JP2009115688A - 増幅回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】作製が容易で、温度特性を有する磁気センサから出力された出力信号に基づいて安定した増幅信号を出力する増幅回路を提供する。
【解決手段】センサ装置1は、MRセンサ2と、差動増幅回路3と、を備えている。MRセンサ2は、第1〜第4のMR素子20〜23を備え、第1〜第4のMR素子20〜23の磁気抵抗値は、正の温度特性を有している。一方MRセンサ2は、負の温度特性を有しているので、差動増幅回路3の第3及び第4の抵抗(R2)33、34を負の温度特性を有する第1〜第4のMR素子20〜23と同じ部材で作製することによって、MRセンサ2の温度特性を補正することができ、センサ装置1は、安定した出力を行うことができる。
【選択図】図1
【解決手段】センサ装置1は、MRセンサ2と、差動増幅回路3と、を備えている。MRセンサ2は、第1〜第4のMR素子20〜23を備え、第1〜第4のMR素子20〜23の磁気抵抗値は、正の温度特性を有している。一方MRセンサ2は、負の温度特性を有しているので、差動増幅回路3の第3及び第4の抵抗(R2)33、34を負の温度特性を有する第1〜第4のMR素子20〜23と同じ部材で作製することによって、MRセンサ2の温度特性を補正することができ、センサ装置1は、安定した出力を行うことができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、温度特性を有する磁気センサから出力された出力信号に基づいて安定した増幅信号を出力する増幅回路に関する。
従来の技術として、回転するギアによる磁界の変化を検出する2つの磁気抵抗素子と、入力端子及び出力端子を有するオペアンプと、オペアンプの入力端子側に配置されたゲイン決定用入力抵抗(R1)と、オペアンプの出力端子から入力端子への帰還経路に配置されたゲイン決定用帰還抵抗(R2)と、を備えた増幅回路が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この増幅回路におけるゲイン決定用入力抵抗(R1)とゲイン決定用帰還抵抗(R2)は、不純物濃度の調整やイオン種を選択して使用することによって任意の温度特性を得ることができる不純物拡散抵抗であり、磁気抵抗素子の磁気抵抗値の温度特性を相殺するように作製されている。
よってこの増幅回路は、2つの磁気抵抗素子の温度特性をゲイン決定用入力抵抗(R1)とゲイン決定用帰還抵抗(R2)とで相殺できるので、温度変化に対して出力をほぼ一定に維持することができる。
特開平11−287668号公報
しかし、従来の増幅回路によると、2つの磁気抵抗素子の温度特性を測定し、その温度特性を相殺するようにゲイン決定用入力抵抗(R1)とゲイン決定用帰還抵抗(R2)の不純物濃度の調整やイオン種を選択しなければならず、それらの選択に多くの労力が必要であり、また、その結果コスト高となることから容易に作製することが困難であった。
従って本発明の目的は、作製が容易で、温度特性を有する磁気センサから出力された出力信号に基づいて安定した増幅信号を出力する増幅回路を提供することにある。
(1)本発明は上記目的を達成するため、反転入力端子、非反転入力端子及び出力端子を有するオペアンプと、前記オペアンプの前記反転入力端子側に設けられ、温度特性を有し、少なくとも2つの磁気抵抗素子から構成された磁気センサから出力される第1の出力信号の入力ゲインを調整する第1の入力抵抗と、前記オペアンプの前記出力端子から前記反転入力端子への帰還経路に設けられ、前記磁気センサと相反する前記温度特性を有する帰還抵抗と、を備え、前記帰還抵抗は、所定の抵抗値となるように前記磁気抵抗素子を形成する部材によって作製され、前記磁気センサの前記温度特性を補正することを特徴とする増幅回路を提供する。
上記した構成によれば、例えば反転増幅回路において、作製が容易で、温度特性を有する磁気センサから出力された出力信号に基づいて安定した増幅信号を出力することができる。
