JP2009093922A - 真空バルブ - Google Patents

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Abstract

【課題】絶縁材料でモールドされた真空バルブのアークシールドの電位を改善する。
【解決手段】接離自在の一対の接点6、7を包囲するアークシールド容器2と、アークシールド容器2に中間部が連結された真空絶縁容器1a、1bと、真空絶縁容器1a、1bの一方端の開口部に封着された固定側封着金具3と、真空絶縁容器1a、1bの他方端の開口部に封着された可動側封着金具4と、これらの外周に設けられた絶縁層13と、固定側封着金具3に接続固定されるとともに、その端部がアークシールド容器2に対向するように設けられ、且つ絶縁層13内に埋め込まれた固定側電位調整シールド11と、可動側封着金具4に接続固定されるとともに、その端部がアークシールド容器2に対向するように設けられ、且つ絶縁層13内に埋め込まれた可動側電位調整シールド12と、絶縁層13の外周に設けられた接地層14とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、中間電位となるアークシールドの電位を改善し得る絶縁材料でモールドした真空バルブに関する。
従来、接離自在の一対の接点を有する真空バルブをエポキシ樹脂のような絶縁材料でモールドし、外部絶縁の補強がなされているが、接点を包囲している中間電位のアークシールドが接地電位側に振られ、真空バルブ内の電位分布が乱れることがある。
これを解決するため、固定側電極とアークシールド間、およびアークシールドと可動側電極間にコンデンサのような電圧分担素子を接続し、アークシールドの電位を中間電位の50%に近づけようとするものが知られている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、電圧分担素子を絶縁層内に埋め込んでいるので、部品点数が増加するとともに、異種絶縁材料となる電圧分担素子と絶縁層との接着性を向上させなくてはならず、モールド作業が困難となっている。
一方、絶縁層の外周に空隙層を設けてアークシールドと接地間の静電容量が増加することを抑制し、アークシールドの電位分担を改善するものが知られている(例えば、特許文献2参照)。しかしながら、空隙層を太径としなければならず、全体形状が大型化するとともに、空隙層内に乾燥空気のような絶縁媒体を封入するので、組立作業が困難なものとなっている。
特開2006−172848号公報 (第5ページ、図1) 特開2006−80036号公報 (第4ページ、図1)
上記の従来の絶縁材料でモールドした真空バルブにおいては、電圧分担素子を用いるものではモールド作業が困難であり、また、空隙層を設けるものでは太径となって組立作業が困難であった。なお、アークシールドの電位が接地側に大きく振られると、電位分布が乱れて耐電圧特性や遮断特性が低下する。
このため、絶縁層内には、真空バルブを構成する同種材料の金属材料を埋め込むようにし、また空隙層などを必要とせず、アークシールドの電位を50%に近づけられるものが望まれていた。真空バルブを構成する同種材料の金属材料では、絶縁層との接着性の向上が図られており、モールド作業は容易となる。
本発明は上記問題を解決するためになされたもので、絶縁材料でモールドされた真空バルブのアークシールドの電位を改善することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の真空バルブは、接離自在の一対の接点を包囲するアークシールド容器と、前記アークシールド容器に中間部が連結された真空絶縁容器と、前記真空絶縁容器の一方端の開口部に封着された固定側封着金具と、前記真空絶縁容器の他方端の開口部に封着された可動側封着金具と、前記アークシールド容器、前記真空絶縁容器、前記固定側封着金具および可動側封着金具の外周に設けられた絶縁層と、前記固定側封着金具に接続固定されるとともに、その端部が前記アークシールド容器に対向するように設けられ、且つ前記絶縁層内に埋め込まれた固定側電位調整シールドと、前記可動側封着金具に接続固定されるとともに、その端部が前記アークシールド容器に対向するように設けられ、且つ前記絶縁層内に埋め込まれた可動側電位調整シールドと、前記絶縁層の外周に設けられた接地層とを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、アークシールド容器で中間部が連結された真空絶縁容器の外周の絶縁層内に、アークシールド容器に端部が対向する電位調整シールドをそれぞれ埋め込んでいるので、アークシールド容器の電位を改善することができ、耐電圧特性や遮断特性などを向上させることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
