JP5641944B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

この発明は金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブに関するものである。

従来の真空バルブの中には、真空バルブ周辺の接地タンク等との絶縁距離を長くするために、金属円筒をアークシールドの機能を備えた真空容器とした真空バルブがある。この構造の真空バルブは、固定側電極と、先端に固定側電極が取り付けられた固定側電極棒と、固定側電極に対向する可動側電極と、先端に可動側電極が取り付けられた可動側電極棒と、可動側電極棒に取り付けられたベローズと、ベローズに取り付けられた可動側フランジと、上記固定側電極棒に取り付けられた固定側フランジと、固定側フランジと可動側フランジにそれぞれ取り付けられた絶縁筒と、それぞれの絶縁筒に取り付けられた金属からなる中間フランジと、それぞれの中間フランジに取り付けられたアークシールドと、それぞれのアークシールドの間に取り付けられた中間円筒を備えている。

真空バルブでは、容器の内部を真空に維持するため、セラミックスからなる絶縁筒と金属からなる中間フランジ、絶縁筒と金属からなる固定側フランジ、絶縁筒と金属からなる可動側フランジとの間を封止しなければならない。セラミックスからなる絶縁筒を金属からなる中間フランジ、固定側フランジ及び可動側フランジで封止するために、セラミックスからなる絶縁筒の端面にメタライズ層が設けられ、メタライズ層と中間フランジ、メタライズ層と固定側フランジ、メタライズ層と可動側フランジの端面はろう材でろう付けされている。

従来の真空バルブは、上記のように構成されているので、真空バルブの外側の電界が著しく高くなるという問題があった。真空バルブを六フッ化硫黄ガス中で使用する場合、絶縁筒と固定側フランジ、絶縁筒と可動側フランジ、絶縁筒と中間フランジの接続部では、トリプルジャンクションとして、メタライズ層、セラミックス及び六フッ化硫黄の誘電率が大きく異なり、電界が著しく高くなる。ただし、真空バルブ取付け状態では、固定側フランジと絶縁筒、可動側フランジと絶縁筒の接続部を金属の端子が覆い、電界が緩和されるので問題ない。すなわち、絶縁筒と中間フランジの接続部で電界が高くなる。特に、中間フランジの端面に設けられたメタライズ層の外縁が尖っているため、真空バルブの周囲に設けられた接地部位等の構造物との間の電界が極めて高くなり、絶縁破壊に至る可能性がある。

この課題を解決する手段として、絶縁筒と中間フランジを有し、真空封止された真空容器を備えた真空バルブにおいて、絶縁筒と中間フランジの接続部の外表面を覆い、接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備えている。

外部中間シールドは、円筒を約半分に分けた半円筒からなる。半円筒の内周面に周方向に沿って凸状の環状部が設けられ、この環状部の最内周面に中間円筒の外側面と密に当接するようにできている。半円筒の分割面の片側に雌ネジが切られ、分割面の他の側に半円筒の外周から分割面へ貫通したネジ穴が設けられている。もう一方の半円筒にも同様に雌ネジとネジ穴が設けられている。また、環状部の両側端面はアークシールドの固定部から中間円筒の外側面に延びた端部の間に僅かなクリアランスで嵌合している。

また、上記と異なる外部中間シールドは、半円の断面形状を有したリングで構成され、中
間フランジと絶縁筒の接続部外側を覆っている。外部中間シールドはそれぞれアークシールドの外延部の外側にろう付けによって取り付けられている。

特開２００３―２７２４９２号公報（図１及びその説明）

従来の円筒形状を約半分に分けた外部中間シールドでは、半円筒を合わせた接合部にずれがあると、接合部に高い電界が発生するため、組立時にずれが生じないように接合面を合わせる必要があり、作業性が悪いという問題がある。

また、外表面にネジを取り付けるためのネジ穴が設けられているため、真空遮断器やガス絶縁開閉装置を従来よりもさらに小型化する場合に、ネジ穴部の電界が高くなるという問題がある。

さらに、外部中間シールドをアークシールドの外延部にろう付けする構成では、ろう付け後、中間フランジと絶縁筒、中間フランジとアークシールドのろう付け部のろう回りを確認できないため、X線等でろう回りを確認する必要があり、作業工程が増えるといった
問題がある。

