JP2009114976A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】縦置に配置されたロータを回転自在に固定するための軸受及びタイミングギアに潤滑油を供給する真空ポンプにおいて、前記軸受及びタイミングギアに十分な潤滑油を供給することができ、キャビテーション発生を抑制することのできる真空ポンプを提供する。
【解決手段】ロータ軸５に設けられ、スクリューロータ２の回転により生じる回転力により、オイル室２７の潤滑油２６に対し下方に向けて突出圧Ｆを発生させる加圧手段３０と、オイル室２７の潤滑油２６に連通すると共に軸受６、７に連通する潤滑油流路５ａ、５ｃとを備え、加圧手段３０が発生した突出圧Ｆにより潤滑油流路５ａに潤滑油を供給し、潤滑油を軸受６、７に供給する。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空ポンプに関し、特に縦置に配置されたロータを回転自在に固定するための軸受及びタイミングギアに潤滑油を供給する真空ポンプに関する。

スクリュー式の真空ポンプにおいては、縦置に配置されたロータを軸受により回転自在に支持し、前記軸受やタイミングギアに潤滑油（オイル）を供給するようになされている。
例えば、特許文献１には、ロータ軸下端部を潤滑油に浸し、該下端部にロータが回転することにより生じる遠心力を利用して潤滑油を吸い上げるためのポンプ部を設けた真空ポンプ５０が開示されている。

図８に示すように、この真空ポンプ５０の駆動軸５１及び被動軸５２には、夫々下端から上方へ向かって軸方向に給油孔５３、５４が穿設されており、これら給油孔５３、５４は軸受５５、５６の上方に設けられた吐出孔５７、５８に連通している。また、駆動軸５１及び被動軸５２の下端には、オイルピックアップ５９、６０が装着されており、オイルピックアップ５９、６０内の給油孔６１、６２は、夫々駆動軸５１及び被動軸５２の給油孔５７、５８に連通している。

この構造において駆動軸５１及び被動軸５２が回転すると、潤滑油６３は遠心力によってオイルピックアップ５９、６０の給油孔６１、６２から給油孔５７、５８を通って駆動軸５１及び被動軸５２の上方に送られて吐出孔５７、５８から夫々軸受５５、５６に供給される。
特開平５−８７０７８号公報

前記特許文献１に開示の真空ポンプ１にあっては、ロータが回転することによる遠心力を利用して潤滑油を上方に押し上げる構造である。しかしながら、遠心力のみを利用して潤滑油を押し上げる構造では、押し上げ力が弱いために潤滑油を十分に上方に押し上げることができず、高い位置にある軸受には潤滑油を殆ど供給することができないという課題があった。また、真空中では、大気中で液面に対して加わる大気圧が殆ど無いため、上方へ押し上げる力がさらに低下していた。

また、特許文献１に開示の真空ポンプ１にあっては、下方から上方に力が生じる汲み上げ方式であるため、ロータが高速回転すると、キャビテーションが発生しやすく、特に大気圧から真空圧に変わる環境で用いた場合、潤滑油に気泡が生じやすいために、キャビテーション発生をさらに助長するという課題があった。

本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、縦置に配置されたロータを回転自在に固定するための軸受及びタイミングギアに潤滑油を供給する真空ポンプにおいて、前記軸受及びタイミングギアに十分な潤滑油を供給することができ、キャビテーション発生を抑制することのできる真空ポンプを提供することを目的とする。

前記した課題を解決するために、本発明に係る真空ポンプは、スクリューロータがロータ軸に接続され、前記ロータ軸が軸受により回転可能に支持されると共に、前記軸受の下方に潤滑油を貯留するオイル室が設けられた真空ポンプであって、前記ロータ軸に設けられ、前記スクリューロータの回転により生じる回転力により、前記オイル室の潤滑油に対し下方に向けて突出圧を発生させる加圧手段と、前記オイル室の潤滑油に連通すると共に前記軸受に連通する潤滑油流路とを備え、前記加圧手段が発生した突出圧により前記潤滑油流路に潤滑油を供給し、潤滑油を前記軸受に供給することに特徴を有する。
このように加圧手段を設けることにより、ポンプ運転中は潤滑油に対し常に下方に向けて突出圧を与えることができ、この突出圧により確実に高い位置まで潤滑油を供給し、全ての軸受及びタイミングギアに対し十分な潤滑油を供給することができる。
また、キャビテーションの発生を抑制することができる。

また、前記加圧手段は、前記ロータ軸の下端部に設けられると共にシリンダ内に収容され、前記シリンダと前記加圧手段との間には、前記オイル室の潤滑油が供給され、前記加圧手段は、前記シリンダ内で前記突出圧を発生し、前記潤滑油流路に潤滑油を供給することが望ましい。
尚、前記シリンダの周囲には、貫通孔が形成され、該シリンダ内の潤滑油は前記貫通孔を介して供給されることが望ましい。
このようにシリンダ内に加圧手段を収容することにより、潤滑油は攪拌されることがなく、突出圧は常に下方にのみ向けて発生する。したがって、この下方に向かう突出圧により、潤滑油を潤滑油流路に効率的に供給することができる。

また、前記加圧手段は、前記ロータ軸と同軸の円柱周面に螺子溝が形成され、前記ロータ軸と共に回転することにより、下方に向かう突出圧を発生させることが望ましい。
或いは、前記加圧部材は、周囲にスクリュー羽根が設けられ、該加圧部材が軸周りに回転することにより、下方に向かう突出圧を発生させるようにしてもよい。
このように構成することにより、下方に向かう突出圧を発生させる加圧手段を実現することができる。

また、前記潤滑油流路は、前記ロータ軸内に形成されていることが望ましい。
或いは、前記潤滑油流路は、前記加圧手段と前記軸受とを連通するパイプにより形成されている構成でもよい。
このように潤滑油流路を形成することにより、オイル室の潤滑油を上方へ供給することができる。

また、前記軸受の上方に形成されると共に、前記潤滑油流路に連通し、前記潤滑油流路から供給される潤滑油を貯留するオイル溜を備え、前記オイル溜に貯留された潤滑油は、該オイル溜からオーバーフローすることにより前記軸受に供給されることが望ましい。
このようにオイル溜を設けることにより、軸受の全体に対し、均一な潤滑油を供給することができる。

また、前記潤滑油流路に供給された潤滑油を前記オイル室に回収するための回収路を有し、少なくとも前記軸受は、前記回収路上に設けられていることが望ましい。
このように回収路を設けることにより潤滑油を有効に利用することができ、回収路上に軸受やタイミングギアを設けることにより確実にそれらに潤滑油を供給することができる。

また、前記潤滑油流路から供給される潤滑油を貯留するオイル溜を備え、一定流量を前記軸受に供給するために、貯留された前記オイル溜から前記軸受に向かう絞りを持つ供給路と、残りの流量がオイル室に回収されるようオイル室に連通した回収路を有するように構成してもよい。
このように構成すれば、軸受部へのオイル供給量を調整することができる。このため、軸受部へのオイル供給量が多い場合に、消費電力の増加、軸受部の過剰発熱により過予圧が発生し、軸受の寿命の大幅な低下を招くという課題を解決することができる。

本発明によれば、縦置に配置されたロータを回転自在に固定するための軸受及びタイミングギアに潤滑油を供給する真空ポンプにおいて、前記軸受及びタイミングギアに十分な潤滑油を供給することができ、キャビテーション発生を抑制することのできる真空ポンプを提供することができる。

以下、本発明に係る真空ポンプの実施の形態について図面に基づき説明する。図１は本発明に係る真空ポンプの実施の形態を模式的に示す断面図である。
図示するように、この真空ポンプ１Ａは、縦置に配置された一対のスクリューロータ２、３を備え、この一対のスクリューロータ２、３はロータハウジング４の内部に収納されている。

また、前記一対のスクリューロータ２、３とロータハウジング４によって作動室７が形成される。この作動室７には吸気口（図示せず）からプロセスガス（反応生成ガス）が導入され、前記一対のスクリューロータ２、３の回転に伴い、作動室７内のプロセスガスは、移送と、必要に応じて圧縮がなされ、排気口（図示せず）から排気されるように構成されている。

真空ポンプ１Ａにおけるスクリューロータ２は、そのロータ軸５が、ロータ下方に設けられた軸受６，７及びさらに下方に設けられた軸受２３により支持されている。また、スクリューロータ３は、そのロータ軸８が、ロータ下方に設けられた軸受９、１０及びさらに下方に設けられた軸受２４により支持されている。したがって、スクリューロータ２、３は、共にロータハウジング４に対して回転可能となされている。

