JP2009146485A - 処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理後のワークの品質維持を図り、装置タクトの短縮化を図ることができること。
【解決手段】本発明の処理装置は、ワークに対して処理を行う処理手段と、ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、を特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の処理装置は、ワークに対して処理を行う処理手段と、ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、を特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられるスレーブディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置であって、スレーブディスクの保持部の清掃を行う清掃手段を備えた磁気転写装置に関する。
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク(ハードディスク)は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法(磁気転写)が効率的であり、好ましい。
このような磁気転写を行う磁気転写装置が特許文献1〜4に開示されている。特許文献1〜4では、磁気転写にあたり磁気ディスク(被転写媒体)であるスレーブディスクを保持するための保持手段(吸着チャック、ディスク保持部など)を有している。
特開2004−87099号公報
特開2001−357594号公報
特開2006−134508号公報
特開2006−155745号公報
ワークの処理装置において、連続してワークへの処理を行う場合には、ワークに付着していたゴミがワークの保持手段などのワークと接触する部分に堆積したり、ワークに付着していたゴミによる発塵が生じる。そして、これらのゴミが処理装置内に付着すると、処理後のワークの品質不良を生じるおそれがある。
特に、磁気転写装置においては、ワークであるスレーブディスクに付着していたゴミがマスターディスクに付着すると、磁気転写後のスレーブディスクの良品率が大幅に低下してしまう。
また、処理手段が配置される位置でワークと接触する部分に堆積したゴミを除去しようとすると、装置内のクリーン度を悪化させてしまう。特に、磁気転写装置においては、装置内のクリーン度を悪化させてしまうと、磁気転写後のスレーブディスクの良品率が低下するおそれがある。
また、1つのワークに対する処理が終了する毎にスレーブディスクと接触する部分をクリーニングすると、装置タクトが長くなってしまう。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、処理後のワークの品質維持を図り、装置タクトの短縮化を図ることができる処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体を提供すること、を目的とする。
前記目的を達成するために本発明の処理装置は、ワークに対して処理を行う処理手段と、ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、を特徴とする。
本発明によれば、ワークを供給回収するときに移動する範囲の範囲外にある位置で保持手段は清掃されるので、処理後のワークの品質維持を図ることができる。
本発明の一態様として、前記他の位置は、前記処理手段が配置される処理領域から分離された非処理領域に存在すること、を特徴とする。
かかる態様によれば、処理領域から分離された非処理領域で保持手段は清掃されるので、より確実に処理後のワークの品質維持を図ることができる。
本発明の一態様として、前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、前記ベースには前記処理領域内における気体の循環用の貫通した気体循環孔が形成され、前記保持手段は前記移動手段により前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、を特徴とする。
かかる態様によれば、処理領域内における気体の循環用の気体循環孔の有効利用を図りつつ、ワークの清掃を行うことができる。
本発明の一態様として、前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って前記気体循環孔の位置まで移動させられた後に前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、を特徴とする。
かかる態様によれば、処理を行う時に配置される保持手段の位置に関らず、保持手段を確実に清掃手段が配置される他の位置に移動させることができる。
本発明の一態様として、前記清掃手段は、連続して複数のワークに対し処理を行う際にワークの品質不良が発生した時またはロットを切り替えた時または所定数のワークに処理を行った時の少なくともいずれか1つの時において前記保持手段を清掃すること、を特徴とする。
