JP2007231377A - 成膜治具及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】蒸着炉やスパッタ炉中において成膜対象物となる光学部品を保持するための成膜治具を精度確保が難しい切削加工以外の方法によって製造することにより高い寸法精度の確保を可能とした成膜治具を提供する。
【解決手段】成膜面20aを露出させた状態で成膜対象物20を保持するための構造を有すると共に、真空炉内に設けた試料台に対して着脱自在に装着される金属製成膜治具1であって、成膜対象物を保持する凹所3、及び該所底部に設けられて成膜面を露出させる開口部4を有した治具本体2と、治具本体から側方へ突設されて試料台によって係止される被係止突起5と、から構成され、治具本体、及び該治具本体と一体の被係止突起は、凹所、及び開口部に対応する穴3a、4aを夫々有した複数枚の金属薄板10を積層一体化することによって構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】成膜面20aを露出させた状態で成膜対象物20を保持するための構造を有すると共に、真空炉内に設けた試料台に対して着脱自在に装着される金属製成膜治具1であって、成膜対象物を保持する凹所3、及び該所底部に設けられて成膜面を露出させる開口部4を有した治具本体2と、治具本体から側方へ突設されて試料台によって係止される被係止突起5と、から構成され、治具本体、及び該治具本体と一体の被係止突起は、凹所、及び開口部に対応する穴3a、4aを夫々有した複数枚の金属薄板10を積層一体化することによって構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は成膜対象物を保持して真空炉内に配置される成膜治具の改良に関し、特に従来のフライス盤による切削加工方法により製造された成膜治具の欠点を一挙に解消することができる成膜治具、及びその製造方法に関する。
従来、例えばプリズム等の光学部品の所定の面にミラー膜を真空蒸着によって成膜する場合には、成膜面以外の部分がマスクされた状態となるように蒸着治具(成膜治具)によって光学部品を保持し、この蒸着治具を真空蒸着炉内の天井部に設けた試料台に固定した状態で、この試料台の下方に対向配置されたヒータによって膜原料を加熱して蒸発させ、原料分子を蒸着治具から露出した状態にある成膜面に衝突、付着させて膜を形成させる。
スパッタによる成膜方法においても同様に成膜治具により保持した成膜対象物を真空炉内に保持した状態での成膜が行われる。
スパッタによる成膜方法においても同様に成膜治具により保持した成膜対象物を真空炉内に保持した状態での成膜が行われる。
図4(a)及び(b)は従来の蒸着治具の一例の構成を示す一部断面斜視図、及び正面縦断面図である。この蒸着治具100は、アルミニウム、或いはステンレス等の金属板材をフライス盤によって所要形状に切削加工することにより製造される。蒸着治具100は、成膜面を露出させた状態で蒸着対象物を保持するための構造を有すると共に、真空蒸着炉内に設けた試料台に対して着脱自在に装着される。
この蒸着治具100は、三角柱状のプリズムの連結体110の一面(成膜面)110aに対してミラー膜を蒸着によって成膜する際に使用するものであり、所要厚を有した矩形平板状の金属板材から成る治具本体101の上面にフライス盤を用いた切削によりプリズム連結体110を収納するための凹所102を複数本形成すると共に、凹所102の内底面には治具本体101の底面にまで貫通する開口部103を形成した構成を備えている。開口部103は凹所102内に着座したプリズム連結体110の成膜面110aを露出させて原料分子を蒸着させるように構成されている。治具本体101の両側面には被係止突起105が突設されており、真空蒸着炉内の試料台115に設けた嵌合穴116内に治具本体101を嵌合する際にこの被係止突起105を嵌合穴116の周縁に係止することにより蒸着治具を試料台に固定する。
プリズム連結体110は、複数のプリズム個片を未分離状態で連結した状態にあり、分離前の状態にあるプリズム連結体に対して成膜等の必要な処理を施した後で個片に切断することにより個々のプリズムが製造される。
プリズム連結体110は、複数のプリズム個片を未分離状態で連結した状態にあり、分離前の状態にあるプリズム連結体に対して成膜等の必要な処理を施した後で個片に切断することにより個々のプリズムが製造される。
