JP2009094187A - 電子部品移載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】エジェクタのノズルとディフューザとを容易に清掃することができる電子部品移載装置を提供する。
【解決手段】ノズル７１とディフューザ７３とを一体に形成してなる負圧発生部材６４と、この負圧発生部材６４を挿入する挿入孔６５が形成された負圧発生ユニット４３と、挿入孔６５を閉塞する蓋体７８と、空気通路を切り換える電磁弁４４，４５とからなるエジェクタ１１を備える。挿入口６５ａを吸着ヘッドの前方と後方とのうちいずれか一方、あるいは左方と右方とのいずれか一方を指向するように形成する。前記蓋体７８を吸着ヘッドの外に露出させた。
【選択図】 図６

Description

本発明は、吸着ノズルの負圧源としてエジェクタを備えた電子部品移載装置に関するものである。

従来、電子部品移載装置としては、表面実装機やＩＣハンドラーなどがある。これらの装置は、電子部品を電子部品供給部で吸着ノズルに吸着させ、被載置部（プリント配線板や電子部品検査装置等）に移載する構成が採られている。

従来のＩＣハンドラーとしては、例えば特許文献１に記載されているものがある。この特許文献１に示されたＩＣハンドラーは、電子部品が吸着される吸着ノズルと、この吸着ノズルに電子部品を吸着させる際の負圧源になるエジェクタと、これらの部材を支持する移載ヘッドと、複数の前記移載ヘッドからなるヘッドユニットを電子部品供給部と検査ボードとの間で移動させる移動装置と、操作者が操作する操作装置（コントローラ）とを備えている。前記複数の移載ヘッドは、前記操作装置が対向する方向を前方とした場合に前後方向（Ｙ方向）に並んでいる。

前記エジェクタは、空気を噴射するノズルと、このノズルの下流側に位置するディフューザと、空気通路を切り換えるための二つの電磁弁などによって構成されている。また、このエジェクタは、前記ノズルの上方にディフューザが位置し、かつ前記ノズルの下方に一方の電磁弁が位置するとともに前記ディフューザの上方に他方の電磁弁が位置する状態、すなわち前記各部材が上下方向に並ぶように組立てられた状態で前記移載ヘッドの側部に取付けられている。

前記移載ヘッドは、吸着ノズルが下端部に設けられた空気圧シリンダと、このシリンダの上に設けられた昇降切換用電磁弁などを備えており、上下方向に長くなるように形成されている。前記エジェクタは、前記シリンダの側部であって、前記前後方向とは直交する横方向（Ｘ方向）の一側部に取付けられている。
特開平１１−２１４８９３号公報

特許文献１に示されているＩＣハンドラーや表面実装機等を含めてエジェクタを備えた電子部品移載装置は、長期間使用することによりエジェクタの能力が低下し、電子部品を吸着ノズルに吸着させることができなくなる。これは、吸着ノズルから吸引する空気に含まれている異物がエジェクタ内のノズルやディフューザに付着し、空気通路が狭くなったり詰まったりするからである。このように性能が低下したエジェクタは、分解してノズルやディフューザを清掃し、これらの部材に付着している異物を取り除くことによって、初期の状態に戻すことができる。

特許文献１に記載されているＩＣハンドラーにおいて、ノズルやディフューザを清掃するためには、以下のような二つの方法が考えられる。第１の方法としては、エジェクタを移載ヘッドから取外して分解し、ノズルとディフューザとをそれぞれエジェクタ内から取り出して清掃する。
第２の方法としては、エジェクタが移載ヘッドに取付けられている状態でエジェクタの上下両側の電磁弁を取外し、ノズルを下方から清掃するとともに、ディフューザを上方から清掃する。

これら第１、第２の方法のいずれにおいても、エジェクタの一部または全部を分解しなければノズルとディフューザとを清掃することができない。このため、特許文献１に示すＩＣハンドラーでは、ノズルとディフューザとの清掃に要する時間が長くなるという問題があった。

本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、エジェクタのノズルとディフューザとを容易に清掃することができる電子部品移載装置を提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明に係る電子部品移載装置は、電子部品が吸着される吸着ノズルと、この吸着ノズルから空気を吸引するエジェクタと、これらの部材を有する移載ヘッドと、この移載ヘッドを電子部品供給部と電子部品載置部との間で移動させる移動装置と、操作者が操作する操作装置とを備えた電子部品移載装置において、前記エジェクタを、空気を噴射する空気噴射用ノズルの下流側端部にディフューザを一体形成してなる負圧発生部材と、この負圧発生部材を挿入するための挿入孔と、前記空気噴射ノズルの上流側端部に加圧空気を供給する加圧空気供給用通路と、一端が吸着ノズルに連通し、他端が前記空気噴射ノズルの上流側端部から前記ディフューザの下流側端部までの空気流路の途中部に連通する作業用空気通路とが形成されかつ前記負圧発生部材を着脱可能に支持するハウジングと、このハウジングに着脱可能に取付けられて前記挿入孔の挿入口を閉塞する蓋体と、前記ハウジングに取付けられて前記加圧空気供給用通路の開閉を切換える電磁弁とによって構成し、前記挿入口を、前記エジェクタを前記移載ヘッドあるいはその近傍に取付けた状態において水平方向であって、前記操作装置が対向する前方と後方とのうちいずれか一方、あるいは左方と右方とのいずれか一方を指向するように形成し、前記蓋体を移載ヘッドの外に露出させたものである。

本発明は、前記発明において、電子部品が吸着される吸着ノズルと、この吸着ノズルから空気を吸引するエジェクタと、これらの部材を有する移載ヘッドと、この移載ヘッドを電子部品供給部と電子部品載置部との間で移動させる移動装置とを備えた電子部品移載装置において、前記エジェクタを、空気を噴射する空気噴射用ノズルの下流側端部にディフューザを一体形成してなる負圧発生部材と、この負圧発生部材を挿入するための挿入孔と、前記空気噴射ノズルの上流側端部に加圧空気を供給する加圧空気供給用通路と、一端が吸着ノズルに連通し、他端が前記空気噴射ノズルの上流側端部から前記ディフューザの下流側端部までの空気流路の途中部に連通する作業用空気通路とが形成されかつ前記負圧発生部材を着脱可能に支持するハウジングと、このハウジングに着脱可能に取付けられて前記挿入孔の挿入口を閉塞する蓋体と、前記ハウジングに取付けられて前記加圧空気供給用通路の開閉を切換える電磁弁とによって構成し、前記挿入口を、前記エジェクタを前記移載ヘッドに取付けた状態において上方を指向するように形成し、前記蓋体を移載ヘッドの外に露出させたものである。

本発明は、前記発明において、前記複数の移載ヘッドにそれぞれ前記吸着ノズルを上下方向に移動させる昇降装置を備えさせるとともに、前記移動装置を、前記電子部品供給部上方と前記電子部品載置部上方との間で移動可能とし、複数の前記移載ヘッドを前記前後方向とは直交する横方向に支持するヘッドユニットを備え、前記蓋体を、前方と後方とのいずれか一方を指向するとともに、ヘッドユニットの外に露出させたものである。

本発明は、前記発明において、前記移動装置に、基台に前記前後方向へ移動自在に支持された支持部材を備えさせ、前記ヘッドユニットを前記支持部材に前記横方向へ移動自在に支持させ、前記挿入口を前記支持部材の上端より上方に位置付けたものである。

本発明は、前記発明において、前記複数の移載ヘッドにそれぞれ前記吸着ノズルを上下方向に移動させる昇降装置を備えさせるとともに、前記移動装置を、前記電子部品供給部上方と前記電子部品載置部上方との間で移動可能とし、複数の前記移載ヘッドを前記前後方向に支持するヘッドユニットを備え、前記蓋体を、右方と左方とのいずれか一方を指向するとともに、ヘッドユニットの外に露出させたものである。

