JP4568372B2 - 測定の不明瞭性を解消した部分コヒーレンス干渉計 - Google Patents
測定の不明瞭性を解消した部分コヒーレンス干渉計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4568372B2 JP4568372B2 JP2009546588A JP2009546588A JP4568372B2 JP 4568372 B2 JP4568372 B2 JP 4568372B2 JP 2009546588 A JP2009546588 A JP 2009546588A JP 2009546588 A JP2009546588 A JP 2009546588A JP 4568372 B2 JP4568372 B2 JP 4568372B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- arm
- optical path
- path length
- interferometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 85
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 169
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 113
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 56
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 8
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 claims description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 238000011896 sensitive detection Methods 0.000 description 2
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02007—Two or more frequencies or sources used for interferometric measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02044—Imaging in the frequency domain, e.g. by using a spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
- G01B9/02072—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer by calibration or testing of interferometer
- G01B9/02074—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer by calibration or testing of interferometer of the detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02075—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration of particular errors
- G01B9/02078—Caused by ambiguity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
焦点誤差=(A−B)/(A+B)
ここで、”A“と”B“は、それぞれ、焦点検出器74の像平面における2つの光検出器の出力である。
焦点誤差={(A+C)−(B+D)}/(A+B+C+D)
ここで、”A”、“B”、“C”、“D”は、焦点検出器の像平面の4つの分割面それぞれからの光検出器信号である。図2Aおよび2Bに示す焦点誤差曲線と同様の焦点誤差曲線を得ることができる。
Claims (20)
- 所定のスペクトル帯域幅を有する測定ビームを採用したタイプの部分コヒーレンス干渉計であって、
上記測定ビームの試験ビーム部を、試験面に遭遇する経路に沿って送るための試験アームと、
上記測定ビームの基準ビーム部を、基準面に遭遇する経路に沿って送るための基準アームと、
上記試験アームおよび上記基準アームに連結されたスペクトル感受性検出系と、
上記干渉計で較正した焦点検出系とを備え、
上記試験アームは、上記試験ビームを上記試験面上に集束させ上記試験ビームの上記試験面からの反射部分を集めるための集束光学要素を含み、
上記スペクトル感受性検出系は、測定ビームスペクトル帯域幅の範囲にわたり、波長の関数としての干渉を、上記試験アームと上記基準アームとの間の符号なしの光路長差の測定値としてモニターし、
上記焦点検出系は、上記試験アームと上記基準アームとの間の有意にゼロより大きい光路長差と、上記試験アームと上記基準アームとの間の有意にゼロより小さい光路長差とを識別するためのもので、上記試験アームと上記基準アームとの上記符号のない光路長差の測定値に関連した不明瞭性を解決するためのものであり、
上記焦点検出系が、上記試験面から反射された光を上記集束光学要素を通って焦点検出器まで送る焦点検出アームを備え、
上記焦点検出系が上記干渉計で較正され、この較正は、上記集束光学要素を通過する光の焦点を、上記試験アームの上記光路長と上記基準アームの上記光路長が等しくなる零状態から、所定のオフセットをもって位置づけることによって行うことを特徴とする干渉計。 - 上記焦点検出系が、上記試験アームと上記基準アームとの上記光路長差が有意にゼロよりも大きくなる上記試験面の位置と、上記試験アームと上記基準アームとの上記光路長差が有意にゼロよりも小さくなる上記試験面の位置とを識別することを特徴とする、請求項1に記載の干渉計。
- 上記焦点検出系が、好ましくは、ゼロに近い光路長差と、いずれかの符号の光路長差であって、ゼロよりも有意に大きいか又は小さい光路長差との識別も行うことを特徴とする、請求項2に記載の干渉計。
- プロセッサをさらに備え、このプロセッサは、(a)上記試験アームと上記基準アームとの符号のない光路長差に関連した上記スペクトル感受性検出系からの測定値と、(b)上記試験面が、上記試験アームと上記基準アームとの上記光路長差がゼロよりも大きくなる位置にあるのか、小さくなる位置にあるのかを示す、上記焦点検出系からの情報を受け取ることを特徴とする、請求項2に記載の干渉計。
- 上記試験面から反射し、上記集束光学要素を通って、焦点検出器に至る光は、上記測定ビームの一部であることを特徴とする、請求項2に記載の干渉計。
- 上記測定ビームを生成するための第一光源と、焦点検知ビームを生成するための第二光源とをさらに備え、この焦点検知ビームは、上記焦点検出アームによって、上記集束光学要素を通って上記試験面へ、そして上記試験面から上記集束光学要素を通って上記焦点検出器へ送られることを特徴とする、請求項2に記載の干渉計。
- 上記焦点検知ビームの表示波長が可視波長域内にあり、上記測定ビームの表示波長が不可視波長域内にあることを特徴とする、請求項6に記載の干渉計。
- 上記干渉計が所定の測定範囲を有し、上記所定のオフセットが少なくとも上記干渉計の上記所定の測定範囲の半分であることを特徴とする、請求項1に記載の干渉計。
- 所定のスペクトル帯域幅を有する測定ビームの試験ビーム部と基準ビーム部が通り抜ける際の光路長の差を、結合ビームの波長の範囲にわたって干渉変動をモニターすることによって測定する部分コヒーレンス干渉計であって、
上記測定ビームの上記試験ビーム部および上記基準ビーム部を、光源から送るための試験アームおよび基準アームと、焦点検出系とを備え、
上記試験アームは、上記試験ビームを上記試験面上に集束させ、上記試験ビームの上記試験面からの反射部分を集めるための、集束光学要素を含み、
上記焦点検出系は、上記試験面から反射された光を上記集束光学要素を通って焦点検出器に送る焦点検出アームを含み、
上記集束光学要素の焦点が上記試験アームと上記基準アームとの所定の光路長差と関連しており、そのため上記焦点検出系が、上記基準アームの光路長に較べて有意に短い試験アームの光路長と、有意に長い試験アームの光路長とを識別できるようになっており、
上記焦点検出系が、上記試験面から反射された光を上記集束光学要素を通って焦点検出器まで送る焦点検出アームを有し、
上記集束光学要素の上記焦点が、上記試験アームと上記基準アームの上記光路長が等しい零状態からオフセットしていることを特徴とする干渉計。 - 上記焦点検出系が上記試験アームと上記基準アームとの光路長差範囲に対応する焦点誤差範囲を同定し、この光路長差範囲では、上記試験アームの上記光路長が上記基準アームの上記光路長より、有意に長いか又は有意に短いかのいずれか一方であることを特徴とする、請求項9に記載の干渉計。
- 上記同定された上記試験アームと上記基準アームとの間の光路長差範囲が、上記試験アームと上記基準アームの上記光路長が等しい零状態に近い光路長差を含まないことを特徴とする、請求項10に記載の干渉計。
- プロセッサをさらに備え、このプロセッサは、上記同定された焦点誤差範囲に関連した、上記試験アームと上記基準アームの光路長差の干渉測定値を選択するように構成されていることを特徴とする、請求項11に記載の干渉計。
- 上記試験面から反射し上記集束光学要素を通って焦点検出器に至る光が、上記光源からの上記試験ビームの一部であることを特徴とする、請求項9に記載の干渉計。
- 上記測定ビームを生成するための上記光源は、2つある光源のうちの第一の光源であり、第二の光源は焦点検知ビームを生成し、この焦点検知ビームは、上記焦点検出アームによって、上記集束光学要素を通って上記試験面へ、そして上記試験面から上記集束光学要素を通って上記焦点検出器へ送られることを特徴とする、請求項9に記載の干渉計。
- 上記焦点検知ビームの表示波長が可視波長域内にあり、上記測定ビームの表示波長が不可視波長域内にあることを特徴とする、請求項14に記載の干渉計。
- 試験ビームと基準ビームとの間の符号なしの光路長差に基づく部分コヒーレンス干渉測定の測定不明瞭性、を解決するための方法であって、
(a)所定のスペクトル帯域幅を有する測定ビームを生成する工程と、
(b)上記測定ビームを試験アームに沿って伝播する試験ビームと、基準アームに沿って伝播する基準ビームとに分離する工程と、
(c)上記試験ビームを、上記試験アームに沿い集束光学要素を通って試験面に至り、上記集束光学要素を通って上記試験面から戻るように方向づける工程と、
(d)上記試験ビームと上記基準ビームとを再結合させる工程と、
(e)上記再結合した試験ビームと基準ビームの波長の範囲にわたる干渉の変化を、上記試験アームと上記基準アームの符号なしの光路長差の測定値としてモニターする工程と、
(f)上記試験面から反射された光を、上記集束光学要素を通って、焦点誤差を測定するための焦点検出器へ送る工程と、
(g)上記試験アームの光路長であって、上記基準アームの上記光路長よりも有意に短いものと、有意に長いものとを、上記測定された焦点誤差に基づいて識別する工程と、
を含み、さらに上記工程(a)〜(g)の前に実行される工程として、
(h)上記集束光学要素の焦点を、上記試験アームと上記基準アームの上記光路長とが等しい零状態からオフセットされた位置に位置づける工程
を含むことを特徴とする方法。 - 上記識別する工程が、上記試験アームと上記基準アームとの上記光路長差がゼロより有意に大きくなる上記試験面の位置と、上記試験アームと上記基準アームとの上記光路長差がゼロより有意に小さくなる上記試験面の位置とを識別することを含むことを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 上記識別する工程が、ゼロに近い光路長差と、ゼロより有意に大きいか有意に小さい、いずれかの符号の上記光路長差とを識別することを含むことを特徴とする、請求項17に記載の方法。
- 上記試験アームと上記基準アームとの光路長差範囲に対応する焦点誤差範囲を同定する工程を含み、この光路長差範囲では、上記試験アームの上記光路長が上記基準アームの上記光路長よりも有意に長いか又は有意に短いかのいずれか一方であることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 上記同定された焦点誤差範囲に関連した、上記試験アームと上記基準アームの光路長差のモニターされた干渉測定値を選択する工程を含むことを特徴とする、請求項19に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/958,411 US7791731B2 (en) | 2007-12-18 | 2007-12-18 | Partial coherence interferometer with measurement ambiguity resolution |
PCT/US2008/068602 WO2009079031A1 (en) | 2007-12-18 | 2008-06-27 | Partial coherence interferometer with measurement ambiguity resolution |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010510529A JP2010510529A (ja) | 2010-04-02 |
JP4568372B2 true JP4568372B2 (ja) | 2010-10-27 |
Family
ID=40752764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009546588A Active JP4568372B2 (ja) | 2007-12-18 | 2008-06-27 | 測定の不明瞭性を解消した部分コヒーレンス干渉計 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7791731B2 (ja) |
EP (1) | EP2104833B1 (ja) |
JP (1) | JP4568372B2 (ja) |
AT (1) | ATE554364T1 (ja) |
WO (1) | WO2009079031A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009049932B4 (de) * | 2009-10-19 | 2016-04-07 | Polytec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Schwingungsmessung an einem Objekt |
US8269157B2 (en) * | 2009-10-23 | 2012-09-18 | Academia Sinica | Optical imaging system |
US8508748B1 (en) * | 2010-06-03 | 2013-08-13 | Kla-Tencor Corporation | Inspection system with fiber coupled OCT focusing |