(2)本発明は上記目的を達成するため、反転入力端子、非反転入力端子及び出力端子を有するオペアンプと、前記オペアンプの前記反転入力端子側に設けられ、温度特性を有し、少なくとも2つの磁気抵抗素子から構成された磁気センサから出力される第1の出力信号の入力ゲインを調整する第1の入力抵抗と、前記オペアンプの前記非反転入力端子側に設けられ、前記磁気センサから出力される第2の出力信号の前記入力ゲインを調整する第2の入力抵抗と、前記オペアンプの前記出力端子から前記反転入力端子への帰還経路に設けられ、前記磁気センサと相反する前記温度特性を有する帰還抵抗と、前記第2の入力抵抗と前記非反転入力端子の間から接地回路の間に設けられた接地側抵抗と、を備え、前記帰還抵抗及び前記接地側抵抗は、所定の抵抗値となるように前記磁気抵抗素子を形成する部材によって作製され、前記磁気センサの前記温度特性を補正することを特徴とする増幅回路を提供する。
上記した構成によれば、例えば差動増幅回路において、作製が容易で、温度特性を有する磁気センサから出力された出力信号に基づいて安定した増幅信号を出力することができる。
このような構成によれば、作製が容易で、温度特性を有する磁気センサから出力された出力信号に基づいて安定した増幅信号を出力する増幅回路を提供することができる。
以下に、本発明の増幅回路の実施の形態を図面を参考にして詳細に説明する。
[実施の形態]
(センサ装置1の構成)
図1は、本発明の実施の形態に係るセンサ装置の等価回路図である。本実施の形態においては、増幅回路をMRセンサ2の出力電圧を増幅する差動増幅回路3に適用した場合について説明する。なお、増幅回路を反転増幅回路等の抵抗値の比によって増幅率が決まる増幅回路に適用しても良く、またこれに限定されない。
(センサ装置1の構成)
図1は、本発明の実施の形態に係るセンサ装置の等価回路図である。本実施の形態においては、増幅回路をMRセンサ2の出力電圧を増幅する差動増幅回路3に適用した場合について説明する。なお、増幅回路を反転増幅回路等の抵抗値の比によって増幅率が決まる増幅回路に適用しても良く、またこれに限定されない。
センサ装置1は、磁界の方向変化に基づいて第1及び第2の出力信号としての出力電圧V1及びV2を出力する磁気センサとしてのMR(Magnetro Resistance)センサ2と、出力された出力電圧V1及びV2の差分(V1−V2)を増幅する差動増幅回路3と、を備えて概略構成されている。
(MRセンサ2の構成)
MRセンサ2は、NiFeパーマロイ及びFeCo合金等の強磁性金属を主成分とした薄膜で作製された磁気抵抗素子としての第1〜第4のMR素子20〜23を有して構成されている。
MRセンサ2は、NiFeパーマロイ及びFeCo合金等の強磁性金属を主成分とした薄膜で作製された磁気抵抗素子としての第1〜第4のMR素子20〜23を有して構成されている。
第1及び第2のMR素子20、21は、図1に示すように、磁界に対する感磁方向が互いに90°となるように図示しない基板上に配置され、第3及び第4のMR素子22、23もまた、磁界に対する感磁方向が互いに90°となるように図示しない基板上に配置される。また、第1のMR素子20と第3のMR素子23、及び第2のMR素子21と第3のMR素子22が、感磁方向が一致するように配置され、第1〜第4のMR素子20〜23の長さ方向は、図1に示すX―Y座標のX軸に対して45°の角度をなしている。第1〜第4のMR素子20〜23は、ブリッジ回路を形成している。なお、感磁方向とは、第1〜第4のMR素子20〜23の磁気抵抗値が変化する磁界方向を指しており、第1〜第4のMR素子20〜23の矩形状の折り返しパターンの長手部分に平行な線を基準としている。すなわち、感磁方向が90°とは、第1〜第4のMR素子20〜23の折り返しパターンの長手部分に対して垂直に磁界が横切ることを指している。
第1のMR素子20と第3のMR素子22との間には、印加電圧Vccが印加され、第2のMR素子21と第3のMR素子23との間は、図示しない接地回路に接続されている。また、第1のMR素子20と第2のMR素子21との間の中点電位を取り出すことが可能で、その出力電圧をV1、同様に第3のMR素子22と第3のMR素子23との間の出力電圧をV2とするものとする。
