JP2009114511A - 軟磁性金属箔の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来の軟磁性金属箔の製造方法に比べ軟磁性金属箔の生産性を向上することのできる軟磁性金属箔の製造方法を提供する。
【解決手段】第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6は、軟磁性金属箔10を700℃乃至1100℃の温度で、10秒乃至65秒間加熱するため、従来の第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6より短い加熱時間で軟磁性金属箔10の磁気特性を向上させることができるので、従来の軟磁性金属箔の製造方法に比較して軟磁性金属箔10の生産性を向上することができる。
【選択図】図1
【解決手段】第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6は、軟磁性金属箔10を700℃乃至1100℃の温度で、10秒乃至65秒間加熱するため、従来の第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6より短い加熱時間で軟磁性金属箔10の磁気特性を向上させることができるので、従来の軟磁性金属箔の製造方法に比較して軟磁性金属箔10の生産性を向上することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、高い生産性を有する軟磁性金属箔の製造方法に関するものである。
従来、軟磁性金属は、自動車用、例えばEFI(電子制御式燃料噴射装置)などの磁気回路構成部品と使用されている。かかる軟磁性金属は1mm程度の帯綱から精製され、その製造工程では磁気焼鈍と呼ばれる熱処理が行われる。この熱処理は、800℃〜1100℃で1時間〜2時間程度の焼鈍処理である。こうした熱処理によって、軟磁性金属の結晶粒を粗大化させ、直流の透磁率(μ’)を向上させている。
近年では、ノイズフィルタの磁気回路構成部品にも、軟磁性金属が使用されている。かかる用途では、数μm〜数十μmの箔状の軟磁性金属が使用され、高周波用のノイズフィルタとして、透磁率の実部(μ’)に加えて虚部(μ”)を向上することが要求されている。こうした軟磁性金属箔は、軟磁性金属を箔状に圧延する圧延工程と、圧延された箔状の軟磁性金属を熱処理する磁気焼鈍工程等とを経て製造されるものである。たとえば、特許文献1では、上記圧延工程により軟磁性金属の厚みを3乃至7μmに圧延するとともに、上記磁気焼鈍工程により700℃以上の加熱温度で2分乃至5分間程度加熱することによって磁気特性が高い軟磁性金属箔が製造されるものである。
特開平11−197708号公報
しかしながら、透磁率の実部(μ’)を向上し、虚部(μ”)を抑える用途、例えば、インダクタンスの磁気回路を構成する部品に軟磁性金属箔を使用する場合には、上記のような従来の製造方法のままでは、十分な磁気特性が得られないという問題があった。さらに、上記のような従来の製造方法では、磁気焼鈍工程の加熱時間に2分乃至5分程度時間が必要となり、軟磁性金属箔の生産性が低くなるという問題があった。
本発明者等は、以上の事情を背景として種々検討を重ねた結果、軟磁性金属箔の磁気焼鈍工程において、加熱温度を700℃乃至1100℃、且つ、加熱時間を10秒乃至65秒の範囲内に設定することによって軟磁性金属箔の磁気特性が向上することを見いだした。本発明はこのような知見に基づいて為されたものである。
すなわち、本発明の目的とするところは、従来の軟磁性金属箔の製造方法に比べ軟磁性金属箔の生産性を向上することのできる軟磁性金属箔の製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するための請求項1に係る発明の要旨とするところは、軟磁性金属を箔状に圧延する圧延工程と、圧延された箔状の軟磁性金属を熱処理する磁気焼鈍工程とを有する軟磁性金属箔の製造方法であって、前記磁気焼鈍工程は、前記軟磁性金属箔を700℃乃至1100℃の温度で、10秒乃至65秒間加熱することを特徴とする。
また、請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明において、前記圧延工程において、前記軟磁性金属の厚みは、3乃至14μmに圧延されるものである。
また、請求項3に係る発明は、請求項1または2に係る発明において、前記軟磁性金属は、PCパーマロイ、PBパーマロイ、Fe−Ni−Cr−Al−Si系合金、パーメンジュール合金(Fe−Co−2V)、電磁ステンレスから選択されたものである。
また、請求項4に係る発明は、請求項1乃至3のいずれか1に係る発明において、前記軟磁性金属箔を複数枚積み重ね合わせる積層工程を含み、前記積層工程により前記軟磁性金属箔が複数枚積み重ね合わされた軟磁性金属箔は、コイル状アンテナのコアに用いられるものである。
また、請求項5に係る発明は、請求項4に係る発明において、前記積層工程は、複数枚積み重ねられた前記軟磁性金属箔をプレスによる加熱圧着で一体化するものである。
また、請求項6に係る発明は、請求項1乃至5のいずれか1に係る発明において、前記磁気焼鈍工程において、前記軟磁性金属箔を加熱する加熱時間をX(秒)および前記軟磁性金属箔を加熱する加熱温度をY(℃)とした場合、前記加熱時間Xおよび加熱温度Yは、Y≦−20X+1300およびY≧−20X+2000および700≦Y≦1100を満足することを特徴とする。
請求項1に係る発明の軟磁性金属箔の製造方法によれば、前記磁気焼鈍工程は、前記軟磁性金属箔を700℃乃至1100℃の温度で、10秒乃至65秒間加熱するため、従来の磁気焼鈍工程より短い加熱時間で軟磁性金属箔の磁気特性を向上することができるので、従来の軟磁性金属箔の製造方法に比較して軟磁性金属箔の生産性を向上することができる。
また、請求項2に係る発明の軟磁性金属箔の製造方法によれば、前記圧延工程において、前記軟磁性金属の厚みは、3乃至14μmに圧延されるものであるため、前記磁気焼鈍工程において、前記軟磁性金属箔を好適に加熱することができる。
また、請求項3に係る発明の軟磁性金属箔の製造方法によれば、前記軟磁性金属は、PCパーマロイ、PBパーマロイ、Fe−Ni−Cr−Al−Si系合金、パーメンジュール合金(Fe−Co−2V)、電磁ステンレスから選択されたものであるため、前記軟磁性金属箔の磁気特性を好適に向上させることができる。
また、請求項4に係る発明の軟磁性金属箔の製造方法によれば、前記軟磁性金属箔を複数枚積み重ね合わせる積層工程を含み、前記積層工程により前記軟磁性金属箔が複数枚積み重ね合わされた前記軟磁性金属箔は、コイル状アンテナのコアに用いられるものであるため、そのコイル状アンテナの受信感度を好適に向上させることができる。
また、請求項5に係る発明の軟磁性金属箔の製造方法によれば、前記積層工程は、複数枚積み重ねられた前記軟磁性金属箔をプレスによる加熱圧着で一体化するものであるため、接着剤等なしで複数枚積み重ねられた前記軟磁性金属箔を一体化することができる。
また、請求項6に係る発明の軟磁性金属箔の製造方法によれば、前記磁気焼鈍工程において、前記軟磁性金属箔を加熱する加熱時間をX(秒)および前記軟磁性金属箔を加熱する加熱温度をY(℃)とした場合、前記加熱時間Xおよび加熱温度Yは、Y≦−20X+1300およびY≧−20X+2000および700≦Y≦1100を満足するため、前記磁気焼鈍工程によって、前記軟磁性金属箔の磁気特性を好適に向上させることができる。
ここで、好適には、前記積層工程は、前記軟磁性金属箔を複数枚重ねてプレスによって複数枚の軟磁性金属箔を重ね合わせるものである。このようにすれば、従来複数枚の軟磁性金属箔を重ね合わせる際、軟磁性金属箔の一枚毎に接着剤を塗布することなしで複数枚の軟磁性金属箔を重ね合わせることができるので、前記コアの生産性を向上できる。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は概念を示すために、適宜簡略化或いは変形されており、各部の寸法比および形状等は必ずしも正確に描かれていない。
図1は、たとえばパーマロイ箔から成る図2に示す軟磁性金属箔10を製造するための製造工程を説明する図である。その図1において、第1圧延工程P1では、たとえば図3に示す圧延装置12において、軟磁性金属のインゴットが溶解、鍛造、圧延、酸洗、傷取、熱処理等の初期工程を経て所定の厚みに成形され巻回されたコイル14から軟磁性金属箔10が引き出され圧延ロール16により厚さが100μm程度に圧延されてコイル18に巻回される。また、第1圧延工程P1においては、軟磁性金属箔10は、その軟磁性金属箔10が切断されず且つ垂れないようにたとえば0.5kg/cm2 程度の張力に維持され、後述する第2圧延工程P3および第3圧延工程P5においても、軟磁性金属箔10は第1圧延工程P1と同様の0.5kg/cm2程度の張力に維持される。また、圧延装置12は、軟磁性金属箔10の出入口を除いて外気と遮断し、内部に非酸化性ガスたとえばアンモニアガス17が流通するようなチャンバー20を備えおり、軟磁性金属箔10の酸化による変質が抑制されるようになっている。
続く第1焼鈍工程P2では、たとえば図4に示す加熱装置22において、加熱器24の温度を調整することやコイル巻き取り速度を調節することにより、コイル18から取り出された厚さ100μm程度の軟磁性金属箔10は、600℃乃至900℃(本実施例では、800℃)の温度で、20秒乃至60秒(本実施例では、30秒)間加熱されるとともに前記第1圧延工程P1による軟磁性金属箔10の加工歪みが取り除かれてコイル26に巻かれる。また、第1焼鈍工程P2においては、軟磁性金属箔10は、その軟磁性金属箔10が切断されず且つ垂れないようにたとえば0.5kg/cm2 程度の張力に維持され、後述する第2焼鈍工程P4、および第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6においても、軟磁性金属箔10は第1焼鈍工程P2と同様の0.5kg/cm2程度の張力に維持される。また、加熱装置22は、軟磁性金属箔10の出入口を除いて外気と遮断し、内部に非酸化性ガスたとえばアンモニアガス25が流通するようなチャンバー28を備えており、非磁性金属箔10の酸化による変質が抑制されるようになっている。
また、続く第2圧延工程P3では、圧延装置12と略同様の圧延装置において、コイル26から厚さ100μm程度の軟磁性金属箔10が引き出され上記圧延装置の圧延ロールにより厚さが20μm程度に圧延されコイルに巻回される。
また、続く第2焼鈍工程P4は、加熱装置22と略同様の加熱装置において、加熱器の温度を調整することやコイル巻き取り速度を調節することにより、コイルから引き出された厚さ20μmの軟磁性金属箔10は、600℃乃至900℃(本実施例では、800℃)の温度で、20秒乃至60秒(本実施例では、30秒)間加熱されるとともに前記第2圧延工程P3による軟磁性金属箔10の加工歪みが取り除かれてコイルに巻回される。
また、続く第3圧延工程P5において、圧延装置12と略同様の圧延装置によって、コイルから厚さ20μm程度の軟磁性金属箔10が引き出され上記圧延装置の圧延ロールにより厚さが3μm乃至14μm程度(本実施例では、5μm)に圧延されコイルに巻回される。
また、続く第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6において、加熱装置22と略同様の加熱装置によって、加熱器の温度を調整することやコイル巻き取り速度を調節することにより、コイルから引き出された厚さ5μm程度の軟磁性金属箔10は、700℃乃至1100℃(本実施例では、800℃)の温度で、10秒乃至65秒(本実施例では、30秒)間加熱されて軟磁性金属箔10内の結晶粒の大きさを適度に大きくすることにより軟磁性金属箔10の磁気特性が高められてコイルに巻かれる。これによって、厚さ5μm程度の磁気特性の高い軟磁性金属箔10が得られる。ここで、適度な大きさの結晶粒径とする(整粒化)のは、アンテナとして使用する場合の受信感度Qを大きくするため(つまり、透磁率の虚部(μ”)を小さくするため)である。整粒化された結晶粒径をこえる粗大な結晶粒を生成してしまうと、透磁率の虚部(μ”)が増大し、結果的に受信感度Qが小さくなるからである。また、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6において、上記加熱装置には、加熱された軟磁性金属箔10を冷却するために低い温度に保たれた冷却ロールが備えられており、冷却ロールに加熱された軟磁性金属箔10が接触させられることにより、軟磁性金属箔10内の結晶粒の粗大化が防止されて組織が固定されるようになっている。
図5、6は、上記コア30およびコイル状アンテナ32の製造工程をそれぞれ説明する図であり、本実験例のコア30およびコイル状アンテナ32は2通りの方法で製造される。以下にその2通りの製造方法を示す。
図5において、切断工程P7では、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6を経た軟磁性金属箔10が長方形状たとえば縦80mm、横160mmの大きさに図示されてない切断機によって切断される。続いて積層工程P8では、上記縦80mm、横160mmの大きさに切断された軟磁性金属箔10が複数枚(本実験例では80枚)積み重ね図示されていないプレス機によって一体的に加熱圧着される。続いて打抜き工程P9では、重ね合わされた軟磁性金属箔10がプレス機によって縦22mm、横1mmに打ち抜かれることにより図2に示す80層のコア30が製造される。また、仕上げ工程P10においては、ナイロン樹脂が射出成形されることにより図7のように成形されたボビン34内に、上記コア30が挿入されるとともに図示されていない巻線機によりそのボビン34の外周にコイル36がたとえば1600ターン巻かれて図8のようなコイル状アンテナ32が製造される。
