JP2009141266A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】電気ヒューズを切断する際のショートを防ぐことができる。
【解決手段】半導体装置100は、半導体基板(不図示)上に形成され、それぞれ異なる層に形成された第1の配線122と、第2の配線134と、第1の配線122と第2の配線134の間の層に設けられ、第2の配線134の一端部分に接続されるとともに第1の配線122に接続されたビア128とを含む電気ヒューズ200と、第2の配線134と同層に形成され、第2の配線134の一端部分の周囲を取り囲むように形成されたガード配線部160とを含む。平面視において、第2の配線134は、他端から一端部分の方向に延在して形成され、ガード配線部160は、第2の配線134の一端部分を中心として、当該一端部分の周囲三方を取り囲むように形成される。
【選択図】図1

Description

本発明は半導体装置に関し、とくに電気ヒューズを含む半導体装置に関する。
従来、半導体装置にヒューズを搭載しておき、ヒューズを切断することにより半導体装置で使用する抵抗の値を調整したり、不良素子を切り離して正常素子に置き換える等の処理を行う技術が知られている。
ヒューズの切断方法には、ヒューズの一部にレーザを照射することによりヒューズを切断する方式や、ヒューズを電流により切断する方式が用いられている。
特許文献1〜4には、ヒューズを構成する材料がエレクトロマイグレーションにより移動する現象を用いて切断される電気ヒューズが開示されている。
特許文献2(特開2005−39220号公報)には、より小さい電流により切断可能なヒューズが開示されている。特許文献2において、ヒューズを構成する導電体が複数回折り返す形状に形成されている。図12は、特許文献2に開示されたヒューズを示す平面図である。ここで、ヒューズ1100は2回折り返している。
ヒューズ1100は、電流流入端子1101、電流流出端子1102、および両端子間に、第1往路直線部1103、復路直線部1104、第2往路直線部1113を有する。ヒューズ1100はさらに、第1往路直線部1103と復路直線部1104とを結ぶ第1直角接続部1106および第2往路直線部1113と復路直線部1104とを結ぶ第2直角接続部1107を有する。上記のような構成のヒューズ1100において、電流流入端子1101から電流流出端子1102に所定の電流を流すと、ヒューズ1100の外側の斜線部1108で発生した熱が、ヒューズ1100の内側の斜線部1109で発生する熱に加えられて、内側の斜線部1109に挟まれる復路直線部1104の切断を加速させる。これにより、ヒューズ1100が容易に切断される。
また、特許文献3(特開2005−57186号公報)には、ヒューズ溶断部の下方および上方がプレートで覆われ、側方がビアで覆われた構成が記載されている。これにより、ヒューズに電流を流したときにヒューズの切断部に発生する熱をヒューズの切断部近傍に閉じこめたり蓄積するようになっている。
特許文献4(特開2006−253237号公報)には、第1の配線と、第1の配線の上方に絶縁膜を挟んで形成された第2の配線と、第1の配線と第2の配線とを接続するように絶縁膜中に形成された第1のビアとからなるヒューズ素子が記載されている。ここで、第1のビアの主要部は、第1の配線および第2の配線のそれぞれの主要部と比べてエレクトロマイグレーションを起こしやすい材料により構成されている。また、ビアの周囲にビアを加熱するヒータ配線を設けた構成が記載されている。これにより、ビア切断時におけるビア周囲の温度を上げることができ、効率的にビアを切断できるとされている。
米国特許4064493号 特開2005−39220号公報 特開2005−57186号公報 特開2006−253237号公報
しかし、従来の電気ヒューズの構成では、ヒューズが切断された際に、ヒューズ内でのショートやヒューズ周囲の素子とのショートが生じ得るという問題があった。特許文献3に記載された技術では、配線の側方にはビアが形成されているが、ヒューズを構成する配線の端部同士が隣接配置されているため、配線間でのショートが生じるという問題があった。また、特許文献4に記載された技術では、ビア部分の周囲にヒータ配線が設けられているが、配線の周囲に保護する部材がないため、配線を構成する材料が溶断した場合に、ショートが生じるという問題がある。
ところで、本出願人は、電気ヒューズの構成や電気ヒューズへの電圧印加方法等を制御することにより、電気ヒューズ切断時に、電気ヒューズの一部で電気ヒューズを構成する導電体を強制的に外方に流出させ、材料の移動・供給のバランスを崩すことにより、他の部分に大きな切断箇所を形成するという電気ヒューズの新たな切断手法を見出した。これにより、切断された電気ヒューズの切断状態を良好に保つことができる。
特許文献1〜4に記載されたように、ヒューズを構成する材料がエレクトロマイグレーションにより移動する現象を用いてヒューズを切断した場合、ヒューズ切断後に半導体装置に熱処理が施されると、材料がエレクトロマイグレーションにより再度移動して、切断箇所で再接続が生じる可能性が考えられる。もし、このような再接続が生じてしまうと、切断対象の電気ヒューズを切断しておいても、その電気ヒューズが切断されているか否かを検知する際に、正しい結果が得られないことになる。以上のような再接続が生じる可能性はそれほど高くなく、通常の動作に用いる分には問題はないと考えられるが、半導体装置の信頼性が非常に高度に要求される場合や過酷な条件下で使用される場合等は、切断された電気ヒューズが切断状態を保持する保持特性をより高める必要がある。
しかし、本出願人が見出したヒューズの切断方法によれば、導電体が流出する箇所とは異なる位置に切断箇所を大きく形成することができる。これにより、切断された電気ヒューズが再接続される可能性を大幅に低減することができる。一方、導電体の流出量が多くなるため、流出した導電体のショートを防ぐことが重要になる。
本発明によれば、
半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、それぞれ異なる層に形成された第1の配線と、第2の配線と、前記第1の配線と前記第2の配線の間の層に設けられ、前記第2の配線の一端部分に接続されるとともに前記第1の配線に接続されたビアとを含む電気ヒューズと、
前記第2の配線と同層に形成され、前記第2の配線の前記一端部分の周囲を取り囲むように形成されたガード配線部と、
を含み、
平面視において、前記第2の配線は、他端から前記一端部分の方向に延在して形成され、前記ガード配線部は、前記第2の配線の前記一端部分を中心として、当該一端部分の周囲三方を取り囲むように形成された半導体装置が提供される。
このような構成とすることにより、電気ヒューズの切断時に、第2の配線の一端部分から電気ヒューズを構成する導電体が流出等する際にも、導電体がガード配線部によりガードされるので、他の素子等とのショートを防ぐことができる。
なお、本発明の電気ヒューズは以下の手順で切断することができる。
第1の配線と第2の配線との間に所定の電圧を印加して電気ヒューズに電流を流し、電気ヒューズを構成する導電体を第2の配線から外方に流出させて、導電体をビアから第2の配線の方向に移動させることにより、ビアと第1の配線との間またはビアに切断箇所を形成する。このとき、第2の配線の一端部分から導電体が流出しやすく、一端部分の先方に流出部が形成される。本発明の半導体装置の構成によれば、第2の配線の一端部分の先方に流出部が形成されても、流出部がガード配線部によりガードされるので、流出部が他の素子等とショートを起こすのを効果的に防ぐことができる。
本発明によれば、電気ヒューズを切断する際のショートを防ぐことができる。
以下の実施の形態において、同様の構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
本発明の実施の形態において、電気ヒューズは、配線、ビアおよび配線の積層構造により構成することができる。これらの配線およびビアは、それぞれ絶縁膜中に形成された構成とすることができる。また、配線およびビアを構成する導電体は、銅を主成分として含む銅含有金属膜により構成することができる。さらに、配線およびビアの側壁および底面がそれぞれバリアメタル膜で覆われた構成とすることができる。また、配線表面には、バリア絶縁膜が形成された構成とすることができる。
本実施の形態において、このような構成の電気ヒューズは、以下の手順で切断される。
(1)電気ヒューズに過剰なパワーを印加して、たとえば上層配線から電子を過剰に注入することで、配線およびビアを加熱する。
(2)加熱された配線およびビアを構成する導電体が膨張し、周囲の絶縁膜やバリアメタル膜にクラックが発生する。このとき、半導体基板の面内方向の面積が大きい配線(すなわち体積の大きい配線)周囲にクラックが発生する。
(3)絶縁膜やバリアメタル膜のクラック中に導電体が流出し、電気ヒューズを構成する導電体の密度が下がる。
(4)これに伴い、半導体基板の面内方向の面積が小さいビア部分(すなわち体積の小さいビア部分)の導電体が導電体が流出した方向に吸い上げられる。これにより、ビア部分に切断箇所が生じ、電気ヒューズが切断される。
なお、以上の手法による電気ヒューズの切断方法を、「クラックアシスト型」という。まず、図6から図10を参照して、クラックアシスト型で電気ヒューズを切断する際の動作を説明する。図6は、本実施の形態における電気ヒューズ200の構成を示す上面模式図である。図7は、図6のC−C’断面図、図8は、図6のD−D’断面図である。図7(a)および図8(a)は電気ヒューズ200の切断前の状態、図7(b)および図8(b)は電気ヒューズ200の切断後の状態をそれぞれ示す。
電気ヒューズ200は、半導体基板上のそれぞれ異なる層に形成された第1の配線122と、第2の配線134と、第1の配線122と第2の配線134との間の層に形成され、第2の配線134の一端部分に接続されるとともに第1の配線122に接続されたビア128とを含む。図7および図8に示すように、本実施の形態において、第1の配線122、ビア128、および第2の配線134がこの順に下から形成される。切断前の状態では、第1の配線122と第2の配線134とは、これらの間に形成されたビア128により電気的に接続される。
本実施の形態において、第2の配線134の方が第1の配線122よりも体積が大きく形成される。たとえば、第1の配線122と第2の配線134との膜厚を略同一として、第2の配線134は、第1の配線122よりも半導体基板の面内方向における平面配置において、面積が広く形成される。
本実施の形態において、電気ヒューズ200は、第1の配線122からビア128を介して第2の配線134の方向に電流を流すことにより、電気ヒューズ200を構成する導電体が切断される電気ヒューズ(Eヒューズ)である。ここで、電気ヒューズ200の切断時には、第1の配線122を高電圧(たとえばVcc)とするとともに、第2の配線134を低電圧(たとえば接地)とする。第1の配線122と第2の配線134との間には、たとえば2〜5V程度の電圧を印加する。これにより、第1の配線122と第2の配線134との間に過剰なパワーが印加され、第1の配線122から第2の配線134の方向に電流が流れる。その結果、第1の配線122、ビア128、および第2の配線134を構成する導電体が膨張する。ここで、体積が大きい第2の配線134において、加熱された導電体が周囲に及ぼす力が最も大きくなる。そのため、第2の配線134周囲にクラックが形成され、電気ヒューズ200を構成する導電体がクラックから外方に流出してなる流出部142が形成される。
また、このとき、電子は第2の配線134から第1の配線122の方向に移動している(図7(a)および図8(a)参照)。そのため、第2の配線134において加熱された導電体が周囲に及ぼす力は、電子の移動方向において最も大きくなる。その結果、図8(b)に示すように、第2の配線134がビア128と接続される一端部分の先方に最も流出部142が形成されやすくなる。また、図7(b)に示すように、第2の配線134の側方および側方上方にも流出部142が形成されることがある。
さらに、第2の配線134において流出部142が形成されると、導電体が流出部142の方向に移動し、ビア128を構成する導電体が流出部142の方向に吸い上げられる。この結果、ビア128部分に切断箇所(空隙部)140が形成される((図7(b)および図8(b)参照)。
図9は、図8に示した電気ヒューズ200が組み込まれた半導体装置100の構成を具体的に示す断面図である。図9(a)は切断前、図9(b)は切断後の状態を示す。ここでは、電気ヒューズ200がシングルダマシン構造の配線構造を有する場合を例として示す。
図9(a)に示すように、半導体装置100は、半導体基板(不図示)と、半導体基板上に、以下の順で形成された第1のエッチング阻止膜102、第1の層間絶縁膜104、第1の保護膜106、第2のエッチング阻止膜108、第2の層間絶縁膜110、第3のエッチング阻止膜112、第3の層間絶縁膜114、第2の保護膜116および第4のエッチング阻止膜118を含む。
第1の配線122は、第1のエッチング阻止膜102、第1の層間絶縁膜104および第1の保護膜106内に形成される。また、ビア128は、第2のエッチング阻止膜108、第2の層間絶縁膜110および第3のエッチング阻止膜112内に形成される。また、第2の配線134は、第3のエッチング阻止膜112、第3の層間絶縁膜114および第2の保護膜116内に形成される。
第1の配線122、ビア128、および第2の配線134は、銅を主成分として含む銅含有金属膜により構成することができる。銅含有金属膜は、銀を含むことができる。さらに、銅含有金属膜は、Al、Au、Pt、Cr、Mo、W、Mg、Be、Zn、Pd、Cd、Hg、Si、Zr、Ti、または、Snから選択される一又は二以上の異種元素を含む構成とすることもできる。銅含有金属膜は、たとえばめっき法により形成することができる。また、銅含有金属膜の表面は、たとえばシリサイド膜が形成された構成とすることもできる。
さらに、第1の配線122、ビア128、および第2の配線134の側面および底面には、それぞれ、これらに接してこれらを覆うように設けられた第1のバリアメタル膜120、第2のバリアメタル膜126、および第3のバリアメタル膜132が形成されている。バリアメタル膜は、高融点金属を含む構成とすることができる。第1のバリアメタル膜120、第2のバリアメタル膜126、および第3のバリアメタル膜132は、たとえば、Ta、TaN、Ti、TiN、W、WN等により構成することができる。