本発明は、前記発明において、前記移動装置に、基台に前記前後方向とは直交する横方向へ移動自在に支持された支持部材を備えさせ、前記ヘッドユニットを、前記支持部材に前後方向へ移動自在に支持させ、前記挿入口を前記支持部材の上端より上方に位置付けたものである。

本発明は、前記発明において、前記移動装置に、基台に前記前後方向へ移動自在に支持されて前記前後方向に並ぶ第１の支持部材と第２の支持部材とを備えさせ、前記ヘッドユニットを、前記第１の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第１のヘッドユニットと、前記第２の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第２のヘッドユニットとによって構成し、前記第１のヘッドユニットを前記第１の支持部材における前記第２の支持部材とは反対側に配設し、前記第２のヘッドユニットを第２の支持部材における前記第１の支持部材とは反対側に配設したものである。

本発明は、前記発明において、前記移動装置に、基台に前記前後方向へ移動自在に支持されて前記前後方向に並ぶ第１の支持部材と第２の支持部材とを備えさせ、前記ヘッドユニットを、前記第１の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第１のヘッドユニットと、前記第２の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第２のヘッドユニットとによって構成し、前記第１のヘッドユニットを前記第１の支持部材における前記第２の支持部材と対向する側部に配設し、前記第２のヘッドユニットを第２の支持部材における前記第１の支持部材と対向する側部に配設したものである。

本発明によれば、電子部品移載装置の前方または後方に設けられている通路に前記移動装置を使用して移載ヘッドを接近させることによって、通路に立つ作業者が前記蓋体を前記ハウジングに対して着脱することができる。
この蓋体をハウジングから取外すことによって、挿入孔内から負圧発生部材を容易に引き抜くことができる。ノズルとディフューザの清掃は、上述したように負圧発生部材をハウジングから取出した状態で行う。

このため、本発明に係る電子部品移載装置においては、エジェクタのノズルとディフューザとを清掃するために電磁弁やその他のエジェクタ構成部品などを取外す必要はなく、ノズルとディフューザとを取外すための前作業としては前記蓋体を取外す簡単な作業のみになる。
したがって、本発明によれば、負圧発生部材の清掃を容易に行うことが可能な電子部品移載装置を提供することができる。

挿入口が上方を指向するように形成された他の発明によれば、前記蓋体をハウジングから上方に取外すことによって挿入孔が上方に向けて開口するから、負圧発生部材をハウジングから上方へ容易に引き抜くことができる。
ノズルとディフューザの清掃は、上述したように負圧発生部材をハウジングから取出した状態で行う。

このため、この発明に係る電子部品移載装置においては、エジェクタのノズルとディフューザとを清掃するために電磁弁やその他のエジェクタ構成部品などを取外す必要はなく、ノズルとディフューザとを取外すための前作業としては前記蓋体を取外す簡単な作業のみになる。
したがって、この発明によれば、負圧発生部材の清掃を容易に行うことが可能な電子部品移載装置を提供することができる。

複数の移載ヘッドが横方向に並べられたヘッドユニットを備えた発明によれば、複数の移載ヘッドが前後方向に並ぶ特許文献１に示されるＩＣハンドラーと違い、各移載ヘッドが他の移載ヘッドの陰になることがなく、かつ蓋体は通路側に露出するので、前記蓋体を着脱するに当たって、隣接する他の移載ヘッドの蓋体に干渉されることがない。このため、複数の移載ヘッドを備えているにもかかわらず、全ての移載ヘッドにおいて、エジェクタのノズルおよびディフューザを容易に清掃することができる。

負圧発生部材を挿入する挿入口を支持部材の上端より上方に位置付けた他の発明によれば、前記蓋体の着脱と前記負圧発生部材の着脱とを支持部材に遮られることなく行うことができる。
このため、この発明によれば、エジェクタのノズルとディフューザとの清掃をより一層簡単に行うことができる。

複数の移載ヘッドが前後方向に並べられたヘッドユニットを備えた発明によれば、通路側にヘッドユニットを接近させることによって、左右方向からエジェクタのノズルおよびディフューザを容易に清掃することができる。

横方向に移動する支持部材と前後方向に移動するヘッドユニットを備え、負圧発生部材を挿入する挿入口を支持部材の上端より上方に位置付けた他の発明によれば、前記蓋体の着脱と前記負圧発生部材の着脱とを支持部材に遮られることなく行うことができる。
このため、この発明によれば、エジェクタのノズルとディフューザとの清掃をより一層簡単に行うことができる。

第１、第２の支持部材における他方の支持部材とは反対側にヘッドユニットをそれぞれ配設した他の発明によれば、第１の支持部材と第２の支持部材とを互いに離間するように前後方向の一方と他方とに移動させることによって、ヘッドユニットが装置前側または装置後側に位置付けられる。これらのヘッドユニットのうち、電子部品移載装置の前側に位置するヘッドユニットの前記蓋体は、装置前側から着脱することができる。電子部品移載装置の後側に位置するヘッドユニットの前記蓋体は、装置後側から着脱することができる。このため、複数のヘッドユニットを備えているにもかかわらず、負圧発生部材の着脱およびノズルとディフューザの清掃を容易に行うことができる。

第１、第２の支持部材における他方の支持部材と対向する側部にヘッドユニットをそれぞれ配設した他の発明によれば、第１の支持部材と第２の支持部材とを互いに離間するように前後方向の一方と他方とに移動させることによって、ヘッドユニットが装置前側または装置後側に位置付けられる。これらのヘッドユニットのうち、電子部品移載装置の前側に位置するヘッドユニットの前記蓋体は、支持部材の上方に作業者の腕を通すようにして装置前側から着脱することができる。電子部品移載装置の後側に位置するヘッドユニットの前記蓋体は、支持部材の上方に作業者の腕を通すようにして装置後側から着脱することができる。このため、ヘッドユニットが二つの支持部材の間に設けられているにもかかわらず、負圧発生部材の着脱およびノズルとディフューザの清掃を容易に行うことができる。

（第１の実施例）
以下、本発明に係る電子部品移載装置の一実施例を図１〜図１０によって詳細に説明する。この実施例では、電子部品移載装置の一つである表面実装機に本発明を適用した場合について説明する。

図１は本発明に係る表面実装機の構成を示す平面図、図２は移動装置とヘッドユニットとを装置前側から見た状態を示す正面図、図３は本発明に係る表面実装機の構成を示す断面図、図４はヘッドユニットの側面図で、同図は移動装置の一部を破断して描いてある。
図５はエジェクタの底面図、図６は図５におけるVI−VI線断面図、図７は蓋体が取付けられた負圧発生部材の側面図、図８は図７におけるVIII−VIII線断面図である。図９は負圧発生部材を取外す手順を説明するための斜視図で、同図（Ａ）は取外す前の状態を示し、同図（Ｂ）は蓋体とともに負圧発生部材を取外した状態を示し、同図（Ｃ）は負圧発生部材を蓋体から取外した状態を示す。図１０はエジェクタの空気通路の構成を示す空気回路図である。

これらの図において、符号１で示すものは、この実施例による表面実装機である。この表面実装機１は、図１〜図３に示すように、基台２と、この基台２の上部に基台２の一端部から他端部に延びるように設けられたコンベア３と、このコンベア３の幅を変更する幅変更装置４と、コンベア３の両側方に設けられた多数のテープフィーダー５，５…と、これらのテープフィーダー５から前記コンベア３上のプリント配線板６に電子部品（図示せず）を移載する（実装する）ための移動装置７と、電子部品の実装時にプリント配線板６を下方から支承するためのバックアップ装置８（図３参照）と、基台２の側部（図１においては下側の端部）に配設された操作装置９と、表面実装機１の全体を上方から覆うカバー１０（図３参照）などを備えている。