この発明は、前述のような実情に鑑みてなされたもので、金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の周囲の電界を容易に緩和することを目的とするものである。

この発明に係る真空バルブは、金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、上記真空容器内に上記真空容器外に露出する外延部を有するアークシールドが設けられており、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記アークシールドの外延部に設けられ、上記外部中間シールドが上記支持部と嵌め合わせによって支持されているものである。

この発明は、金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、上記真空容器内に上記真空容器外に露出する外延部を有するアークシールドが設けられており、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記アークシールドの外延部に設けられ、上記外部中間シールドが上記支持部と嵌め合わせによって支持されているので、金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の周囲の電界を容易に緩和することができる効果がある。

この発明の実施例１に係わる真空バルブの一例を示す断面図である。 この発明の実施例１のアークシールド２の一例を示す斜視図である。 この発明の実施例２に係わる真空バルブの他の例を示す断面図である。 この発明の実施例３に係わる真空バルブの他の例を示す断面図である。

実施の形態１．
図１はこの発明の実施例１の真空バルブの断面図で、図１（ａ）は真空バルブの全体の断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ部の拡大断面図である。
真空バルブは、アークシールドの役割を果たす中間円筒１と、中間円筒１の両端にろう付けされ、電流遮断時に固定側電極８と可動側電極９の間に生じる金属蒸気からセラミックス等からなる絶縁筒６，７の内沿面が汚損されることを防止するためのアークシールド２，３と、アークシールド２，３と絶縁筒６，７の間にそれぞれろう付け接続される中間フランジ４，５と、絶縁筒６の中間フランジ４と接合された端面と反対側の端面に接合された固定側フランジ１３と、絶縁筒７の中間フランジ５と接合された端面と反対側の端面に接合された可動側フランジ１４と、固定側フランジ１３に取付けられた固定側電極棒１０と、固定側電極棒１０の先端に取り付けられた固定側電極８と、可動側フランジ１４に取り付けられたベローズ１２と、可動側フランジ１４にベローズ１２を介して接続される可動側電極棒１１と、可動側電極棒１１の先端に取り付けられる可動側電極９から構成される。そして、中間フランジ４と絶縁筒６、中間フランジ５と絶縁筒７の接合部１７，１８を覆うように外部中間シールド１５，１６が取り付けられている。

この真空バルブの外部中間シールド１５，１６は、中間フランジ４，５と絶縁筒６，７の接続部１７，１８の外表面を覆って、接続部１７，１８の電界を緩和する。アークシールド２，３は、外部中間シールド１５，１６を嵌め込み易くするため、外延部２ａ，３ａに一箇所以上の切り欠きを設けている。図２に、アークシールド２に設けられた切り欠き２ｂを示す。アークシールド３にもアークシールド２と同様な切り欠きが設けられている。切り欠きを設けることによって、外部中間シールド１５，１６をアークシールド２，３に軸方向に押し込むとアークシールド２，３の外周部は径方向内方（図１（ｂ）の矢印イの方向）へ弾性的に小径化するので、外部中間シールド１５，１６をアークシールド２，３に嵌め込むことが可能となり、嵌め込み後、外延部２ａ，３ａで、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３を位置決めすることができる。
さらに、開閉動作時の振動によって外部中間シールド１５，１６が動かないようにするため、嵌め合わせ部以外に、軸方向に外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３がそれぞれ当接するように当接部１５a,１６aを設けている。以上のように、外部中間
シールド１５，１６とアークシールド２，３を嵌め合わせ構造とし、当接部１５ａ，１６ａによって位置決めするため、外部中間シールド１５，１６の外表面にネジ穴を設ける必要がなく、外部中間シールド１５，１６の外表面は滑らかである。

外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３を嵌め合わせ構造の部分Ａの詳細は、図１（ｂ）に例示してあるように、外部中間シールド１５の当接部１５ａは、外部中間シールド１５の端部における内周面に周面全体に亘る段部を形成することで形成され、段部を形成することにより、段部の周壁面である第１の径方向当接面部１５ａ１、および段部の周壁面である第１の軸方向当接面部１５ａ２が形成される。
従って、外部中間シールド１５をアークシールド２に軸方向に押し込むと、アークシールド２の外延部２ａにおける第１の軸方向当接面部２ａ１に外部中間シールド１５の第１の軸方向当接面部１５ａ２が軸方向に当接すると共に、アークシールド２の外延部２ａの
最外周端の第１の径方向当接面部２ａ２が外部中間シールド１５の第１の径方向当接面部１５ａ１に当接する。
なお、第１の径方向当接面部１５ａ１の入り口部には、外部中間シールド１５がアークシールド２に対し軸方向に移動して外部中間シールド１５とアークシールド２との嵌め合いが解けるのを防止するストッパ部１５ａ３が設けられている。
図１（ｂ）に例示のこれらの構造は、外部中間シールド１６とアークシールド３との嵌め合い部分においても同じ構造としてある。

この発明の真空バルブによれば、外部中間シールド１５，１６は、半円筒を嵌め合わせた構造ではなく、真空容器に外部中間シールド１５，１６を挿入し、ネジ等による締結作業はなく、アークシールド２，３に嵌め合わせる構造であるため、組立時にずれが生じることはなく、作業性が大幅に改善される。そして、アークシールドには外部中間シールド１５，１６の外延部２ａ，３ａで位置決めする以外に、軸方向で当接できる当接部を設けているため、開閉動作時の振動によって動くことはない。また、外表面にネジ等を取り付けるための穴は設けられておらず、外表面は滑らかであるため、局所的に電界が高くなる部位はなく、真空遮断器、ガス絶縁開閉装置を従来よりも小型化することが可能となる。さらに、絶縁筒６，７と中間フランジ４，５を真空ろう付けした後、外部中間シールドを取り付けるため、ろう付け後、絶縁筒６,７と中間フランジ４，５、中間フランジ４，５
とアークシールド２，３のろう付け部を外側から確認することができるため、X線等でろ
う回りを確認する必要がなく、作業性が大幅に改善される。

実施の形態２．
図３は、この発明の実施例２の真空バルブの断面図で、図３（ａ）は真空バルブの全体の断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＢ部の拡大断面図である。本実施の形態２の前述の図１の真空バルブと異なるのは、外部中間シールドとアークシールドとの嵌め合わせ部分の形状、構造である。

本実施の形態２の真空バルブは、開閉動作時の振動によって、外部中間シールド１５，１６がアークシールド２，３に対して径方向と軸方向に動かないようにするため、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３との嵌め合わせ部において径方向と軸方向に外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３とが実施の形態１に比べてより堅固に当接するように当接部１５ａ，１６ａを設けてある。
つまり、実施の形態１における前記当接に加え、当接部の段部を２個（複数）とし、外部中間シールド１５をアークシールド２に軸方向に押し込むと、アークシールド２の外延部２ａにおける第２の軸方向当接面部２ａ３に外部中間シールド１５の第２の軸方向当接面部１５ａ４が軸方向に当接すると共に、アークシールド２の外延部２ａの第２の径方向当接面部２ａ４が外部中間シールド１５の第２の径方向当接面部１５ａ５に当接する構造としてある。

図３（ｂ）に例示のこれらの構造は、外部中間シールド１６とアークシールド３との嵌め合い部分においても同じ構造としてある。

以上のような構成であるので、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３を嵌め合わせ部と当接部１５ａ，１６ａによって位置決めするため、外部中間シールド１５，１６の外表面にネジ穴等を設ける必要がなく、外部中間シールド１５，１６の外表面は滑らかである。