かかる態様によれば、装置タクトの短縮化を図ることができる。
本発明の一態様として、前記清掃手段は、前記保持手段に対し気体による圧力を加えるものであること、を特徴とする。
本発明の一態様として、前記清掃手段は、前記保持手段に可撓性のある粘着部材を接触させるものであること、を特徴とする。
本発明の一態様として、前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、前記筐体には開閉孔が形成され、前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って移動させられた後に前記開閉孔を通って前記他の位置に移動させられること、を特徴とする。
前記目的を達成するために本発明の磁気転写装置は、前記処理装置における前記処理手段を被転写媒体に磁気転写を行う磁気転写手段に適用したものである。
前記目的を達成するために本発明の磁気転写方法は、前記磁気転写装置を使用して被転写媒体に磁気転写を行うものである。
前記目的を達成するために本発明の被転写媒体は、前記磁気転写装置を使用して磁気転写が行われたものである。
本発明によれば、処理後のワークの品質維持を図り、装置タクトの短縮化を図ることができる。
以下添付図面に従って、本発明の好ましい実施の形態について詳説する。なお、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
〔磁気転写装置の構成〕
図1は、本発明に係る処理装置の一例である磁気転写装置1の実施の形態の概略を示す斜視図である。また、図2は、図1の2−2線に沿った磁気転写装置1の断面図である。
図1は、本発明に係る処理装置の一例である磁気転写装置1の実施の形態の概略を示す斜視図である。また、図2は、図1の2−2線に沿った磁気転写装置1の断面図である。
図1、図2に示すように磁気転写装置1は、架台10に設けられたベース12上に、磁気転写機構14が配設されている。そして、磁気転写機構14は上部にフィルターファンユニット16を備えた筐体18に収容されている。また、ベース12の下側には、クリーニング機構部72(清掃手段)やアクチュエータ44(移動手段)が配設されている。
磁気転写機構14には、カセット22を備えるカセットステージ20、ディスクリフター部24、スレーブハンドラ26、インデックス部28、マスターハンドラ30、磁気転写部31(処理手段)などが構成されている。
なお、ベース12には後述するように、筐体18内のエアの循環のためのエア排出口であるベース開口部34(気体循環孔)が形成されている。そして、このベース開口部34は、ディスクリフター部24のディスク保持部42(保持手段)を筐体18内外に移動させるために、通過する孔の役割もなす。
このように、磁気転写装置1においては、磁気転写部31が配置される処理領域はベース12と筐体18で囲まれることにより、クリーニング機構部72(清掃手段)が配設されている非処理領域と分離されている。
図3は、(a)がカセット22の断面図であり、(b)が(a)のA−A概略断面図であり、カセット22に収納されているスレーブディスク36とディスクリフター部24の様子を示している。
カセット22は、図3(a)に示すように、スレーブディスク36を収納するための容器であり、複数のスレーブディスク36を収納することができる。より具体的には、マスターハンドラ30に保持されているマスターディスク38(図1参照)の磁気パターンの転写前、または転写後の複数のスレーブディスク36を収納することができる容器である。なお、説明の便宜上、図3(b)にはスレーブディスク36を1枚のみ記載している。
そして、カセット22の底部には、ディスクリフター部24のディスク保持部42が昇降して出入りできるように、カセット開口部40が形成されている。カセット22はカセットステージ20(図1,2参照)により、ディスクリフター部24に対し図3(b)に示す矢印B方向に相対的に往復移動させられる。これにより、カセット22内に収納された全てのスレーブディスク36を、ディスクリフター部24により順番に昇降させることができる。
ディスクリフター部24は、図3(b)に示すように、スレーブディスク36を保持するディスク保持部42と、ディスク保持部42を昇降させるためのアクチュエータ44とからなる。ディスク保持部42は、例えば、図4に示すように、半円形の凹部を有し、当該凹部に沿ってスレーブディスク36を保持するためのV字状の溝42aを形成したものが考えられる。
ディスク保持部42の材質は、ピーク材(ポリエーテルケトン)、ポリイミドアミド、セラゾールなどが望ましい。また、ディスク保持部42におけるスレーブディスク36との接触部分の表面粗さは、Ra=1.6以下であることが望ましい。
ディスク保持部42は、スレーブディスク36を保持していない時には、カセットステージ20内部の空隙部70(図2参照)に配置されている。なお、カセットステージ20下部に空隙部70を設け、当該空隙部70にディスク保持部42が配置されることとしてもよい。ディスクリフター部24のさらなる詳細については、後述する。
スレーブハンドラ26は、図2の矢印に示すように、ディスクリフター部24とインデックス部28の間にて移動自在に配置されている。そして、スレーブハンドラ26は、スレーブディスク36を保持しつつ、ディスクリフター部24からインデックス部28まで搬送させる機能を有する。スレーブディスク36を保持する機構としては、例えば、エア圧で開閉される爪状部材によりスレーブディスク36の中心孔を保持する機構や、スレーブディスク36の内周部分を吸着する吸着チャックを構成するチャック機構などが考えられる。
インデックス部28は、4本のアームが直角に組み合わされた構造を有し、各アームの先端部には、スレーブディスク36を保持するための機構、例えば吸着ヘッドを有する。このスレーブディスク36を保持するための機構が間欠的に1回転する間に、4段階の転写作業が行われる。転写作業は、待機ステージ46、スレーブ位置測定ステージ48、初期化ステージ50、転写ステージ52の4段階で構成される。
マスターハンドラ30は、磁気転写部31によりスレーブディスク36の磁性層に対して情報を磁気転写する時に、転写するためのパターン状の磁性層を備えたマスターディスク38を保持するものであり、マスターディスク38の装着及び脱着などを行う。
次に、前記のような磁気転写装置1の構成のもと、磁気転写装置1による磁気転写方法について説明する。まず、カセットステージ20の内部の空隙部70に配置されたディスクリフター部24のディスク保持部42を、アクチュエータ44によりカセット22側に移動させる。そして、カセット22に収容されたスレーブディスク36を、ディスク保持部42の溝42aに挿入させて保持させる。
その後、さらにディスク保持部42をアクチュエータ44によりカセット22の下部側から上部に移動させて、ディスク保持部42に保持されたスレーブディスク36をカセット22の上部に突出させて、スレーブハンドラ26のアームへの供給位置まで移動させる。
次に、スレーブハンドラ26のアームへの供給位置まで移動させたスレーブディスク36を、スレーブハンドラ26に供給して保持させた後、スレーブハンドラ26をインデックス部28に向かって移動させる。そして、当該スレーブディスク36を、インデックス部28の待機ステージ46に待機しているインデックス部28のアームに供給して保持させる。
インデックス部28に保持されたスレーブディスク36は、4段階のステージの間を90度ずつ間欠的に回転することにより移動する。まず、スレーブ位置測定ステージ48では、吸着保持されたスレーブディスク36の中心位置を測定する。その測定結果に従って、転写ステージ52でマスターディスク38と中心位置を合わせた状態で密着できるように位置調整を行う。次の初期化ステージ50は、磁気消去を行う。転写ステージ52では磁気転写用のマスターディスク38がスレーブディスク36に密着され、磁気転写部31により磁気パターンの転写が行われる。
転写が終了するとインデックス部28のアームにより、磁気パターンが転写されたスレーブディスク36が前記の待機ステージ46に運ばれる。待機ステージ46では、転写済みスレーブディスク36をインデックス部28のアームからスレーブハンドラ26に回収させる。
磁気転写操作を連続して行う場合には、スレーブハンドラ26は、上述のように相反する側に一対の保持機構を有するので、カセットステージ20に向いた側に磁気転写をしていないスレーブディスク36を保持している。
スレーブハンドラ26が転写済みのスレーブディスク36を回収した後、スレーブハンドラ26はスレーブディスク36の搬送方向と平行に回転し、転写済みのスレーブディスク36をカセットステージ20側に向け、同時に、インデックス部28のアーム側に向けられた磁気転写前のスレーブディスク36を上述のようにインデックス部28のアーム側に供給する。転写済みのスレーブディスク36は、スレーブハンドラ26によりディスクリフター部24まで運ばれ、ディスクリフター部24のディスク保持部42に回収されて保持される。その後、ディスク保持部42がカセット22側に移動して、やがて転写済みのスレーブディスク36はカセット22に回収される。
以上の操作を繰り返し、図1に示す磁気転写装置1により、スレーブディスク36への磁気パターンの転写が連続的に行われる。
〔ディスク保持部のクリーニング方法〕
次に、ディスクリフター部24のディスク保持部42のクリーニング方法について説明する。図5は、ディスク保持部42の通常移動範囲とベース開口部とクリーニング位置との位置関係を示す図である。
〔ディスク保持部のクリーニング方法〕
次に、ディスクリフター部24のディスク保持部42のクリーニング方法について説明する。図5は、ディスク保持部42の通常移動範囲とベース開口部とクリーニング位置との位置関係を示す図である。
前記のようにスレーブディスク36への磁気パターンの転写が連続的に行われると、スレーブディスク36に接触する部分であるディスクリフター部24のディスク保持部42に、スレーブディスク36に付着していたゴミが堆積するおそれがある。また、スレーブディスク36に付着していたゴミにディスク保持部42が接触することにより、発塵が生じるおそれある。
