JP2009139607A - 空間光変調器 - Google Patents
空間光変調器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009139607A JP2009139607A JP2007315369A JP2007315369A JP2009139607A JP 2009139607 A JP2009139607 A JP 2009139607A JP 2007315369 A JP2007315369 A JP 2007315369A JP 2007315369 A JP2007315369 A JP 2007315369A JP 2009139607 A JP2009139607 A JP 2009139607A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- light
- spatial light
- light modulator
- light modulation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】基板と、2層以上の磁性膜と1層以上の非磁性膜を積層してなる多層構造の光変調部と、前記光変調部に電流を流すための電極と、光の偏光を検出する偏光フィルターとを具備する空間光変調素子であって、前記磁性膜の少なくとも1つが垂直磁気異方性を有する磁性材料からなることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
T.Sonehara,H.Miura,and J.Amako:Preceeding of 12th International Display Researach Conferences(1992)315. J.Grimmett and J.Huffman,"Advancements in DLP Technology:The 10.6μm pixel and Beyond",proc.IDW2005,(2005)1879-1882 E.B.Mayer, D.C.Ralph, J.A.Katine, R.N.Louine, and R.A.Buhrman:Science 285 (1999)867
図1(A)は、本発明に係る空間光変調器1の構造を示す断面模式図、図1(B)は、空間光変調器1の平面図を示す。図2は、空間光変調器1の光変調素子6の構成を示す断面模式図である。
空間光変調器1は、図1(B)に示すように、平面視で互いに直交して、光変調素子6を挟んで上下に配設された構成を有し、光変調素子6は、単独でまたは複数が、1つの画素を構成することができる。
式:スピン注入磁化反転の電流密度
Si基板上に、下部電極として、Cu(膜厚:100nm)/Ta(膜厚:3nm)/Cu(膜厚:20nm)の構造を有する下部電極を形成した後、スパッタリング法を用いてTbFeCoからなるピンド層(膜厚:20nm)、Cuからなる非磁性中間層(膜厚:6nm)、GdとFeを含むフリー層(膜厚:10nm、Gd/Feの含有割合:Gd22%、Fe78%(原子比))、Cu保護層(膜厚:3nm)、Ru保護層(3nm)の順で成膜して構成される多層構造の薄膜を形成した。さらに、その薄膜の上にITOからなる透明電極を形成して光変調素子を作製した。
ここで、この薄膜におけるフリー層およびピンド層の材料に関する磁気光学特性および磁気特性(偏光面回転角度θk、飽和磁束密度Bs、保磁力Hc)を、従来の磁性膜材料であるCoFeについての磁気光学特性および磁気特性と対比して、下記の表1に示す。
図4(A)および図4(B)に示すように、フリー層によるカー回転角はθk=0.12度と従来のCoFe(θk=0.004)と比較して数十倍になっていることがわかる。
図5に示すとおり、GdFeからなるフリー層の膜厚を厚くすると、それにほぼ比例して偏光面回転角度が大きくなり、光変調度を大きく改善できることが分かる。しかし、従来、一般に、厚いフリー層をスピン注入磁化反転させることは簡単ではなく、厚さが10nm以上のフリー層のスピン注入磁化反転は実現されていなかった。
2 基板
3 下部電極
4 光変調部
5 上部電極
6 光変調素子
7 下地層
8 ピンド層(磁性膜)
9 非磁性中間層(非磁性膜)
10 フリー層(磁性膜)
11 保護層
12 ハーフミラー
13 偏光フィルター
Claims (8)
- 基板と、2層以上の磁性膜と1層以上の非磁性膜を積層してなる多層構造の光変調部と、前記光変調部に電流を流すための電極と、前記光変調部からの反射光の偏光を検出する偏光フィルターとを具備する空間光変調器であって、
前記磁性膜の少なくとも1つが垂直磁気異方性を有する磁性材料からなることを特徴とする空間光変調器。 - 前記磁性膜の少なくとも1つが、Fe、Co、Niおよびその合金、ならびに希土類金属を含む合金からなる群から選ばれる少なくとも1種で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記光変調部が、Fe、Co、Niおよびその合金、ならびに希土類金属を含む合金からなる群から選ばれる少なくとも1種からなる磁性膜と、CoFeからなる磁性膜とを含む多層構造を有することを特徴とする請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記2層以上の磁性膜の全てが垂直磁気異方性を有する磁性材料からなることを特徴とする請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記2層以上の磁性膜において、非磁性膜を挟む片側の磁性膜がTbを含み、もう一方の側の磁性膜がGdを含むことを特徴とする請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記磁性材料の磁化補償温度が、空間光変調器の動作温度以下であることを特徴とする請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記磁性膜が、MnおよびBiを含むことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の空間光変調器。
- 前記光変調部に入射光を垂直に入射させるとともに、前記光変調部からの反射光を反射して偏光フィルターに入射させるハーフミラーを有することを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の空間光変調器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007315369A JP5001807B2 (ja) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | 空間光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007315369A JP5001807B2 (ja) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | 空間光変調器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009139607A true JP2009139607A (ja) | 2009-06-25 |
JP5001807B2 JP5001807B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=40870277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007315369A Active JP5001807B2 (ja) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | 空間光変調器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5001807B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011180355A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子および空間光変調器 |
JP2012078579A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 |
JP2012078580A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 |