また、ロータ軸５の下端部には、タイミングギア１１が設けられ、ロータ軸８の下端部には、前記タイミングギア１１に噛み合うタイミングギア１２が設けられている。
そして、それらタイミングギア１１、１２が互いに噛み合い、ロータ軸５、８が共に回転することにより、一対のスクリューロータ２、３が回転するように構成されている。
尚、ロータ軸８にはモータ１３が接続され、ロータ軸８が駆動軸として機能し、ロータ軸５が被動軸として機能するようになされている。
また、真空ポンプ１の底部には、オイルハウジング２５が設けられ、このオイルハウジング２５によって潤滑油２６が貯溜されるオイル室２７が形成されている。尚、前記タイミングギア１１、１２はこのオイル室２７に収容されている。

また、ロータ軸５の下端は、オイル室２７においてタイミングギア１１よりも下方に延設され、その下端部には後述する加圧部（加圧手段）３０が設けられている。この加圧部３０は、オイル室２７の潤滑油２６に浸され、オイルハウジング２５に固定もしくは一体形成されたシリンダ２８内に収容されている。
この加圧部３０並びに、軸受６、７、２３の拡大図を図２に示す。図２に示すように、シリンダ２８には側部に貫通孔２８ａが形成され、この貫通孔２８ａを通ってオイル室２７内の潤滑油２６がシリンダ２８内に供給されるようになされている。

ロータ軸５の下端部（先端）には、略円柱形の加圧部３０が設けられ、この加圧部３０がシリンダ２８内に収容されている。また、加圧部３０の周囲には、この加圧部３０が回転することにより下方への突出圧を発生させるための螺子溝３０ａが形成されている。加圧部３０を含むロータ軸５には、その軸方向に沿って潤滑油流路５ａが穿設され、加圧部３０の下面には潤滑油流路５ａに連通する流入口５ｂが形成されている。

また、ロータ軸５において、軸受６、７よりやや上方には、径方向に向かう潤滑油流路５ｃが形成され、軸方向に形成された潤滑油流路５ａと連通している。この潤滑油流路５ｃは軸受６、７上方の軸表面に開口することにより、軸受６、７に連通している。

このように、ロータ軸５には、加圧部３０と潤滑油流路５ａ、５ｃとが形成される。この構成において、ロータ軸５が所定方向に回転すると、加圧部３０により下方に向かう突出圧Ｆが発生する。そして、この突出圧Ｆによりシリンダ２８内の潤滑油２６は加圧部３０下面の流入口５ｂから潤滑油流路５ａに供給され、上方に流れて径方向の潤滑油流路５ｃに供給されるようになされている。
そして、潤滑油流路５ｃに供給された潤滑油は、ロータ軸５の回転により生じる遠心力により、ロータ軸５周囲に吐出されるようになされている。

また、軸受６、７の上方の空間において、潤滑油流路５ｃよりも下方には、潤滑油流路５ｃからロータ軸５周囲に吐出された潤滑油を一時的に貯留するリング状のオイル溜３５が設けられている。
このため、ロータ軸５周囲に吐出された潤滑油は、前記オイル溜３５に貯留された後、オーバーフローすることにより軸受６、７に偏りなく、全体的に万遍に供給される。

また、図１に示すように、前記オイル溜３５と同様の構成であるオイル溜３６がロータ軸８の周囲に設けられている。このオイル溜３６は、軸受９、１０の上方に設けられ、ロータ軸５側のオイル溜３５との間に潤滑油流路３７が形成されることによりオイル溜３５と連通している。
このため、ロータ軸５側でオイル溜３５に貯留される潤滑油は、そこでオーバーフローする前に潤滑油流路３７を通ってロータ軸８側のオイル溜３６に貯留される。したがって、オイル溜３５、３６からは略同時に潤滑油のオーバーフローが生じ、ロータ軸５側においては軸受６，７に、ロータ軸８側においては軸受９、１０に潤滑油が上方から供給されるように構成されている。

また、オイル溜３５、３６とオイル室２７との間には、潤滑油の回収路３８、３９が夫々形成され、潤滑油をオイル室２７に回収可能な構成となされている。ロータ軸５側においては、回収路３８上に軸受６、７と軸受２３が設けられ、ロータ軸８側においては、回収路３９上に軸受９、１０と軸受２４が設けられている。
尚、ロータ軸８側において、軸受２４に対しては、その上方から潤滑油が供給されるが、図１に示すように、その潤滑油は横方向に形成された回収路３９からの供給となる。このため軸受２４の上方にはオイル溜４０が設けられ、回収路３９から供給される潤滑油を一時的に貯留した後、オーバーフローさせて軸受２４に均一に潤滑油を供給するようになされている。

