JP2009161843A - ワーク支持部材、光学素子、位相差素子及び偏光ビームスプリッタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の基板支持部材6は、蒸着チャンバ1内に配置される蒸着源4から蒸発した材料を蒸着させる基板Wを固定保持するワークフレーム21と、ワークフレーム21を、蒸着チャンバ1内に固定するドーム取付部7と、ドーム取付部7に対して任意の角度で傾斜するように、ワークフレーム21を傾斜させる傾斜機構8と、傾斜機構8に対してワークフレーム21を任意の角度で回転させる回転機構9と、を備えている。傾斜機構8と回転機構9とにより、傾斜方向及び回転方向の2方向に基板Wの傾斜角度を自由に設定することができる。
【選択図】 図2
Description
4 蒸着源 5 装着部
6 基板支持部材 7 ドーム取付部
8 傾斜機構 9 回転機構
13 傾斜テーブル 13H 回転孔
14 第1のアジャスタ部材 15 第2のアジャスタ部材
21 ワークフレーム 21A 蒸着面固定部
24 遮蔽板 30 テーブル支持部材
50 位相差素子 51 第1の斜方蒸着膜
52 第2の斜方蒸着膜 60 プリズム支持部材
62 プリズム支承板 65 板バネ
70 偏光ビームスプリッタ
Claims (7)
- 蒸着チャンバ内に配置される蒸着源から蒸発した材料を蒸着させるワークを固定保持するワークホルダと、
前記ワークホルダを、前記蒸着チャンバ内に固定する固定手段と、
前記固定手段に対して任意の角度で傾斜するように、前記ワークホルダを傾斜させるワーク傾斜手段と、
前記ワーク傾斜手段に対して、前記ワークホルダを任意の角度で回転させるワーク回転手段と、
を備えたこと、を特徴とするワーク支持部材。 - 前記ワークは平板状の薄板であり、
前記ワークホルダは、
前記ワークの外周を保持するフレーム部材と、
前記フレーム部材に一体的に形成され、前記ワークの蒸着面を固定する蒸着面固定部と、
前記フレーム部材に着脱可能に設けられ、前記フレーム部材に装着したときに、前記ワークの背面を押圧して固定する背面固定部材と、
前記フレーム部材に着脱可能に設けられ、前記フレーム部材に装着したときに、前記ワークの背面を遮蔽する遮蔽部材と、
を備えたこと、を特徴とする請求項1記載のワーク支持部材。 - 前記ワークは三角プリズムであり、
前記ワークホルダは、
前記三角プリズムの蒸着面の外周を固定する外周固定部材と、
前記三角プリズムの前記蒸着面を固定する前面固定部材と、
前記蒸着面の反対側の稜線に弾性力を作用させて押圧する弾性押圧部材と、
前記外面固定部材を連結するフレーム部材に着脱可能に設けられ、前記フレーム部材に装着したときに、前記ワークの背面を遮蔽する遮蔽部材と、
を備えたこと、を特徴とする請求項1記載のワーク支持部材。 - 請求項1乃至3何れか1項に記載のワーク支持部材を用いて製造された位相差素子。
- 第1の斜方蒸着膜と第2の斜方蒸着膜とを有し、
前記第1の斜方蒸着膜の光学軸の方向と前記第2の斜方蒸着膜の光学軸の方向とは、蒸着面の法線方向に対して傾斜および/または回転しており、
前記第1の斜方蒸着膜の光学軸の方向と前記第2の斜方蒸着膜の光学軸の方向とは異なっていること、を特徴とする位相差素子。 - 前記第1の斜方蒸着膜と前記第2の斜方蒸着膜とは三角プリズムの蒸着面に蒸着されていること、を特徴とする請求項5記載の位相差素子。
- 三角プリズムの蒸着面に、光学軸の方向が前記蒸着面の法線方向に対して傾斜および/または回転している第1の斜方蒸着膜と、光学軸の方向が前記蒸着面の法線方向に対して傾斜および/または回転し、且つ前記第1の斜方蒸着膜の光学軸の方向と異なる第2の斜方蒸着膜と、を形成した位相差プリズムと、
三角プリズムの一面に偏光方向によって透過と反射とを分ける偏光分離膜を形成した偏光分離プリズムと、を有し、
前記位相差プリズムの前記第1の斜方蒸着膜と第2の斜方蒸着膜とを形成している面と、前記偏光プリズムの前記偏光分離膜を形成した面とを接合して構成したこと、を特徴とする偏光ビームスプリッタ。
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