図5(a)はドーム状の試料台を備えた真空蒸着炉の概略構成図であり、この真空蒸着炉120は、炉内上部にドーム状の試料台121を備えると共に、その直下位置には蒸着原料131を加熱するためのヒータ130が配置されている。試料台121の適所には嵌合穴122が形成され、この嵌合穴122内に蒸着治具100が(b)のような状態で嵌合保持される。
しかし、厚肉の金属ブロックをフライス盤を用いてドリル等によって切削加工した場合には、凹所102や開口部103の形状、寸法等の加工精度を高くすることができない。例えば、凹所102の幅寸法にバラツキがあると、凹所底面に着座したプリズム連結体110の成膜面110aと開口部103との位置関係にバラツキが発生する。その結果、プリズム連結体110の凹所102内での着座姿勢や位置がずれたり、開口部103の形状がばらつき易くなり、プリズム連結体110の成膜面110aに正しく蒸着されない虞が高まる。
上記の問題はスパッタによる成膜時に使用する成膜治具についても同様に当てはまる。
上記の問題はスパッタによる成膜時に使用する成膜治具についても同様に当てはまる。
特許文献1には、ガラス基板にスパッタによって成膜する際にガラス基板を固定するために使用する固定治具をガラス基板と同じ絶縁材料によって構成することによって両者の材料の違いに起因して発生する誘起電位の不均一を解消する技術が開示されているが、この公報中には固定治具を切削治具を用いて切削加工する場合の不具合を解消する技術については一切開示されていない。
特開2003−192390公報
以上のように蒸着、スパッタ等によって光学部品に対して所要の光学膜を成膜する場合に光学部品を保持するために使用する従来の成膜治具は、厚肉の金属ブロックを切削加工することによって形成されていたため、深い凹所や貫通した開口部の寸法精度にばらつきが発生し、その結果光学部品に形成される光学膜の成膜範囲、厚みなどにばらつきが発生するという不具合があった。
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、蒸着炉やスパッタ炉中において成膜対象物となる光学部品を保持するための成膜治具を、厚肉の金属ブロックを切削加工方法により加工するという精度確保が困難な手法を用いずに加工することにより、高い寸法精度の確保を可能とした成膜治具を提供することを目的としている。
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、蒸着炉やスパッタ炉中において成膜対象物となる光学部品を保持するための成膜治具を、厚肉の金属ブロックを切削加工方法により加工するという精度確保が困難な手法を用いずに加工することにより、高い寸法精度の確保を可能とした成膜治具を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明に係る成膜治具は、成膜面を露出させた状態で成膜対象物を保持するための構造を有すると共に、真空炉内に設けた試料台に対して着脱自在に装着される金属製成膜治具であって、前記成膜対象物を保持する凹所、及び該凹所底部に貫通形成されて前記成膜面を露出させる開口部を有した治具本体と、前記治具本体から側方へ突設されて前記試料台によって係止される被係止突起と、から構成され、前記治具本体、及び前記被係止突起は、前記凹所、及び前記開口部に対応する穴を夫々有した複数枚の金属薄板を積層一体化することによって構成されていることを特徴とする。
成膜治具を、厚肉の金属ブロックを切削加工方法により加工するという精度確保が困難な手法を用いずに、個別に加工した金属薄板を接合することにより構成したので、高い寸法精度を確保することができる。
成膜治具を、厚肉の金属ブロックを切削加工方法により加工するという精度確保が困難な手法を用いずに、個別に加工した金属薄板を接合することにより構成したので、高い寸法精度を確保することができる。
また、本発明の前記治具本体は、前記被係止突起を備えた外側部材と、前記凹所及び前記開口部を備えた内側部材と、から構成されており、前記外側部材を貫通する空所内に前記内側部材を嵌合させ、該空所内の段差上に内側部材の底面を着座させた構成を備えていることを特徴とする。