JP2012103634A (ja) * | 2010-11-12 | 2012-05-31 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子および空間光変調器 |
JP2015518183A (ja) * | 2012-05-30 | 2015-06-25 | ロリク アーゲーRolic Ag | 個別にパターン化された異方性を有する素子の高速な製造 |
JP2016118723A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 日本放送協会 | 空間光変調器 |
JP2018205515A (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 日本放送協会 | 光変調素子、空間光変調器、および空間光変調システム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH047164A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-10 | Brother Ind Ltd | 磁気光学露光装置 |
JPH0418767A (ja) * | 1990-05-11 | 1992-01-22 | Nec Corp | 空間光変調装置 |
JPH10311967A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Sony Corp | 光機能デバイス及びその製造方法 |
JP2003007980A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Sony Corp | 磁気特性の変調方法および磁気機能装置 |
JP2006259074A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Fdk Corp | 磁気光学デバイス及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-12-06 JP JP2007315369A patent/JP5001807B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH047164A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-10 | Brother Ind Ltd | 磁気光学露光装置 |
JPH0418767A (ja) * | 1990-05-11 | 1992-01-22 | Nec Corp | 空間光変調装置 |
JPH10311967A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Sony Corp | 光機能デバイス及びその製造方法 |
JP2003007980A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Sony Corp | 磁気特性の変調方法および磁気機能装置 |
JP2006259074A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Fdk Corp | 磁気光学デバイス及びその製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011180355A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子および空間光変調器 |
JP2012078579A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 |
JP2012078580A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 |
JP2012103634A (ja) * | 2010-11-12 | 2012-05-31 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子および空間光変調器 |
JP2015518183A (ja) * | 2012-05-30 | 2015-06-25 | ロリク アーゲーRolic Ag | 個別にパターン化された異方性を有する素子の高速な製造 |
JP2016118723A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 日本放送協会 | 空間光変調器 |
JP2018205515A (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 日本放送協会 | 光変調素子、空間光変調器、および空間光変調システム |
JP7002225B2 (ja) | 2017-06-02 | 2022-02-10 | 日本放送協会 | 光変調素子、空間光変調器、および空間光変調システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5001807B2 (ja) | 2012-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5001807B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP5567969B2 (ja) | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 | |
JP2008064825A (ja) | 多素子空間光変調器およびこれを備えた映像表示装置 | |
JP5700687B2 (ja) | 光学体 | |
JP5054639B2 (ja) | 光変調素子および空間光変調器 | |
JPH11174396A (ja) | 磁気光学素子及び磁気光学デバイス | |
JP2011180355A (ja) | 光変調素子および空間光変調器 | |
JP5679690B2 (ja) | スピン注入磁化反転素子ならびにこれを用いた磁気ランダムアクセスメモリおよび空間光変調器 | |
JP2012230143A (ja) | スピン注入型磁化反転素子、光変調素子および空間光変調器 | |
JP4764397B2 (ja) | 空間光変調素子 | |
JP2014175429A (ja) | スピン注入磁化反転素子 | |
JP5281522B2 (ja) | 空間光変調器 | |
Takagi et al. | Magneto-optic spatial light modulators with magnetophotonic crystals driven by PZT films | |
JP6581454B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP5054640B2 (ja) | 光変調素子、光変調器、表示装置、ホログラフィ装置及びホログラム記録装置 | |
Takagi et al. | Multiferroic magneto optic spatial light modulator with sputtered PZT film | |
JP6108398B2 (ja) | 光変調システムの制御方法、光変調システム及びそれに用いる光学体 | |
JP7168359B2 (ja) | 磁壁移動型空間光変調器の開口率向上構造 | |
JP6329384B2 (ja) | スピン注入磁化反転素子 | |
JP4093567B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP7228404B2 (ja) | 磁気光学型光変調素子および空間光変調器 | |
JP2015138098A (ja) | 磁気抵抗効果素子及び空間光変調器 | |
JP2023136628A (ja) | 磁壁移動型空間光変調器 | |
JP6321927B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP2017181800A (ja) | 光変調素子、空間光変調器及び表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100310 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120518 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5001807 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |