JP2009081438A - 電磁放射パルス幅制御装置及び電磁放射パルス幅制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この装置及び方法は、リソグラフィ装置における電磁放射パルス幅を制御するのに使用される。分割素子が電磁放射パルスを第1部分と第2部分とに分割する。プリズムが電磁放射パルスの第1部分を受けて屈折させて発する。方向変更素子が電磁放射パルスの第1部分及び第2部分を共通の光軸に平行な方向に向ける。第1部分は第2部分に組み合わされて結合放射ビームパルスを形成する。結合放射ビームパルスは、分割された電磁放射パルスよりも長いパルス幅を有するが、それに応じた強度損失は生じない。
【選択図】図6
Description
本発明の種々の実施例を上に記載したが、それらはあくまでも例示であって、それらに限定されるものではない。本発明の精神と範囲に反することなく種々に変更することができるということは、関連技術の当業者には明らかなことである。本発明の範囲と精神は上記で述べた例示に限定されるものではなく、請求項とその均等物によってのみ定義されるものである。
Claims (16)
- 電磁放射パルスを第1部分と第2部分とに分割する分割素子と、
電磁放射パルスの第1部分を受けて屈折させて発するプリズムと、
プリズムから受け取った電磁放射パルスの第1部分と、電磁放射パルスの第2部分と、を共通の光軸に平行な方向に向ける少なくとも1つの方向変更素子と、を備えることを特徴とする電磁放射パルス幅制御装置。 - 前記プリズムは、電磁放射パルスの第1部分が実質的にブルースター角で前記プリズムに入射する形状または向きを有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記プリズムは、電磁放射パルスの第1部分が前記プリズムの少なくとも1つの表面で実質的に全反射をする形状または向きを有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記プリズムは、電磁放射パルスの第1部分が前記プリズムから出射する位置において該第1部分が前記プリズムの表面に実質的にブルースター角で入射する形状または向きを有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記プリズムは、電磁放射パルスの第1部分が前記プリズムに入射する位置から離れた位置において該第1部分が前記プリズムから出射する形状または向きを有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記分割素子は、ビームスプリッタ、半透明ミラー、ミラー、またはミラーブロックを備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記方向変更素子は、ビームスプリッタ、半透明ミラー、ミラー、またはミラーブロックを備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記分割素子は、
(1)電磁放射パルスの第1部分を反射しかつ電磁放射パルスの第2部分を反射するか、
(2)電磁放射パルスの第1部分を反射しかつ電磁放射パルスの第2部分を透過させるか、または
(3)電磁放射パルスの第1部分を透過させかつ電磁放射パルスの第2部分を反射することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記方向変更素子は、
(1)電磁放射パルスの第1部分を反射しかつ電磁放射パルスの第2部分を反射するか、
(2)電磁放射パルスの第1部分を反射しかつ電磁放射パルスの第2部分を透過させるか、または
(3)電磁放射パルスの第1部分を透過させかつ電磁放射パルスの第2部分を反射することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記方向変更素子は、電磁放射パルスの第1部分及び第2部分の向きを前記共通の光軸に沿うように変えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 電磁放射パルスがp偏光されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 電磁放射パルスの第1部分がp偏光されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- リソグラフィ装置の一部であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 放射源の一部であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 放射源がレーザであることを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 電磁放射パルスのパルス幅を制御する方法であって、
(a)電磁放射パルスを第1部分と第2部分とに分割し、
(b)電磁放射パルスの第1部分を受けて屈折させて発するようプリズムを使用し、
(c)ステップ(b)後の電磁放射パルスの第1部分と、電磁放射パルスの第2部分と、を共通の光軸に平行な方向に向けることを含むことを特徴とする方法。
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