先ず、本発明の実施例1に係る真空バルブを図1を参照して説明する。図1は、本発明の実施例1に係る真空バルブの構成を示す断面図である。
図1に示すように、アルミナ磁器などからなる筒状の真空絶縁容器1a、1bは、その中間部がステンレスなどの鉄合金からなる筒状のアークシールド容器2で気密に連結されている。真空絶縁容器1a、1bの両端開口部には、ステンレスなどの鉄合金からなる固定側封着金具3と可動側封着金具4とが封着されている。
固定側封着金具3には、一方の電路となる固定側通電軸5が固定され、真空絶縁容器1a、1b内の端部に固定側接点6が固着されている。固定側接点6に対向して、接離自在の可動側接点7が可動側封着金具4を移動自在に貫通する他方の電路となる可動側通電軸8端に固着されている。可動側通電軸8の中間部には、伸縮自在のベローズ9の一方端が気密に取り付けられ、他方端が可動側封着金具4に気密に取り付けられている。これにより、真空絶縁容器1a、1b内の真空を維持しながら、可動側通電軸8をガイド10に沿って軸方向に移動させることが可能となっている。
固定側封着金具3の外周には、端部がアークシールド容器2に対向するステンレスなどの鉄合金からなる筒状の固定側電位調整シールド11が設けられている。また、可動側封着金具4の外周にも、端部がアークシールド容器2に対向するステンレスなどの鉄合金からなる筒状の可動側電位調整シールド12が設けられている。互いの電位調整シールド11、12間は、離間し、所定の絶縁耐力を有する。
真空絶縁容器1a、1b、アークシールド容器2、電位調整シールド11、12の外周には、エポキシ樹脂のような絶縁材料をモールドして形成した絶縁層13が設けられている。絶縁層13の外周には、例えば導電性塗料を塗布して形成した接地層14が設けられている。
なお、電位調整シールド11、12は、アークシールド容器2と所定の絶縁耐力を保って絶縁層13内に埋め込まれる。また、アークシールド容器2は、接点6、7を包囲するように設けられ、金属蒸気を捕捉できるようになっている。即ち、アークシールド容器2は接点6、7が開閉する距離以上の筒長を有し、その筒長は真空絶縁容器1a、1b内の沿面距離を考慮して、真空絶縁容器1aおよび1bの筒長と同程度であれば好ましい。
ここで、固定側接点6など真空絶縁容器1a、1b内の固定側とアークシールド容器2間の静電容量をc1とし、可動側接点7など真空絶縁容器1a、1b内の可動側とアークシールド容器2間の静電容量をc2とする。アークシールド容器2と固定側電位調整シールド11間の静電容量をc3とし、アークシールド容器2と可動側電位調整シールド12間の静電容量をc4とする。また、アークシールド容器2と接地層14間の静電容量をc5とする。
アークシールド容器2の固定側においては、静電容量c1+c3となるが、絶縁層13の比誘電率が真空中よりも大きいため、c1<c3となる。可動側においては、静電容量c2+c4となるが、固定側と同様に、絶縁層13の比誘電率が真空中よりも大きいため、c2<c4となる。
これにより、アークシールド容器2の電位は、絶縁層13内で形成される大きな静電容量c3、c4、c5でほぼ決まることになり、中間電位の50%に近づけることができる。静電容量c3、c4は、電位調整シールド11、12端部の曲率やアークシールド容器2との距離などを調整することにより制御することができる。即ち、絶縁層13内で形成される固定側、可動側および対地間の静電容量比でアークシールド容器2の電位を制御することができ、静電容量c3、c4をc5と同等以上の値にすれば、接地側に振られているアークシールド容器2の電位を大幅に改善することができる。
なお、電位調整シールド11、12は、アークシールド容器2や封着金具3、4と同種の金属材料であるので、絶縁層13との接着性を良好にすることができ、モールド作業が容易となる。モールド作業においては、絶縁層13との接着性を向上させるため、例えば封着金具3、4などにサンドブラスト処理やシラン処理などを行うが、同様の処理を電位調整シールド11、12に行うことができる。また、絶縁層13は、高い絶縁耐力を有しているので、例えば電位調整シールド11、12と接地層14間の絶縁厚さを薄くすることができ、全体形状を細径とすることができる。
上記実施例1の真空バルブによれば、アークシールド容器2で連結された真空絶縁容器1a、1bの外周の絶縁層13内に、アークシールド容器2に端部が対向する電位調整シールド11、12をそれぞれ埋め込んでいるので、アークシールド容器2の電位が絶縁層13内で形成される静電容量比でほぼ決まるようになり、電位を大幅に改善することができ、耐電圧特性や遮断特性などを向上させることができる。また、電位調整シールド11、12が封着金具3、4などと同種の金属材料であり、モールド作業が容易となり、絶縁材料でモールドされた真空バルブの全体形状を細径とすることができる。