本実施の形態２の真空バルブによれば、外部中間シールド１５，１６は、半円筒を嵌め合わせた構造ではなく、真空バルブの固定側フランジ１３、可動側フランジ１４側から絶縁筒６，７を経て円環状の外部中間シールド１５，１６を挿入し、外部中間シールド１５
，１６をアークシールドの外延部２ａ，３ａに嵌め合わせる構造であるため、組立時にずれが生じることはなく、ネジ等による締結作業はなく、作業性が大幅に改善される。そして、アークシールド２，３の外延部２ａ，３ａで外部中間シールド１５，１６を位置決めするだけでなく、外部中間シールド１５，１６には外延部２ａ，３ａに径方向および軸方向に当接できる当接部１５ａ，１６ａを設けているため、開閉動作時の振動によって外部中間シールド１５，１６が径方向および軸方向に動くことがない。
また、外表面にネジ穴等は設けられておらず、外表面は滑らかであるため、局所的に電界が高くなる部位はなく、真空遮断器、ガス絶縁開閉装置を従来よりも小型化することが可能となる。さらに、絶縁筒６，７と中間フランジ４，５を真空ろう付け後、外部中間シールド１５，１６を取り付けるため、ろう付け後、絶縁筒６，７と中間フランジ４，５、中間フランジ４，５とアークシールド２，３のろう付け部を外側から確認することができる。このため、X線等でろう回りを確認する必要がなく、作業性が大幅に改善される。

実施の形態３．
図４は、この発明の実施例３の真空バルブの断面図で、図４（ａ）は真空バルブの全体の断面図、図４（ｂ）は図４（ａ）におけるＣ部の拡大断面図である。本実施の形態３の前述の図３の真空バルブと異なるのは、外部中間シールドの形状、構造である。本実施の形態３においては、外部中間シールド１５，１６は、図３の外部中間シールド１５，１６よりも中間円筒１の軸方向の中央側に長くなっており、外部中間シールド１５と外部中間シールド１６とを嵌め合わせることができるように、それぞれ嵌合部１５ｂ、嵌合部１６ｂが設けられている。

本実施の形態３の真空バルブは、開閉動作時の振動によって、外部中間シールド１５，１６が動かないようにするため、外部中間シールド１５の嵌合部１５ｂ、外部中間シールド１６の嵌合部１６ｂにおいて、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３が径方向および軸方向に当接するように構成されている。
つまり、図４（ｂ）に明示してあるように、実施の形態２における前述の外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３の外延部２ａ，３ａとの当接状態において、嵌合部１５ｂの第１の径方向当接面部１５ｂ１と嵌合部１６ｂの第１の径方向当接面部１６ｂ１とが当接し、嵌合部１５ｂの第１の軸方向当接面部１５ｂ２と嵌合部１６ｂの第１の軸方向当接面部１６ｂ２とが当接し、嵌合部１５ｂの第２の軸方向当接面部１５ｂ３と嵌合部１６ｂの第２の軸方向当接面部１６ｂ３とが当接している構成としてあり、この構成が前述の実施の形態２の構成に追加されていることにより、前述の実施の形態２より、更に堅固に、開閉動作時の振動によって外部中間シールド１５，１６が動かないようになる。

以上のような構成であるので、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３を嵌め合わせ部と当接部１５ａ，１６ａによって位置決めするため、外部中間シールド１５，１６の外表面にネジ穴等を設ける必要がなく、外部中間シールド１５，１６の外表面は滑らかである。

本実施の形態３の真空バルブによれば、外部中間シールド１５，１６は、半円筒を嵌め合わせた構造ではなく、真空バルブの固定側フランジ１３、可動側フランジ１４側から絶縁筒６，７を経て円環状の外部中間シールド１５，１６を挿入し、外部中間シールド１５，１６をアークシールドの外延部２ａ，３ａに嵌め合わせる構造であるため、ネジ等による締結作業はなく、組立時にずれが生じることがなく、作業性が大幅に改善される。そして、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３の外延部で位置決めするだけでなく、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３と嵌合させ、嵌合部１６ｂにおいて、外部中間シールド１５，１６とアークシールド２，３が径方向および軸方向に当接するように構成されているので、開閉動作時の振動によって外部中間シールド１５，１６が径方向および軸方向に動くことがない。
また、外表面にネジ等を取り付けるための穴は設けられておらず、外表面は滑らかであるため、局所的に電界が高くなる部位はなく、真空遮断器、ガス絶縁開閉装置を従来よりも小型化することが可能となる。
絶縁筒６，７と中間フランジ４，５、アークシールド２，３と中間フランジ４，５を真空ろう付け後、外部中間シールド１５，１６を取り付けるため、ろう付け後、絶縁筒６，７と中間フランジ４，５、アークシールド２，３と中間フランジ４，５のろう付け部を外側から確認することができる。このため、Ｘ線等でろう回りを確認する必要がなく、作業性が大幅に改善される。