治具本体を外側部材と、外側部材内部に着脱される内側部材により構成し、内側部材に設けた凹所内に光学部品を収容するようにしたので、外側部材を共通使用すると共に、内側部材だけを収容する光学部品の形状、サイズの違いに合わせた構造のものを交換使用することができる。
治具本体を外側部材と、外側部材内部に着脱される内側部材により構成し、内側部材に設けた凹所内に光学部品を収容するようにしたので、外側部材を共通使用すると共に、内側部材だけを収容する光学部品の形状、サイズの違いに合わせた構造のものを交換使用することができる。
また、前記金属薄板はフォトリソグラフィ加工、或いはエッチング加工によって製造され、各金属薄板間は熱圧着により一体化されていることを特徴とする。
また、前記金属薄板は切削加工によって製造され、各金属薄板間は熱圧着により一体化されていることを特徴とする。
また、本発明の成膜治具を製造する方法は、前記各金属薄板に前記穴を形成する工程と、前記穴を形成した各金属薄板を所要の順序にて積層し、熱圧着により一体化する工程と、を備えたことを特徴とする。
また、前記金属薄板は切削加工によって製造され、各金属薄板間は熱圧着により一体化されていることを特徴とする。
また、本発明の成膜治具を製造する方法は、前記各金属薄板に前記穴を形成する工程と、前記穴を形成した各金属薄板を所要の順序にて積層し、熱圧着により一体化する工程と、を備えたことを特徴とする。
以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。
図1(a)及び(b)は本発明の一実施形態に係る成膜治具の外観斜視図、及び縦断面図である。
この成膜治具1は例えば真空蒸着炉内に配置される金属製の蒸着治具1であり、治具本体2の上面には成膜対象物としてのプリズム連結体20を保持する細長い凹所3を複数列有すると共に、各凹所3の底部には凹所内底面に着座したプリズム連結体20の成膜面20aを露出させる開口部4が治具底面まで貫通して形成されている。更に治具本体2の両側面からは、真空蒸着炉内の試料台に設けた嵌合穴内に治具本体2を嵌合する際にこの嵌合穴の周縁に係止するための被係止突起5が突設されている。
図1(a)及び(b)は本発明の一実施形態に係る成膜治具の外観斜視図、及び縦断面図である。
この成膜治具1は例えば真空蒸着炉内に配置される金属製の蒸着治具1であり、治具本体2の上面には成膜対象物としてのプリズム連結体20を保持する細長い凹所3を複数列有すると共に、各凹所3の底部には凹所内底面に着座したプリズム連結体20の成膜面20aを露出させる開口部4が治具底面まで貫通して形成されている。更に治具本体2の両側面からは、真空蒸着炉内の試料台に設けた嵌合穴内に治具本体2を嵌合する際にこの嵌合穴の周縁に係止するための被係止突起5が突設されている。
プリズム連結体20を図示のように成膜面20aを下向きにして凹所3の内底面上に着座させた際に、開口部4から成膜面20aの少なくとも一部が露出した状態となり、下方に位置するヒータによって加熱されて蒸発した原料分子が開口部4内に進入して成膜面20aに付着するように構成されている。
なお、プリズム連結体20は、未分離状態にある光学部品としてのプリズムの連結体であり、成膜等の処理完了後には図示しない切断治具上に移載されてカッタによって個片に分割される。
本発明の特徴的な構成は、治具本体2、及び治具本体と一体の被係止突起5を、凹所3、及び開口部4に対応する穴3a、4aを夫々有した複数枚の金属薄板10を積層一体化することによって構成した点にある。
なお、プリズム連結体20は、未分離状態にある光学部品としてのプリズムの連結体であり、成膜等の処理完了後には図示しない切断治具上に移載されてカッタによって個片に分割される。
本発明の特徴的な構成は、治具本体2、及び治具本体と一体の被係止突起5を、凹所3、及び開口部4に対応する穴3a、4aを夫々有した複数枚の金属薄板10を積層一体化することによって構成した点にある。
図2はこの蒸着治具の分解斜視図であり、この蒸着治具1は、被係止突起5に相当する張出し部を両端縁に有すると共に、凹所3に相当する穴3aを有した治具本体2に相当する部分を有した複数枚の第1の金属薄板10aと、第1の金属板群の下面に積層されると共に凹所3に相当する穴3aを有した複数枚の第2の金属薄板10bと、第2の金属板分の下面に積層されると共に開口部4に相当する穴4aを有した複数枚の第3の金属薄板10cと、から構成されている。
