JP2009093945A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 放電空間を有するシリカガラスよりなる放電容器を備え、当該放電容器を形成するシリカガラスが介在する状態で一対の電極が設けられてなり、前記放電容器の放電空間内においてエキシマ放電を発生させるエキシマランプであって、前記放電容器の、放電空間に曝される表面に、シリカ粒子とアルミナ粒子とよりなる紫外線反射膜が形成されており、当該紫外線反射膜は、前記放電容器の管壁負荷をb〔W/cm2 〕とするとき、放電空間に曝される表面層部分において、アルミナ粒子が(10b−4)wt%以上、70wt%以下の割合で含有されてなるものである。
【選択図】 図1
Description
具体的には、例えば、図6を参照して説明すると、紫外線を透過するシリカガラスよりなる放電容器(51)を備え、この放電容器(51)の内側と外側にそれぞれ電極(55,56)が設けられてなるエキシマランプ(50)において、放電容器(51)の放電空間(S)に曝される表面に、紫外線反射膜(20)を形成することが記載されており、紫外線反射膜としては、シリカ粒子のみからなるもの、およびアルミナ粒子のみからなるものが実施例に例示されている(特許文献1参照)。
このエキシマランプ(50)においては、放電容器(51)の一部に、紫外線反射膜 (20)が形成されていないことにより放電空間(S)内で発生した紫外線を出射する光出射部(58)が形成されている。
前記放電容器の、放電空間に曝される表面に、シリカ粒子とアルミナ粒子とよりなる紫外線反射膜が形成されており、当該紫外線反射膜は、前記放電容器の管壁負荷をb〔W/cm2 〕とするとき、放電空間に曝される表面層部分において、アルミナ粒子が(10b−4)wt%以上、70wt%以下の割合で含有されてなるものであることを特徴とする。
このエキシマランプ10は、両端が気密に封止されて内部に放電空間Sが形成された、断面矩形状の中空長尺状の放電容器11を備えており、この放電容器11の内部には、放電用ガスとして、例えばキセノンガスや、アルゴンと塩素とを混合したガスが封入されている。
放電容器11は、真空紫外光を良好に透過するシリカガラス、例えば合成石英ガラスよりなり、誘電体としての機能を有する。
このような電極は、例えば、金属よりなる電極材料を放電容器11にペースト塗布することにより、あるいは、プリント印刷することによって形成することができる。
紫外線反射膜20の膜厚は、例えば10〜100μmであることが好ましい。
紫外線反射膜20は、シリカ粒子およびアルミナ粒子それ自体が高い屈折率を有する真空紫外光透過性を有するものであることから、シリカ粒子またはアルミナ粒子に到達した真空紫外光の一部が粒子の表面で反射されると共に他の一部が屈折して粒子の内部に入射され、さらに、粒子の内部に入射される光の多くが透過され(一部が吸収)、再び、出射される際に屈折される、このような反射、屈折が繰り返し起こる「拡散反射」させる機能を有する。
また、紫外線反射膜20は、シリカ粒子およびアルミナ粒子、すなわちセラミックスにより構成されていることにより、不純ガスを発生させず、また、放電に耐えられる特性を有する。
シリカ粒子は、以下のように定義される粒子径が例えば0.01〜20μmの範囲内にあるものであって、中心粒径(数平均粒子径のピーク値)が、例えば0.1〜10μmであるものが好ましく、より好ましくは0.3〜3μmであるものである。
また、中心粒径を有するシリカ粒子の割合が50%以上であることが好ましい。
また、中心粒径を有するアルミナ粒子の割合が50%以上であることが好ましい。
具体的には、図2(a)に示すように、略球状の粒子Aおよび粉砕粒子形状を有する粒子Bなどの粒子が単独で存在している場合には、当該粒子を一定方向(例えば紫外線反射膜20の厚み方向(Y軸方向))に伸びる2本の平行線で挟んだときの当該平行線の間隔を粒径DA,DBとする。
また、出発材料の粒子が溶融して接合した形状を有する粒子Cについては、図2(b)に示すように、出発材料である粒子C1,C2と判別される部分における球状部分のそれぞれについて、一定方向(例えば紫外線反射膜20の厚み方向(Y軸方向))に伸びる2本の平行線で挟んだときの当該平行線の間隔を測定し、これを当該粒子の粒径DC1,DC2とする。
エキシマランプにおいては、電極間の電位差が大きくなるに従ってプラズマの発生頻度が高くなるので、入力電力が大きい、すなわち、管壁負荷が大きいほど、紫外線反射膜がプラズマにさらされる頻度が高くなり、より厳しい条件で使用されることになる。然るに、後述する実験例の結果にも示すように、アルミナ粒子の含有割合の下限値が、放電容器11の管壁負荷との関係において、設定されることにより、紫外線反射膜20の反射率の低下の程度を小さく抑制することができる。
紫外線反射膜20を形成するに際して用いられるシリカ粒子およびアルミナ粒子の製造は、固相法、液相法、気相法のいずれの方法も利用することができるが、これらのうちでも、サブミクロン、ミクロンサイズの粒子を確実に得ることができることから、気相法、特に化学蒸着法(CVD)が好ましい。
具体的には、例えば、シリカ粒子は、塩化ケイ素と酸素を900〜1000℃で反応させることにより、アルミナ粒子は、原料の塩化アルミニウムと酸素を1000〜1200℃で加熱反応させることにより、合成することができ、粒子径は、原料濃度、反応場での圧力、反応温度を制御することにより調整することができる。
然るに、紫外線反射膜20が、シリカ粒子とアルミナ粒子とからなり、アルミナ粒子が適正な割合で含有されてなるものであることにより、上記構成のエキシマランプ10によれば、プラズマによる熱にさらされた場合であっても、シリカ粒子より高い融点を有するアルミナ粒子は溶融しないため、互いに隣接するシリカ粒子とアルミナ粒子とが粒子同士で結合されることが防止されて粒界が維持されるので、長時間点灯された場合であっても、真空紫外光を効率よく拡散反射させることができて初期の反射率を維持することができ、しかも、アルミナ粒子が混入されることによる紫外線反射膜20の放電容器11に対する結着性が大幅に低下することがないため、紫外線反射膜20が放電容器11から剥がれることを確実に抑制することができ、従って、真空紫外光を効率よく出射することができる。
また、アルミナ粒子はシリカ粒子よりも高い屈折率を有するため、シリカ粒子のみからなる紫外線反射膜に比して、高い反射率を得ることができる。
<実験例1>
図1に示す構成に従って、紫外線反射膜の表面より2μmの膜厚中に含まれるアルミナ粒子の含有量が0〜50wt%の範囲で変更されたことの他は同一の構成を有する4種類のエキシマランプを作製すると共に、紫外線反射膜を有さないことの他は同一の構成を有するエキシマランプを作製した。ここに、紫外線反射膜の表面より2μmの膜厚中に含まれるアルミナ粒子の含有量およびシリカ粒子の含有割合は、紫外線反射膜を放電空間側から、電子顕微鏡により数100〜1000倍の倍率で観測しながら、エネルギー分散型X線分析装置を用いた定量分析を行うことにより得られたものであり、アルミナ粒子の含有量を、アルミナ粒子質量/(シリカ粒子質量+アルミナ粒子質量)×100「wt%」と表し、シリカ粒子の含有量を、シリカ粒子質量/(シリカ粒子質量+アルミナ粒子質量)×100「wt%」と表す。
放電容器の寸法は、10×42×150mm、肉厚が2.5mmであり、放電用ガスとして、キセノンガスを40kPaの封入量で放電容器内に封入した。
高電圧供給電極および接地電極の寸法は、30×100mmである。
紫外線反射膜を構成するシリカ粒子は、粒子径が0.3〜1.0μmの範囲内にあり、中心粒径が0.5μm、中心粒径を有する粒子の割合が50%であるものである。
紫外線反射膜を構成するアルミナ粒子は、粒子径が0.2〜0.7μmの範囲内にあり、中心粒径が0.4μm、中心粒径を有する粒子の割合が50%であるものである。
シリカ粒子およびアルミナ粒子の粒子径の測定は、日立製電界放射型走査電子顕微鏡「S4100」を用い、加速電圧を20kVとし、拡大投影像における観察倍率を、粒子径が0.1〜1μmである粒子については20000倍、粒子径が1〜10μmである粒子については2000倍とした。
紫外線反射膜は、流下法によって、焼成温度を1100℃として得られたものであり、その膜厚は30μmである。
照度測定は、図3に示すように、アルミニウム製容器30の内部に配置されたセラミックス製の支持台31上に、エキシマランプ10を固定すると共に、エキシマランプ10の表面から1mm離れた位置において、エキシマランプ10に対向するよう紫外線照度計35を固定し、アルミニウム製容器30の内部雰囲気を窒素で置換した状態において、エキシマランプ10の電極15,16間に交流高電圧を印加することにより、放電容器11の内部に放電を発生させ、他方の電極(接地電極)16の網目を介して放射されるキセノンエキシマ光の照度を測定した。
そして、製品の規格として例えば80%以上の維持率を要求されることがあるため、照度変化が0.8以上となることを判定基準とすると、照度変化が0.8以上に保たれるアルミナ粒子の含有割合は、管壁負荷が0.5W/cm2 のときには、1wt%以上、管壁負荷が0.7W/cm2 のときには、3wt%以上、管壁負荷が1.0W/cm2 のときには、6wt%以上、管壁負荷が1.4W/cm2 のときには、10wt%以上であることが必要であることが確認され、図4に示すように、照度変化が0.8以上に保たれるときのアルミナ含有量yは、管壁負荷bとの関係において、y=10b−4で示される近似直線Lより上の領域における量であれば、紫外線反射膜を所期の反射特性を有するものとして構成することができて照度の低下の程度を小さく抑制することができることが確認された。
紫外線反射膜を構成するシリカ粒子とアルミナ粒子の含有割合を下記表2に従って変更されたことの他は、実験例1で用いたものと同一の基本構成を有する6種類のエキシマランプを各々10本ずつ作製し、各エキシマランプについて、紫外線反射膜の剥がれの有無を目視にて観察した。結果を下記表2に示す。
本発明は、上記構成のエキシマランプに限定されるものではなく、図5に示すような、いわゆる「角型」のエキシマランプや、図6に示すような、二重管構造のエキシマランプにも適用することができる。
図5に示すエキシマランプ40は、例えば合成シリカガラスよりなる断面長方形の放電容器41を備えてなり、放電容器41の互いに対向する外表面に金属よりなる一対の外側電極45,45が放電容器41の管軸方向に延びるように配設されると共に、放電用ガスである例えばキセノンガスが放電容器41内に充填されている。図5において、符号42は排気管であり、符号43は例えばバリウムよりなるゲッターである。
このような構成のエキシマランプ40においては、放電容器41の内表面における、各々の外側電極45,45に対応する領域およびこれらの領域に連続する一方の内面領域にわたって、上記紫外線反射膜20が設けられ、紫外線反射膜20が設けられていないことにより光出射部44が形成されている。
このような構成のエキシマランプ50においては、例えば放電容器51の内側管53の内表面における全周にわたって上記紫外線反射膜20が設けられると共に、外側管52の内表面に、光出射部58を形成する一部分の領域を除いてシリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線反射膜20が設けられる。
11 放電容器
15 一方の電極(高電圧供給電極)
16 他方の電極(接地電極)
18 光出射部(アパーチャ部)
20 紫外線反射膜
30 アルミニウム製容器
31 支持台
35 紫外線照度計
40 エキシマランプ
41 放電容器
42 排気管
43 ゲッター
44 光出射部
45 外側電極
50 エキシマランプ
51 放電容器
52 外側管
53 内側管
55 一方の電極(高電圧供給電極)
56 他方の電極
58 光出射部
S 放電空間
Claims (1)
- 放電空間を有するシリカガラスよりなる放電容器を備え、当該放電容器を形成するシリカガラスが介在する状態で一対の電極が設けられてなり、前記放電容器の放電空間内においてエキシマ放電を発生させるエキシマランプであって、
前記放電容器の、放電空間に曝される表面に、シリカ粒子とアルミナ粒子とよりなる紫外線反射膜が形成されており、当該紫外線反射膜は、前記放電容器の管壁負荷をb〔W/cm2 〕とするとき、放電空間に曝される表面層部分において、アルミナ粒子が(10b−4)wt%以上、70wt%以下の割合で含有されてなるものであることを特徴とするエキシマランプ。
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JP7115036B2 (ja) * | 2018-05-25 | 2022-08-09 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP6896919B1 (ja) * | 2020-08-03 | 2021-06-30 | 株式会社クォークテクノロジー | 殺菌ランプ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0896767A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
JPH1131480A (ja) * | 1997-05-12 | 1999-02-02 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 誘電体バリヤ放電ランプ用放電体、誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置 |
JPH11273629A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-08 | Ushio Inc | 外部電極型放電ランプ |
JP3580233B2 (ja) * | 2000-09-19 | 2004-10-20 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
JP2005268211A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 面光源装置及びこれを有する液晶表示装置 |
JP2006049280A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蛍光ランプ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69711613T2 (de) * | 1996-12-09 | 2002-10-24 | Koninkl Philips Electronics Nv | Glasbeschichtung auf stromdurchführungsleitern in einer niederdruck natrium entladungslampe |
WO2005073620A1 (en) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Luminaire |
US7563512B2 (en) * | 2004-08-23 | 2009-07-21 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Component with a reflector layer and method for producing the same |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0896767A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
JPH1131480A (ja) * | 1997-05-12 | 1999-02-02 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 誘電体バリヤ放電ランプ用放電体、誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置 |
JPH11273629A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-08 | Ushio Inc | 外部電極型放電ランプ |
JP3580233B2 (ja) * | 2000-09-19 | 2004-10-20 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
JP2005268211A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 面光源装置及びこれを有する液晶表示装置 |
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