JP2009128148A - 絶対位置の計測装置及び計測方法 - Google Patents
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Abstract
原点位置を再現性良く設定可能な絶対位置の計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】
第一の光源及びこれより干渉性の低い第二の光源を用いて被計測物の絶対位置を計測する計測装置であって、第一の光源及び第二の光源から得られる干渉信号の位相が一致する点、又は、第二の光源から得られる干渉信号の強度が最大となる点、を計測する計測部と、計測部により計測された点を原点位置として設定する原点設定部と、第一の光源から得られる干渉信号の原点位置における位相を記憶する位相記憶部と、原点位置の位置情報の消滅後に計測部により計測された計測結果と、第一の光源から得られる干渉信号と、位相記憶部に記憶された位相とを用いて原点位置を求め、原点を再設定する原点再設定部と、再設定された原点位置を基準として第一の光源からの光により生成される干渉信号を用いて被計測物の絶対位置を求める位置算出部と、を有する。
【選択図】 図1
Description
φ2=2(n2・Lg−La)/λ2 (2)
このように、光源波長がλ1(屈折率n1)のとき干渉信号の位相はφ1となり、光源波長がλ2(屈折率n2)のとき干渉信号はφ2となる。光源波長がλ1からλ2に変化すると、干渉信号の位相変化は式(3)で与えられる。
ここで、ngは〔n1−λ1dn/dλ〕で定義される屈折率である。屈折率ngは、波長λ1と波長λ2の間の屈折率を線形近似して、これを波長ゼロに外挿して得られる屈折率に相当する。波長λ1と波長λ2が近接している場合は、この間の分散(屈折率の波長に対する変化率)は一定とみなすことが可能で、この近似は高い精度で成り立つ。
b=V’x、k+pq (5)
Vx,k=(1−p)b (6)
fx=(1−p)q (7)
c=fx−Vx,k (8)
ここで、「‘」は前回演算されたことを示している。また、pは2−nであり、最新の位相角に対する重み係数を示している。
1−2…高輝度LED
1−3…ダイクロイックミラー
2…偏光ビームスプリッタ
3−1…リファレンスミラー
3−2…ターゲットミラー
4−1、4−2…1/4波長板
5…干渉信号検出器
6…信号処理装置
6−1−1、6−1−2…インスツルメンタルアンプ
6−2−1、6−2−1…AD変換器
6−3−1、6−3−2…減算器
6−4…位相演算器
6−5…減算器
DPH…位相シフト量
6−6…カウンタ
6−7…カルマンフィルタ
7…原点設定部
7−1…原点再設定部
7−3、7−4 記憶装置
30…振幅演算器
40…デジタルシグナルプロセッサ
Claims (5)
- 第一の光源及び該第一の光源より干渉性の低い第二の光源を用いて被計測物の絶対位置を計測する計測装置であって、
前記第一の光源から得られる干渉信号の位相と前記第二の光源から得られる干渉信号の位相とが一致する点、又は、該第二の光源から得られる干渉信号の強度が最大となる点、を計測する計測部と、
前記計測部により計測された点を原点位置として設定する原点設定部と、
前記第一の光源から得られる干渉信号の前記原点位置における位相を記憶する位相記憶部と、
前記原点位置の位置情報の消滅後に前記計測部により計測された計測結果と、前記第一の光源から得られる干渉信号と、前記位相記憶部に記憶された位相とを用いて前記原点位置を求め、原点を再設定する原点再設定部と、
前記再設定された原点位置を基準として前記第一の光源からの光により生成される干渉信号を用いて被計測物の絶対位置を求める位置算出部と、を有することを特徴とする絶対位置の計測装置。 - 前記絶対位置の計測装置は、前記第一の光源から得られる干渉信号の位相と前記位相記憶部に記憶された前記位相との位相差を算出する位相差算出部を有し、
前記位置算出部は、前記位相差算出部により算出された前記位相差に基づいて前記被計測物の絶対位置を求めることを特徴とする請求項1記載の絶対位置の計測装置。 - 前記原点設定部は、
前記第一の光源から得られる干渉信号の位相と前記第二の光源から得られる干渉信号の位相との位相差を信号の周期毎に平均して、平均した該位相差を記憶手段に保持し、
前記記憶手段に保持された平均値について一次回帰演算を行うことにより、前記位相差がゼロになる位置を前記原点位置として設定することを特徴とする請求項1又は2記載の絶対位置の計測装置。 - 前記原点設定部は、
前記第二の光源から得られる干渉信号の強度を平均して、平均した該強度を記憶手段に保持し、
前記記憶手段に保持された平均値について二次回帰演算を行い、該二次回帰演算の回帰係数から算出されるピーク位置を前記原点位置として設定することを特徴とする請求項1又は2記載の絶対位置の計測装置。 - 第一の光源からの光により生成される干渉信号を用いて被計測物の絶対位置を計測する計測方法であって、
前記第一の光源から得られる干渉信号の位相と前記第一の光源より干渉性の低い第二の光源から得られる干渉信号の位相とが一致する点、又は、前記第二の光源から得られる干渉信号の強度が最大となる点を求め、求めた点を原点位置として設定する原点設定工程と、
前記原点位置における前記第一の光源から得られる干渉信号の位相を記憶する位相記憶工程と、
前記原点位置の消滅後、前記第一の光源から得られる干渉信号の位相と前記第一の光源より干渉性の低い第二の光源から得られる干渉信号の位相とが一致する点、又は、前記第二の光源から得られる干渉信号の強度が最大となる点を求め、その求めた点に最も近い、前記第一の光源から得られる干渉信号の位相が前記位相記憶工程において記憶された位相と一致する点を原点位置として再設定する原点再設定工程と、
前記再設定された原点を基準として、前記第一の光源からの光により生成される干渉信号を用いて被計測物の絶対位置を求める工程と、を有することを特徴とする計測方法。
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