JP2009137773A - 突起形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】例えばタングステン等の金属を含む雰囲気中において収束イオンビームをダイヤモンド等の基材2aの加工面21に照射することにより、この金属を含む金属マスク4を加工面21上に形成するステップと、金属マスク4を用いて、基材2aをRIE法(Reactive Ion Etching)によるエッチングを施すことにより、基材に突起22(金属マスク4が無くなるまでエッチングした場合、突起24)を形成するステップとを有する。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 所定の金属を含む雰囲気中において収束イオンビームを基材の表面に照射することにより、該金属を含む金属マスクを該表面上に形成するステップと、
前記金属マスクを用いて前記基材をエッチングすることにより、該基材に突起を形成するステップと
を有する、ことを特徴とする突起形成方法。 - 所定の金属を含む雰囲気中において収束イオンビームを基材の表面に照射することにより、該金属を含む金属マスクを該表面上に形成するステップと、
前記金属マスクを形成した後に、該金属マスクよりも低融点の材料から成る金属膜を前記表面上に形成するステップと、
前記金属マスクを融解させずに前記金属膜を融解させ、前記材料を前記金属マスク上に集めることにより、該材料から成る金属体を該金属マスク上に形成するステップと、
前記金属マスク及び前記金属体を用いて前記基材をエッチングすることにより、該基材に突起を形成するステップと
を有する、ことを特徴とする突起形成方法。 - 前記基材は、前記表面と反対側の裏面を有する柱状体であり、
前記表面と前記裏面との間隔Dは1mmより長く、且つ前記基材の断面の径Rは1mm以下であり、
前記間隔Dを前記径Rで割ったアスペクト比(D/R)は2以上である、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の突起形成方法。 - 前記間隔Dは0.5mmより長く且つ前記径Rは0.5mm以下である、ことを特徴とする請求項3に記載の突起形成方法。
- 前記基材の材料はダイヤモンドであり、
前記金属マスクを形成するステップでは、タングステンを含む雰囲気中において収束イオンビームを前記基材の表面に照射することにより、タングステンを含む金属マスクを該表面上に形成する、ことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の突起形成方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63254727A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-21 | Nissin Electric Co Ltd | X線露光用マスクの製造方法 |
JPH0945639A (ja) * | 1995-08-02 | 1997-02-14 | Ebara Corp | 高速原子線を用いた加工方法及び加工装置 |
JP2004119019A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-15 | Japan Fine Ceramics Center | 電子放出素子 |
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2007
- 2007-12-03 JP JP2007312793A patent/JP2009137773A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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