JP2009140939A - 処理容器およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プラズマ処理装置の処理容器101において、基板搬送用開口161を有する側壁101bの内面は、保護部材としてのライナー201a,201b,201c,201dにより覆われている。基板搬送用開口161のコーナー部161aにはプラズマが集中しやすく消耗が激しいため、その周囲のライナー201a,201cを、これらに比べて消耗が遅いライナー201b,201dと別部材で分離可能に構成した。
【選択図】図4
Description
開口部分を有する容器本体と、
前記容器本体をプラズマおよび/または腐食性ガスによる損傷から保護する保護部材とを備え、
前記保護部材は、前記容器本体の内壁面に沿って配設された第1の保護部材と、
前記開口部分の周囲において、前記第1の保護部材と分離して着脱可能に配設された第2の保護部材と、
を有している。
前記第2の保護部材は、前記第1の保護部材より小片に形成され、前記第1の保護部材に重ねて装着されていてもよい。
前記第3の保護部材の端部と前記第1の保護部材の端部とは、接合部分の断面における両部材の境界線が非直線的に形成された嵌合構造をなして接合されており、該接合部分を前記第2の保護部材が覆っていてもよい。
前記第3の保護部材は、その一端部において外側に突出したフランジ部を有し、
前記第1の保護部材は、その開口端において段部を有し、
前記第3の保護部材と前記第1の保護部材とは、前記フランジ部と前記段部とが嵌まり合うことにより接合されており、該接合部分を前記第2の保護部材が覆っていてもよい。この場合、前記第3の保護部材の表面にプラズマエロージョン耐性を有するセラミックス溶射膜を設けてもよく、このセラミックス溶射膜が、Y2O3またはYF3の溶射膜であってもよい。
前記排気口へのガス流れを調整する整流板と、
前記整流板の端部に連設され、前記排気口に向かうガス流による損傷から前記整流板を保護する整流板保護部材と、
を、さらに備えていてもよい。この場合、前記整流板保護部材の表面にプラズマエロージョン耐性を有するセラミックス溶射膜を設けてもよく、このセラミックス溶射膜が、Y2O3またはYF3の溶射膜であってもよい。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。ここでは、本発明の第1の実施の形態の処理容器を備えた基板処理システムを例に挙げて説明を行なう。図1は、基板処理システムとしての真空処理システム100を概略的に示す斜視図であり、図2は、各チャンバーの蓋体(図示省略)を開放した状態で内部を概略的に示す平面図である。この真空処理システム100は、複数のプロセスチャンバー1a,1b,1cを有するマルチチャンバー構造をなしている。真空処理システム100は、例えばFPD用のガラス基板(以下、単に「基板」と記す)Sに対してプラズマ処理を行なうための処理システムとして構成されている。なお、FPDとしては、液晶ディスプレイ(LCD)、エレクトロルミネセンス(Electro Luminescence;EL)ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(PDP)等が例示される。
まず、搬送装置15の2枚のフォーク17a,17bを進退駆動させて、未処理基板を収容したカセット11aから基板Sを受け取り、ロードロック室5の上下2段の基板収容部27のバッファ28にそれぞれ載置する。
次に、図6から図11を参照しながら、本発明の第2の実施の形態について説明する。図6は、本発明の第2の実施の形態にかかる処理容器の内部を示す図面である。ここでは、処理容器101の基板搬送用開口161を有する側壁101bと、窓用開口163を有する側壁101cとの内壁面を図示している。
補助ライナー305の断面をL字形にしたことによって、窓用開口163の縁に形成される角部に装着しやすくなるとともに、主ライナー215と角筒ライナー217との接合部分を被覆しやすくなるという利点がある。補助ライナー305は、主ライナー215を貫通する螺子403により側壁101cに固定されている。この螺子403により、補助ライナー305と主ライナー215と側壁101cの導通が確保される。よって、補助ライナー305と主ライナー215とは接地電位に維持される。なお、側壁101cと主ライナー215と補助ライナー305との間の導通を確保する目的で、これらの間に例えばシールドスパイラルなどの導通部材を配備してもよい。
Claims (19)
- 被処理体を内部に収容してプラズマ処理を行う処理容器であって、