つまり、切断前の状態において、第1の配線122とビア128との間には、第2のバリアメタル膜126がこれらに接して設けられる。また、ビア128と第2の配線134との間には、第3のバリアメタル膜132がこれらに接して設けられる。
第1の層間絶縁膜104および第3の層間絶縁膜114は、SiOC等の低誘電率膜により構成することができる。低誘電率膜としては、SiOCの他に、HSQ(ハイドロジェンシルセスキオキサン)、MSQ(メチルシルセスキオキサン)、またはMHSQ(メチル化ハイドロジェンシルセスキオキサン)等のポリハイドロジェンシロキサン、ポリアリールエーテル(PAE)、ジビニルシロキサン−ビス−ベンゾシクロブテン(BCB)、またはSilk(登録商標)等の芳香族含有有機材料、SOG、FOX(flowable oxide)、サイトップ、またはBCB(Benzocyclobutene)等を用いることもできる。また、低誘電率膜としては、これらのポーラス膜を用いることもできる。第1の層間絶縁膜104および第3の層間絶縁膜114は、同じ材料により構成しても、異なる材料により構成してもいずれでもよい。
また、第2の層間絶縁膜110は、第1の層間絶縁膜104や第3の層間絶縁膜114について上述したのと同様の材料により構成することができる。ただし、第2の層間絶縁膜110は、第1の層間絶縁膜104や第3の層間絶縁膜114との関係において、第1の層間絶縁膜104や第3の層間絶縁膜114よりもかたい材料により構成することが好ましい。たとえば、第2の層間絶縁膜110は、第1の層間絶縁膜104や第3の層間絶縁膜114よりもヤング率の高い材料により構成することができる。このような構成とすることにより、配線部分に流出部142を形成しやすくすることができる。
なお、このような構成に限られず、第2の層間絶縁膜110は、第1の層間絶縁膜104や第3の層間絶縁膜114と同じ材料により構成してもよい。この場合も、ビア128は、半導体基板の面内方向における面積が配線に比べて非常に狭いので、配線部分に選択的に流出部142を形成することができる。
第2のエッチング阻止膜108および第4のエッチング阻止膜118は、ビアホールや配線溝を形成する際のエッチング阻止膜として機能するとともに、第1の配線122や第2の配線134を構成する銅の拡散を防止する機能を有する。また、本実施の形態において、電気ヒューズ200の被覆膜としても機能する。第2のエッチング阻止膜108および第4のエッチング阻止膜118は、第1の層間絶縁膜104や第3の層間絶縁膜114よりもかたい材料により構成することができる。第2のエッチング阻止膜108および第4のエッチング阻止膜118は、第1の層間絶縁膜104や第3の層間絶縁膜114よりもヤング率の高い材料により構成することができる。第2のエッチング阻止膜108および第4のエッチング阻止膜118は、たとえば、SiCN、SiN、SiC、SiOFまたはSiON等により構成することができる。
第1の保護膜106および第2の保護膜116は、第1の配線122および第2の配線134をそれぞれCMPにより研磨する際に、第1の層間絶縁膜104および第3の層間絶縁膜114を保護する機能を有する。第1の保護膜106および第2の保護膜116は、たとえば、SiO膜により構成することができる。
第1のエッチング阻止膜102および第3のエッチング阻止膜112は、第2のエッチング阻止膜108および第4のエッチング阻止膜118と同様の材料により構成することができる。また、ここでは図示していないが、第1のエッチング阻止膜102および第3のエッチング阻止膜112は、第2のエッチング阻止膜108および第4のエッチング阻止膜118と同様の材料により構成された第1の絶縁膜と、その上に形成され第1の保護膜106および第2の保護膜116と同様の材料に構成された第2の絶縁膜との積層膜とすることもできる。
なお、以上の構成の第1の配線122、ビア128、および第2の配線134等は、通常の多層配線構造と同工程で形成することができる。これにより、特別な工程を追加することなく、電気ヒューズ200を形成することができる。
以上により、たとえば第2の配線134の周囲が第3のバリアメタル膜132および第4のエッチング阻止膜118等の被覆膜で覆われ、さらにその周囲に被覆膜よりも柔らかい材料である第3の層間絶縁膜114が形成された構成とすることができる。また、第2の配線134は、ビア128や第1の配線122よりも、半導体基板の面内方向における面積が広く形成される。
このような構成の電気ヒューズ200において、第1の配線122と第2の配線134との間に所定の電圧を印加して電気ヒューズ200に過剰なパワーが印加されると、電気ヒューズ200の第2の配線134を構成する導電体が膨張して、柔らかい膜である第3の層間絶縁膜114の方向に膨張する。導電体の膨張に伴い、第3のバリアメタル膜132等にクラックが生じ、第2の配線134を構成する導電体がクラックから第3の層間絶縁膜114中に流出する。つまり、第2の配線134を構成する導電体が、配線溝外部に流出する。これにより、図9(b)に示すように、流出部142が形成される。
さらに、導電体が流出部142の方向に急激に移動するため、導電体の移動が追いつかなかった箇所で導電体が切断される。本実施の形態において、ビア128部分で導電体が切断され、切断箇所140が形成される。このようなメカニズムにより、流出部142からある程度離れた箇所に大きな切断箇所140が形成される。
また、本実施の形態において、ビア128と第1の配線122との間に第2のバリアメタル膜126が設けられているため、第2のバリアメタル膜126が第1の配線122から剥離しやすく、第2のバリアメタル膜126と第1の配線122との間に切断箇所140が形成されやすくなる。
さらに、切断状態において、ビア128を構成する導電体が第2のバリアメタル膜126とともに移動して第2のバリアメタル膜126と第1の配線122との間に切断箇所140が形成される。そのため、この後の工程で熱処理等が行われても、第2のバリアメタル膜126が銅含有金属膜により構成された導電体が再び移動して第1の配線122との間で再接続が生じるのを防ぐことができる。これにより、半導体装置100の耐熱性を向上することができる。流出部142と切断箇所140との間には、第2のバリアメタル膜126と第3のバリアメタル膜132が二重で形成されるため、導電体の移動をより阻止することができる。
本実施の形態で説明したような構成の電気ヒューズ200を、エレクトロマイグレーションにより導電体が移動する現象を用いて切断しようとすると、バリアメタル膜の存在により、エレクトロマイグレーションが抑えられて電気ヒューズを効率よく切断するのが困難である。しかし、このような構成の電気ヒューズ200をクラックアシスト型で切断することにより、電気ヒューズ200切断時には、導電体が超高温となり、高融点金属であるバリアメタル膜も移動して電気ヒューズ200を良好に切断することができるとともに、その後の工程での移動を阻止して再接続を効果的に抑えることができる。
本実施の形態において、電気ヒューズ200は、以上のようなメカニズムのクラックアシスト型で切断されるため、必然的に切断箇所140が流出部142とは異なる領域に形成される。これによって、電気ヒューズ200の再接続を防ぐことができる。
図10は、図8に示した電気ヒューズ200が組み込まれた半導体装置100の構成を具体的に示す断面図である。図10(a)は切断前、図10(b)は切断後の状態を示す。ここでは、電気ヒューズ200がデュアルダマシン構造を有する点で図9に示した例と異なる。
ここでは、ビア128と第2の配線134とがデュアルダマシン配線154として一体に形成される。切断前において、電気ヒューズ200は、第1の配線122および第1の配線122に電気的に接続されたデュアルダマシン配線154(ビア128および第2の配線134)により構成される。ビア128は、第2のエッチング阻止膜108、第2の層間絶縁膜110および第3のエッチング阻止膜112内に形成される。また、第2の配線134は、第3のエッチング阻止膜112、第3の層間絶縁膜114および第2の保護膜116内に形成される。
また、デュアルダマシン配線154は、側面および底面が第5のバリアメタル膜150で覆われた構成を有する。第5のバリアメタル膜150も第2のバリアメタル膜126や第3のバリアメタル膜132等と同様の材料により構成することができる。切断前の状態において、ビア128と第1の配線122との間には、第5のバリアメタル膜150がこれらに接して設けられる。
以上のような構成の電気ヒューズ200に過剰なパワーが印加されると、第2の配線134を構成する導電体が膨張して、柔らかい膜である第3の層間絶縁膜114の方向に膨張する。導電体の膨張に伴い、第5のバリアメタル膜150等にクラックが生じ、第2の配線134を構成する導電体が第3の層間絶縁膜114中に流出する。これにより、図10(b)に示すように、流出部142が形成される。
さらに、導電体が流出部142の方向に急激に移動するため、導電体の移動が追いつかなかった箇所で導電体が切断される。本実施の形態において、ビア128部分で導電体が切断され、切断箇所140が形成される。また、本実施の形態において、ビア128と第1の配線122との間に第5のバリアメタル膜150が設けられているため、第5のバリアメタル膜150が第1の配線122から剥離しやすく、第5のバリアメタル膜150と第1の配線122との間に切断箇所140が形成されやすくなる。
さらに、切断状態において、ビア128を構成する導電体が第5のバリアメタル膜150とともに移動して第5のバリアメタル膜150と第1の配線122との間に切断箇所140が形成される。そのため、この後の工程で熱処理等が行われても、第5のバリアメタル膜150が銅含有金属膜により構成された導電体が再び移動して第1の配線122との間で再接続が生じるのを防ぐことができる。これにより、半導体装置100の耐熱性を向上することができる。
以上の構成により、以下の効果が得られる。
(1)電気ヒューズ200が多層配線構造により構成されるため、積層方向に配置することができ、電気ヒューズの形成面積を低減することができる。
(2)また、ビアが切断されるため、切断後の導電体の再接続確率を低減させることができる。
(3)電気ヒューズ200が一平面に形成されている場合、本来電気的に切断されているべき導電体間に流出部142がブリッジして形成されてしまうおそれがある。このようなことが起こると、たとえば切断した電気ヒューズが流出部142により接続されて切断歩留まり低下(切断後低抵抗)や切断後の抵抗変動(経時変化)等が生じる。本実施の形態において、切断箇所である切断箇所140と流出部142とが異なる層に形成されるため、このようなブリッジの問題も防ぐことができる。
ところで、以上で説明したように、クラックアシスト型で電気ヒューズ200を切断する際に、電気ヒューズ200を構成する導電体が変形して周囲に多量に流出して流出部142が形成される。このとき、流出部142が周囲の素子と接続する等して周囲の素子に影響を与え、ショートが生じる危険がある。そこで、本実施の形態においては、電気ヒューズ200の周囲、とくに第2の配線134の一端部分の先方にガードメタルを配置することとした。さらに、以下においては、第2の配線134の側方および側方上方に流出部142が生じた場合でも、ショートを防ぐことのできるガード部材を設けた構成を示す。
図1は、電気ヒューズ200の周囲にガード配線部160を設けた半導体装置100の構成を示す上面模式図である。図1では、わかりやすくするために絶縁膜の記載を省略している。図2は、図1のA−A’断面図、図3は、図1のB−B’断面図である。図2(a)および図3(a)は電気ヒューズの切断前の状態、図2(b)および図3(b)は電気ヒューズの切断後の状態をそれぞれ示す。
電気ヒューズ200の構成は、図6から図10を参照して説明したのと同様とすることができる。なお、本実施の形態において、ビア128が第2の配線134の一端部分に接続されるとしているが、ここで一端部分とは、第2の配線134の一端の端面だけでなく、端面から多少の幅を隔てた部分も含む。すなわち、ビア128は、第2の配線134の一端の端面から多少の幅を隔てた部分に設けられていてもよい。また、とくに限定されないが、第1の配線122および第2の配線134は、ビア128との接続部分において、ビア128のビア径よりも広めに形成する必要はない。すなわち、通常の多層配線構造においては、ビアと配線との電気的接続を確実にするために、ビアとの接続部分において、配線幅を広くする必要があるが、本実施の形態の電気ヒューズ200においては、とくにそのような構成とする必要はない。
半導体装置100は、電気ヒューズ200に加え、第2の配線134と同層に形成され、第2の配線134の一端部分の周囲を取り囲むように形成されたガード配線部160をさらに含む。ここで、図1に示すように、第2の配線134は、他端から一端部分の方向に延在して形成され、ガード配線部160は、第2の配線134の一端部分を中心として、当該一端部分の周囲三方を取り囲むように形成される。ガード配線部160は、電気ヒューズ200とは電気的に接続されない構成とすることができる。
具体的には、ガード配線部160は、第2の配線134の両側方に第2の配線134に略平行に延在するとともに第2の配線134より一端部分の先方方向に長く延在して設けられた第3の配線160aおよび第4の配線160bと、第2の配線134の他端とは反対側の一端部分の先方に、第2の配線134に略垂直な方向に延在して設けられた第5の配線160cとを含む。本実施の形態において、ガード配線部160は、第3の配線160aおよび第4の配線160bが、第5の配線160cを介して接続されたコの字形状を有している。
このような構成とすることにより、図2(b)に示すように、電気ヒューズ200の切断時に、第2の配線134の一端部分の先方に流出部142が形成されても、流出部142が第5の配線160cによりガードされるので、流出部142が他の素子等とショートを起こすのを効果的に防ぐことができる。
なお、第3の配線160a、第4の配線160b、および第5の配線160cは、流出部142による周囲の素子とのショートを防げるようになっていればよく、他の例において、たとえば図11に示したように、互いに接続されていなくてもよい。この場合でも同様の効果が得られる。
さらに、図2に示すように、本実施の形態において、半導体装置100は、第2の配線134が形成された層の上層の第3の配線160aおよび第4の配線160bの上にそれぞれこれらに接続して形成された周囲ビア168aおよび周囲ビア168bと、周囲ビア168aおよび周囲ビア168bの上層にこれらに接続して形成されるとともに、平面視においてガード配線部160を覆うように形成された上部プレート166と、を含む。このような構成とすることにより、第2の配線134の側方および側方上方に流出部142が生じた場合でも、ショートを防ぐことができる。なお、ここでは、絶縁膜を101として模式的に示しているが、半導体装置100の絶縁膜は、図9および図10を参照して説明したように、多層構造とすることができる。
さらに、本実施の形態において、半導体装置100は、第1の配線122と同層に形成され、第3の配線160aおよび第4の配線160bの下方にそれぞれ形成された第6の配線162aおよび第7の配線162bと、ビア128と同層に形成され、第3の配線160aと第6の配線162aとを接続する周囲ビア164aおよび第4の配線160bと第7の配線162bとを接続する周囲ビア164bと、を含む。このような構成とすることにより、より確実に流出部142によるショートを防ぐことができる。
図4は、各層の構成を示す上面図である。
最下層のM1層には、第1の配線122が形成される。M1層上のvia1層には、ビア128が形成される。via1層の上のM2層には、第2の配線134と、第3の配線160a、第4の配線160b、および第5の配線160cを含むガード配線部160とが形成される。なお、ここでは、M1層の第6の配線162aおよび第7の配線162b、via1の周囲ビア164aおよび周囲ビア164bを省略しているが、第6の配線162aおよび周囲ビア164aはM2層の第3の配線160aに対応する位置、第7の配線162bおよび周囲ビア164bはM2層の第4の配線160bに対応する位置に、それぞれ設けられる。
さらに、M2層上のvia2層には、周囲ビア168aおよび周囲ビア168bが、それぞれM2層の第3の配線160aおよび第4の配線160bに対応する位置に形成される。via2層上のM3層には、上部プレート166が形成される。
図5は、図1に示した半導体装置100の具体的な構成を示す上面図である。
第1の配線122は、一端がビア128と接続され、他端が第1の端子202と接続される。また、第2の配線134は、一端がビア128と接続され、他端が第2の端子204と接続される。
第1の端子202および第2の端子204は、第1の配線122や第2の配線134よりも幅広に形成することができる。一例として、第1の配線122や第2の配線134の幅を0.1μm、第1の端子202および第2の端子204の幅を0.3μmとすることができる。ただし、配線幅を広くすると放熱しやすくなるため、流出部を形成するための配線近傍に幅広の第1の端子202や第2の端子204を設けると、流出部が形成されづらくなったり、電気ヒューズ200が切断されづらくなるおそれがある。そのため、第1の端子202や第2の端子204を第1の配線122や第2の配線134より幅広に形成した場合、第1の端子202および第2の端子204は、流出部や切断箇所からある程度離れた位置に設けることができる。また、第1の端子202や第2の端子204は、第1の配線122や第2の配線134と同幅に形成することもできる。
以上のように、本実施の形態における電気ヒューズ200を含む半導体装置100によれば、図6から図10を参照して示した効果に加え、電気ヒューズ200を切断する際および切断後のショートを防ぐことができる。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
また、以上では、第2の配線134が第1の配線122よりも上層に設けられた例を説明したが、第2の配線134が第1の配線122よりも下層に設けられた場合でも同様となる。すなわち、第2の配線134の体積を第1の配線122の体積よりも大きくすることにより、第2の配線134が下層に設けられた場合でも、第2の配線134に流出部142が形成されるようにすることができる。この場合も、第2の配線134の一端部分の周囲を取り囲むようにガード配線部160を形成することができる。
さらに、以上の実施の形態においては、第2の配線134と同層にガード配線部160を設ける構成を説明した。しかし、他の例において、第1の配線122と同層にも、第1の配線122がビア128と接続される一端部分の周囲を取り囲むように形成されたガード配線部を設けることもできる。この場合のガード配線部は、上述したガード配線部160と同様の構成を有するようにすることができる。
なお、以上の実施の形態においては、クラックアシスト型で電気ヒューズを切断する場合を例として説明したが、本発明は、ヒューズを構成する材料がエレクトロマイグレーションにより移動する現象により電気ヒューズを切断する従来の場合に適用することもできる。
本発明の実施の形態における電気ヒューズを含む半導体装置の構成を示す上面模式図である。 図1のA−A’断面図である。 図1のB−B’断面図である。 各層の構成を示す上面図である。 図1に示した半導体装置の具体的な構成を示す上面図である。 クラックアシスト型で電気ヒューズを切断する際の動作を説明するための図である。 クラックアシスト型で電気ヒューズを切断する際の動作を説明するための図である。 クラックアシスト型で電気ヒューズを切断する際の動作を説明するための図である。 クラックアシスト型で電気ヒューズを切断する際の動作を説明するための図である。 クラックアシスト型で電気ヒューズを切断する際の動作を説明するための図である。 本発明の実施の形態における電気ヒューズを含む半導体装置の構成の他の例を示す上面模式図である。 従来の電気ヒューズの一例を示す上面図である。
符号の説明
100 半導体装置
102 第1のエッチング阻止膜
104 第1の層間絶縁膜
106 第1の保護膜
108 第2のエッチング阻止膜
110 第2の層間絶縁膜
112 第3のエッチング阻止膜
114 第3の層間絶縁膜
116 第2の保護膜
118 第4のエッチング阻止膜
120 第1のバリアメタル膜
122 第1の配線
126 第2のバリアメタル膜
128 ビア
132 第3のバリアメタル膜
134 第2の配線
140 切断箇所
142 流出部
150 第5のバリアメタル膜
154 デュアルダマシン配線
160 ガード配線部
160a 第3の配線
160b 第4の配線
160c 第5の配線
162a 第6の配線
162b 第7の配線
164a 周囲ビア
164b 周囲ビア
166 上部プレート
168a 周囲ビア
168b 周囲ビア
200 電気ヒューズ
202 第1の端子
204 第2の端子
1100 ヒューズ
1101 電流流入端子
1102 電流流出端子
1103 第1往路直線部
1104 復路直線部
1106 第1直角接続部
1107 第2直角接続部
1108 外側の 斜線部
1109 内側の斜線部
1113 第2往路直線部

Claims (10)

  1. 半導体基板と、
    前記半導体基板上に形成され、それぞれ異なる層に形成された第1の配線と、第2の配線と、前記第1の配線と前記第2の配線の間の層に設けられ、前記第2の配線の一端部分に接続されるとともに前記第1の配線に接続されたビアとを含む電気ヒューズと、
    前記第2の配線と同層に形成され、前記第2の配線の前記一端部分の周囲を取り囲むように形成されたガード配線部と、
    を含み、
    平面視において、前記第2の配線は、他端から前記一端部分の方向に延在して形成され、前記ガード配線部は、前記第2の配線の前記一端部分を中心として、当該一端部分の周囲三方を取り囲むように形成された半導体装置。
  2. 請求項1に記載の半導体装置において、
    前記ガード配線部は、前記第2の配線の両側方に当該第2の配線に略平行に延在するとともに当該第2の配線より前記一端部分の先方方向に長く延在して設けられた第3および第4の配線と、前記第2の配線の前記他端とは反対側の前記一端部分の先方に、当該第2の配線に略垂直な方向に延在して設けられた第5の配線と、を含む半導体装置。
  3. 請求項1または2に記載の半導体装置において、
    前記ガード配線部は、平面視においてコの字形状を有する半導体装置。
  4. 請求項1から3いずれかに記載の半導体装置において、
    前記電気ヒューズは導電体により構成され、
    切断状態において、前記導電体が前記第2の配線から外方に流出してなる流出部が形成されるとともに、前記第1の配線と前記ビアとの間または前記ビアに切断箇所が形成された半導体装置。
  5. 請求項4に記載の半導体装置において、
    前記流出部は、前記第2の配線の前記一端部分の先方に流出してなる半導体装置。
  6. 請求項4または5に記載の半導体装置において、
    前記電気ヒューズは、切断前状態において、前記第1の配線と前記ビアとの間にこれらに接して設けられた第1のバリアメタル膜をさらに含み、
    前記切断状態において、前記第1のバリアメタル膜と前記第1の配線との間に前記切断箇所が形成される半導体装置。
  7. 請求項4から6いずれかに記載の半導体装置において、
    前記電気ヒューズは、切断前状態において、前記第2の配線の側面に当該第2の配線に接して設けられた第2のバリアメタル膜をさらに含み、
    前記切断状態において、前記第2のバリアメタル膜にクラックが形成され、前記流出部は、前記導電体が前記クラックから流出して形成された半導体装置。
  8. 請求項1から7いずれかに記載の半導体装置において、
    前記第2の配線は、前記第1の配線よりも上層に設けられ、
    前記第2の配線および前記ビアは、デュアルダマシン配線構造を有する半導体装置。
  9. 請求項1から8いずれかに記載の半導体装置において、
    前記電気ヒューズの前記第2の配線は、前記第1の配線よりも体積が大きい半導体装置。
  10. 請求項1から9いずれかに記載の半導体装置において、
    前記電気ヒューズは、前記第1の配線から前記ビアを介して前記第2の配線の方向に電流が流れることにより切断される半導体装置。
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