(差動増幅回路3の構成)
差動増幅回路3は、図1に示すように、非反転入力端子(+)、反転入力端子(−)、及び出力端子を備えた増幅器の電子回路モジュールであるオペアンプ30と、オペアンプ30の反転入力端子(−)側に配置され、MRセンサ2から出力される出力電圧V1の入力ゲインを調整する温度によって抵抗値の変化しない第1の入力抵抗としての第1の抵抗(R1)31と、オペアンプ30の非反転入力端子(+)側に配置され、MRセンサ2から出力される出力電圧V2の入力ゲインを調整する温度によって抵抗値の変化しない第2の入力抵抗としての第2の抵抗(R1)32と、オペアンプ30の出力端子から反転入力端子(−)への帰還経路に配置された帰還抵抗としての第3の抵抗(R2)33と、第2の抵抗(R1)32と非反転入力端子(+)の間に接続され、一方端は図示しない接地回路に接続されている接地側抵抗としての第4の抵抗(R2)34と、を備えて構成されている。また、第1の抵抗(R1)31と第2の抵抗(R1)32は、同じ抵抗値R1を有し、第3の抵抗(R2)33と第4の抵抗(R2)34は、磁界が印加されていないとき、共に所定の抵抗値として抵抗値R2を有するように構成されている。
差動増幅回路3は、図1に示すように、非反転入力端子(+)、反転入力端子(−)、及び出力端子を備えた増幅器の電子回路モジュールであるオペアンプ30と、オペアンプ30の反転入力端子(−)側に配置され、MRセンサ2から出力される出力電圧V1の入力ゲインを調整する温度によって抵抗値の変化しない第1の入力抵抗としての第1の抵抗(R1)31と、オペアンプ30の非反転入力端子(+)側に配置され、MRセンサ2から出力される出力電圧V2の入力ゲインを調整する温度によって抵抗値の変化しない第2の入力抵抗としての第2の抵抗(R1)32と、オペアンプ30の出力端子から反転入力端子(−)への帰還経路に配置された帰還抵抗としての第3の抵抗(R2)33と、第2の抵抗(R1)32と非反転入力端子(+)の間に接続され、一方端は図示しない接地回路に接続されている接地側抵抗としての第4の抵抗(R2)34と、を備えて構成されている。また、第1の抵抗(R1)31と第2の抵抗(R1)32は、同じ抵抗値R1を有し、第3の抵抗(R2)33と第4の抵抗(R2)34は、磁界が印加されていないとき、共に所定の抵抗値として抵抗値R2を有するように構成されている。
この差動増幅回路3は、出力電圧V1及びV2の差分(V1−V2)を増幅し、増幅信号としてVoutを出力する。その増幅率は、第1の抵抗(R1)31と第3の抵抗(R2)33の比R2/R1である。
(第3及び第4の抵抗(R2)33、34の構成)
図2(a)及び(b)は、本発明の実施の形態に係る第3及び第4の抵抗の一例を示す概略図である。第3及び第4の抵抗(R2)33、34は、MRセンサ2の第1〜第4のMR素子20〜23と同じ部材によって作製された磁気抵抗素子であり、その部材の線幅及び膜厚もまた同じである。第3及び第4の抵抗(R2)33、34の磁気抵抗値R2は、増幅率によって決定される。
図2(a)及び(b)は、本発明の実施の形態に係る第3及び第4の抵抗の一例を示す概略図である。第3及び第4の抵抗(R2)33、34は、MRセンサ2の第1〜第4のMR素子20〜23と同じ部材によって作製された磁気抵抗素子であり、その部材の線幅及び膜厚もまた同じである。第3及び第4の抵抗(R2)33、34の磁気抵抗値R2は、増幅率によって決定される。
第1〜第4のMR素子20〜23の磁気抵抗値は、正の温度特性を有している。しかし、第1〜第4のMR素子20〜23からなるMRセンサ2は、負の温度特性を有している。そこで差動増幅回路3の第3及び第4の抵抗(R2)33、34を、第1〜第4のMR素子20〜23と同じ部材で作製することによって、差動増幅回路3は、容易にMRセンサ2の温度特性に対応する温度特性を持ち、MRセンサ2の温度特性を補正することができる。