図6において、エッチング工程P11では、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6を経た軟磁性金属箔10を長方形状たとえば縦22mm、横1mmの大きさにエッチングする。続いて積層工程P12では、上記縦22mm、横1mmの大きさにエッチングされた軟磁性金属箔10を複数枚(本実験例では、80枚)積み重ねてプレス機により加熱圧着することにより軟磁性金属箔10を一体的に重ね合わせた図2に示す80層のコア30が製造される。また、仕上げ工程P10と同様の仕上げ工程P13によって、コイル状アンテナ32が製造される。
また、図5、6の積層工程P8,P12では、軟磁性金属箔10を複数枚(本実施例では、80枚)重ねてプレス機によって200℃程度の温度で加熱圧着してその複数枚の軟磁性金属箔10を重ね合わせた状態で一挙に一体化するものである。このとき軟磁性金属箔10は、その表面に酸化膜が形成されることにより電気的絶縁が保たれる。そのため、従来複数枚の軟磁性金属箔10を重ね合わせる際、軟磁性金属箔10の一枚毎に接着剤たとえばエポキシ系接着剤を塗布していたがその接着剤を用いないで複数枚の軟磁性金属箔10を相互の電気的な絶縁を保持しつつ重ね合わせた状態で一挙に一体化することができるのでコア30の生産性を好適に向上させることができる。また、積層工程P8,P12では、上記接着剤を使用しないため、コア30内の軟磁性金属箔10との間に接着層ができないので、好適にコア30を小型化することができる。
軟磁性金属箔10の磁気特性は、第1圧延工程P1、第1焼鈍工程P2、第2圧延工程P3、第2焼鈍工程P4、第3圧延工程P5の影響は殆どなく、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の条件による影響を大きく受ける。以下、上記軟磁性金属箔10を製造する際に行われた第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱温度および加熱時間を変化させることによって軟磁性金属箔10の磁気特性の変化を検証する為に、その軟磁性金属箔10を複数枚重ね合わせ一体化させた軟磁性金属箔10の積層体すなわちコア30およびそのコア30を備えたコイル状アンテナ32を用いて本発明者が行った実験例を説明する。
〈実験例〉
本実験例では、図9に示すように先ず、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱温度を500℃乃至1200℃且つ加熱時間を1秒乃至10000秒に変化させるとともに、第3圧延工程P5により軟磁性金属膜10の厚みを3乃至14μm、第1焼鈍工程P2の加熱温度を600℃乃至900℃且つ加熱時間を20秒乃至60秒、第2焼鈍工程P4の加熱温度を600℃乃至900℃且つ加熱時間を20秒乃至60秒に変化させてそれぞれ製造した軟磁性金属箔10の試料として発明例1乃至28および比較例1乃至11を作成した。軟磁性金属箔10としては、PCパーマロイを使用した。
本実験例では、図9に示すように先ず、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱温度を500℃乃至1200℃且つ加熱時間を1秒乃至10000秒に変化させるとともに、第3圧延工程P5により軟磁性金属膜10の厚みを3乃至14μm、第1焼鈍工程P2の加熱温度を600℃乃至900℃且つ加熱時間を20秒乃至60秒、第2焼鈍工程P4の加熱温度を600℃乃至900℃且つ加熱時間を20秒乃至60秒に変化させてそれぞれ製造した軟磁性金属箔10の試料として発明例1乃至28および比較例1乃至11を作成した。軟磁性金属箔10としては、PCパーマロイを使用した。
次に、軟磁性金属箔10の試料である発明例1乃至28および比較例1乃至11を用いて、図5、6に示す製造工程によりコア30およびコイル状アンテナ32をそれぞれ作成し、磁気特性測定および受信感度測定を行った。図9には、その測定結果である100kHzにおける磁気特性(透磁率μ’(実部)、透磁率μ”(虚部)、損失係数tanδ)および受信感度(Q値)が試料毎に表されている。
上記磁気特性測定は、良く知られたLCRメータを用いて行われた。上記受信感度測定は、測定されたtanδの逆数を算出することにより行われた。
図9によれば、発明例1乃至28は、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間が比較的短い比較例3、4よりも透磁率μ’の値が3000以上と高く加熱時間が比較的長い比較例1、5乃至8と略同等の透磁率μ’を有している。すなわち、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6において、軟磁性金属箔10を700℃乃至1100℃の温度で、10秒乃至65秒間加熱することで、従来の磁気焼鈍工程より短い加熱時間で磁気特性を向上させることができ、従来の軟磁性金属箔の製造方法に比較して軟磁性金属箔10の生産性を向上することができる。
第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱温度において、700℃を下回ると比較例9に示すように透磁率μ’の値が3000より低くなるため十分な磁気特性(μ’)が得られず、1100℃を上回ると比較例10に示すように第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6において軟磁性金属箔10が切断され測定値が得られない。また、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間において、10秒を下回ると比較例11に示すように透磁率μ’の値が3000より低くなるため十分な磁気特性(μ’)が得られず、65秒を上回る比較例5に示すように受信感度(Q値)が13より低くなるため十分な受信感度が得られない。すなわち、比較例5の損失係数tanδは、0.1以上であり高い。
また、図9において、第1焼鈍工程P2の加熱温度を600℃乃至900℃、加熱時間を20秒乃至60秒に変化させた発明例16乃至21の透磁率μ’および損失係数tanδは、透磁率μ’が3000以上且つ損失係数tanδが0.1以下であり、その他の発明例1乃至15、22乃至28の測定値と略同様である。また、図9において、第2焼鈍工程P4の加熱温度を600℃乃至900℃、加熱時間を20秒乃至60秒に変化させた発明例22乃至28の透磁率μ’および損失係数tanδは、透磁率μ’が3000以上且つ損失係数tanδが0.1以下であり、その他の発明例1乃至21の測定値と略同様である。また、第3圧延工程P5によって、軟磁性金属箔10の厚みを3μm乃至14μmに変化させた発明例13乃至15の透磁率μ’および損失係数tanδは、透磁率μ’が3000以上且つ損失係数tanδが0.1以下であり、その他の発明例1乃至12、16乃至28と略同等の測定値である。
また、図9に記載されているプレス、エッチングとは、軟磁性金属箔10を製造した後、コア30およびコイル状アンテナ32を製造する際に用いられた図5または図6の製造方法である。図5に記載された製造方法が上記プレスであり、図6に記載された製造方法が上記エッチングである。また、上記エッチングで製造された発明例18の透磁率μ’および損失係数tanδは、透磁率μ’が3000以上且つ損失係数tanδが0.1以下であり、上記プレスで製造された発明例1乃至17、19乃至28と略同等の測定値である。このため、プレス方法により得られたコイル状アンテナ32とエッチング方法によって得られたコイル状アンテナ32とは、同等の性能が得られる。
また、図9の比較例2は、軟磁性金属膜10を製造する際に、その軟磁性金属膜10を1kg/cm2で張られた状態で製造されたものであり、製造途中で切断されたものである。また、図9に記載されている微細または粗大とは軟磁性金属箔10内の結晶粒の大きさを表すものであり、結晶粒の粒径が10μmより大きく1mm未満のものは微細であり、結晶粒の粒径が1mm以上のものは粗大である。図9によれば、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間を長くすればするほど結晶粒の粒径が大きくなる傾向が示されている。
また、図9によれば、比較例1、5乃至8の透磁率μ’は、3000以上であり第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間を長くすれば磁気特性を向上させることができるが、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間が65秒より長いと透磁率μ”が400以上と高く損失係数tanδも0.1以上と高いため第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間が65秒より長いとコイル状アンテナ32の受信感度が悪くなる傾向が示されている。