また、ロータ軸５側において軸受２３に供給された潤滑油は、その後、タイミングギア１１の上面に供給され、ロータ軸８側において軸受２４に供給された潤滑油は、タイミングギア１２の上面に供給される。ここで、図１に示すように、タイミングギア１１の厚さ寸法はタイミングギア１２の厚さ寸法よりも小さく形成されている。この構造により、タイミングギア１１の上面に供給された潤滑油はロータ軸５の回転に伴う遠心力により軸周辺に拡がり、タイミングギア１２の側面段部１４に潤滑油が供給され、タイミングギア１１とタイミングギア１２との噛み合い部へ潤滑油が供給されるようになされている。
タイミングギア１１、１２に供給された潤滑油は、その後、下方に落ちてオイル室２７の潤滑油として回収されるようになされている。
尚、両タイミングギア１１、１２が同じ厚さ寸法でも上下に少しずらすことにより同じ効果を出すことができる。

このように構成された真空ポンプ１Ａが運転開始されると、モータ１３の駆動によりロータ軸８が駆動軸として回転し、タイミングギア１２、１１が相互に噛み合って被動軸であるロータ軸５が回転する。これによりロータ３、２が所定速度で回転し、真空ポンプとして機能する。

一方、ロータ軸５が回転することにより、オイル室２７においてシリンダ２８に収容された加圧部３０がロータ２の回転に同期して回転する。加圧部３０には、その周囲に螺子溝３０ａが形成されているため、前記回転により下方に向かう突出圧Ｆが生じる。
シリンダ２８内には、貫通孔２８ａを通って潤滑油２６が常時供給されており、その潤滑油２６は前記突出圧Ｆにより下方へ押し込まれた後、さらに突出圧Ｆにより加圧部３０の下面の流入口５ｂから潤滑油流路５ａに供給され、上方に向けて流される。

ここで、ロータ２の回転に合わせて回転する加圧部３０は、シリンダ２８内に周囲が覆われた状態であるため、突出圧Ｆは下方にのみ向けて発生し、この突出圧Ｆにより、潤滑油２６は加圧部３０下面の流入口５ｂから潤滑油流路５ａに効率的に供給される。
尚、シリンダ２８を設けない場合、加圧部３０が回転すると、潤滑油２６を撹拌し、突出圧が遠心方向に分散するため、下方に向かう突出圧が小さくなり、潤滑油２６を加圧部３０下面の流入口５ｂから潤滑油流路５ａに供給し難くなる。しかしながら、シリンダ２８を設けることによって、その問題を解決することができる。

さらに、シリンダ２８を設けない場合、加圧部３０周辺の潤滑油２６に渦が発生し、潤滑油２６を加圧部３０に十分に供給できないという問題があるが、シリンダ２８を設けることによって、その問題も解決することができる。尚、この場合、シリンダ２８の上端は、図示するように潤滑油２６の液面から上方に突出しているほうが好ましいが、液面内にあっても相当の効果を得ることができる。
また、シリンダ２８内に加圧部材３０が収容されるため、ロータ２の回転数に応じた突出圧Ｆが確実に発生し、潤滑油２６に対し常に下方に向かう突出圧Ｆが与えられ、圧力Ｆの大きさに応じた高い位置まで、潤滑油２６が十分に供給される。

このようにしてロータ軸５の潤滑油流路５ａを上方に向けて流れる潤滑油２６は、その上端に達した後、横方向に形成された潤滑油流路５ｃに供給される。
そして、ロータ軸５の回転に伴う遠心力によって、潤滑油が潤滑油流路５ｃからロータ軸５の周囲に吐出され、オイル溜３５、３６に貯留される。

オイル溜３５、３６に貯留された潤滑油はオーバーフローすることによって、下方の回収路３８、３９に夫々流れ落ちる。これにより回収路３８においては、その途中に設けられた軸受６、７、２３、さらにタイミングギア１１に潤滑油が供給され、回収路３９においては、その途中に設けられた軸受９、１０、２４、さらにタイミングギア１２に潤滑油が供給される。
そして、タイミングギア１１、１２に供給された潤滑油は下方に流れ落ちることによりオイル室２７の潤滑油として回収される。