また第3及び第4の抵抗(R2)33、34は、MRセンサ2の温度特性を補正するため、MRセンサ2の近傍に配置されるのが望ましい。なぜなら第3及び第4の抵抗(R2)33、34は、近傍に配置されることによって、MRセンサ2の温度に近い温度になる。しかし、同時に、第3及び第4の抵抗(R2)33、34は、MRセンサ2に印加される磁界の影響を受け、磁気抵抗値が、温度だけでなく磁界の変化に基づいて変化する可能性がある。そこで、一例として図2(a)及び(b)に示すように、温度が一定のとき、磁界の方向の変化によって磁気抵抗値が殆ど変化しないように、異方性が無い形状で作製される。
(従来の差動増幅回路について)
図3は、本発明の実施の形態に係る従来のセンサ装置の一例を示す等価回路図である。従来のセンサ装置5は、一例として、本実施の形態におけるセンサ装置1に対して差動増幅回路6の構成が異なっている。従来の差動増幅回路6は、第3の抵抗(R2)33が第5の抵抗(R2)60に、第4の抵抗(R2)34が第6の抵抗(R2)61に、なっており、第5及び第6の抵抗(R2)60、61は、同じ抵抗値R2を有する。この従来の差動増幅回路6は、出力電圧V1及びV2の差分(V1−V2)の増幅率がR2/R1であり、温度によらず一定の値を有している。
図3は、本発明の実施の形態に係る従来のセンサ装置の一例を示す等価回路図である。従来のセンサ装置5は、一例として、本実施の形態におけるセンサ装置1に対して差動増幅回路6の構成が異なっている。従来の差動増幅回路6は、第3の抵抗(R2)33が第5の抵抗(R2)60に、第4の抵抗(R2)34が第6の抵抗(R2)61に、なっており、第5及び第6の抵抗(R2)60、61は、同じ抵抗値R2を有する。この従来の差動増幅回路6は、出力電圧V1及びV2の差分(V1−V2)の増幅率がR2/R1であり、温度によらず一定の値を有している。
(動作)
以下に、本実施の形態におけるセンサ装置1の動作を図1〜3、及び後述する図4を参照し、詳細に説明する。
以下に、本実施の形態におけるセンサ装置1の動作を図1〜3、及び後述する図4を参照し、詳細に説明する。
図4は、本発明の実施の形態に係る感度と温度の関係を示した概略図である。図中の実施例とは、本実施の形態におけるセンサ装置1の出力を表しており、従来例とは、従来のセンサ装置5の出力を表している。
一例として、図1におけるMRセンサ2に対して、図示しない磁石を近づけ移動させると、磁石から発生した磁界によってMRセンサ2から出力電圧V1及びV2が出力される。
出力電圧V1に基づく電流は、第1の抵抗(R1)31によって入力ゲインを調整されたのち、オペアンプ30の反転入力端子(−)、出力端子、第3の抵抗(R2)33を介して反転入力端子(−)に戻される。その結果、差動増幅回路3は、点n及びpの電圧が等しくなるように働くので、やがてオペアンプ30に電流が流れ込まなくなり、図1に示すように、第1の抵抗(R1)31、第3の抵抗(R2)33を介して出力される。
同様に、出力電圧V2に基づく電流は、第2の抵抗(R1)32によって入力ゲインを調整されたのち、第4の抵抗(R2)34を介して図示しない接地回路に出力される。こうして出力電圧の差分(V1−V2)が、増幅率R2/R1に基づいて増幅され、増幅信号として出力電圧Voutが出力される。
このとき、MRセンサ2は、負の温度特性を有する(例えば、温度が上昇すると感度が低くなる)ため、図3に示す従来の差動増幅回路6では、増幅率R2/R1で増幅された電圧は高温時に振幅が減少し、結果として従来の差動増幅回路6から出力される出力電圧Voutは、図4に示す従来例のように、磁界のみならず温度によってその値が変化し、感度が落ちてしまう。
しかし、本実施の形態における差動増幅回路3では、増幅率R2/R1の分子であるR2が、磁気抵抗素子である第3の抵抗(R2)33の抵抗値R2であり、第1〜第4のMR素子20〜23の磁気抵抗値と同じ正の温度特性を有しているので、例えば温度が上昇したとき、上記のR2も同時に変化し、出力電圧Voutの温度による変化を抑制することができる。よって図4に示す実施例のように、本実施の形態におけるセンサ装置1は、感度が温度に依存せず、ほぼ一定の感度となるように補正することができる。
(効果)
上記した実施の形態におけるセンサ装置1は、第3及び第4の抵抗(R2)33、34が、第1〜第4のMR素子20〜23と同じ温度特性を有しているので、温度変化による出力電圧Voutの変化を抑制することができ、温度による感度の変化を補正することができる。また、センサ装置1は第3及び第4の抵抗(R2)33、34が、第1〜第4のMR素子20〜23と同じように作製することができるので、コストが掛からず、さらに、作製が容易である。
上記した実施の形態におけるセンサ装置1は、第3及び第4の抵抗(R2)33、34が、第1〜第4のMR素子20〜23と同じ温度特性を有しているので、温度変化による出力電圧Voutの変化を抑制することができ、温度による感度の変化を補正することができる。また、センサ装置1は第3及び第4の抵抗(R2)33、34が、第1〜第4のMR素子20〜23と同じように作製することができるので、コストが掛からず、さらに、作製が容易である。
なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されず、本発明の技術思想を逸脱あるいは変更しない範囲内で種々の変形が可能である。
1…センサ装置、2…MRセンサ、3…差動増幅回路、5…センサ装置、6…差動増幅回路、20〜23…第1〜第4のMR素子、30…オペアンプ、31〜34…第1〜第4の抵抗、60、61…第5、第6の抵抗、V1…出力電圧、V2…出力電圧、Vcc…印加電圧、Vout…出力電圧
Claims (6)
- 反転入力端子、非反転入力端子及び出力端子を有するオペアンプと、
前記オペアンプの前記反転入力端子側に設けられ、温度特性を有し、少なくとも2つの磁気抵抗素子から構成された磁気センサから出力される第1の出力信号の入力ゲインを調整する第1の入力抵抗と、
前記オペアンプの前記出力端子から前記反転入力端子への帰還経路に設けられ、前記磁気センサと相反する前記温度特性を有する帰還抵抗と、
を備え、
前記帰還抵抗は、所定の抵抗値となるように前記磁気抵抗素子を形成する部材によって作製され、前記磁気センサの前記温度特性を補正することを特徴とする増幅回路。 - 前記帰還抵抗は、前記磁気センサに対して印加された磁界に対して、前記磁界の方向変化に基づいて磁気抵抗値が変化しないことを特徴とする請求項1に記載の増幅回路。
- 前記オペアンプは、前記磁気センサから出力される第2の出力信号の前記入力ゲインを調整する第2の入力抵抗を前記非反転入力端子側に設け、さらに前記第2の入力抵抗と前記非反転入力端子の間から接地回路の間に接地側抵抗を設け、
前記接地側抵抗は、前記所定の抵抗値となるように前記磁気抵抗素子を形成する部材によって作製され、前記磁気センサの前記温度特性を補正することを特徴とする請求項2に記載の増幅回路。 - 前記抵抗は、前記磁気センサに対して印加された磁界に対して、前記磁界の方向変化に基づいて磁気抵抗が変化しないことを特徴とする請求項3に記載の増幅回路。
- 反転入力端子、非反転入力端子及び出力端子を有するオペアンプと、
前記オペアンプの前記反転入力端子側に設けられ、温度特性を有し、少なくとも2つの磁気抵抗素子から構成された磁気センサから出力される第1の出力信号の入力ゲインを調整する第1の入力抵抗と、
前記オペアンプの前記非反転入力端子側に設けられ、前記磁気センサから出力される第2の出力信号の前記入力ゲインを調整する第2の入力抵抗と、
前記オペアンプの前記出力端子から前記反転入力端子への帰還経路に設けられ、前記磁気センサと相反する前記温度特性を有する帰還抵抗と、
前記第2の入力抵抗と前記非反転入力端子の間から接地回路の間に設けられた接地側抵抗と、
を備え、
前記帰還抵抗及び前記接地側抵抗は、所定の抵抗値となるように前記磁気抵抗素子を形成する部材によって作製され、前記磁気センサの前記温度特性を補正することを特徴とする増幅回路。 - 前記磁気センサは、前記磁気抵抗素子にて形成されたブリッジ回路を有することを特徴とする請求項1から5いずれか1項に記載の増幅回路。
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