次に、本発明の実施例2に係る真空バルブを図2を参照して説明する。図2は、本発明の実施例2に係る真空バルブの構成を示す断面図である。なお、この実施例2が実施例1と異なる点は、絶縁層の絶縁厚さである。図2において、実施例1と同様の構成部分においては、同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図2に示すように、アークシールド容器2の外周部分に形成した絶縁層13を環状に突出させた太径部13aとし、これに伴って、接地層14も太径部14aとしている。
これにより、アークシールド容器2の外周部分の絶縁厚さを厚くすることができ、アークシールド容器2と接地層14間の静電容量、所謂対地間の静電容量を小さくすることができる。
上記実施例2の真空バルブによれば、アークシールド容器2の電位をより一層改善することができ、実施例1と同様の効果が得られる。
次に、本発明の実施例3に係る真空バルブを図3を参照して説明する。図3は、本発明の実施例3に係る真空バルブの構成を示す断面図である。なお、この実施例3が実施例1と異なる点は、アークシールド容器の中間部を太径としたことである。図3において、実施例1と同様の構成部分においては、同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図3に示すように、アークシールド容器2の軸方向の中間部を端部よりも太径の太径部2aとしている。端部の径は、真空絶縁容器1a、1bと同程度である。また、接点6、7間を包囲するように、アークシールド容器2の内側に接続固定された筒状のアークシールド15を設けている。
これにより、アークシールド容器2の太径部2aとなる部分が曲率を持って半径方向に広がり、この曲率部分がそれぞれの電位調整シールド11、12端部と対向するようになる。即ち、太径部2aとなる曲率を持ったアークシールド容器2部分と電位調整シールド11、12端部間の面積が広がり、アークシールド容器2とそれぞれの電位調整シールド11、12間の静電容量を増加させることができる。
また、固定側においては、アークシールド15と固定側電位調整シールド11間の静電容量が加算されることになる。可動側においても、アークシールド15と可動側電位調整シールド12間の静電容量が加算されることになる。また、接点6、7間で発生する金属蒸気をアークシールド15でより確実に捕捉できるようになる。
上記実施例3の真空バルブによれば、アークシールド容器2の電位をより一層改善することができ、実施例1と同様の効果が得られる。
次に、本発明の実施例4に係る真空バルブを図4を参照して説明する。図4は、本発明の実施例4に係る真空バルブの構成を示す断面図である。なお、この実施例4が実施例3と異なる点は、アークシールドとアークシールド容器に補助シールドを設けたことである。図4において、実施例3と同様の構成部分においては、同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図4に示すように、アークシールド15の両端開口部には、固定側封着金具3および可動側封着金具4の方向に伸びる環状の内部補助シールド16a、16bをそれぞれ接続固定している。また、アークシールド容器2の両端には、固定側電位調整シールド11および可動側電位調整シールド12の方向に伸びて対向する環状の外部補助シールド17a、17bをそれぞれ接続固定し、絶縁層13内に埋め込んでいる。
これにより、固定側においては、内部補助シールド16aと外部補助シールド17aとで形成される静電容量が加算されることになる。可動側においても、内部補助シールド16bと外部補助シールド17bとで形成される静電容量が加算されることになる。
上記実施例4の真空バルブによれば、アークシールド容器2の電位をより一層改善することができ、実施例1と同様の効果が得られる。
次に、本発明の実施例5に係る真空バルブを図5を参照して説明する。図5は、本発明の実施例5に係る真空バルブの構成を示す断面図である。なお、この実施例5が実施例4と異なる点は、絶縁層の比誘電率である。図5において、実施例4と同様の構成部分においては、同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図5に示すように、固定側電位調整シールド11と外部補助シールド17a間、および可動側電位調整シールド12と外部補助シールド17b間には、絶縁層13よりも比誘電率の大きい絶縁層18a、18bをそれぞれ設けている。この製造においては、例えばチタン酸バリウムを混合した比誘電率の大きい絶縁層18a、18bを予め電位調整シールド11、12と外部補助シールド17a、17b間に設けておき、そして主絶縁となる絶縁層13をモールドすればよい。
