応じて、前記第１の光強度分布の位相及び前記第２の光強度分布の位相を決定する第２の決定ステップと、
   前記第１の決定ステップで形状及び前記第２の決定ステップで位相が決定された前記第１の光強度分布を形成する計算機ホログラムを規定する第１のデータと、前記第１の決定ステップで形状及び前記第２の決定ステップで位相が決定された前記第２の光強度分布を形成する計算機ホログラムを規定する第２のデータとを生成する生成ステップと、
   前記生成ステップで生成された第１のデータと第２のデータとを統合する統合ステップと、
   を有することを特徴とする生成方法。
10. 光源からの光でレチクルを照明する照明光学系と、
    前記レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系と、
    を有し、
    前記照明光学系は、請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の計算機ホログラムを含むことを特徴とする露光装置。