なお、前述の実施の形態１〜３では、アークシールド２，３に外延部２ａ，３ａを設け、外延部２ａ，３ａに切り欠き２ｂ，２ｂ（２ｂは図示省略）を設けたが、中間フランジ４，５、もしくは中間円筒１に外延部を設け、当該外延部に切り欠きを設ける構造としてもよい。
また、前述の実施の形態１〜３の何れにおいても、真空バルブの固定側フランジ１３、可動側フランジ１４側から絶縁筒６，７を経て円環状の外部中間シールド１５，１６を挿入することができるように、固定側フランジ１３、可動側フランジ１４および絶縁筒６，７の各外径より外部中間シールド１５，１６の内径を大きくしてある。

上述の実施の形態１〜３は、以下の特徴を有している。
特徴１：金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている。
特徴２：特徴１において、上記個別の外部中間シールドがそれらの端部で相互に嵌合されている。
特徴３：特徴１または特徴２において、上記真空容器内に上記真空容器外に露出する外延部を有するアークシールドが設けられており、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記アークシールドの外延部に設けられている。
特徴４：特徴１または特徴２において、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間フランジの外延部に設けられている。
特徴５：特徴１または特徴２において、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間円筒の外延部に設けられている。
特徴６：特徴３〜特徴５のいずれか一において、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する上記支持部の外側に、径方向に延在する切り欠きを一箇所以上設けてある。
特徴７：特徴３〜特徴６のいずれか一において、上記外部中間シールドが上記支持部と嵌め合わせによって支持されている。
特徴８：特徴３〜特徴７のいずれか一において、上記外部中間シールドと支持部との当接箇所を二箇所以上設けてある。
特徴９：絶縁筒、中間フランジ及び中間円筒を有し、真空封止された真空容器を備えた真空バルブにおいて、絶縁筒と中間フランジの接続部の外表面を覆い、滑らかな曲面を有する外表面を備え、接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備えている。また、アークシールドに外部中間シールドを固定するための外延部を設けて、外部中間シールドを嵌め合わせる際にアークシールドの外延部を変形させて、外部中間シールドを嵌め込み易くするために、外延部に一箇所以上の切り欠きを設けている。
特徴１０：外部中間シールドは、半円筒を嵌め合わせた構造ではなく、真空バルブの固定
側フランジと可動側フランジ側から軸方向に外部中間シールドを挿入し、ネジ等による締結作業はなく、アークシールドに嵌め合わせる構造であるため、組立時にずれが生じることがなく、作業性が大幅に改善される。
特徴１１：外表面にネジ穴等は設けられておらず、外表面は滑らかであるため、局所的に電界が高くなる部位はなく、真空遮断器、ガス絶縁開閉装置を従来よりも小型化することが可能となる。
特徴１２：絶縁筒、中間フランジ及び中間円筒を真空ろう付け後、外部中間シールドを取り付けるため、ろう付け後、絶縁筒と中間フランジ、中間フランジとアークシールドのろう付け部を外側から確認することができる。このため、X線等でろう回りを確認する必要
がなく、作業性が大幅に改善される。

なお、図１〜図４において各図中、同一符合は同一または相当部分を示す。
また、図１、図３、図４におけるＡ部、Ｂ部およびＣ部が、アークシールドの外延部に設けられ真空容器へ外部中間シールドを支持する支持部の部分である。

１ 中間円筒、 ２，３ アークシールド、 ２ａ，３ａ 外延部、
２ｂ 切り欠き、 ２ａ１ 外延部２ａにおける第１の軸方向当接面部、
２ａ２ アークシールドの外延部の最外周端の第１の径方向当接面部、
２ａ３ アークシールドの外延部の第２の軸方向当接面部、
２ａ４ アークシールドの外延部の第２の径方向当接面部、
４，５ 中間フランジ、 ６，７ 絶縁筒、 ８ 固定側電極、
９ 可動側電極、 １０ 固定側電極棒、
１１ 可動側電極棒、 １２ ベローズ、 １３ 固定側フランジ、
１４ 可動側フランジ、 １５，１６ 外部中間シールド、
１５ａ，１６ａ 当接部、
１５ａ１ 外部中間シールドの第１の径方向当接面部、
１５ａ２ 外部中間シールドの第１の軸方向当接面部、
１５ａ３ 外部中間シールドのストッパ部、
１５ａ４ 外部中間シールドの第２の軸方向当接面部、
１５ａ５ 外部中間シールドの第２の径方向当接面部
１５ｂ，１６ｂ 嵌合部、
１５ｂ１ 外部中間シールドの嵌合部１５の第１の径方向当接面部、
１５ｂ２ 外部中間シールドの嵌合部１５の第１の軸方向当接面部、
１５ｂ３ 外部中間シールドの嵌合部１５の第２の軸方向当接面部、
１６ｂ１ 外部中間シールドの嵌合部１６の第１の径方向当接面部、
１６ｂ２ 外部中間シールドの嵌合部１６の第１の軸方向当接面部、
１６ｂ３ 外部中間シールドの嵌合部１６の第２の軸方向当接面部、
１７，１８ 接合部。

Claims (12)

1. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、
   上記真空容器内に上記真空容器外に露出する外延部を有するアークシールドが設けられており、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記アークシールドの外延部に設けられ、
   上記外部中間シールドが上記支持部と嵌め合わせによって支持されている
   ことを特徴とする真空バルブ。
2. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間フランジの外延部に設けられ、
   上記外部中間シールドが上記支持部と嵌め合わせによって支持されている
   ことを特徴とする真空バルブ。
3. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間円筒の外延部に設けられて、
   上記外部中間シールドが上記支持部と嵌め合わせによって支持されている
   ことを特徴とする真空バルブ。
4. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部の外側に、径方向に延在する切り欠きが一箇所以上設けられ、
   上記外部中間シールドが上記支持部と嵌め合わせによって支持されている
   ことを特徴とする真空バルブ。
5. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、
   上記真空容器内に上記真空容器外に露出する外延部を有するアークシールドが設けられており、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記アークシールドの外延部に設けられ、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する上記支持部の外側に、径方向に延在する切り欠きを一箇所以上設けた
   ことを特徴とする真空バルブ。
6. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間フランジの外延部に設けられ、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する上記支持部の外側に、径方向に延在する切り欠きを一箇所以上設けた
   ことを特徴とする真空バルブ。
7. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成されている真空バルブであって、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間円筒の外延部に設けられて、
   上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する上記支持部の外側に、径方向に延在する切り欠きを一箇所以上設けた
   ことを特徴とする真空バルブ。
8. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、
   上記個別の外部中間シールドがそれらの端部で相互に嵌合されている
   ことを特徴とする真空バルブ。
9. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、
   上記真空容器内に上記真空容器外に露出する外延部を有するアークシールドが設けられており、上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記アークシールドの外延部に設けられ、
   上記個別の外部中間シールドがそれらの端部で相互に嵌合されている
   ことを特徴とする真空バルブ。
10. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、
    上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間フランジの外延部に設けられ、
    上記個別の外部中間シールドがそれらの端部で相互に嵌合されている
    ことを特徴とする真空バルブ。
11. 金属製の中間円筒の軸線方向両側に金属製の円筒状中間フランジを介して位置する絶縁筒を有する真空容器が真空封止され固定側電極及び可動側電極を内蔵する真空バルブにおいて、上記絶縁筒と上記中間フランジとの接続部の外表面を覆い、軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、上記接続部の周囲の電界を緩和する外部中間シールドを備え、一方の上記絶縁筒と一方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドと、他方の上記絶縁筒と他方の上記中間フランジとの接続部の外表面を覆う上記外部中間シールドとが個別に設けられ、それぞれの上記外部中間シールドが、何れもその軸線方向両端部の表面がその内周から外周に亘って曲面に形成され、
    上記真空容器へ上記外部中間シールドを支持する支持部が上記中間円筒の外延部に設けられ、
    上記個別の外部中間シールドがそれらの端部で相互に嵌合されている
    ことを特徴とする真空バルブ。
12. 上記外部中間シールドと支持部との当接箇所を二箇所以上設けた
    ことを特徴とする請求項１〜請求項９の何れか一に記載の真空バルブ。

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