以上のように、本発明に係る真空ポンプの実施の形態によれば、加圧部３０を設けることにより、ポンプ運転中は潤滑油に対し常に下方に向けて突出圧Ｆを与えることができ、この突出圧Ｆにより確実に高い位置まで潤滑油を供給し、全ての軸受及びタイミングギアに対し十分な潤滑油を供給することができる。

尚、前記実施の形態においては、突出圧Ｆにより潤滑油を上方に流すための潤滑油流路をロータ軸５内に穿設したものとしたが、本発明にあっては、その構成に限定されず、例えば図３に示す真空ポンプ１Ｂのように、加圧部３０（の下方）と軸受６、７（の上方）とを連通するパイプ４５により潤滑油流路を形成してもよい。この図３においては、図１と同様の部材については同じ符号で示している。

また、前記実施の形態における真空ポンプは１段のポンプとして図示したが、図４に示すように２段構成であってもよい。この図４においては、図１に示した真空ポンプ１Ａ（図３の真空ポンプ１Ｂでもよい）の前段に、同様の構成を有する真空ポンプ１Ｃが配置されている。真空ポンプ１Ｃにおいて、真空ポンプ１Ａと同様の部材については同じ符号で示している。
この２段ポンプにおいては、後段の真空ポンプ１Ａのオイル室２７は大気状態であるが、前段の真空ポンプ１Ｃにおけるオイル室２７は真空状態となって、潤滑油表面に作用する大気圧が無くなり、潤滑油を押し上げる力がその分弱くなる。
しかしながら、本発明の真空ポンプの構成によれば、前段の真空ポンプ１Ｃにおいてオイル室２７の潤滑油に対し常に下方に向けて突出圧を与えることができるため、真空状態であっても十分に潤滑油を上方へ供給することができる。

また、前記実施の形態においては、一対のロータ軸５、８のうち、ロータ軸５のみに加圧部３０を設けた例を示したが、その構成に限定されることなく、図５に示すように、ロータ軸８にも加圧部３０を設ける構成であってよい。
このとき図示するように、軸内に流路を形成する場合には、軸方向に潤滑油流路８ａ、径方向に潤滑油流路８ｃが形成され、加圧部３０によって下方に突出圧が与えられた潤滑油は加圧部３０下面の流入口８ｂから潤滑油流路８ａに供給される。
また、ロータ軸８において、潤滑油流路は図３に示すように加圧部３０（の下方）と軸受９、１０（の上方）とを連通するパイプ（図示せず）により形成されてもよい。
また、ロータ軸５、８に設けられる加圧部３０はロータ軸と一体形成されてもよいが、図５に示すように、別部材として設けられてもよい。

また、前記実施の形態においては、加圧部３０に螺子溝３０ａを形成し、加圧部３０を軸周りに回転させることにより下方に向かう突出圧Ｆを発生させる構成としたが、本発明にかかる真空ポンプの加圧部材にあっては、それに限定されず、図６に示すように、加圧部３０の周囲にスクリュー羽根３０ｂを設け、その加圧部３０を軸周りに回転させることにより突出圧Ｆを発生させるようにしてもよい。

また、軸受部のオイルの供給量が多いと、消費電力の増加、軸受部の過剰発熱により過予圧が発生し、軸受の寿命の大幅な低下を招く。そこで、オイル溜３５，３６をオーバーフローしたオイルが軸受６，７，９，１０に直接流入する構造に限定せず、図７に示す構造を用いてもよい。
即ち、図７に示す構造では、潤滑油流路５ａから吐出される流量Ｑ１のうち、軸受６，７，９，１０に、夫々潤滑するのに必要な一定流量Ｑ３だけがオイル溜３５、３６に形成された貫通孔３５ａ、３６ａ（絞りを持つ供給路）を通って供給される。そして、残りの流量Ｑ２は、連通路（回収路、図示せず）により直接、オイル室２７に戻るようになされている（Ｑ１＝Ｑ２＋（２×Ｑ３））。

また、図７において、オイル室２７に連通する流通路のオイル戻り吸入穴Ｚが、潤滑油流路３７の内側面に形成されている。軸受６，７，９，１０に供給されるオイル流量Ｑ３は、潤滑油流路３７内のオイル戻り吸入穴Ｚ径及び潤滑油流路３７に対するオイル戻り吸入穴Ｚの上下方向の相対位置を変えることにより、潤滑油液面高さを変化させ、調整することができる。