これにより、固定側電位調整シールド11とアークシールド容器2間、および可動側電位調整シールド12とアークシールド容器2間の静電容量を増加させることができる。なお、アークシールド容器2の外周には絶縁層18a、18bを設けていないので、アークシールド容器2と接地層14間、所謂対地間の静電容量の増加は抑制される。絶縁層18a、18bは、アークシールド容器2端部まで設けられていてもよい。
上記実施例5の真空バルブによれば、アークシールド容器2の電位をより一層改善することができ、実施例1と同様の効果が得られる。
次に、本発明の実施例6に係る真空バルブを図6を参照して説明する。図6は、本発明の実施例6に係る真空バルブの構成を示す断面図である。なお、この実施例6が実施例4と異なる点は、電位調整シールドの筒長を長くしたことである。図6において、実施例4と同様の構成部分においては、同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図6に示すように、固定側電位調整シールド11は、その端部が外部補助シールド17aを包囲し、アークシールド容器2の一方端部とラップするまで筒長を伸ばしている。可動側電位調整シールド12も、その端部が外部補助シールド17bを包囲し、アークシールド容器2の他方端部とラップするまで筒長を伸ばしている。これにより、それぞれの電位調整シールド11、12とアークシールド容器2間の静電容量を増加させることができる。
上記実施例6の真空バルブによれば、アークシールド容器2の電位をより一層改善することができ、実施例1と同様の効果が得られる。
本発明の実施例1に係る真空バルブの構成を示す断面図。 本発明の実施例2に係る真空バルブの構成を示す断面図。 本発明の実施例3に係る真空バルブの構成を示す断面図。 本発明の実施例4に係る真空バルブの構成を示す断面図。 本発明の実施例5に係る真空バルブの構成を示す断面図。 本発明の実施例6に係る真空バルブの構成を示す断面図。
符号の説明
1a、1b 真空絶縁容器
2 アークシールド容器
2a、13a、14a 太径部
3 固定側封着金具
4 可動側封着金具
5 固定側通電軸
6 固定側接点
7 可動側接点
8 可動側通電軸
9 ベローズ
10 ガイド
11 固定側電位調整シールド
12 可動側電位調整シールド
13、18a、18b 絶縁層
14 接地層
15 アークシールド
16a、16b 内部補助シールド
17a、17b 外部補助シールド

Claims (8)

  1. 接離自在の一対の接点を包囲するアークシールド容器と、
    前記アークシールド容器に中間部が連結された真空絶縁容器と、
    前記真空絶縁容器の一方端の開口部に封着された固定側封着金具と、
    前記真空絶縁容器の他方端の開口部に封着された可動側封着金具と、
    前記アークシールド容器、前記真空絶縁容器、前記固定側封着金具および可動側封着金具の外周に設けられた絶縁層と、
    前記固定側封着金具に接続固定されるとともに、その端部が前記アークシールド容器に対向するように設けられ、且つ前記絶縁層内に埋め込まれた固定側電位調整シールドと、
    前記可動側封着金具に接続固定されるとともに、その端部が前記アークシールド容器に対向するように設けられ、且つ前記絶縁層内に埋め込まれた可動側電位調整シールドと、
    前記絶縁層の外周に設けられた接地層とを
    備えたことを特徴とする真空バルブ。
  2. 前記アークシールド容器の外周に設けられた絶縁層の絶縁厚さを、前記真空絶縁容器の外周に設けられた絶縁層の絶縁厚さよりも大きくしたことを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ。
  3. 前記アークシールド容器の軸方向の中間部を端部よりも太径としたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空バルブ。
  4. 前記接点を包囲するようなアークシールドを、前記アークシールド容器の内側に接続固定したことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の真空バルブ。
  5. 前記アークシールドの両端に、前記固定側封着金具および前記可動側封着金具の方向に伸びる内部補助シールドをそれぞれ接続固定したことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の真空バルブ。
  6. 前記アークシールド容器の両端に、前記固定側電位調整シールドおよび前記可動側電位調整シールドに対向する外部補助シールドをそれぞれ接続固定し、前記絶縁層内に埋め込んだことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の真空バルブ。