各金属薄板10a、10b、10c間の接合面は熱圧着等によって全面的に密着して接合されている。
各金属薄板10a、10b、10cを接合したときには、第2と第3の金属薄板10b、10cの外周輪郭が整合する一方で、第1の金属薄板10aは、被係止突起5に相当する部分が第2と第3の金属薄板から成る治具本体部分よりも側方へ突出するように構成されている。
各第1の金属薄板10aと各第2の金属薄板10bに夫々貫通形成された穴3aは同一寸法、同一形状となるように構成されているため、第1の金属薄板10aと第2の金属薄板10bとが整合状態で接合されたときに互いに整合し合い、各金属薄板に形成した穴3aによって内壁に段差のない凹所3を形成することとなる。
各金属薄板10a、10b、10cを接合したときには、第2と第3の金属薄板10b、10cの外周輪郭が整合する一方で、第1の金属薄板10aは、被係止突起5に相当する部分が第2と第3の金属薄板から成る治具本体部分よりも側方へ突出するように構成されている。
各第1の金属薄板10aと各第2の金属薄板10bに夫々貫通形成された穴3aは同一寸法、同一形状となるように構成されているため、第1の金属薄板10aと第2の金属薄板10bとが整合状態で接合されたときに互いに整合し合い、各金属薄板に形成した穴3aによって内壁に段差のない凹所3を形成することとなる。
一方、各第3の金属薄板10cに形成した穴4aは同一寸法、同一形状となるように構成されているため、各第3の金属薄板10cが整合状態で接合されたときに互いに整合し合い、各第3の金属薄板に形成した穴4aによって内壁に段差のない開口部4を形成することができる。
各金属薄板10a、10b、及び10cは、何れもステンレス等の金属薄板をフォトリソグラフィ技術、エッチング技術等によって精密加工することによって製造される。
各金属薄板10a、10b、及び10cは、何れもステンレス等の金属薄板をフォトリソグラフィ技術、エッチング技術等によって精密加工することによって製造される。
なお、フライス加工等の切削加工によって各穴3a、4aの形状、寸法をある程度高精度に加工できることを条件として、各各金属薄板10a、10b、及び10cをフライス加工によって製造することも可能である。従来のように厚みのある金属ブロックに深い凹所や貫通した開口部を切削加工により形成するよりも、金属薄板を切削加工する方が個々の加工精度を確保しやすいからである。
つまり、フライス加工等の切削加工技術によって製造した金属薄板10a〜10cを熱圧着により一体化することによって蒸着治具1を製造してもよい。
つまり、フライス加工等の切削加工技術によって製造した金属薄板10a〜10cを熱圧着により一体化することによって蒸着治具1を製造してもよい。
上記何れの加工方法によって製造した蒸着治具(成膜治具)においても、形成される凹所3、及び開口部4の形状、寸法精度を十分に高く維持できるので、プリズム連結体を凹所3内に収納した蒸着治具1を蒸着炉内の試料台に保持した状態で蒸着を実施した際に、プリズム連結体20の成膜面20aに対して最適な状態での成膜を実現することができる。
なお、本発明の成膜治具1は、各金属薄板10a〜10cに所要の穴3a、4aを形成する工程と、各穴を形成した各金属薄板を所要の順序にて積層し、熱圧着により一体化する工程と、によって製造することができる。
なお、本発明の成膜治具1は、各金属薄板10a〜10cに所要の穴3a、4aを形成する工程と、各穴を形成した各金属薄板を所要の順序にて積層し、熱圧着により一体化する工程と、によって製造することができる。
次に、図3(a)及び(b)は本発明の他の実施形態に係る成膜治具の構成を示す斜視図、及び縦断面図である。
この成膜治具1を構成する治具本体は、外側部材30と、内側部材40とから構成されており、外側部材30の上下を貫通する空所31内に内側部材40を嵌合させ、空所31内の段差32上に内側部材40の底面を着座させた構成を備えている。
外側部材30は、前記空所31と、対向する2つの側面から夫々横方向へ突出した被係止突起33とを有している。被係止突起33は、図5に示した如き真空蒸着炉内の試料台に係止するための部材である。
この成膜治具1を構成する治具本体は、外側部材30と、内側部材40とから構成されており、外側部材30の上下を貫通する空所31内に内側部材40を嵌合させ、空所31内の段差32上に内側部材40の底面を着座させた構成を備えている。
外側部材30は、前記空所31と、対向する2つの側面から夫々横方向へ突出した被係止突起33とを有している。被係止突起33は、図5に示した如き真空蒸着炉内の試料台に係止するための部材である。
内側部材40は、外側部材40の空所31内壁に密着する外面形状を有すると共に、図示しないプリズム連結体を嵌合させる複数の凹所41と、プリズム連結体底面を着座させる段差部42と、プリズム連結体底面の成膜面を露出させるための貫通した開口部43と、を有している。
内側部材40は、成膜対象物としてのプリズム連結体等のサイズ、形状に違いに応じて異なった構造、サイズの凹所41、段差部42、開口部43を有したものを用意し、外側部材40の空所31内に対して着脱自在に装着することができる。
内側部材40は、成膜対象物としてのプリズム連結体等のサイズ、形状に違いに応じて異なった構造、サイズの凹所41、段差部42、開口部43を有したものを用意し、外側部材40の空所31内に対して着脱自在に装着することができる。
この実施形態においても、内側部材30、及び外側部材40を複数の金属薄板50を熱圧着により一体化した積層構造体とすることにより、より精度の高い成膜治具を得ることが可能となる。
この積層構造体としての成膜治具1を構成する各金属薄板50としては、空所31(段差部32)、凹所41(段差部42)、開口部43等を形成するための各穴を、フォトリソグラフィ技術、エッチング液を使用したエッチング、切削加工等によって貫通形成した金属薄板を使用することは上記実施形態の場合と同様である。
この積層構造体としての成膜治具1を構成する各金属薄板50としては、空所31(段差部32)、凹所41(段差部42)、開口部43等を形成するための各穴を、フォトリソグラフィ技術、エッチング液を使用したエッチング、切削加工等によって貫通形成した金属薄板を使用することは上記実施形態の場合と同様である。
なお、上記実施形態では真空成膜方法の例として蒸着を挙げたが、本発明の成膜治具の構造、及びその製造方法は、蒸着のみならずスパッタその他の成膜技術の実施に際して必要とされる治具に適用することができる。
1…蒸着治具(成膜治具)、2…治具本体、3…凹所、3a…穴、4…開口部、4a…穴、5…被係止突起、10、10a、10b、10c…金属薄板、20…プリズム連結体、20a…成膜面、30…外側部材、31…空所、32…段差部、33…被係止突起、40…内側部材、41…凹所、42…段差部、43…開口部、50…金属薄板。
Claims (5)
- 成膜面を露出させた状態で成膜対象物を保持するための構造を有すると共に、真空炉内に設けた試料台に対して着脱自在に装着される金属製成膜治具であって、
前記成膜対象物を保持する凹所、及び該凹所底部に貫通形成されて前記成膜面を露出させる開口部を有した治具本体と、
前記治具本体から側方へ突設されて前記試料台によって係止される被係止突起と、から構成され、
前記治具本体、及び前記被係止突起は、前記凹所、及び前記開口部に対応する穴を夫々有した複数枚の金属薄板を積層一体化することによって構成されていることを特徴とする成膜治具。 - 前記治具本体は、前記被係止突起を備えた外側部材と、前記凹所及び前記開口部を備えた内側部材と、から構成されており、前記外側部材を貫通する空所内に前記内側部材を嵌合させ、該空所内の段差上に内側部材の底面を着座させた構成を備えていることを特徴とする請求項1に記載の成膜治具。
- 前記金属薄板はフォトリソグラフィ加工、或いはエッチング加工によって製造され、各金属薄板間は熱圧着により一体化されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜治具。
- 前記金属薄板は切削加工によって製造され、各金属薄板間は熱圧着により一体化されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜治具。
- 請求項1乃至4の何れか一項に記載の成膜治具を製造する方法であって、
前記各金属薄板に前記穴を形成する工程と、
前記穴を形成した各金属薄板を所要の順序にて積層し、熱圧着により一体化する工程と、を備えたことを特徴とする成膜治具の製造方法。
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