JP2009158882A - 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する実装装置 - Google Patents
超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する実装装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009158882A JP2009158882A JP2007338636A JP2007338636A JP2009158882A JP 2009158882 A JP2009158882 A JP 2009158882A JP 2007338636 A JP2007338636 A JP 2007338636A JP 2007338636 A JP2007338636 A JP 2007338636A JP 2009158882 A JP2009158882 A JP 2009158882A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting
- component
- pressing
- mounted component
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する実装方法であって、前記被実装部品を用意し、前記実装部品を保持する実装部品保持手段により前記実装部品を保持し、前記実装部品保持手段により前記実装部品を介して前記被実装部品を所定の押圧力で押さえ、前記実装部品保持手段により前記実装部品を介して前記被実装部品を押さえた後に、前記実装部品保持手段と一体的に移動可能である押さえ手段が前記被実装部品に直接接触し押さえる実装方法及びその装置。
【選択図】図1
Description
さらに本発明の実装方法の第3の態様によれば、前記押さえ手段による前記被実装部品の押さえを解除した後に、前記実装部品保持手段による前記被実装部品の押さえを解除する。
上述したように、押さえ部119による押さえの解除を、吸着ノズル103による押さえの解除より先に行うことにより、押さえ部119にパッケージ基板111が付着し、持ち上がってしまうことを防止できる。
103 吸着ノズル
107 振動子
111 パッケージ基板
116 実装ステージ
119 押さえ部
125 押圧部
173 制御部
Claims (8)
- 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する実装方法であって、
前記被実装部品を用意し、
前記実装部品を保持する実装部品保持手段により前記実装部品を保持し、
前記実装部品保持手段により前記実装部品を介して前記被実装部品を所定の押圧力で押さえ、
前記実装部品保持手段により前記実装部品を介して前記被実装部品を押さえた後に、前記実装部品保持手段と一体的に移動可能である押さえ手段が前記被実装部品に直接接触し押さえる実装方法。 - 前記実装部品保持手段により前記実装部品を介して前記被実装部品の重心若しくはその近傍が押さえられる請求項1に記載の実装方法。
- 前記押さえ手段による前記被実装部品の押さえを解除した後に、前記実装部品保持手段による前記被実装部品の押さえを解除する請求項1又は請求項2に記載の実装方法。
- 前記被実装部品を、前記押さえ手段に形成された前記実装部品保持手段を挿入可能な円環形状の接触面で押さえる請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の実装方法。
- 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する実装装置であって、
前記実装部品を保持する実装部品保持手段と、
前記被実装部品を保持する被実装部品保持手段と、
前記実装部品保持手段と一体的に移動可能に構成され、前記被実装部品に直接接触して押圧する押さえ手段と、
前記実装部品と前記被実装部品とが当接するように、前記実装部品保持手段と前記被実装部品保持手段との少なくとも一方を他方に向けて移動させる駆動手段と、
前記実装部品保持手段により前記実装部品を介して前記被実装部品を押さえた後に、前記押さえ手段により前記被実装部品を押さえるように制御する制御手段と、を備える実装装置。 - 前記制御手段は、前記実装部品保持手段が前記実装部品を介して前記被実装部品の重心若しくはその近傍を押さえるように制御する請求項5に記載の実装装置。
- 前記制御手段は、前記押さえ手段による前記被実装部品の押さえを解除した後に、前記実装部品保持手段による前記実装部品の押さえを解除する請求項5又は請求項6に記載の実装装置。
- 前記押さえ手段は、前記被実装部材と接触する面が前記実装部品保持手段を挿入可能な円環形状であることを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の実装装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007338636A JP4711090B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する方法及び実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007338636A JP4711090B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する方法及び実装装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009158882A true JP2009158882A (ja) | 2009-07-16 |
JP4711090B2 JP4711090B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=40962536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007338636A Active JP4711090B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する方法及び実装装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4711090B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05198621A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フリップチップicの実装装置 |
JPH10284546A (ja) * | 1997-04-11 | 1998-10-23 | Nec Corp | ベアチップマウンタおよびそのマウント方法 |
JP2000183111A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の実装方法 |
JP2004006570A (ja) * | 2002-04-25 | 2004-01-08 | Kyocera Corp | 電子部品素子の実装方法 |
JP2005183459A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Fujitsu Ltd | 電子部品のボンディング方法及び装置 |
-
2007
- 2007-12-28 JP JP2007338636A patent/JP4711090B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05198621A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フリップチップicの実装装置 |
JPH10284546A (ja) * | 1997-04-11 | 1998-10-23 | Nec Corp | ベアチップマウンタおよびそのマウント方法 |
JP2000183111A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の実装方法 |
JP2004006570A (ja) * | 2002-04-25 | 2004-01-08 | Kyocera Corp | 電子部品素子の実装方法 |
JP2005183459A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Fujitsu Ltd | 電子部品のボンディング方法及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4711090B2 (ja) | 2011-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7595582B2 (en) | Resonator, ultrasonic die bonding head, and ultrasonic die bonding apparatus | |
US20080061435A1 (en) | Structure of mounting electronic component and method of mounting the same | |
JP2007276065A (ja) | 基板吸着保持装置及び配線基板ユニットの製造装置 | |
JP4249120B2 (ja) | 加圧装置および回路チップ実装装置 | |
JP4653550B2 (ja) | 半導体装置の製造装置および製造方法 | |
JP4313814B2 (ja) | はんだボール搭載方法及びはんだボール搭載装置 | |
JP4711090B2 (ja) | 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する方法及び実装装置 | |
KR102295405B1 (ko) | 초음파 접합 헤드, 초음파 접합 장치 및 초음파 접합 방법 | |
JP2014017328A (ja) | 実装装置および測定方法 | |
KR20190139149A (ko) | 초음파 접합 장치 및 초음파 접합 방법 | |
JP4308444B2 (ja) | 部品接合装置 | |
JP3359323B2 (ja) | 電子部品実装ヘッドのガイド機構およびそれを用いた電子部品実装装置 | |
JP4064366B2 (ja) | 超音波フリップチップ接合装置および接合方法 | |
JP3617957B2 (ja) | 回転往復運動伝達機構及びこれを用いた処理装置 | |
JP2019033188A (ja) | 実装装置ならびに実装方法およびこれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP4232752B2 (ja) | 電子部品装着装置、電子部品装着方法 | |
JP2006114557A (ja) | X−y移動テーブルおよびそれを備えた電子部品接合装置 | |
JP2007073805A (ja) | 電子部品の接合ヘッドおよび電子部品の接合装置 | |
JPH11265913A (ja) | バンプ付電子部品のボンディング方法 | |
JP2005064149A (ja) | 超音波フリップチップ接合装置および接合方法 | |
JP5110151B2 (ja) | 電子部品実装装置及び実装方法 | |
JP2005286049A (ja) | 超音波フリップチップ接合方法および接合装置 | |
JPH09213746A (ja) | 実装装置 | |
JP2009111263A (ja) | 電子部品のリワーク方法 | |
JPS582098A (ja) | 部品の自動位置決め接合装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110223 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110308 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4711090 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |