JPS6088210U - ３次元自由曲面測定装置 - Google Patents

３次元自由曲面測定装置

Info

Publication number
JPS6088210U
JPS6088210U JP18123483U JP18123483U JPS6088210U JP S6088210 U JPS6088210 U JP S6088210U JP 18123483 U JP18123483 U JP 18123483U JP 18123483 U JP18123483 U JP 18123483U JP S6088210 U JPS6088210 U JP S6088210U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measuring device
measured
elements
light
form surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18123483U
Other languages
English (en)
Inventor
敏嗣 植田
英治 荻田
大輔 山崎
Original Assignee
横河電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
Priority to JP18123483U priority Critical patent/JPS6088210U/ja
Publication of JPS6088210U publication Critical patent/JPS6088210U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来の３次元自由曲面測定装置の
一例を示す構成図、第３図〜第５図は本考案の３次元自
由曲面測定装置の一実施例を示す構成図である。 ＬＺＩ、ＬＺ２・・・レーザ光源、Ｐ１〜Ｐ３・・・入
／４板、Ｐ４・・・偏光板、ＢＳ１〜ＢＳ４・・・ビー
ムスプリッタ、ＭＲ・・・ミラー、Ｄｌ、Ｄ２・・・デ
ィテクタ、Ｄ３．Ｄ４・・・４分割ディテクタ、ＳＬ・
・・シリンダレンズ、ＬＥ・・・対物レンズ、ＯＢＪ・
・・被測定物、ＳＵＢ・・・減算回路、ＩＮＴ・・・積
算回路、ＤＲｌ・・・レンズ駆動部、ＤＲ２・・・被測
定物駆動部、■１、ＭＮ２・・・移動量モニタ、Ｃ０Ｎ
１．ＣＯＮ２・・・演算回路、ＰＤＡ・・・フォトダイ
オードアレイ、ＡＤＲ・・・駆動回路、ＰＤ１〜ＰＤｎ
・・・フォトダイオード素子、ＳＷ・・・走査スイッチ
、Ａ１−Ａ３・・・差動増幅器。 ［Ｅ Ｄ３／ （ＢＳ３）　　　　ＬＥ

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 光の干渉を利用して、物体の表面形状等を測定する３次
    元自由曲面測定装置において、１波長のレーザ光を出射
    するレーザ光源と、このレーザ光を被測定面に照射する
    ための測定光とこの測定光に重畳して干渉縞を形成させ
    るための参照光とに分離するビームスプリッタと、下記
    の各要素より□　　なり前記干渉縞の移動量を検出する
    検出部とを具備してなる３次元自由曲面測定装置。 （１）複数のフォトダイオード素子が一定間隔で一列に
    配置されたフォトダイオードアレイ。 （２）これら複数のフォトダイオード素子を一定間隔に
    配置された素子同志でグループ化し各グループを順次走
    査する走査スイッチ。 （３）この走査スイッチから得られる出力を加算する加
    算増幅器。 （４）この加算増幅器の出力における位相偏差から前記
    被測定面の移動速度を検出し、これを積算して被測定面
    の移動量を算出する演算回路。
JP18123483U 1983-11-24 1983-11-24 ３次元自由曲面測定装置 Pending JPS6088210U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18123483U JPS6088210U (ja) 1983-11-24 1983-11-24 ３次元自由曲面測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18123483U JPS6088210U (ja) 1983-11-24 1983-11-24 ３次元自由曲面測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6088210U true JPS6088210U (ja) 1985-06-17

Family

ID=30392770

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18123483U Pending JPS6088210U (ja) 1983-11-24 1983-11-24 ３次元自由曲面測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6088210U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010510529A (ja) * 2007-12-18 2010-04-02 クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッド 測定の不明瞭性を解消した部分コヒーレンス干渉計
WO2011016146A1 (ja) * 2009-08-07 2011-02-10 株式会社トプコン 干渉顕微鏡及び測定装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010510529A (ja) * 2007-12-18 2010-04-02 クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッド 測定の不明瞭性を解消した部分コヒーレンス干渉計
US7791731B2 (en) 2007-12-18 2010-09-07 Quality Vision International, Inc. Partial coherence interferometer with measurement ambiguity resolution
WO2011016146A1 (ja) * 2009-08-07 2011-02-10 株式会社トプコン 干渉顕微鏡及び測定装置
JP2011038829A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Topcon Corp 干渉顕微鏡及び測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20230392920A1 (en) Multiple channel locating
JP3856838B2 (ja) 物体の形状を測定する方法および装置
EP0470816A1 (en) Field shift moire system
DE68923172D1 (de) Verfahren und Fühler für optoelektronische Winkelmessung.
JP5936357B2 (ja) 姿勢検出器、接触プローブ、および、マルチセンシングプローブ
US4813782A (en) Method and apparatus for measuring the floating amount of the magnetic head
CN102679908A (zh) 一种双波长光纤干涉条纹投射三维形貌动态测量方法
JPS62129711A (ja) 物体の形状誤差を測定する方法およびその装置
JP3065374B2 (ja) 被検体の光学的検査方法、被検体の光学的検査装置、および被検体の光学的検査用干渉計
CN100405003C (zh) 条纹计测装置的变换系数校正方法和装置及条纹计测装置
JP3410051B2 (ja) 形状測定方法及び装置
Livingstone et al. Development of a large field of view 3-d vision system
JPS6088210U (ja) ３次元自由曲面測定装置
CN107957249B (zh) 一种测量工件表面形貌的方法和装置
JPS5952963B2 (ja) 変形の測定方法
JP3960427B2 (ja) 多層膜の表面形状と膜厚分布の同時測定方法及びその装置
JPH08327353A (ja) 距離測定装置及び距離測定方法
JP2673196B2 (ja) 三次元形状センサ
JPH07503547A (ja) 距離測定用干渉型プローブ
SU1401268A1 (ru) Двухкоординатное измерительное устройство
RU2124700C1 (ru) Бесконтактный измеритель расстояний
JPS63140934A (ja) シエアリング干渉縞解析方法
SU1675659A1 (ru) Лазерна двухкоординатна измерительна система дл измерени линейных перемещений
JPS54102106A (en) Record reproducer
Kitagawa et al. Moire topography for three-dimensional profile measurement using the interference fringes