JP2009146485A - 処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】処理後のワークの品質維持を図り、装置タクトの短縮化を図ることができること。
【解決手段】本発明の処理装置は、ワークに対して処理を行う処理手段と、ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、を特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられるスレーブディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置であって、スレーブディスクの保持部の清掃を行う清掃手段を備えた磁気転写装置に関する。

近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法（磁気転写）が効率的であり、好ましい。

このような磁気転写を行う磁気転写装置が特許文献１〜４に開示されている。特許文献１〜４では、磁気転写にあたり磁気ディスク（被転写媒体）であるスレーブディスクを保持するための保持手段（吸着チャック、ディスク保持部など）を有している。
特開２００４−８７０９９号公報 特開２００１−３５７５９４号公報 特開２００６−１３４５０８号公報 特開２００６−１５５７４５号公報

ワークの処理装置において、連続してワークへの処理を行う場合には、ワークに付着していたゴミがワークの保持手段などのワークと接触する部分に堆積したり、ワークに付着していたゴミによる発塵が生じる。そして、これらのゴミが処理装置内に付着すると、処理後のワークの品質不良を生じるおそれがある。

特に、磁気転写装置においては、ワークであるスレーブディスクに付着していたゴミがマスターディスクに付着すると、磁気転写後のスレーブディスクの良品率が大幅に低下してしまう。

また、処理手段が配置される位置でワークと接触する部分に堆積したゴミを除去しようとすると、装置内のクリーン度を悪化させてしまう。特に、磁気転写装置においては、装置内のクリーン度を悪化させてしまうと、磁気転写後のスレーブディスクの良品率が低下するおそれがある。

また、１つのワークに対する処理が終了する毎にスレーブディスクと接触する部分をクリーニングすると、装置タクトが長くなってしまう。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、処理後のワークの品質維持を図り、装置タクトの短縮化を図ることができる処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体を提供すること、を目的とする。

前記目的を達成するために本発明の処理装置は、ワークに対して処理を行う処理手段と、ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、を特徴とする。

本発明によれば、ワークを供給回収するときに移動する範囲の範囲外にある位置で保持手段は清掃されるので、処理後のワークの品質維持を図ることができる。

本発明の一態様として、前記他の位置は、前記処理手段が配置される処理領域から分離された非処理領域に存在すること、を特徴とする。

かかる態様によれば、処理領域から分離された非処理領域で保持手段は清掃されるので、より確実に処理後のワークの品質維持を図ることができる。

本発明の一態様として、前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、前記ベースには前記処理領域内における気体の循環用の貫通した気体循環孔が形成され、前記保持手段は前記移動手段により前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、を特徴とする。

かかる態様によれば、処理領域内における気体の循環用の気体循環孔の有効利用を図りつつ、ワークの清掃を行うことができる。

本発明の一態様として、前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って前記気体循環孔の位置まで移動させられた後に前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、を特徴とする。

かかる態様によれば、処理を行う時に配置される保持手段の位置に関らず、保持手段を確実に清掃手段が配置される他の位置に移動させることができる。

本発明の一態様として、前記清掃手段は、連続して複数のワークに対し処理を行う際にワークの品質不良が発生した時またはロットを切り替えた時または所定数のワークに処理を行った時の少なくともいずれか１つの時において前記保持手段を清掃すること、を特徴とする。

かかる態様によれば、装置タクトの短縮化を図ることができる。

本発明の一態様として、前記清掃手段は、前記保持手段に対し気体による圧力を加えるものであること、を特徴とする。

本発明の一態様として、前記清掃手段は、前記保持手段に可撓性のある粘着部材を接触させるものであること、を特徴とする。

本発明の一態様として、前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、前記筐体には開閉孔が形成され、前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って移動させられた後に前記開閉孔を通って前記他の位置に移動させられること、を特徴とする。

前記目的を達成するために本発明の磁気転写装置は、前記処理装置における前記処理手段を被転写媒体に磁気転写を行う磁気転写手段に適用したものである。

前記目的を達成するために本発明の磁気転写方法は、前記磁気転写装置を使用して被転写媒体に磁気転写を行うものである。

前記目的を達成するために本発明の被転写媒体は、前記磁気転写装置を使用して磁気転写が行われたものである。

本発明によれば、処理後のワークの品質維持を図り、装置タクトの短縮化を図ることができる。

以下添付図面に従って、本発明の好ましい実施の形態について詳説する。なお、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。

〔磁気転写装置の構成〕
図１は、本発明に係る処理装置の一例である磁気転写装置１の実施の形態の概略を示す斜視図である。また、図２は、図１の２−２線に沿った磁気転写装置１の断面図である。

図１、図２に示すように磁気転写装置１は、架台１０に設けられたベース１２上に、磁気転写機構１４が配設されている。そして、磁気転写機構１４は上部にフィルターファンユニット１６を備えた筐体１８に収容されている。また、ベース１２の下側には、クリーニング機構部７２（清掃手段）やアクチュエータ４４（移動手段）が配設されている。

磁気転写機構１４には、カセット２２を備えるカセットステージ２０、ディスクリフター部２４、スレーブハンドラ２６、インデックス部２８、マスターハンドラ３０、磁気転写部３１（処理手段）などが構成されている。

なお、ベース１２には後述するように、筐体１８内のエアの循環のためのエア排出口であるベース開口部３４（気体循環孔）が形成されている。そして、このベース開口部３４は、ディスクリフター部２４のディスク保持部４２（保持手段）を筐体１８内外に移動させるために、通過する孔の役割もなす。

このように、磁気転写装置１においては、磁気転写部３１が配置される処理領域はベース１２と筐体１８で囲まれることにより、クリーニング機構部７２（清掃手段）が配設されている非処理領域と分離されている。

図３は、（ａ）がカセット２２の断面図であり、（ｂ）が（ａ）のＡ−Ａ概略断面図であり、カセット２２に収納されているスレーブディスク３６とディスクリフター部２４の様子を示している。

カセット２２は、図３（ａ）に示すように、スレーブディスク３６を収納するための容器であり、複数のスレーブディスク３６を収納することができる。より具体的には、マスターハンドラ３０に保持されているマスターディスク３８（図１参照）の磁気パターンの転写前、または転写後の複数のスレーブディスク３６を収納することができる容器である。なお、説明の便宜上、図３（ｂ）にはスレーブディスク３６を１枚のみ記載している。

そして、カセット２２の底部には、ディスクリフター部２４のディスク保持部４２が昇降して出入りできるように、カセット開口部４０が形成されている。カセット２２はカセットステージ２０（図１，２参照）により、ディスクリフター部２４に対し図３（ｂ）に示す矢印Ｂ方向に相対的に往復移動させられる。これにより、カセット２２内に収納された全てのスレーブディスク３６を、ディスクリフター部２４により順番に昇降させることができる。

ディスクリフター部２４は、図３（ｂ）に示すように、スレーブディスク３６を保持するディスク保持部４２と、ディスク保持部４２を昇降させるためのアクチュエータ４４とからなる。ディスク保持部４２は、例えば、図４に示すように、半円形の凹部を有し、当該凹部に沿ってスレーブディスク３６を保持するためのＶ字状の溝４２ａを形成したものが考えられる。

ディスク保持部４２の材質は、ピーク材（ポリエーテルケトン）、ポリイミドアミド、セラゾールなどが望ましい。また、ディスク保持部４２におけるスレーブディスク３６との接触部分の表面粗さは、Ｒａ＝１．６以下であることが望ましい。

ディスク保持部４２は、スレーブディスク３６を保持していない時には、カセットステージ２０内部の空隙部７０（図２参照）に配置されている。なお、カセットステージ２０下部に空隙部７０を設け、当該空隙部７０にディスク保持部４２が配置されることとしてもよい。ディスクリフター部２４のさらなる詳細については、後述する。

スレーブハンドラ２６は、図２の矢印に示すように、ディスクリフター部２４とインデックス部２８の間にて移動自在に配置されている。そして、スレーブハンドラ２６は、スレーブディスク３６を保持しつつ、ディスクリフター部２４からインデックス部２８まで搬送させる機能を有する。スレーブディスク３６を保持する機構としては、例えば、エア圧で開閉される爪状部材によりスレーブディスク３６の中心孔を保持する機構や、スレーブディスク３６の内周部分を吸着する吸着チャックを構成するチャック機構などが考えられる。

