JP2009144217A - 真空アーク蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着材料からなるカソード電極1と、該カソード電極1の外周を包囲する絶縁ガイシ4と、該絶縁ガイシ4の外周に設けられたトリガ電極2と、が一つのユニット体を形成し、該ユニット体がアノード電極6内に収容され、該アノード電極6が真空管8内に収容されたアーク蒸着源10を具備する真空アーク蒸着装置100であり、カソード電極1はその内部に溝孔1aが形成され、その他端1cが閉塞された筒状を呈しており、該他端1cとホルダ部材5とが締結手段7を介して一体とされた姿勢で絶縁ガイシ4内に収容されており、カソード電極1を構成する蒸着材料の消耗に応じて該カソード電極1を絶縁ガイシ4に対して相対移動させ、カソード電極1を絶縁ガイシ4の端部4aから突出させる移動調整手段9Aを具備している。
【選択図】図2
Description
本発明者等は、図4で示す蒸着源10を備えた真空アーク蒸着装置100を用意し、アークプラズマ連続照射を実施して、プラズマ照射回数を検証した。ここで、ボルト7はSUS303から成形したものを使用した。さらに、カソード電極1の端部1bの絶縁ガイシ4からの突出長は1mmとし、プラズマ照射回数が4〜5万回で該端部が消耗することから、4〜5万回ごとにさらに1mmだけ厚みの厚いスペーサを挿入し直すことでカソード電極1を前進させた。なお、比較例として、カソード電極に溝孔がなく、カソード電極の一端で電極ホルダとの締結用ボルトのナットが突出しており、さらには移動調整手段がなく、したがってカソード電極の一部が絶縁ガイシから移動しない姿勢で突出している蒸着源を有する真空アーク蒸着装置(不図示)を使用して、同様にアークプラズマ照射を実行した。
Claims (7)
- 蒸着材料からなるカソード電極と、該カソード電極の外周を包囲する絶縁ガイシと、該絶縁ガイシの外周に設けられたトリガ電極と、が一つのユニット体を形成し、該ユニット体が筒状のアノード電極内に収容され、該アノード電極が真空管内に収容されてできるアーク蒸着源を具備する真空アーク蒸着装置において、
前記カソード電極の一端は前記絶縁ガイシの端部から突出しており、該突出したカソード電極の側面と前記トリガ電極の一端との間で沿面放電がなされるものであり、
前記カソード電極および前記ホルダ部材は筒状の前記絶縁ガイシ内に収容されており、
前記真空アーク蒸着装置は、前記カソード電極を構成する蒸着材料の消耗に応じて該カソード電極を前記絶縁ガイシに対して相対的に移動させ、カソード電極の前記一端を絶縁ガイシの端部から突出させる移動調整手段をさらに具備していることを特徴とする、真空アーク蒸着装置。 - 前記カソード電極は内部に溝孔が形成され、その他端が閉塞された筒状を呈しており、該他端と前記ホルダ部材とが締結手段を介して一体とされた姿勢で前記絶縁ガイシ内に収容されている、請求項1に記載の真空アーク蒸着装置。
- 前記移動調整手段がシリンダユニット機構からなり、シリンダユニットを構成するピストンの移動によって該ピストンに直接的または間接的に装着されたカソード電極を移動させるものである、請求項1または2に記載の真空アーク蒸着装置。
- 前記移動調整手段が送りねじ機構からなり、送りねじを構成するねじ部材の移動によって該ねじ部材に直接的または間接的に装着されたカソード電極を移動させるものである、請求項1または2に記載の真空アーク蒸着装置。
- 前記移動調整手段がスペーサからなり、蒸着材料が一定の長さに亘って消耗した際に、該一定の長さを有するスペーサが前記絶縁ガイシの内部に収容されて前記カソード電極を移動させるものである、請求項1または2に記載の真空アーク蒸着装置。
- 前記真空管内のアノード電極の開放端に対向する位置には被蒸着物を収容する収容部が具備されており、該収容部は前記真空管の軸心まわりに回転自在な皿状のチャンバーを有しており、これに粉体の被蒸着物が収容された姿勢でチャンバーの回転によって攪拌され、アークプラズマが該攪拌された粉体に照射されるものである、請求項1〜5のいずれかに記載の真空アーク蒸着装置。
- 前記蒸着材料が白金からなり、前記粉体が粉状のカーボン担体であり、該カーボン担体に白金または白金合金を担持させるのに供される請求項6に記載の真空アーク蒸着装置。
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