前記カバー１０は、開閉可能に形成されており、電子部品の実装時は図３中に破線で示すように閉じられて表面実装機１の全体を上方から覆う。また、このカバー１０は、後述するエジェクタ１１の清掃などのメンテナンス時には、図３中に実線で示すように上方に開く。この明細書においては、前記コンベア３の延びる方向（図１および図２においては、符号を正しく読める状態として左右方向）をＸ方向といい、このＸ方向とは直交する方向（図１および図２においては上下方向）をＹ方向という。この実施例においては、前記操作装置９が位置する一側部（図１において下側）を装置前側といい、操作装置９が対向する方向を前方という。このため、この実施例においては、前記Ｙ方向が表面実装機１の前後方向になり、前記Ｘ方向が本発明でいう「前後方向とは直交する横方向」になっている。
この表面実装機１の前方と後方とには、図示してはいないが、例えば交換用テープフィーダー５を運搬することができるように、通路が形成されている。

前記コンベア３は、上端部に無端ベルトが配置されて前記プリント配線板６の両端部を支え、このプリント配線板６を図１および図２において左方へ搬送する図３において右側（装置前側）に位置する第１のコンベア本体１２と、他方に位置する第２のコンベア本体１３とを備えている。この第２のコンベア本体１３は、幅変更装置４（図１参照）を介して基台２に支持されており、幅変更装置４によってＹ方向に移動させられる。

前記幅変更装置４は、Ｙ方向に延びる複数の支柱に沿って第２のコンベア本体１３を平行移動させる構成が採られている。
前記多数のテープフィーダー５は、図１および図３に示すように、前記第１のコンベア本体１２と第２のコンベア本体１３とに沿うようにコンベア３の両側方でＸ方向に並べられており、基台２に着脱可能に取付けられている。この実施例においては、これらのテープフィーダー５によって本発明でいう電子部品供給部が構成されている。
この実施例においては、前記テープフィーダー５とコンベア３との間に撮像装置１４が設けられている。この撮像装置１４は、後述する吸着ノズル１５（図２参照）に吸着された電子部品などを下方から撮像するためのものである。

前記移動装置７は、図１〜図３に示すように、前記コンベア３の上方を通してＹ方向に延びる２本の固定レール２１，２１と、これらの固定レール２１，２１どうしの間に架け渡された支持部材２２と、この支持部材２２における装置前側に位置する一側部においてＸ方向に移動自在に支持される、後述するヘッドユニット２３とを備えている。

前記二つの固定レール２１，２１のうち、プリント配線板６の搬送方向の上流側（図１においては右側）に位置する固定レール２１には、この固定レール２１に沿って延びるボールねじ軸２４が回転自在に支持されるとともに、このボールねじ軸２４を回転させるためのＹ軸サーボモータ２５が設けられている。前記ボールねじ軸２４には、前記支持部材２２に設けられたボールねじナット２６が螺合している。

前記支持部材２２には、Ｘ方向に延びるボールねじ軸２７が回転自在に支持されるとともに、このボールねじ軸２７を回転させるためのＸ軸サーボモータ２８が設けられている。前記ボールねじ軸２７には、ヘッドユニット２３に設けられたボールねじナット（図示せず）が螺合している。これらのボールねじ軸２４、Ｙ軸サーボモータ２５、ボールねじナット２６、ボールねじ軸２７、Ｘ軸サーボモータ２８および不図示のボールねじナットは、前記移動装置７の一部を構成する。

前記ヘッドユニット２３は、図２および図４に示すように、吸着ノズル１５が下端部に設けられた複数の吸着ヘッド３１と、これらの吸着ヘッド３１を支持するフレーム（図４参照）３２と、これらの部材を覆うカバー２３ａなどによって構成されている。
前記吸着ヘッド３１は、吸着ノズル１５を上下方向の軸線回りに回動させる回転装置３１ａと、吸着ノズル１５を上下方向に移動させる昇降装置３１ｂと、前記吸着ノズル１５に接続された部品吸着時の負圧源、かつ部品装着時の正圧源としてのエジェクタ１１（図４参照）などを備えている。この実施例においては、この吸着ヘッド３１によって本発明でいう移載ヘッドが構成されている。

前記ヘッドユニット２３には、複数の前記吸着ヘッド３１がＸ方向に並べられた状態で取付けられている。このため、図２に示すように、各吸着ヘッド３１に設けられている前記エジェクタ１１も装置前側から見てＸ方向に並んでいる。
前記フレーム３２は、図４に示すように、前記支持部材２２の装置前側（図４においては右側）の一側部にレール３３とスライダ３４とからなる支持機構を介してＸ方向に移動自在に支持されている。

このフレーム３２の上端部には、前記各吸着ヘッド３１から前記支持部材２２の上方まで装置後側に延びる支持用プレート３５が設けられている。この支持用プレート３５は、図２に示すように、ケーブルベア３６（登録商標）のヘッドユニット側端部を支持するものである。このケーブルベア３６は、支持部材２２の上面に支持され、電力用電線および信号用電線と、エジェクタ１１に加圧空気を供給するためのホースなどを収納している。

前記エジェクタ１１は、図４に示すように、前記吸着ヘッド３１の上端部に取付ユニット４１を介して取付けられたベースユニット４２と、このベースユニット４２に取付けられた負圧発生ユニット４３と、この負圧発生ユニット４３に取付けられた真空発生用電磁弁４４および真空破壊用電磁弁４５などによって構成されている。図４においては、ヘッドユニット２３がカバー２３ａで覆われているためにエジェクタ１１がヘッドユニット２３に取付けられているように描かれているが、実際には、エジェクタ１１は複数の吸着ヘッド３１と同数となるように各吸着ヘッド３１に取付けられている。

前記取付ユニット４１は、各吸着ヘッド３１の上端部であって装置前側の端部に取付けられている。この取付ユニット４１の上端部には、吸着ヘッド３１の上端から上方へ延出された空気ホース４６が接続されている。この空気ホース４６は、吸着ヘッド３１内に形成されている空気通路（図示せず）と、取付ユニット４１の内部に形成されている空気通路（図示せず）とを連通している。吸着ヘッド３１内の空気通路は、前記吸着ノズル１５から吸着ヘッド３１内を上下方向に貫通して前記空気ホース４６まで延びるように形成されている。空気ホース４６は、電気部品を吸着するための負圧と、電子部品を装着するための正圧を、吸着ノズル１５に供給するために利用される。

前記ベースユニット４２は、前記取付ユニット４１に後述する負圧発生ユニット４３を接続するためのもので、取付ユニット４１における装置前側の端部に図示していない取付用ボルトによって取付けられている。
このベースユニット４２の内部には、図６に示すように、空気通路として加圧空気供給用通路５１と、作業用空気通路５２とが形成されている。

加圧空気供給用通路５１は、ベースユニット４２をＸ方向に貫通する連通孔５１ａと、この連通孔５１ａから負圧発生ユニット４３側（図６においては下側）に延びる分配通路５１ｂとによって構成されている。この実施例によるベースユニット４２は、Ｘ方向に隣接する他のエジェクタ１１のベースユニット４２に、連通孔５１ａどうしが互いに接続されるように結合されている。このため、互いに隣り合うベースユニット４２の連通孔５１ａどうしは互いに連通されている。

Ｘ方向に並ぶ複数のベースユニット４２，４２…のうち、Ｘ方向の一端部に位置するベースユニット４２の連通孔５１ａには、図４に示すように、空気供給パイプ５３が接続されている。この空気供給パイプ５３は、図示していない加圧空気供給装置と前記連通孔５１ａとを接続している。また、Ｘ方向の他端部に位置するベースユニット４２には、連通孔５１ａの開口端を閉塞するための蓋部材（図示せず）が設けられている。なお、ベースユニット４２内の加圧空気供給用通路５１に加圧空気を供給するためには、この実施例で示した構成に限定されることはなく、各ベースユニット４２にそれぞれ空気供給パイプ５３を接続しても行うことができる。