そして、ディスク保持部42に堆積したゴミや発塵によるゴミが、マスターディスク38に付着したり、磁気転写装置1内に付着することにより、磁気転写後のスレーブディスク36の品質不良が生じるおそれがある。特に、マスターディスク38にゴミが付着するとスレーブディスク36の良品率が大幅に低下してしまう。
そこで、所定数のスレーブディスク36を磁気転写した時に定期的に、あるいは、磁気転写後のスレーブディスク36の品質不良の発生時やロットの切り替え時などに不定期的に、ディスク保持部42のクリーニングを行う。
まず、図5に示すように、ディスク保持部42を通常移動範囲α内の位置から、ベース開口部34を通って、通常移動範囲αの範囲外にある他の位置であるクリーニング位置βまで移動させる。通常移動範囲αとは、ディスク保持部42がスレーブディスク36をカセット22とスレーブハンドラ26の間で供給または回収する時に移動する範囲(供給回収時移動範囲)である。また、所定のクリーニング位置βとは、後述するディスク保持部42のクリーニング機構部72が配置される位置である。なお、ディスク保持部42の移動は、アクチュエータ44の駆動を制御することにより行う。
ここで、ベース開口部34は、フィルターファンユニット16から供給され、磁気転写装置1内を循環させたエアを排出するためのエア排出口である。このように、エア排出口であるベース開口部34を利用して、ディスク保持部42は磁気転写機構14が収容されたベース12と筐体18により囲まれた処理領域から、ベース12により分離された非処理領域(クリーニング位置βが存在する領域)に移動させられる。
そして、所定のクリーニング位置βまで移動させたディスク保持部42を、クリーニング機構部72によりクリーニングする。クリーニング機構部72としては、例えば、図6に示すようなクリーニング装置54から構成されることが考えられる。クリーニング装置54は、ディスク保持部42を覆うカバー56、当該カバー56内と連通するエアブローノズル58や吸引配管60などにより構成される。クリーニング装置54は、エアブローノズル58からエアを供給して、エアの圧力をディスク保持部42に加えることにより、ディスク保持部42に堆積するゴミを除去する。そして、除去したゴミは吸引配管60によりエアとともに吸引される。
エアブローノズル58からのエアの供給量や吸引配管60からのエアの吸引量は、ディスク保持部42の溝42aの全体の形状や底面42bの形状、あるいは各寸法によって変化させてもよい。
また、クリーニング機構部72の他の例としては、図7に示すようなクリーニング方法を実現するクリーニング装置から構成されることが考えられる。当該クリーニング装置は、表面が粘着性を有し、かつ接触する相手の形状に倣って比較的撓みやすい粘着シート62(可撓性のある粘着部材)を折り曲げたものを構成する。そして、図7に示すように、当該クリーニング装置では、粘着シート62をディスク保持部42の溝42aの形に倣わせながら、粘着シート62の表面が溝42aの内面に接触するように挿入させる。すると、溝42aに堆積するゴミdが粘着シート62の表面に付着するので、このまま粘着シート62を溝42aから排出させる。これにより、溝42aに堆積するゴミdを除去することができる。
なお、このとき、溝42aは、図8(a)に示すように底面42bがRで形成されていたり、図7や図8(b)に示すように底面42bのエッジ部分42cがRで形成されていることが望ましい。このような形状にすることで、溝42aの形状に粘着シート62の形状が倣いやすくなり、より確実にゴミdを除去することができる。
また、スレーブディスク36と同じ形状または類似する形状であって粘着性のあるディスク表面を備えるクリーニング用ディスク(不図示)を、ディスク保持部42の溝42aに保持させた後、アクチュエータ44によりディスク保持部42を通常移動範囲α内の位置まで移動させて、前記の磁気転写方法によりクリーニング用ディスクに対して磁気転写を行ってもよい。これにより、スレーブディスク36に磁気転写を行う時にスレーブディスク36と接触する全ての部分のクリーニングを行うことができる。
磁気転写を行う時にスレーブディスク36と接触する部分とは、例えば、ディスクリフター部24のディスク保持部42、スレーブハンドラ26、インデックス部28のアーム、スレーブ位置測定ステージ48の測定機器(不図示)、初期化ステージ50の磁気消去機器(不図示)、転写ステージ52のマスターディスク38などがある。
なお、図9に示すように、ディスクリフター部24のディスク保持部42の通常移動範囲αの位置がベース開口部34の位置からベース12の面に沿って外れている場合には、まず、ディスク保持部42をベース開口部34の位置までベース12の面に沿って移動させる。そして、その後ベース開口部34に通して、ベース12により分離された非処理領域にある所定のクリーニング位置βまで移動させて、クリーニング機構部72によりクリーニングする。
このときの装置構成の仕様例を図10と図11に示す。図10と図11は図9の矢印A方向から見た図である。図10に示す第1仕様例では、水平アクチュエータ74、第1垂直アクチュエータ76、第2垂直アクチュエータ78、供給回収用アクチュエータ80などのアクチュエータにより、ディスク保持部42を移動させる。図10(a)は、通常移動範囲αにおいてディスク保持部42を移動させている状態を示している。図10(b)は、ディスク保持部42をクリーニング位置βまで移動させた状態を示している。
水平アクチュエータ74は、ベース12に取り付けられている。そして、水平アクチュエータ74は、ディスク保持部42をベース12の面に沿って水平方向に移動させる。
第1垂直アクチュエータ76は、水平アクチュエータ74に取り付けられた取り付け板75に取り付けられている。そして、第1垂直アクチュエータ76は、ディスク保持部42をベース12の面に対し垂直方向に移動させる。
第2垂直アクチュエータ78は、第1垂直アクチュエータ76に取り付けられた取り付け板77に取り付けられている。そして、第2垂直アクチュエータ78は、ディスク保持部42をベース12の面に対し垂直方向に移動させる。
供給回収用アクチュエータ80は、第2垂直アクチュエータ78に取り付けられた取り付け板79に取り付けられている。そして、供給回収用アクチュエータ80は、通常移動範囲αにおいてディスク保持部42をベース12の面に対し垂直方向に移動させる。
図11に示す第2仕様例では、水平アクチュエータ74、供給回収用アクチュエータ80、ロータリアクチュエータ82などのアクチュエータにより、ディスク保持部42を移動させる。図11(a)は、通常移動範囲αにおいてディスク保持部42を移動させている状態を示している。図11(b)は、ディスク保持部42をクリーニング位置βまで移動させた状態を示している。
供給回収用アクチュエータ80は、水平アクチュエータ74に取り付けられた取り付け板83に取り付けられている。水平アクチュエータ74と供給回収用アクチュエータ80のその他の仕様は、図10に示す第1仕様例と同様である。
ロータリアクチュエータ82は、供給回収用アクチュエータ80に取り付けられた取り付け部材81に取り付けられている。そして、ロータリアクチュエータ82は、ディスク保持部42を回転させてクリーニング位置βまで移動させる。
また、クリーニング機構部72を、筐体18により囲まれた処理領域に対し、筐体18の側面を挟んで反対側(図2の横方向)の非処理領域に配置してもよい。この場合、筐体18の側面に開閉可能な開閉孔(不図示)を設けておき、当該開閉孔を通してディスク保持部42を移動させることが考えられる。この場合、水平アクチュエータ74を筐体18により囲まれた処理領域内から筐体18の側面を挟んで反対側(図2の横方向)の非処理領域まで延設させておくことが考えられる。そして、水平アクチュエータ74により、ディスク保持部42を筐体18により囲まれた処理領域内から開閉孔を通して非処理領域まで移動させることが考えられる。
〔ディスク保持部の説明〕
次に、ディスク保持部42について説明する。
次に、ディスク保持部42について説明する。
図13は、(a)がスレーブディスク36の断面図であり、(b)がディスク保持部42とスレーブディスク36の断面図である。図13に示す断面図において、ディスク保持部42の溝42aはV字型に形成されている。
図12は、ディスク保持部42がスレーブディスク36を保持する領域を示す図である。図12に示すように、スレーブディスク36の半径をR、垂直方向の支持幅をYとするとき、Y/R≧0.05であることが望ましい。また、スレーブディスク36の半径をR、水平方向の指示幅をXとするとき、X/R≧0.1であることが望ましい。これにより、ディスク保持部42はスレーブディスク36を安定して保持することができる。
ここで、図12に示す水平方向の指示幅のXとは、ディスク保持部42の溝42aの内面とスレーブディスク36の外周部が接触する領域における幅の寸法である。
また、図12に示すYとは、ディスク保持部42の溝42aの内面とスレーブディスク36の外周部が接触する領域におけるスレーブディスク36の中心側に最も近い部分から、スレーブディスク36の外部側端部までの寸法である。そのため、ディスク保持部42の溝42aの内面とスレーブディスク36の外周部が線接触する場合には、線接触する部分からスレーブディスク36の外部側端部までの寸法である。
また、図14に示すように、ディスク保持部42の溝42aの底面42bに、吸引排出口42dを形成しておくことも考えられる。図14(a)はディスク保持部42の外観斜視図であり、図14(b)はディスク保持部42の上面図であり、図14(c)は図14(a)と図14(b)におけるB−B断面図である。図14に示すディスク保持部42は、スレーブディスク36を保持させる時にエアを吸引排出口42dから吸引させれば、ディスク保持部42にゴミが堆積することを抑制できる。
特に、スレーブディスク36を保持する時にエア吸引すると、発生したゴミがディスクデータ面に飛散するのを防止できる。
また、図示していないが、装置構成上スレーブディスク36の受け渡しのため、スレーブディスク36の内外径を把持するチャック等についても、把持により飛散したゴミがディスクデータ面に付着するのを防止するため、局部的にカバーで囲い、エア吸引することが望ましい。例えば、前記の図2のスレーブハンドラ26におけるスレーブディスク36を保持する機構である、エア圧で開閉される爪状部材によりスレーブディスク36の中心孔を保持する機構や、スレーブディスク36の内周部分を吸着する吸着チャックを構成するチャック機構などについて、局部的にカバーで囲い、エア吸引することが望ましい。