本発明は、半導体製造工程等の反応生成ガスを流す工程で使用するスクリューロータを備える真空ポンプに好適に用いることができる。

図１は、本発明に係る真空ポンプの実施の形態を模式的に示す断面図である。 図２は、図１の真空ポンプが有する加圧部の拡大断面図である。 図３は、本発明の真空ポンプが有する潤滑油流路の他の形態を示す図である。 図４は、本発明の真空ポンプを２段構成にした形態を示す図である。 図５は、本発明の真空ポンプにおいて、一対のロータ軸の双方に加圧部を設けた形態を示す図である。 図６は、本発明の真空ポンプにおいて、加圧部の他の形態を示す図である。 図７は、本発明の真空ポンプにおいて、オイル溜の他の形態を示す図である。 図８は、従来の真空ポンプにおいて、潤滑油を汲み上げる機能を説明するための断面図である。

符号の説明

１Ａ 真空ポンプ
１Ｂ 真空ポンプ
１Ｃ 真空ポンプ
２ スクリューロータ
３ スクリューロータ
４ ロータハウジング
５ ロータ軸
５ａ 潤滑油流路
５ｂ 流入口
５ｃ 潤滑油流路
６ 軸受
７ 軸受
８ ロータ軸
９ 軸受
１０ 軸受
１１ タイミングギア
１２ タイミングギア
１３ モータ
２３ 軸受
２４ 軸受
２６ 潤滑油
２７ オイル室
２８ シリンダ
２８ａ 貫通孔
３０ 加圧部（加圧手段）
３０ａ 螺子溝
３０ｂ スクリュー羽根
３５ オイル溜
３５ａ 貫通孔（絞りを持つ供給路）
３６ オイル溜
３６ａ 貫通孔（絞りを持つ供給路）
３８ 回収路
３９ 回収路
４０ オイル溜
４５ パイプ（潤滑油流路）

Claims (10)

1. スクリューロータがロータ軸に接続され、前記ロータ軸が軸受により回転可能に支持されると共に、前記軸受の下方に潤滑油を貯留するオイル室が設けられた真空ポンプであって、
   前記ロータ軸に設けられ、前記スクリューロータの回転により生じる回転力により、前記オイル室の潤滑油に対し下方に向けて突出圧を発生させる加圧手段と、前記オイル室の潤滑油に連通すると共に前記軸受に連通する潤滑油流路とを備え、
   前記加圧手段が発生した突出圧により前記潤滑油流路に潤滑油を供給し、潤滑油を前記軸受に供給することを特徴とする真空ポンプ。
2. 前記加圧手段は、前記ロータ軸の下端部に設けられると共にシリンダ内に収容され、
   前記シリンダと前記加圧手段との間には、前記オイル室の潤滑油が供給され、
   前記加圧手段は、前記シリンダ内で前記突出圧を発生し、前記潤滑油流路に潤滑油を供給することを特徴とする請求項１に記載された真空ポンプ。
3. 前記シリンダの周囲には、貫通孔が形成され、該シリンダ内の潤滑油は前記貫通孔を介して供給されることを特徴とする請求項２に記載された真空ポンプ。
4. 前記加圧手段は、前記ロータ軸と同軸の円柱周面に螺子溝が形成され、前記ロータ軸と共に回転することにより、下方に向かう突出圧を発生させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された真空ポンプ。
5. 前記加圧部材は、周囲にスクリュー羽根が設けられ、該加圧部材が軸周りに回転することにより、下方に向かう突出圧を発生させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された真空ポンプ。
6. 前記潤滑油流路は、前記ロータ軸内に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された真空ポンプ。
7. 前記潤滑油流路は、前記加圧手段と前記軸受とを連通するパイプにより形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された真空ポンプ。
8. 前記軸受の上方に形成されると共に、前記潤滑油流路に連通し、前記潤滑油流路から供給される潤滑油を貯留するオイル溜を備え、
   前記オイル溜に貯留された潤滑油は、該オイル溜からオーバーフローすることにより前記軸受に供給されることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載された真空ポンプ。
9. 前記潤滑油流路に供給された潤滑油を前記オイル室に回収するための回収路を有し、
   少なくとも前記軸受は、前記回収路上に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載された真空ポンプ。
10. 前記潤滑油流路から供給される潤滑油を貯留するオイル溜を備え、
    一定流量を前記軸受に供給するために、貯留された前記オイル溜から前記軸受に向かう絞りを持つ供給路と、残りの流量がオイル室に回収されるようオイル室に連通した回収路を有することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載された真空ポンプ。

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