ベースユニット４２の前記作業用空気通路５２は、前記取付ユニット４１内の空気通路と後述する負圧発生ユニット４３内の空気吸引用通路５４とを連通している。ベースユニット４２の作業用空気通路５２には、フィルター５５が設けられている。このフィルター５５は、円筒状に形成されてベースユニット４２の円形孔５６内に挿入されている。この円形孔５６は、ベースユニット４２の前端面に開口し、エジェクタ１１を吸着ヘッド３１に取付けた状態で表面実装機１の前方（図６においては右方）を指向するようにベースユニット４２に形成されている。

この円形孔５６の開口部は、円形孔５６の孔壁に形成された雌ねじ（図示せず）に螺着する雄ねじを有する栓部材５７によって閉塞されている。前記フィルター５５は、この栓部材５７によって円形孔内の所定位置に保持されている。栓部材５７の前端部には、作業者が把持することができるように棒状部５７ａが形成されている。なお、フィルター５５は、栓部材５７に保持させる他に、ベースユニット４２に保持させたり、ベースユニット４２と栓部材５７とで挟持するようにして保持することができる。また、栓部材５７は、円形孔５６に螺着する他に、ベースユニット４２の前面に取付用ねじ（図示せず）によって着脱可能に取付けることができる。

前記負圧発生ユニット４３は、前記ベースユニット４２の下端面に図示していない取付用ボルトによって取付けられている。この実施例においては、負圧発生ユニット４３によって本発明でいうハウジングが構成されている。
この負圧発生ユニット４３と前記ベースユニット４２との間には、これら両部材内の空気通路を気密に保つためにシール部材（図示せず）が設けられている。

負圧発生ユニット４３の内部には、図６に示すように、前記ベースユニット４２の前記分配通路５１ｂと対向する位置に形成された接続用通路６１と、この接続用通路６１から分岐した負圧発生用通路６２および真空破壊用通路６３と、前記ベースユニット４２の作業用空気通路５２に接続された作業用空気通路５４と、後述する負圧発生部材６４を挿入するための挿入孔６５と、この挿入孔６５の開口側端部から下方に延びる排気通路６６とが形成されている。

前記負圧発生用通路６２は、図６および図１０に示すように、前記接続用通路６１の下端部から負圧発生ユニット４３の後端までＹ方向に延びる上流部６２ａと、この上流部６２ａの下方で負圧発生ユニット４３の後端から前記挿入孔６５の後端までＹ方向に延びる下流部６２ｂと、これら両部どうしの接続・切断を切り換えるための真空発生用電磁弁４４とによって構成されている。この真空発生用電磁弁４４は、負圧発生ユニット４３の後端部に図示していない取付用ボルトによって取付けられている。この真空発生用電磁弁４４と負圧発生ユニット４３との間にも空気通路の気密を保つためにシール部材（図示せず）が設けられている。
この真空発生用電磁弁４４としては、図示してはいないが、例えばスプールをばね部材とソレノイドとにより一方と他方とに移動させることによって、負圧発生用通路６２が開閉されるものを使用することができる。

前記真空破壊用通路６３は、図６および図１０に示すように、前記接続用通路６１の下端部から負圧発生ユニット４３の下端まで上下方向に延びる上流部６３ａと、この上流部６３ａの前方で負圧発生ユニット４３の下端から前記挿入孔６５の後端部下端まで上下方向に延びる下流部６３ｂと、これら両部どうしの接続・切断を切り換えるための真空破壊用電磁弁４５とによって構成されている。図６においては、空気通路の構成を分かり易くするために、真空破壊用通路６３の上流部６３ａと前記負圧発生用通路６２の下流部６２ａとを同一平面上で交差するように描いてある。しかし、これらの通路は、実際には図６の紙面と直交する方向に離間した位置に形成されている。真空破壊通路６３の下流部６３ｂと作業用空気通路５４は、負圧発生部材６４内で連通する。

前記真空破壊用電磁弁４５は、負圧発生ユニット４３の下端部に図示していない取付用ボルトによって取付けられている。この真空破壊用電磁弁４５と負圧発生ユニット４３との間にも空気通路の気密を保つためにシール部材（図示せず）が設けられている。この真空破壊用電磁弁４５としては、図示してはいないが、例えばスプールをばね部材とソレノイドとにより一方と他方とに移動させることによって、真空破壊用通路６３が開閉されるものを使用することができる。

負圧発生ユニット４３の前記作業用空気通路５４は、負圧発生ユニット４３の上端であってベースユニット４２の作業用空気通路５２に接続される部位から挿入孔６５の後端部上端まで上下方向に延びている。
前記挿入孔６５は、開口形状が円形の孔で、負圧発生ユニット４３の前端面から装置後側に延びている。すなわち、この挿入孔６５は、負圧発生ユニット４３の前端面に開口し、エジェクタ１１を吸着ヘッド３１に取付けた状態で表面実装機１の前方を指向するように負圧発生ユニット４３に形成されている。

この挿入孔６５の後端には、前記負圧発生用通路６２の下流部６２ｂが開口し、挿入句６５の後端部の下端には前記真空破壊用通路６３の下流部６３ｂが開口している。さらに、挿入孔６５の後端部の上端には、前記作業用空気通路５４が開口している。
挿入孔６５の前端部には、この挿入孔６５の内径が部分的に大きくなるように環状の凹溝６７が形成されている。

前記排気通路６６は、前記凹溝６７内と負圧発生ユニット４３の下方の空間とを連通するように、負圧発生ユニット４３の下端部内を上下方向に延びている。この排気通路６６の下流端となる排気口６８は、図６に示すように、負圧発生ユニット４３の下面に下方を指向するように形成されている。
負圧発生ユニット４３における前記排気口６８が形成されている部分には、マフラー６９（図１０参照）を取付けることができる。

前記挿入孔６５内に挿入された負圧発生部材６４は、前記負圧発生用通路６２から供給された加圧空気を用いて負圧を発生させるもので、図６〜図８および図９（Ｃ）に示すように、挿入孔６５内に嵌合する円筒状に形成されている。詳述すると、この実施例による負圧発生部材６４は、図８に示すように、上流側の端部に位置するノズル７１と、このノズル７１の周囲を囲むチャンバー７４を形成する周壁７２と、この周壁７２の下流側に接続されたディフューザ７３とから構成されている。

前記ノズル７１、周壁７２およびディフューザ７３は、金属材料で一体成形することによって一体に形成されている。
前記ノズル７１は、負圧発生部材６４の上流端（後端）から下流側に延びる筒体で、前記上流端から下流側に向かうにしたがって径が漸次減少するテーパ状に形成されている。このノズル７１は、径が最大になる上流側端部が前記周壁７２に接続されており、この周壁７２に支持されている。

このノズル７１の上流側端部は、負圧発生部材６４を挿入孔６５に挿入することによって、前記負圧発生用通路６２の下流部６２ｂに接続される。
前記周壁７２は、前記ノズル７１を全周にわたって囲む円筒からなり、ノズル７１との間に環状の空間からなるチャンバー７４を形成している。また、この周壁７２には、下部透孔７５と上部透孔７６とが穿設されている。前記下部透孔７５は、挿入孔６５の後端部下端に開口した前記真空破壊用通路６３の下流部６３ｂと対応する位置に穿設されている。前記上部透孔７６は、挿入孔６５の後端部上端に開口した前記作業用空気通路５４と対応する位置に穿設されている。すなわち、前記チャンバー７４は、下部透孔７５を介して真空破壊用通路６３の下流部６３ｂに接続されるとともに、上部透孔７６を介して作業用空気通路５４に接続されている。