図10は、第1焼鈍工程P2、第2焼鈍工程P4の加熱温度が800℃且つ加熱時間が30秒、第3圧延工程P5による軟磁性金属箔10の厚みが5μm、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱温度が800℃である図9の発明例8乃至11および比較例1、3乃至8の測定値を、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間すなわち磁気焼鈍時間(秒)を横軸、受信感度(Q値)を縦軸として示した軟磁性金属箔10の磁気焼鈍時間(秒)とコイル状アンテナ32の受信感度(Q値)との関係を表す図である。
図10によれば、横軸に示す軟磁性金属箔10の磁気焼鈍時間が長くなることによって、磁気焼鈍時間が15秒までは徐々にコイル状アンテナ32の受信感度の値が高くなるが磁気焼鈍時間が25秒になるとコイル状アンテナ32の受信感度の値が急に高くなる。そして、磁気焼鈍時間が60秒まではコイル状アンテナ32の受信感度の値は高いままであるが磁気焼鈍時間が100秒になると受信感度が急激に低下しその後は、磁気焼鈍時間が長くなるにつれて徐々に受信感度が低下する傾向にあった。すなわち、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6において、加熱温度を800℃にして加熱時間つまり磁気焼鈍時間を25秒乃至60秒にすることによって磁気特性および受信感度(Q値)を好適に向上させることができる。
また、図11は、磁気特性および受信感度を好適に向上させる最適条件を求めるために、透磁率μ’が3000以上且つ受信感度13以上の測定値である図9の発明例2乃至5および8乃至11の測定値を、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間すなわち磁気焼鈍時間(秒)を横軸、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の加熱時間すなわち磁気焼鈍温度(℃)を縦軸として示した軟磁性金属箔の磁気焼鈍時間(秒)と磁気焼鈍温度(℃)との関係を表す図である。
図11によれば、磁気焼鈍温度が1100℃である場合には、磁気焼鈍時間が10秒〜45秒の間で磁気特性および受信感度が好適に向上する。また、磁気焼鈍温度が700℃である場合には、30秒〜65秒の間で磁気特性および受信感度が好適に向上する。つまり、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6の磁気焼鈍時間および磁気焼鈍温度が図11で示す一点鎖線内すなわち磁気焼鈍温度をY(℃)、磁気焼鈍時間をX(秒)とした場合、次式(1)、(2)、(3)を満たす磁気焼鈍時間X、磁気焼鈍温度Y内であれば好適に磁気特性および受信感度を向上させることができる。
Y≦−20X+1300 ・・・(1)
Y≧−20X+2000 ・・・(2)
700≦Y≦1100 ・・・(3)
Y≧−20X+2000 ・・・(2)
700≦Y≦1100 ・・・(3)
上述のように、本実施例の軟磁性金属箔10の製造方法によれば、(a) 第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6は、軟磁性金属箔10を700℃乃至1100℃の温度で、10秒乃至65秒間加熱するため、従来の磁気焼鈍工程P6より短い加熱時間で軟磁性金属箔10の透磁率μ’を3000以上に向上させることができるので、従来の軟磁性金属箔の製造方法に比較して軟磁性金属箔10の生産性を向上することができる。
また、本実施例の軟磁性金属箔10の製造方法によれば、第3圧延工程P5において、軟磁性金属箔10の厚みは、3乃至14μmに圧延されるものであるため、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6において、軟磁性金属箔10を好適に加熱することができる。
また、本実施例の軟磁性金属箔10の製造方法によれば、軟磁性金属箔10を複数枚積み重ね合わせる積層工程P8,12を含み、(a) 積層工程P8,12により軟磁性金属箔10が複数枚積み重ね合わされた軟磁性金属箔10は、コイル状アンテナ32のコア30に用いられるものであるため、そのコイル状アンテナ32の受信感度(Q値)を13以上に向上させることができる。
また、本実施例の軟磁性金属箔10の製造方法によれば、積層工程P8,P12は、複数枚積み重ねられた軟磁性金属箔10をプレスによる加熱圧着で一体化するものであるため、接着剤等なしで複数枚積み重ねられた軟磁性金属箔10を一体化することができる。さらに、一体化された軟磁性金属箔10同士は、その表面に酸化膜が形成されることにより軟磁性金属箔10同士の電気的絶縁が保たれる。