JP5504068B2 (ja) | 2010-06-23 | 2014-05-28 | Dmg森精機株式会社 | 変位検出装置 |
DE102011115027A1 (de) * | 2011-10-07 | 2013-04-11 | Polytec Gmbh | Kohärenzrasterinterferometer und Verfahren zur ortsaufgelösten optischen Vermessung der Oberflächengeometrie eines Objekts |
DE102011085599B3 (de) * | 2011-11-02 | 2012-12-13 | Polytec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objekts |
DE102013202349B3 (de) * | 2013-02-13 | 2013-12-19 | Polytec Gmbh | Kohärenzrasterinterferometer und Verfahren zur ortsaufgelösten optischen Vermessung der Höhengeometriedaten eines Objekts |
US9091523B2 (en) | 2013-07-19 | 2015-07-28 | Quality Vision International, Inc. | Profilometer with partial coherence interferometer adapted for avoiding measurements straddling a null position |
DE102015121582A1 (de) | 2014-12-12 | 2016-06-16 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Merkmalen an Werkstücken |
WO2016092053A1 (de) | 2014-12-12 | 2016-06-16 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur messung von merkmalen an werkstücken |
US10107615B2 (en) | 2016-04-20 | 2018-10-23 | Quality Vision International, Inc. | Remote probe for optical measuring machine |
US10663281B2 (en) | 2016-09-15 | 2020-05-26 | Kla-Tencor Corporation | Systems and methods for optimizing focus for imaging-based overlay metrology |
US10254105B2 (en) | 2016-12-05 | 2019-04-09 | Quality Vision International, Inc. | Exchangeable lens module system for probes of optical measuring machines |
US10107614B1 (en) | 2017-04-18 | 2018-10-23 | Quality Vision International, Inc. | Optical pen for interferometric measuring machine |
WO2020159957A1 (en) | 2019-01-28 | 2020-08-06 | Quality Vision International Inc. | Partial coherence range sensor pen connected to the source/detector by a polarizing fiber |
JP7443156B2 (ja) | 2020-05-18 | 2024-03-05 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置および測定方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4309108A (en) | 1977-01-17 | 1982-01-05 | The Perkin-Elmer Corporation | Analyzer for coherent radiation |
DE3219503C2 (de) | 1982-05-25 | 1985-08-08 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte |
JPS6088210U (ja) | 1983-11-24 | 1985-06-17 | 横河電機株式会社 | 3次元自由曲面測定装置 |
JPS60130711A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-12 | Ricoh Co Ltd | 干渉計におけるフオ−カシング方法 |
US5263776A (en) | 1992-09-25 | 1993-11-23 | International Business Machines Corporation | Multi-wavelength optical thermometry |
JPH08114413A (ja) | 1994-10-18 | 1996-05-07 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 干渉計の被検面距離合わせ方法 |
JP3230977B2 (ja) | 1995-12-28 | 2001-11-19 | 富士写真光機株式会社 | 光波干渉装置の被検体ポジショニング装置 |
US5995222A (en) | 1995-12-28 | 1999-11-30 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Subject positioning device for optical interferometer |
US5953137A (en) | 1996-10-09 | 1999-09-14 | Optimet, Optical Metrology Ltd. | Linear conoscopic holography |
DE19911419A1 (de) | 1998-03-16 | 1999-10-14 | Cyberoptics Corp | Digitales Bereichssensorsystem |
US6518996B1 (en) | 1999-02-22 | 2003-02-11 | Optical Gaging Products, Inc. | Compact video inspection apparatus with Y, Z, X compounded measurement axes |
US6195168B1 (en) | 1999-07-22 | 2001-02-27 | Zygo Corporation | Infrared scanning interferometry apparatus and method |
JP3642996B2 (ja) * | 1999-11-18 | 2005-04-27 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 光干渉法による測定対象物の屈折率と厚さの同時測定方法及びそのための装置 |