開口部分を有する容器本体と、
前記容器本体をプラズマおよび/または腐食性ガスによる損傷から保護する保護部材とを備え、
前記保護部材は、前記容器本体の内壁面に沿って配設された第1の保護部材と、
前記開口部分の周囲において、前記第1の保護部材と分離して着脱可能に配設された第2の保護部材と、
を有していることを特徴とする処理容器。 - 前記第1の保護部材は、前記容器本体の開口部分に対応した大きさの開口を有して前記容器本体に直接装着されており、
前記第2の保護部材は、前記第1の保護部材より小片に形成され、前記第1の保護部材に重ねて装着されていることを特徴とする請求項1に記載の処理容器。 - 前記第2の保護部材の表面にプラズマエロージョン耐性を有するセラミックス溶射膜を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の処理容器。
- 前記セラミックス溶射膜が、Y2O3またはYF3の溶射膜であることを特徴とする請求項3に記載の処理容器。
- 前記第1の保護部材の表面に、アルマイト処理による酸化被膜またはAl2O3溶射膜を設けたことを特徴とする請求項4に記載の処理容器。
- 前記保護部材は、前記開口部分の内壁面に沿って配設された筒状の第3の保護部材をさらに有しており、
前記第3の保護部材の端部と前記第1の保護部材の端部とは、接合部分の断面における両部材の境界線が非直線的に形成された嵌合構造をなして接合されており、該接合部分を前記第2の保護部材が覆っていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の処理容器。 - 前記保護部材は、前記開口部分の内壁面に沿って配設された筒状の第3の保護部材をさらに有しており、
前記第3の保護部材は、その一端部において外側に突出したフランジ部を有し、
前記第1の保護部材は、その開口端において段部を有し、
前記第3の保護部材と前記第1の保護部材とは、前記フランジ部と前記段部とが嵌まり合うことにより接合されており、該接合部分を前記第2の保護部材が覆っていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の処理容器。 - 前記第3の保護部材の表面にプラズマエロージョン耐性を有するセラミックス溶射膜を設けたことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の処理容器。
- 前記セラミックス溶射膜が、Y2O3またはYF3の溶射膜であることを特徴とする請求項8に記載の処理容器。
- 前記第2の保護部材は、断面L字形をなしていることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の処理容器。
- 前記保護部材は、前記第2の保護部材の上に重ねて配設された第4の保護部材をさらに有していることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の処理容器。
- 前記第4の保護部材の表面にプラズマエロージョン耐性を有するセラミックス溶射膜を設けたことを特徴とする請求項11に記載の処理容器。
- 前記セラミックス溶射膜が、Y2O3またはYF3の溶射膜であることを特徴とする請求項12に記載の処理容器。
- 前記容器本体の開口部分が基板を搬入・搬出する幅広な搬入出口であり、前記第2の保護部材が該搬入出口の両端部の周囲に配設されていることを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の処理容器。
- 前記容器本体の開口部分が窓用の開口であることを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の処理容器。
- 前記容器本体に配設された排気口と、
前記排気口へのガス流れを調整する整流板と、
前記整流板の端部に連設され、前記排気口に向かうガス流による損傷から前記整流板を保護する整流板保護部材と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項1から請求項15のいずれか1項に記載の処理容器。 - 前記整流板保護部材の表面にプラズマエロージョン耐性を有するセラミックス溶射膜を設けたことを特徴とする請求項16に記載の処理容器。
- 前記セラミックス溶射膜が、Y2O3またはYF3の溶射膜であることを特徴とする請求項17に記載の処理容器。
- 請求項1から請求項18のいずれか1項に記載の処理容器を備えたプラズマ処理装置。
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