また、本実施例の軟磁性金属箔10の製造方法によれば、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6において、軟磁性金属箔10を加熱する加熱時間をX(秒)および軟磁性金属箔10を加熱する加熱温度をY(℃)とした場合、(a) 前記加熱時間Xおよび加熱温度Yは、Y≦−20X+1300およびY≧−20X+2000および700≦Y≦1100を満足するため、第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6によって、軟磁性金属箔10の透磁率μ’を3000以上且つ受信感度を13以上に向上させることができる。
以上、本発明の実施例を図面に基づいて説明したが、本発明はその他の態様においても適応される。
たとえば、本発明の実施例において、軟磁性金属箔10にPCパーマロイが使用されたが軟磁性金属箔10は、PCパーマロイに限定されるものではない。たとえば、PCパーマロイ換えてPBパーマロイやFe−Ni−Cr−Al−Si系合金やパーメンジュール合金(Fe−Co−2V)や電磁ステンレス(Fe−Cr−Al合金、Fe−Cr−Si合金等)が使用されてもよい。
また、本発明の実施例において、軟磁性金属箔10は、第1圧延工程P1、第1焼鈍工程P2、第2圧延工程P3、第2焼鈍工程P4を経て最後に第3圧延工程P5および第3焼鈍工程(磁気焼鈍工程)P6によって製造されたが、本発明の軟磁性金属箔10の製造方法は、必ずしも上記第1圧延工程P1、第1焼鈍工程P2、第2圧延工程P3、第2焼鈍工程P4を経る必要はなくそれらの工程のいずれかが省略されても良く、他の工程が追加されても良い。
また、本発明では、アンテナ用コア材を例に説明したが、無接点充電の磁気回路を構成する軟磁性金属箔としても使用できる。
以上、本発明を図面に基づいて詳細に説明したが、それはあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実施することができる。
10:軟磁性金属箔
30:コア
32:コイル状アンテナ
P5:圧延工程(第3圧延工程)
P6:磁気焼鈍工程(第3焼鈍工程)
P8,P12:積層工程
30:コア
32:コイル状アンテナ
P5:圧延工程(第3圧延工程)
P6:磁気焼鈍工程(第3焼鈍工程)
P8,P12:積層工程
Claims (6)
- 軟磁性金属を箔状に圧延する圧延工程と、圧延された箔状の軟磁性金属を熱処理する磁気焼鈍工程とを有する軟磁性金属箔の製造方法であって、
前記磁気焼鈍工程は、前記軟磁性金属箔を700℃乃至1100℃の温度で、10秒乃至65秒間加熱することを特徴とする軟磁性金属箔の製造方法。 - 前記圧延工程において、前記軟磁性金属の厚みは、3乃至14μmに圧延されるものであることを特徴とする請求項1の軟磁性金属箔の製造方法。
- 前記軟磁性金属は、PCパーマロイ、PBパーマロイ、Fe−Ni−Cr−Al−Si系合金、パーメンジュール合金(Fe−Co−2V)、電磁ステンレスから選択されたものである請求項1または2の軟磁性金属箔の製造方法。
- 前記軟磁性金属箔を複数枚積み重ね合わせる積層工程を含み、
前記積層工程により前記軟磁性金属箔が複数枚積み重ね合わされた軟磁性金属箔は、コイル状アンテナのコアに用いられるものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1の軟磁性金属箔の製造方法。 - 前記積層工程は、複数枚積み重ねられた前記軟磁性金属箔をプレスによる加熱圧着で一体化するものである請求項4の軟磁性金属箔の製造方法。
- 前記磁気焼鈍工程において、前記軟磁性金属箔を加熱する加熱時間をX(秒)および前記軟磁性金属箔を加熱する加熱温度をY(℃)とした場合、
前記加熱時間Xおよび加熱温度Yは、Y≦−20X+1300およびY≧−20X+2000および700≦Y≦1100を満足することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1の軟磁性金属箔の製造方法。
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2007
- 2007-11-07 JP JP2007290173A patent/JP2009114511A/ja active Pending
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