インデックス部２８は、４本のアームが直角に組み合わされた構造を有し、各アームの先端部には、スレーブディスク３６を保持するための機構、例えば吸着ヘッドを有する。このスレーブディスク３６を保持するための機構が間欠的に１回転する間に、４段階の転写作業が行われる。転写作業は、待機ステージ４６、スレーブ位置測定ステージ４８、初期化ステージ５０、転写ステージ５２の４段階で構成される。

マスターハンドラ３０は、磁気転写部３１によりスレーブディスク３６の磁性層に対して情報を磁気転写する時に、転写するためのパターン状の磁性層を備えたマスターディスク３８を保持するものであり、マスターディスク３８の装着及び脱着などを行う。

次に、前記のような磁気転写装置１の構成のもと、磁気転写装置１による磁気転写方法について説明する。まず、カセットステージ２０の内部の空隙部７０に配置されたディスクリフター部２４のディスク保持部４２を、アクチュエータ４４によりカセット２２側に移動させる。そして、カセット２２に収容されたスレーブディスク３６を、ディスク保持部４２の溝４２ａに挿入させて保持させる。

その後、さらにディスク保持部４２をアクチュエータ４４によりカセット２２の下部側から上部に移動させて、ディスク保持部４２に保持されたスレーブディスク３６をカセット２２の上部に突出させて、スレーブハンドラ２６のアームへの供給位置まで移動させる。

次に、スレーブハンドラ２６のアームへの供給位置まで移動させたスレーブディスク３６を、スレーブハンドラ２６に供給して保持させた後、スレーブハンドラ２６をインデックス部２８に向かって移動させる。そして、当該スレーブディスク３６を、インデックス部２８の待機ステージ４６に待機しているインデックス部２８のアームに供給して保持させる。

インデックス部２８に保持されたスレーブディスク３６は、４段階のステージの間を９０度ずつ間欠的に回転することにより移動する。まず、スレーブ位置測定ステージ４８では、吸着保持されたスレーブディスク３６の中心位置を測定する。その測定結果に従って、転写ステージ５２でマスターディスク３８と中心位置を合わせた状態で密着できるように位置調整を行う。次の初期化ステージ５０は、磁気消去を行う。転写ステージ５２では磁気転写用のマスターディスク３８がスレーブディスク３６に密着され、磁気転写部３１により磁気パターンの転写が行われる。

転写が終了するとインデックス部２８のアームにより、磁気パターンが転写されたスレーブディスク３６が前記の待機ステージ４６に運ばれる。待機ステージ４６では、転写済みスレーブディスク３６をインデックス部２８のアームからスレーブハンドラ２６に回収させる。

磁気転写操作を連続して行う場合には、スレーブハンドラ２６は、上述のように相反する側に一対の保持機構を有するので、カセットステージ２０に向いた側に磁気転写をしていないスレーブディスク３６を保持している。

スレーブハンドラ２６が転写済みのスレーブディスク３６を回収した後、スレーブハンドラ２６はスレーブディスク３６の搬送方向と平行に回転し、転写済みのスレーブディスク３６をカセットステージ２０側に向け、同時に、インデックス部２８のアーム側に向けられた磁気転写前のスレーブディスク３６を上述のようにインデックス部２８のアーム側に供給する。転写済みのスレーブディスク３６は、スレーブハンドラ２６によりディスクリフター部２４まで運ばれ、ディスクリフター部２４のディスク保持部４２に回収されて保持される。その後、ディスク保持部４２がカセット２２側に移動して、やがて転写済みのスレーブディスク３６はカセット２２に回収される。

以上の操作を繰り返し、図１に示す磁気転写装置１により、スレーブディスク３６への磁気パターンの転写が連続的に行われる。
〔ディスク保持部のクリーニング方法〕
次に、ディスクリフター部２４のディスク保持部４２のクリーニング方法について説明する。図５は、ディスク保持部４２の通常移動範囲とベース開口部とクリーニング位置との位置関係を示す図である。