前記ディフューザ７３は、図８に示すように、ノズル７１の下流端近傍で内径が最も小さくなるように形成され、加圧空気の流れを加速するベンチュリ部７３ａと、このベンチュリ部７３ａの下流側（装置前側）で、内径が拡大していき加圧空気の流れを減速するテーパ部７３ｂと、その下流側で内径が一定になるように形成された円筒部７３ｃとから構成されている。前記チャンバー７４は、ノズル７１の上流側端部からディフューザ７３の下流側端部までの空気流路の途中部となる前記ベンチュリ部７３ａにおいて、ノズル７１の下流端外周に形成される開放端７４ａにより連通する。開放端７４ａの方向は、ノズル７１からの加圧空気の流れに沿う方向である。すなわち、加圧空気流の動圧は作用することなく、加圧空気流により吸い出されることとなる。

ディフューザ７３の下流側端部であって前記挿入孔６５の凹溝６７と対向する部分には、４つの透孔７７が穿設されている。このため、ディフューザ７３内の空間は、これらの透孔７７と凹溝６７内とを介して前記排気通路６６に接続されている。

このディフューザ７３（負圧発生部材６４）の下流側開放端には、挿入孔６５を閉塞するための蓋体７８が取付けられている。この蓋体７８は、図８に示すように、負圧発生部材６４の下流側端部内と、負圧発生部材６４より下流側（装置前側）に位置する挿入孔６５の開口部分とにそれぞれ嵌合する柱状突起７９と、負圧発生ユニット４３の前端部に設けられた係合部８０｛図９（Ｂ），（Ｃ）参照｝に係合する爪片８１とを備えている。

前記柱状突起７９と負圧発生部材６４との嵌合部分は、蓋体７８によって負圧発生部材６４を保持できるとともに、蓋体７８を作業者が把持した状態で負圧発生部材６４を挿入孔６５に対して出入れできるように構成されている。

前記係合部８０は、挿入孔６５の開口部分を囲むように負圧発生ユニット４３に突設された円形凸部８２と、この円形凸部８２の外周部で前後方向に延びる第１の凹溝８３と、この第１の凹溝８３の後端から円形凸部８２の周方向に延びる第２の凹溝８４とによって構成されている。第２の凹溝８４が延びる方向は、負圧発生ユニット４３を装置前側（図９においては上側）から見た状態で時計方向である。第１の凹溝８３と第２の凹溝８４とは、円形凸部８２に２組形成されている。このため、蓋体７８の爪片８１も２つ形成されている。また、蓋体７８の外側部には、作業者が把持するときに指を掛けることができるように凹部７８ａが形成されている。

この蓋体７８は、前記係合部８０の第１の凹溝８３に爪片８１を挿入し、爪片８１が第１の凹溝８３の後端部に達した状態で時計方向に回すことによって、係合部８０に係合される。このように蓋体７８を係合部８０に係合させることによって、蓋体７８が挿入孔６５の挿入口６５ａを閉塞するとともに、負圧発生部材６４に空気の圧力が加えられた状態でも外れることがないように負圧発生ユニット４３に固定される。

この実施例による蓋体７８は、このように負圧発生ユニット４３に取付けられることによって、図４に示すように、ヘッドユニット２３の最も装置前側に位置付けられる。なお、この蓋体７８の上方近傍には、前記ベースユニット４２の栓部材５７が位置付けられる。
また、この蓋体７８は、前記取付状態で反時計方向に回して前記係合部８０の係合を解除し、装置前側に引くことによって、負圧発生部材６４とともに負圧発生ユニット４３から取外すことができる。

このように構成された表面実装機１において、電子部品を吸着するときは、前記真空発生用電磁弁４４を開くとともに真空破壊用電磁弁４５を閉じる。このように両電磁弁４４，４５を動作させることにより、負圧発生部材６４のノズル７１に負圧発生用通路６２から加圧空気が供給され、ノズル７１からディフューザ７３内に空気が噴射されてチャンバー７４内の空気がディフューザ７３内に吸引される。ディフューザ７３内に噴射された空気は、ディフューザ７３の下流側端部に穿設されている４箇所の透孔７７から前記凹溝内６７内と排気通路６６内とを通して負圧発生ユニット４３の外に排出される。

排気通路６６の下流端からなる排気口６８は、負圧発生ユニット４３の下面に下方を指向するように開口しているから、前記負圧発生部材６４内に供給された空気は、負圧発生部材６４の下流側端部で流れる方向が変えられて負圧発生ユニット４３の下方に排出される。排気口６８の断面積が円筒部７３ｃの断面積より小さい場合には、排気口６８で加圧空気の流れは速くなるので、排気口６８の周辺の雰囲気が減圧され、排気口６８の近傍の温度が減圧により露点より低くなることがある。このような場合は、排気口６８の周辺に結露が生じるおそれがある。

この実施例においては、排気口６８が負圧発生ユニット４３の下面に形成されているから、前記蓋体７８を取付ける部分に結露が生じることがなく、この部分が結露により錆付いてしまうようなことはない。このため、この実施例によれば、長期間にわたって蓋体７８を負圧発生ユニット４３に対して容易に着脱できる状態に保つことができる。

前記負圧発生部材６４内の加圧空気が供給されてチャンバー７４内に負圧が発生することによって、負圧発生ユニット４３およびベースユニット４２の作業用空気通路５２，５４およびフィルター５５と、取付ユニット４１内の空気通路と、前記空気ホース４６と、吸着ヘッド３１内の空気通路とを介して吸着ノズル１５に負圧が伝播され、吸着ノズル１５が空気を吸引するようになる。

表面実装機１は、このように吸着ノズル１５から空気を吸引している状態でテープフィーダー５の電子部品を吸着ノズル１５に吸着させる。電子部品を吸着した後、吸着ノズル１５は、吸着ヘッド３１によって上昇させられ、移動装置７によってプリント配線板６の実装位置の上方へ移動させられる。その後、吸着ノズル１５は、吸着ヘッド３１によって下降させられ、電子部品をプリント配線板６に載置（実装）する。

このとき、前記真空発生用電磁弁４４が閉じ、前記真空破壊用電磁弁４５が開く。このように両弁４４，４５が動作することにより、負圧発生部材６４内で負圧の発生が停止され、加圧空気が真空破壊用通路６３を通ってチャンバー７４内に供給される。この正圧は、チャンバー７４から作業用空気通路５２，５４、フィルター５５、取付ユニット４１内の空気通路、前記空気ホース４６、吸着ヘッド３１内の空気通路とを介して吸着ノズル１５に伝播する。吸着ノズル１５にこの圧力波が伝播されることによって、電子部品が吸着ノズル１５から外され、プリント配線板６に載置されることになる。なお、電子部品のプリント配線板６への載置後短時間で、前記真空発生用電磁弁４４が閉のまま、前記真空破壊用電磁弁４５が閉じられる。これによりチャンバー７４から吸着ノズル３１内の空気通路に至る経路における正圧は、排気口６８から外気中に逃げ、チャンバー７４から吸着ノズル３１内の空気通路に至る経路は外気圧と同じとなる。
なおさらに、前記真空発生用電磁弁４４を開から閉にするとともに、前記真空破壊用電磁弁４５を閉から開にした瞬間から、前記真空破壊用電磁弁４５を閉にするまでの時間は短時間である。このため、前記真空発生用電磁弁４４が開でかつ前記真空破壊用電磁弁４５が閉の間中にフィルター５５で捕捉される異物が、吸着ノズル１５の方へ逆流することはない。

吸着ノズル１５から外気を吸引するときには、外気中に含まれている異物も空気ともに吸着ノズル１５内に吸い込まれる。この異物のうち、相対的に大きいものはフィルター５５に付着するが、フィルター５５を透過した微小な異物は、負圧発生部材６４内に吸い込まれる。電子部品の実装動作を長期間にわたって行うと、このような微小な異物が負圧発生部材６４内のチャンバー７４の内壁、ノズル７１の外壁、ディフューザ７３などに付着して堆積することがある。負圧発生部材６４に異物が付着して空気通路が狭くなると、負圧を発生する能力が低下するから、このような場合は負圧発生部材６４を清掃しなければならない。

負圧発生部材６４の清掃は、移動装置７を構成するヘッドユニット２３を図３において実線で示すように、同じく移動装置７を構成するＹ軸サーボモータ２５によって、表面実装機１の装置前側（図３においては右側）の端部まで移動させた状態で行う。このようにヘッドユニット２３を移動させることによって、表面実装機１の前方に設けられている通路（図示せず）にＸ方向に並ぶ各エジェクタ１１のそれぞれの前記蓋体７８が接近する。蓋体７８が通路に接近することにより、通路に立つ作業者が容易に蓋体７８をエジェクタ１１（負圧発生ユニット４３）から前方へ取外すことができる。

この実施例では、蓋体７８をエジェクタ１１から取外すことによって、図９（Ｂ）に示すように、負圧発生部材６４が蓋体７８と一体にエジェクタ１１から取外される。この負圧発生部材６４は、図９（Ｃ）に示すように、蓋体７８を取外した状態で清掃される。なお、フィルター５５の清掃または交換作業も、このようにヘッドユニット２３を装置前側へ移動させて通路側から行うことができる。Ｘ方向に並ぶ各エジェクタ１１の栓部材５７、蓋体７８は、全てそれぞれ同じ通路側を指向しており、それぞれにおいて、他のエジェクタ１１に干渉することなく脱着作業が可能である。

負圧発生部材６４を清掃した後、上記とは逆の手順によりエジェクタ１１に組付ける。この組付作業も通路に立つ作業者が容易に行うことができる。この実施例においては、蓋体７８に負圧発生部材６４を保持させる例を示したが、蓋体７８は、単に挿入孔６５を閉塞するだけ機能を有するように形成することができる。この場合であっても、蓋体７８をエジェクタ１１から取外すことによって、前記挿入口６５ａが作業者に向けて開口するようになるから、挿入孔６５内から負圧発生部材６４を容易に引き抜くことができる。

したがって、この実施例による表面実装機１においては、負圧発生部材６４を清掃するために電磁弁４４，４５やその他のエジェクタ構成部品などを吸着ヘッド３１から取外す必要はなく、負圧発生部材６４を取外すための前作業としては前記蓋体７８を取外す簡単な作業のみになる。しかも、蓋体７８は通路側に露出しているから、蓋体７８を取外す作業も通路側から容易に行うことができる。
この結果、この実施例によれば、負圧発生部材６４の清掃を容易に行うことが可能な表面実装機１を提供することができる。

この実施例による表面実装機１においては、複数の吸着ヘッド３１がＸ方向に並べられたヘッドユニット２３を備え、蓋体７８がヘッドユニット２３の前部に露出している。このため、この実施例によれば、各吸着ヘッド３１において、前記蓋体７８を着脱するに当たって、隣接する他の吸着ヘッド３１の蓋体７８に干渉されることがない。この結果、複数の吸着ヘッド３１を備えているにもかかわらず、全ての吸着ヘッド３１において、負圧発生部材６４を容易に清掃することができる。

（第２の実施例）
エジェクタは、図１１に示すように、ヘッドユニットの後方に設けることができる。
図１１はエジェクタを後方に設けた他の実施例を示すヘッドユニットの側面図である。同図においては、支持部材を破断した状態で描いてある。図１１において、前記図１〜図１０によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。

図１１に示すエジェクタ１１は、ヘッドユニット２３のフレームに設けられている支持用プレート３５の上に蓋体７８が上方に位置するように各吸着ヘッド３１の近傍において複数の吸着ヘッド３１と同数がＸ方向に並べて取付けられている。この蓋体７８は、ヘッドユニット２３より高くなる位置に露出している。この実施例において、負圧発生ユニット４３の挿入口６５ａは、支持部材２２の上端より上方に位置付けられ、エジェクタ１１を前記支持用プレート３５に取付けた状態において上方を指向することになる。

前記支持用プレート３５は、支持部材２２の上方近傍に位置しているから、蓋体７８は、支持部材２２の上方に作業者の腕を通すことによって、作業者の指で把持することができる。このため、蓋体７８は、支持部材２２に遮られることなく後方から着脱することができる。この場合、蓋体７８と負圧発生部材６４とは、負圧発生ユニット４３から上方に取外される。すなわち、この実施例において、負圧発生部材６４の清掃やフィルター５５の清掃・交換は、ヘッドユニット２３を表面実装機１の後側に移動させることにより、後方から容易に行うことができる。
この実施例の構成を採る場合であっても、図１〜図１０に示した実施例の構成を採る場合と同じ効果を奏する。

なお、支持用プレート３５の上にエジェクタ１１を取付ける場合、この実施例で示したように蓋体７８が上方に位置するように取付ける他に、蓋体７８が装置後側に位置するように取付けることができる。この場合であっても、負圧発生部材６４の清掃は、支持部材２２を装置後側の端部に移動させ、装置後側から行うことができる。

（第３の実施例）
支持部材とヘッドユニットは図１２〜図１４に示すように、二つずつ装備することができる。
図１２は表面実装機の他の実施例の構成を示す平面図、図１３および図１４は表面実装機の他の実施例を示す断面図である。これらの図において、前記図１〜図１０によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。

図１２および図１３に示す表面実装機１の移動装置７は、基台２にＹ方向（前後方向）へ移動自在に支持されてＹ方向に並ぶ第１の支持部材９１と第２の支持部材９２とを備えている。この実施例では、第１の支持部材９１が表面実装機１の装置前側に位置付けられ、第２の支持部材９２が表面実装機１の装置後側に位置付けられている。

これらの第１、第２の支持部材９１，９２は、Ｙ方向に延びるボールねじ軸２４とＹ軸サーボモータ２５などからなる駆動装置によってそれぞれそれぞれ単独でＹ方向に移動させられる。すなわち、図１２中２つのボールねじユニット２６の内一方は第１の支持部材９１に固定保持され、他方は第２の支持部材９２に対して回転可能とされ、第２の支持部材９２に搭載される中空モータからなるＹ軸サーボモータで回転駆動される。

この実施例においては、前記第１の支持部材９１に第１のヘッドユニット９３がＸ方向に移動自在に支持され、第２の支持部材９２に第２のヘッドユニット９４がＸ方向に移動自在に支持されている。
前記第１のヘッドユニット９３は、前記第１の支持部材９１における前記第２の支持部材９２とは反対側に配設されている。前記第２のヘッドユニット９４は、第２の支持部材９２における前記第１の支持部材９１とは反対側に配設されている。

第１、第２のヘッドユニット９３，９４の構造は、図１〜図１０で示した実施例で説明したヘッドユニット２３とは、支持部材に取付ける方向が異なる以外は同じである。すなわち、第１のヘッドユニット９３のエジェクタ１１は、このヘッドユニット９３の装置前側の端部に設けられ、第２のヘッドユニット９４のエジェクタ１１は、このヘッドユニット２３の装置後側の端部に設けられている。

図１２および図１３に示す実施例によれば、第１の支持部材９１と第２の支持部材９２とを互いに離間するように前後方向の一方と他方とに移動させることによって、第１のヘッドユニット９３が装置前側の端部に位置付けられ、第２のヘッドユニット９４が装置後側の端部に位置付けられる。