また、図15,図16に示すように、スレーブディスク36との接触箇所が複数からなるディスク保持部66,68が考えられる。ディスク保持部66は溝66aを有し、さらに隙間66bを有し、隙間66bから吸引させることによりディスク保持部66にゴミが堆積しないようにしてもよい。また、ディスク保持部68は溝68aを有し、さらに隙間68b,68cを有し、隙間68b,68cから吸引させることによりディスク保持部68にゴミが堆積しないようにしてもよい。
以上、本発明の処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
本発明に係る処理装置は、磁気転写装置の他に、半導体製造装置、画像形成装置、ワークの研磨装置、ワークの表面加工装置などにも適用することができる。
1…磁気転写装置、10…架台、12…ベース、14…磁気転写機構、16…フィルターファンユニット、18…筐体、20…カセットステージ、22…カセット、24…ディスクリフター部、26…スレーブハンドラ、28…インデックス部、30…マスターハンドラ、34…ベース開口部、36…スレーブディスク、38…マスターディスク、42…ディスク保持部、44…アクチュエータ、54…クリーニング装置、56…カバー、58…エアブローノズル、60…吸引配管、62…粘着シート、66…ディスク保持部、68…ディスク保持部、72…クリーニング機構部、α…通常移動範囲、β…クリーニング位置
Claims (11)
- ワークに対して処理を行う処理手段と、
ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、
前記保持手段を移動させる移動手段と、
前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、
前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項1の処理装置において、
前記他の位置は、前記処理手段が配置される処理領域から分離された非処理領域に存在すること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項2の処理装置において、
前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、
前記ベースには前記処理領域内における気体の循環用の貫通した気体循環孔が形成され、
前記保持手段は前記移動手段により前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項3の処理装置において、
前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って前記気体循環孔の位置まで移動させられた後に前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1つの処理装置において、
前記清掃手段は、連続して複数のワークに対し処理を行う際にワークの品質不良が発生した時またはロットを切り替えた時または所定数のワークに処理を行った時の少なくともいずれか1つの時において前記保持手段を清掃すること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1つの処理装置において、
前記清掃手段は、前記保持手段に対し気体による圧力を加えるものであること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1つの処理装置において、
前記清掃手段は、前記保持手段に可撓性のある粘着部材を接触させるものであること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項2の処理装置において、
前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、
前記筐体には開閉孔が形成され、
前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って移動させられた後に前記開閉孔を通って前記他の位置に移動させられること、
を特徴とする処理装置。 - 請求項1乃至8のいずれか1つの処理装置における前記処理手段を被転写媒体に磁気転写を行う磁気転写手段に適用した磁気転写装置。
- 請求項9の磁気転写装置を使用して被転写媒体に磁気転写を行うこと、を特徴とする磁気転写方法。
- 請求項9の磁気転写装置を使用して磁気転写が行われたこと、を特徴とする被転写媒体。
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JP2007320903A JP2009146485A (ja) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体 |
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