前記のようにスレーブディスク３６への磁気パターンの転写が連続的に行われると、スレーブディスク３６に接触する部分であるディスクリフター部２４のディスク保持部４２に、スレーブディスク３６に付着していたゴミが堆積するおそれがある。また、スレーブディスク３６に付着していたゴミにディスク保持部４２が接触することにより、発塵が生じるおそれある。

そして、ディスク保持部４２に堆積したゴミや発塵によるゴミが、マスターディスク３８に付着したり、磁気転写装置１内に付着することにより、磁気転写後のスレーブディスク３６の品質不良が生じるおそれがある。特に、マスターディスク３８にゴミが付着するとスレーブディスク３６の良品率が大幅に低下してしまう。

そこで、所定数のスレーブディスク３６を磁気転写した時に定期的に、あるいは、磁気転写後のスレーブディスク３６の品質不良の発生時やロットの切り替え時などに不定期的に、ディスク保持部４２のクリーニングを行う。

まず、図５に示すように、ディスク保持部４２を通常移動範囲α内の位置から、ベース開口部３４を通って、通常移動範囲αの範囲外にある他の位置であるクリーニング位置βまで移動させる。通常移動範囲αとは、ディスク保持部４２がスレーブディスク３６をカセット２２とスレーブハンドラ２６の間で供給または回収する時に移動する範囲（供給回収時移動範囲）である。また、所定のクリーニング位置βとは、後述するディスク保持部４２のクリーニング機構部７２が配置される位置である。なお、ディスク保持部４２の移動は、アクチュエータ４４の駆動を制御することにより行う。

ここで、ベース開口部３４は、フィルターファンユニット１６から供給され、磁気転写装置１内を循環させたエアを排出するためのエア排出口である。このように、エア排出口であるベース開口部３４を利用して、ディスク保持部４２は磁気転写機構１４が収容されたベース１２と筐体１８により囲まれた処理領域から、ベース１２により分離された非処理領域（クリーニング位置βが存在する領域）に移動させられる。

そして、所定のクリーニング位置βまで移動させたディスク保持部４２を、クリーニング機構部７２によりクリーニングする。クリーニング機構部７２としては、例えば、図６に示すようなクリーニング装置５４から構成されることが考えられる。クリーニング装置５４は、ディスク保持部４２を覆うカバー５６、当該カバー５６内と連通するエアブローノズル５８や吸引配管６０などにより構成される。クリーニング装置５４は、エアブローノズル５８からエアを供給して、エアの圧力をディスク保持部４２に加えることにより、ディスク保持部４２に堆積するゴミを除去する。そして、除去したゴミは吸引配管６０によりエアとともに吸引される。

エアブローノズル５８からのエアの供給量や吸引配管６０からのエアの吸引量は、ディスク保持部４２の溝４２ａの全体の形状や底面４２ｂの形状、あるいは各寸法によって変化させてもよい。

また、クリーニング機構部７２の他の例としては、図７に示すようなクリーニング方法を実現するクリーニング装置から構成されることが考えられる。当該クリーニング装置は、表面が粘着性を有し、かつ接触する相手の形状に倣って比較的撓みやすい粘着シート６２（可撓性のある粘着部材）を折り曲げたものを構成する。そして、図７に示すように、当該クリーニング装置では、粘着シート６２をディスク保持部４２の溝４２ａの形に倣わせながら、粘着シート６２の表面が溝４２ａの内面に接触するように挿入させる。すると、溝４２ａに堆積するゴミｄが粘着シート６２の表面に付着するので、このまま粘着シート６２を溝４２ａから排出させる。これにより、溝４２ａに堆積するゴミｄを除去することができる。

なお、このとき、溝４２ａは、図８（ａ）に示すように底面４２ｂがＲで形成されていたり、図７や図８（ｂ）に示すように底面４２ｂのエッジ部分４２ｃがＲで形成されていることが望ましい。このような形状にすることで、溝４２ａの形状に粘着シート６２の形状が倣いやすくなり、より確実にゴミｄを除去することができる。

また、スレーブディスク３６と同じ形状または類似する形状であって粘着性のあるディスク表面を備えるクリーニング用ディスク（不図示）を、ディスク保持部４２の溝４２ａに保持させた後、アクチュエータ４４によりディスク保持部４２を通常移動範囲α内の位置まで移動させて、前記の磁気転写方法によりクリーニング用ディスクに対して磁気転写を行ってもよい。これにより、スレーブディスク３６に磁気転写を行う時にスレーブディスク３６と接触する全ての部分のクリーニングを行うことができる。

磁気転写を行う時にスレーブディスク３６と接触する部分とは、例えば、ディスクリフター部２４のディスク保持部４２、スレーブハンドラ２６、インデックス部２８のアーム、スレーブ位置測定ステージ４８の測定機器（不図示）、初期化ステージ５０の磁気消去機器（不図示）、転写ステージ５２のマスターディスク３８などがある。

なお、図９に示すように、ディスクリフター部２４のディスク保持部４２の通常移動範囲αの位置がベース開口部３４の位置からベース１２の面に沿って外れている場合には、まず、ディスク保持部４２をベース開口部３４の位置までベース１２の面に沿って移動させる。そして、その後ベース開口部３４に通して、ベース１２により分離された非処理領域にある所定のクリーニング位置βまで移動させて、クリーニング機構部７２によりクリーニングする。

このときの装置構成の仕様例を図１０と図１１に示す。図１０と図１１は図９の矢印Ａ方向から見た図である。図１０に示す第１仕様例では、水平アクチュエータ７４、第１垂直アクチュエータ７６、第２垂直アクチュエータ７８、供給回収用アクチュエータ８０などのアクチュエータにより、ディスク保持部４２を移動させる。図１０（ａ）は、通常移動範囲αにおいてディスク保持部４２を移動させている状態を示している。図１０（ｂ）は、ディスク保持部４２をクリーニング位置βまで移動させた状態を示している。

水平アクチュエータ７４は、ベース１２に取り付けられている。そして、水平アクチュエータ７４は、ディスク保持部４２をベース１２の面に沿って水平方向に移動させる。

第１垂直アクチュエータ７６は、水平アクチュエータ７４に取り付けられた取り付け板７５に取り付けられている。そして、第１垂直アクチュエータ７６は、ディスク保持部４２をベース１２の面に対し垂直方向に移動させる。

第２垂直アクチュエータ７８は、第１垂直アクチュエータ７６に取り付けられた取り付け板７７に取り付けられている。そして、第２垂直アクチュエータ７８は、ディスク保持部４２をベース１２の面に対し垂直方向に移動させる。

供給回収用アクチュエータ８０は、第２垂直アクチュエータ７８に取り付けられた取り付け板７９に取り付けられている。そして、供給回収用アクチュエータ８０は、通常移動範囲αにおいてディスク保持部４２をベース１２の面に対し垂直方向に移動させる。

図１１に示す第２仕様例では、水平アクチュエータ７４、供給回収用アクチュエータ８０、ロータリアクチュエータ８２などのアクチュエータにより、ディスク保持部４２を移動させる。図１１（ａ）は、通常移動範囲αにおいてディスク保持部４２を移動させている状態を示している。図１１（ｂ）は、ディスク保持部４２をクリーニング位置βまで移動させた状態を示している。

供給回収用アクチュエータ８０は、水平アクチュエータ７４に取り付けられた取り付け板８３に取り付けられている。水平アクチュエータ７４と供給回収用アクチュエータ８０のその他の仕様は、図１０に示す第１仕様例と同様である。

ロータリアクチュエータ８２は、供給回収用アクチュエータ８０に取り付けられた取り付け部材８１に取り付けられている。そして、ロータリアクチュエータ８２は、ディスク保持部４２を回転させてクリーニング位置βまで移動させる。

また、クリーニング機構部７２を、筐体１８により囲まれた処理領域に対し、筐体１８の側面を挟んで反対側（図２の横方向）の非処理領域に配置してもよい。この場合、筐体１８の側面に開閉可能な開閉孔（不図示）を設けておき、当該開閉孔を通してディスク保持部４２を移動させることが考えられる。この場合、水平アクチュエータ７４を筐体１８により囲まれた処理領域内から筐体１８の側面を挟んで反対側（図２の横方向）の非処理領域まで延設させておくことが考えられる。そして、水平アクチュエータ７４により、ディスク保持部４２を筐体１８により囲まれた処理領域内から開閉孔を通して非処理領域まで移動させることが考えられる。

〔ディスク保持部の説明〕
次に、ディスク保持部４２について説明する。

図１３は、（ａ）がスレーブディスク３６の断面図であり、（ｂ）がディスク保持部４２とスレーブディスク３６の断面図である。図１３に示す断面図において、ディスク保持部４２の溝４２ａはＶ字型に形成されている。

図１２は、ディスク保持部４２がスレーブディスク３６を保持する領域を示す図である。図１２に示すように、スレーブディスク３６の半径をＲ、垂直方向の支持幅をＹとするとき、Ｙ／Ｒ≧０．０５であることが望ましい。また、スレーブディスク３６の半径をＲ、水平方向の指示幅をＸとするとき、Ｘ／Ｒ≧０．１であることが望ましい。これにより、ディスク保持部４２はスレーブディスク３６を安定して保持することができる。

ここで、図１２に示す水平方向の指示幅のＸとは、ディスク保持部４２の溝４２ａの内面とスレーブディスク３６の外周部が接触する領域における幅の寸法である。

また、図１２に示すＹとは、ディスク保持部４２の溝４２ａの内面とスレーブディスク３６の外周部が接触する領域におけるスレーブディスク３６の中心側に最も近い部分から、スレーブディスク３６の外部側端部までの寸法である。そのため、ディスク保持部４２の溝４２ａの内面とスレーブディスク３６の外周部が線接触する場合には、線接触する部分からスレーブディスク３６の外部側端部までの寸法である。

また、図１４に示すように、ディスク保持部４２の溝４２ａの底面４２ｂに、吸引排出口４２ｄを形成しておくことも考えられる。図１４（ａ）はディスク保持部４２の外観斜視図であり、図１４（ｂ）はディスク保持部４２の上面図であり、図１４（ｃ）は図１４（ａ）と図１４（ｂ）におけるＢ−Ｂ断面図である。図１４に示すディスク保持部４２は、スレーブディスク３６を保持させる時にエアを吸引排出口４２ｄから吸引させれば、ディスク保持部４２にゴミが堆積することを抑制できる。

特に、スレーブディスク３６を保持する時にエア吸引すると、発生したゴミがディスクデータ面に飛散するのを防止できる。

また、図示していないが、装置構成上スレーブディスク３６の受け渡しのため、スレーブディスク３６の内外径を把持するチャック等についても、把持により飛散したゴミがディスクデータ面に付着するのを防止するため、局部的にカバーで囲い、エア吸引することが望ましい。例えば、前記の図２のスレーブハンドラ２６におけるスレーブディスク３６を保持する機構である、エア圧で開閉される爪状部材によりスレーブディスク３６の中心孔を保持する機構や、スレーブディスク３６の内周部分を吸着する吸着チャックを構成するチャック機構などについて、局部的にカバーで囲い、エア吸引することが望ましい。

また、図１５，図１６に示すように、スレーブディスク３６との接触箇所が複数からなるディスク保持部６６，６８が考えられる。ディスク保持部６６は溝６６ａを有し、さらに隙間６６ｂを有し、隙間６６ｂから吸引させることによりディスク保持部６６にゴミが堆積しないようにしてもよい。また、ディスク保持部６８は溝６８ａを有し、さらに隙間６８ｂ，６８ｃを有し、隙間６８ｂ，６８ｃから吸引させることによりディスク保持部６８にゴミが堆積しないようにしてもよい。

以上、本発明の処理装置、磁気転写装置、磁気転写方法、被転写媒体について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

本発明に係る処理装置は、磁気転写装置の他に、半導体製造装置、画像形成装置、ワークの研磨装置、ワークの表面加工装置などにも適用することができる。

磁気転写装置の実施の形態の概略を示す斜視図 磁気転写装置の実施の形態の概略を示す側面図 ディスク保持部がスレーブディスクを保持する図 図３のディスク保持部の外観斜視図 通常移動範囲とベース開口部とクリーニング位置との位置関係を示す図 エアによるクリーニング方法を実現する装置の概要図 粘着シートによるクリーニング方法を示す図 ディスク保持部のスレーブディスクを保持する部分の詳細図 通常移動範囲とベース開口部とクリーニング位置との位置関係を示す図 ディスク保持部をベース開口部の位置までベースの面に沿って移動させた後、ベース開口部に通して、非処理領域にある所定のクリーニング位置まで移動させるときの装置構成の第１仕様例を示す図 ディスク保持部をベース開口部の位置までベースの面に沿って移動させた後、ベース開口部に通して、非処理領域にある所定のクリーニング位置まで移動させるときの装置構成の第２仕様例を示す図 ディスク保持部がスレーブディスクを保持する領域を示す図 スレーブディスクとディスク保持部の断面図 溝の底面に吸引排出口を形成したディスク保持部の実施形態を示す図 スレーブディスクとの接触箇所が複数からなるディスク保持部の実施形態を示す図 図１５のディスク保持部の外観斜視図

符号の説明

１…磁気転写装置、１０…架台、１２…ベース、１４…磁気転写機構、１６…フィルターファンユニット、１８…筐体、２０…カセットステージ、２２…カセット、２４…ディスクリフター部、２６…スレーブハンドラ、２８…インデックス部、３０…マスターハンドラ、３４…ベース開口部、３６…スレーブディスク、３８…マスターディスク、４２…ディスク保持部、４４…アクチュエータ、５４…クリーニング装置、５６…カバー、５８…エアブローノズル、６０…吸引配管、６２…粘着シート、６６…ディスク保持部、６８…ディスク保持部、７２…クリーニング機構部、α…通常移動範囲、β…クリーニング位置

Claims (11)

1. ワークに対して処理を行う処理手段と、
   ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、
   前記保持手段を移動させる移動手段と、
   前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、
   前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、
   を特徴とする処理装置。
2. 請求項１の処理装置において、
   前記他の位置は、前記処理手段が配置される処理領域から分離された非処理領域に存在すること、
   を特徴とする処理装置。
3. 請求項２の処理装置において、
   前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、
   前記ベースには前記処理領域内における気体の循環用の貫通した気体循環孔が形成され、
   前記保持手段は前記移動手段により前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、
   を特徴とする処理装置。
4. 請求項３の処理装置において、
   前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って前記気体循環孔の位置まで移動させられた後に前記気体循環孔を通って前記他の位置に移動させられること、
   を特徴とする処理装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか１つの処理装置において、
   前記清掃手段は、連続して複数のワークに対し処理を行う際にワークの品質不良が発生した時またはロットを切り替えた時または所定数のワークに処理を行った時の少なくともいずれか１つの時において前記保持手段を清掃すること、
   を特徴とする処理装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか１つの処理装置において、
   前記清掃手段は、前記保持手段に対し気体による圧力を加えるものであること、
   を特徴とする処理装置。
7. 請求項１乃至５のいずれか１つの処理装置において、
   前記清掃手段は、前記保持手段に可撓性のある粘着部材を接触させるものであること、
   を特徴とする処理装置。
8. 請求項２の処理装置において、
   前記処理領域はベースと筐体で囲まれることにより前記非処理領域と分離され、
   前記筐体には開閉孔が形成され、
   前記保持手段は前記移動手段により前記ベースの面に沿って移動させられた後に前記開閉孔を通って前記他の位置に移動させられること、
   を特徴とする処理装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか１つの処理装置における前記処理手段を被転写媒体に磁気転写を行う磁気転写手段に適用した磁気転写装置。
10. 請求項９の磁気転写装置を使用して被転写媒体に磁気転写を行うこと、を特徴とする磁気転写方法。
11. 請求項９の磁気転写装置を使用して磁気転写が行われたこと、を特徴とする被転写媒体。

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