  7. 前記固定側電位調整シールドと前記アークシールド容器間、および前記可動側電位調整シールドと前記アークシールド容器間の前記絶縁層の比誘電率を、前記アークシールド容器と前記接地層間よりも大きくしたことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の真空バルブ。
  8. 前記固定側電位調整シールドおよび前記可動側電位調整シールドの端部を前記アークシールド容器の端部にそれぞれラップさせたことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の真空バルブ。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011048997A (ja) * 2009-08-26 2011-03-10 Toshiba Corp モールド真空バルブ
JP2013161768A (ja) * 2012-02-09 2013-08-19 Hitachi Ltd 真空開閉器、開閉器ユニット、開閉器ユニット複合体またはスイッチギヤ
WO2023021842A1 (ja) * 2021-08-19 2023-02-23 株式会社日立産機システム ガス絶縁開閉装置
EP4177924A1 (en) * 2021-11-04 2023-05-10 Abb Schweiz Ag Vacuum interrupter assembly, switchgear including vacuum interrupter assembly, and method of configuring vacuum interrupter assembly

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58106836U (ja) * 1982-01-14 1983-07-20 株式会社明電舎 真空開閉器
JPS6180723A (ja) * 1984-09-24 1986-04-24 フアウ・エー・ベー・“オツトー・ブツフウイツツ”・シユタールクシユトロム‐アンラーゲンバウ・ドレスデン 固体絶縁真空スイツチ
JPS62252024A (ja) * 1986-04-25 1987-11-02 株式会社明電舎 真空インタラプタ
JPH0289746U (ja) * 1988-12-27 1990-07-17
JP2006172848A (ja) * 2004-12-15 2006-06-29 Toshiba Corp 電圧分担素子装着真空バルブ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58106836U (ja) * 1982-01-14 1983-07-20 株式会社明電舎 真空開閉器
JPS6180723A (ja) * 1984-09-24 1986-04-24 フアウ・エー・ベー・“オツトー・ブツフウイツツ”・シユタールクシユトロム‐アンラーゲンバウ・ドレスデン 固体絶縁真空スイツチ
JPS62252024A (ja) * 1986-04-25 1987-11-02 株式会社明電舎 真空インタラプタ
JPH0289746U (ja) * 1988-12-27 1990-07-17
JP2006172848A (ja) * 2004-12-15 2006-06-29 Toshiba Corp 電圧分担素子装着真空バルブ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011048997A (ja) * 2009-08-26 2011-03-10 Toshiba Corp モールド真空バルブ
JP2013161768A (ja) * 2012-02-09 2013-08-19 Hitachi Ltd 真空開閉器、開閉器ユニット、開閉器ユニット複合体またはスイッチギヤ
WO2023021842A1 (ja) * 2021-08-19 2023-02-23 株式会社日立産機システム ガス絶縁開閉装置
EP4177924A1 (en) * 2021-11-04 2023-05-10 Abb Schweiz Ag Vacuum interrupter assembly, switchgear including vacuum interrupter assembly, and method of configuring vacuum interrupter assembly

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