この実施例による表面実装機１において、第１のヘッドユニット９３に設けられているエジェクタ１１の負圧発生部材６４を清掃するためには、蓋体７８を装置前側から取外すことによって行うことができる。一方、第２のヘッドユニット９４に設けられているエジェクタ１１の負圧発生部材６４を清掃するためには、蓋体７８を装置後側から取外すことによって行うことができる。
このため、図１２および図１３に示す実施例によれば、第１、第２のヘッドユニット９３，９４を備えているにもかかわらず、負圧発生部材６４の着脱を含めて清掃を容易に行うことができる。

図１４に示す表面実装機１は、図１２および図１３で示した表面実装機１とは、第１、第２のヘッドユニット９３，９４を取付ける方向が異なる以外は同じ構成が採られている。
図１４に示す第１のヘッドユニット９３は、第１の支持部材９１における第２の支持部材９２と対向する側部に配設されている。第２のヘッドユニット９４は、第２の支持部材９２における第１の支持部材９１と対向する側部に配設されている。
また、この実施例によるエジェクタ１１は、前記図１１で示した実施例と同じ構成になるように支持用プレート３５の上に取付けられている。

すなわち、表面実装機１の前側に位置する第１のヘッドユニット９３に設けられているエジェクタ１１は、第１の支持部材９１が表面実装機１の前側の端部に移動することによって、装置前側の通路に接近する。また、第２のヘッドユニット９４に設けられているエジェクタ１１は、第２の支持部材９２が表面実装機１の後側の端部に移動することによって、装置後側の通路に接近する。

したがって、通路に立つ作業者が第１、第２の支持部材９１，９２の上方に腕を通すようにして蓋体７８を把持し、これを容易に着脱させることができる。この結果、この実施例の構成を採る場合であっても、図１〜図１０に示した実施例の構成を採る場合と同じ効果を奏する。

なお、支持用プレート３５の上にエジェクタ１１を取付ける場合、この実施例で示したように蓋体７８が上方に位置するように取付ける他に、蓋体７８が装置前側、装置後側に位置するように取付けることができる。この場合、第１のヘッドユニット９３用のエジェクタ１１は、蓋体７８が装置前側に位置するように支持用プレート３５に取付け、第２のヘッドユニット９４用エジェクタ１１は、蓋体７８が装置後側に位置するように支持用プレート３５に取付ける。このような場合であっても、負圧発生部材６４の清掃は、第１、第２の支持部材９１，９２を装置前側、装置後側の端部に移動させ、装置前側、装置後側から行うことができる。

（第４の実施例）
図１５は本発明に係わる電子部品移載装置の一実施例の構成を示す平面図である。この図において、前記図１〜図１０によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し説明を適宜省略する。
ヘッドユニット２３を支持する支持部材２２はＹ方向に配置されており、ヘッドユニット２３をＹ方向に移動可能としている。符号１２０は支持部材２２をＸ方向に移動可能に支持する支持部材である。支持部材２２，１２０にはそれぞれ不図示のサーボモータ等が搭載され、支持部材２２，１２０は移動装置７の一部を構成する。Ｘ方向に配置されるコンベア３に対し、直交するＹ方向にテープフィーダ５，‥５が配置される。

ヘッドユニット２３に搭載される複数の移載ヘッドおよび同数のエジェクタ１１は、同様Ｙ方向に配列される。図４に示すヘッドユニットの側面図において、矢印Ｙを矢印Ｘに置き換えれば、図４は本実施例におけるヘッドユニットの側面図と等価なものとなる。すなわち、栓部材５７および蓋体７８はそれぞれＸ方向かつ右方向を指向する。

これにより、支持部材２２に対してヘッドユニット２３をＹ方向の前側、あるいは後側に移動すれば、各移載ヘッドに搭載されるエジェクタ１１の負圧発生部材６４の脱着清掃あるいは交換は、蓋体７８を取外すことで簡単に実施することが可能となる。同様フィルタ５５の脱着清掃あるいは交換は、栓部材５７を取外すことで簡単に実施することが可能となる。Ｙ方向に並ぶ各エジェクタ１１の栓部材５７、蓋体７８は、全てそれぞれ同じ右方向を指向しており、それぞれにおいて、他のエジェクタ１１に干渉することなく脱着作業が可能である。

また、図１１に示すヘッドユニットの側面図において、矢印Ｙを矢印Ｘに置き換えた実施例も考えられる。これにおいてエジェクタ１１は支持プレート３５の上に搭載され、かつ栓部材５７および蓋体７８はそれぞれ上方を指向している。この実施例においても、支持部材２２に対してヘッドユニット２３をＹ方向の前側、あるいは後側に移動すれば、各移載ヘッドに搭載されるエジェクタ１１の負圧発生部材６４の脱着清掃あるいは交換は、蓋体７８を取外すことで簡単に実施することが可能となる。
また、エジェクタ１１を支持プレート３５の上に搭載する場合において、図１３と同様に、栓部材５７および蓋体７８をそれぞれ支持部材２２の横方向（Ｘ方向かつ左方向）を指向させるようにしても、同様の効果を得ることができる。

（第５の実施例）
エジェクタは図１６に示すように構成することができる。
図１６はエジェクタの他の実施例を示す断面図で、同図（Ａ）は組付状態を示し、同図（Ｂ）は蓋体を取外した状態を示し、同図（Ｃ）は負圧発生部材に引き抜き用ボルトを螺着した状態を示し、同図（Ｄ）は負圧発生部材を負圧発生部材から引き出した状態を示す。図１６において、前記図１〜図１０によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。

図１６に示すエジェクタ１１の負圧発生ユニット４３は、図示していないベースユニット４２とは反対側（図１６においては下側）の端部に真空発生用電磁弁４４と真空破壊用電磁弁４５とが取付けられている。
この実施例による負圧発生部材６４は、ノズル７１が蓋体７８と対向するように挿入孔６５内に挿入されている。このため、負圧発生ユニット４３内に形成されている負圧発生用通路６２は、挿入孔６５内におけるノズル７１と蓋体７８との間に加圧空気が供給されるように形成されている。

この実施例による排気通路６６は、負圧発生ユニット４３における蓋体７８とは反対側の端部に穿設された透孔によって形成されている。この透孔は、挿入孔６５の中心線上に位置するように形成されている。
前記負圧発生部材６４は、ノズル７１の上流側に雌ねじ部９５が形成されている。この雌ねじ部９５は、ノズル７１と同一軸線上に位置するように形成されており、負圧発生部材６４の一端部に開口している。この雌ねじ部９５には、図１６（ｃ），（Ｄ）に示すように、引き抜き用ボルト９６が螺着される。

この実施例によるエジェクタ１１によれば、負圧発生部材６４を通過した空気は、負圧発生ユニット４３における蓋体７８とは反対側に排出される。このため、このエジェクタ１１においても、蓋体７８を負圧発生ユニット４３に取付ける部分に結露が生じるのを防ぐことができるから、長期間にわたって使用したとしても蓋体７８の着脱性が損なわれることがない。

この実施例において、負圧発生部材６４を負圧発生ユニット４３から引き抜くためには、先ず、蓋体７８を負圧発生ユニット４３から取外して挿入口６５ａを露出させる。そして、図１６（Ｂ）に示すように、引き抜き用ボルト９６を挿入孔６５内に挿入し、同図（Ｃ）に示すように、この引き抜き用ボルト９６を負圧発生部材６４の雌ねじ部９５に螺着させる。

このように引き抜き用ボルト９６を負圧発生部材６４に取付けた後、図１６（Ｄ）に示すように、引き抜き用ボルト９６とともに負圧発生部材６４を負圧発生ユニット４３から引き出す。負圧発生部材６４は、このように負圧発生ユニット４３から取外した状態で清掃される。
エジェクタ１１をこの実施例に示すように構成しても図１〜図１０で示した実施例と同じ効果を奏する。
なお、上述した各実施例では表面実装機に本発明を適用する例を示したが、本発明は、電子部品を部品供給部から検査装置などに移載するＩＣハンドラにも適用することができる。
なおまた、上述した各実施例におけるエジェクタ１１には真空破壊用電磁弁４５を搭載させているが、本発明は真空破壊用電磁弁４５、および真空破壊用通路６３がないエジェクタを搭載する電子部品移載装置にも適用可能である。吸着ノズル１５を下降させた状態で真空発生用電磁弁４４を閉じることで、排気口６８から外気の圧力を吸着ノズル１５に導くことができ、電子部品の載置が可能だからである。

本発明に係る表面実装機の構成を示す平面図である。 移動装置とヘッドユニットとを装置前側から見た状態を示す正面図である。 本発明に係る表面実装機の構成を示す断面図である。 ヘッドユニットの側面図である。 エジェクタの底面図である。 図５におけるVI−VI線断面図である。 蓋体が取付けられた負圧発生部材の側面図である。 図７におけるVIII−VIII線断面図である。 負圧発生部材を取外す手順を説明するための斜視図である。 エジェクタの空気通路の構成を示す空気回路図である。 エジェクタを後方に設けた他の実施例を示すヘッドユニットの側面図である。 表面実装機の他の実施例の構成を示す平面図である。 表面実装機の他の実施例を示す断面図である。 表面実装機の他の実施例を示す断面図である。 本発明に係わる電子部品移載装置の一実施例の構成を示す平面図である。 エジェクタの他の実施例を示す断面図である。

符号の説明

１…表面実装機、２…基台、１１…エジェクタ、１５…吸着ノズル、２２…支持部材、２３…ヘッドユニット、３１…吸着ヘッド、４１…取付ユニット、４２…ベースユニット、４３…負圧発生部材、４４…真空発生用電磁弁、４５…真空破壊用電磁弁、６４…負圧発生部材、６５…挿入孔、６５ａ…挿入口、６６…排気通路、７１…ノズル、７３…ディフューザ、７４…チャンバー、７８…蓋体、９１…第１の支持部材、９２…第２の支持部材、９３…第１のヘッドユニット、９４…第２のヘッドユニット。

Claims (8)

1. 電子部品が吸着される吸着ノズルと、
   この吸着ノズルから空気を吸引するエジェクタと、
   これらの部材を有する移載ヘッドと、
   この移載ヘッドを電子部品供給部と電子部品載置部との間で移動させる移動装置と、
   操作者が操作する操作装置とを備えた電子部品移載装置において、
   前記エジェクタは、空気を噴射する空気噴射用ノズルの下流側端部にディフューザを一体形成してなる負圧発生部材と、
   この負圧発生部材を挿入するための挿入孔と、前記空気噴射ノズルの上流側端部に加圧空気を供給する加圧空気供給用通路と、一端が吸着ノズルに連通し、他端が前記空気噴射ノズルの上流側端部から前記ディフューザの下流側端部までの空気流路の途中部に連通する作業用空気通路とが形成されかつ前記負圧発生部材を着脱可能に支持するハウジングと、
   このハウジングに着脱可能に取付けられて前記挿入孔の挿入口を閉塞する蓋体と、
   前記ハウジングに取付けられて前記加圧空気供給用通路の開閉を切換える電磁弁とによって構成され、
   前記挿入口は、前記エジェクタを前記移載ヘッドあるいはその近傍に取付けた状態において水平方向であって、前記操作装置が対向する前方と後方とのうちいずれか一方、あるいは左方と右方とのいずれか一方を指向するように形成され、
   前記蓋体は移載ヘッドの外に露出していることを特徴とする電子部品移載装置。
2. 電子部品が吸着される吸着ノズルと、
   この吸着ノズルから空気を吸引するエジェクタと、
   これらの部材を有する移載ヘッドと、
   この移載ヘッドを電子部品供給部と電子部品載置部との間で移動させる移動装置とを備えた電子部品移載装置において、
   前記エジェクタは、空気を噴射する空気噴射用ノズルの下流側端部にディフューザを一体形成してなる負圧発生部材と、
   この負圧発生部材を挿入するための挿入孔と、前記空気噴射ノズルの上流側端部に加圧空気を供給する加圧空気供給用通路と、一端が吸着ノズルに連通し、他端が前記空気噴射ノズルの上流側端部から前記ディフューザの下流側端部までの空気流路の途中部に連通する作業用空気通路とが形成されかつ前記負圧発生部材を着脱可能に支持するハウジングと、
   このハウジングに着脱可能に取付けられて前記挿入孔の挿入口を閉塞する蓋体と、
   前記ハウジングに取付けられて前記加圧空気供給用通路の開閉を切換える電磁弁とによって構成され、
   前記挿入口は、前記エジェクタを前記移載ヘッドに取付けた状態において上方を指向するように形成され、
   前記蓋体は移載ヘッドの外に露出していることを特徴とする電子部品移載装置。
3. 請求項１または請求項２記載の電子部品移載装置において、前記複数の移載ヘッドはそれぞれ前記吸着ノズルを上下方向に移動させる昇降装置を備えるとともに、前記移動装置は、前記電子部品供給部上方と前記電子部品載置部上方との間で移動可能とされ、複数の前記移載ヘッドを前記前後方向とは直交する横方向に支持するヘッドユニットを備え、前記蓋体は、前方と後方とのいずれか一方を指向するとともに、ヘッドユニットの外に露出していることを特徴とする電子部品移載装置。
4. 請求項３記載の電子部品移載装置において、前記移動装置は、基台に前記前後方向へ移動自在に支持された支持部材を備え、
   前記ヘッドユニットは、前記支持部材に前記横方向へ移動自在に支持され、
   前記挿入口は、前記支持部材の上端より上方に位置付けられていることを特徴とする電子部品移載装置。
5. 請求項１または請求項２記載の電子部品移載装置において、前記複数の移載ヘッドはそれぞれ前記吸着ノズルを上下方向に移動させる昇降装置を備えるとともに、前記移動装置は、前記電子部品供給部上方と前記電子部品載置部上方との間で移動可能とされ、複数の前記移載ヘッドを前記前後方向に支持するヘッドユニットを備え、前記蓋体は、右方と左方とのいずれか一方を指向するとともに、ヘッドユニットの外に露出していることを特徴とする電子部品移載装置。
6. 請求項５記載の電子部品移載装置において、前記移動装置は、基台に前記前後方向とは直交する横方向へ移動自在に支持された支持部材を備え、
   前記ヘッドユニットは、前記支持部材に前後方向へ移動自在に支持され、
   前記挿入口は、前記支持部材の上端より上方に位置付けられていることを特徴とする電子部品移載装置。
7. 請求項３または請求項４記載の電子部品移載装置において、前記移動装置は、基台に前記前後方向へ移動自在に支持されて前記前後方向に並ぶ第１の支持部材と第２の支持部材とを備え、
   前記ヘッドユニットは、前記第１の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第１のヘッドユニットと、前記第２の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第２のヘッドユニットとによって構成され、
   前記第１のヘッドユニットは、前記第１の支持部材における前記第２の支持部材とは反対側に配設され、
   前記第２のヘッドユニットは、第２の支持部材における前記第１の支持部材とは反対側に配設されていることを特徴とする電子部品移載装置。
8. 請求項４記載の電子部品移載装置において、前記移動装置は、基台に前記前後方向へ移動自在に支持されて前記前後方向に並ぶ第１の支持部材と第２の支持部材とを備え、
   前記ヘッドユニットは、前記第１の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第１のヘッドユニットと、前記第２の支持部材に前記横方向へ移動自在に支持された第２のヘッドユニットとによって構成され、
   前記第１のヘッドユニットは、前記第１の支持部材における前記第２の支持部材と対向する側部に配設され、
   前記第２のヘッドユニットは、第２の支持部材における前記第１の支持部材と対向する側部に配設されていることを特徴とする電子部品移載装置。

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