US7130059B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-10-31 | Light Gage, Inc | Common-path frequency-scanning interferometer |
US6781699B2 (en) | 2002-10-22 | 2004-08-24 | Corning-Tropel | Two-wavelength confocal interferometer for measuring multiple surfaces |
US7075660B2 (en) | 2003-11-18 | 2006-07-11 | Corning Incorporated | Multi-beam probe with adjustable beam angle |
JP4576852B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2010-11-10 | 富士フイルム株式会社 | ピント状態検出装置 |
US7426036B2 (en) * | 2005-07-08 | 2008-09-16 | Imalux Corporation | Common path frequency domain optical coherence reflectometer and common path frequency domain optical coherence tomography device |
JP2007101262A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Fujifilm Corp | 光断層画像化装置 |
US7859649B2 (en) | 2006-05-02 | 2010-12-28 | Quality Vision International, Inc. | Laser range sensor system optics adapter and method |
-
2007
- 2007-12-18 US US11/958,411 patent/US7791731B2/en active Active
-
2008
- 2008-06-27 AT AT08772181T patent/ATE554364T1/de active
- 2008-06-27 JP JP2009546588A patent/JP4568372B2/ja active Active
- 2008-06-27 WO PCT/US2008/068602 patent/WO2009079031A1/en active Application Filing
- 2008-06-27 EP EP08772181A patent/EP2104833B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2104833A4 (en) | 2011-01-05 |
EP2104833B1 (en) | 2012-04-18 |
US7791731B2 (en) | 2010-09-07 |
ATE554364T1 (de) | 2012-05-15 |
US20090153839A1 (en) | 2009-06-18 |
EP2104833A1 (en) | 2009-09-30 |
WO2009079031A1 (en) | 2009-06-25 |
JP2010510529A (ja) | 2010-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4568372B2 (ja) | 測定の不明瞭性を解消した部分コヒーレンス干渉計 | |
US8400641B2 (en) | Interferometer for aspherical or spherical surface measurements | |
US9587977B2 (en) | Boresight error monitor for laser radar integrated optical assembly | |
US20090310141A1 (en) | Two-wavelength laser interferometer and method of adjusting optical axis in the same | |
JPH02170033A (ja) | 光学素子の検査方法および装置 | |
CN103267482A (zh) | 一种高精度位移检测装置及方法 | |
CN108132026B (zh) | 半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置 | |
CA2909770A1 (en) | Surface roughness measurement device | |
US20200408505A1 (en) | Arrangement and Method for Robust Single-Shot Interferometry | |
JP4786923B2 (ja) | 縞計測装置の変換係数較正方法および装置ならびに該変換係数較正装置を備えた縞計測装置 | |
US20070103694A1 (en) | Interferometry system | |
JP2008032668A (ja) | 走査型形状計測機 | |
JP4104427B2 (ja) | 光学特性計測装置 | |
JP4223349B2 (ja) | 耐振動型干渉計装置 | |
CN107942339B (zh) | 一种光子计数激光干涉测距方法 | |
JP2000221013A (ja) | 干渉計測方法および干渉計測装置 | |
WO2011004692A1 (ja) | 光干渉計を用いた変位計測装置 | |
JP2006284233A (ja) | システム誤差計測装置およびこれを備えた波面測定用干渉計装置 | |
JP2020046273A (ja) | 相対位置検出手段、及び変位検出装置 | |
JP3759677B2 (ja) | 光波干渉計における寸法測定方法 | |
JP2008309652A (ja) | 寸法測定装置及び寸法測定方法 | |
JP5969274B2 (ja) | 位置検出装置 | |
US20230204339A1 (en) | Method and system for measuring a surface topography of an object | |
CA2552465A1 (en) | Optical apparatus and method for distance measuring | |
JP2966950B2 (ja) | 試料変位測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20091217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091222 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100319 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100720 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100806 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4568372 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130813 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |