JP2009081254A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】リフトオフ法を用いた遮光膜の成膜時の耐熱温度を向上させる。
【解決手段】受光部3が形成されたシリコン基板10上にゲート絶縁膜14を形成し、このゲート絶縁膜14上に転送電極15を形成し、その表面に層間絶縁膜16を形成した後、層間絶縁膜16上及びゲート絶縁膜14上にシリコン酸化膜を形成する。このシリコン酸化膜上を平坦化し、その平坦面上の開口部形成位置にレジストマスク31を形成する。このレジストマスク31に基づいてシリコン酸化膜をエッチングし、レジストマスク31下に逆テーパ状にシリコン酸化膜30aを残存させる(図4(A))。そして、全面に遮光膜17を成膜し(図4(B))、シリコン酸化膜30aを選択的にエッチングすることにより、シリコン酸化膜30aとシリコン酸化膜30a上の遮光膜17とを除去して開口部17aを形成する(図4(C))。
【選択図】図4
【解決手段】受光部3が形成されたシリコン基板10上にゲート絶縁膜14を形成し、このゲート絶縁膜14上に転送電極15を形成し、その表面に層間絶縁膜16を形成した後、層間絶縁膜16上及びゲート絶縁膜14上にシリコン酸化膜を形成する。このシリコン酸化膜上を平坦化し、その平坦面上の開口部形成位置にレジストマスク31を形成する。このレジストマスク31に基づいてシリコン酸化膜をエッチングし、レジストマスク31下に逆テーパ状にシリコン酸化膜30aを残存させる(図4(A))。そして、全面に遮光膜17を成膜し(図4(B))、シリコン酸化膜30aを選択的にエッチングすることにより、シリコン酸化膜30aとシリコン酸化膜30a上の遮光膜17とを除去して開口部17aを形成する(図4(C))。
【選択図】図4
Description
本発明は、光電変換素子により生成した信号電荷を電圧信号に変換して出力する固体撮像装置及びその製造方法に関する。
CCD(Charge Coupled Device)型等の固体撮像装置には、光電変換素子以外に光が入らないように、光電変換素子の直上位置に開口部を有し、開口部外の領域を遮光する遮光膜が形成されている。この遮光膜の開口部は、通常、レジストマスクに基づいたエッチングにより形成されている。
具体的には、まず、光電変換素子等が形成されたシリコン基板上に絶縁膜及び電極を形成し、これらを覆うように金属膜からなる遮光膜を成膜する。この遮光膜上に、光電変換素子の直上位置が開口したレジストマスクをフォトリソグラフィ技術によって形成する。そして、そのレジストマスクに基づいて遮光膜をエッチングすることにより、光電変換素子の直上位置に開口部を形成する。このエッチングには、微細加工に適した異方性エッチングとして、反応性イオンエッチング(RIE)が採用されているが、このRIE方式では、遮光膜と絶縁膜との選択性が乏しく、オーバーエッチングにより遮光膜下の絶縁膜をエッチングしてしまう。この絶縁膜は、遮光膜から金属不純物等がシリコン基板内へ拡散し、白点や固定欠陥が生じることを防止する役割を果たしているため、エッチングされ過ぎることは好ましくない。この対策として絶縁膜を厚く形成すると、遮光膜とシリコン基板との間が広がり、遮光膜下へ侵入する光が多くなることにより、スミアが生じ易くなるといった問題が生じる。
そこで、特許文献1において、遮光膜の下地としての絶縁膜をエッチングすることなく開口部を形成することができる遮光膜の形成方法が提案されている。この遮光膜の形成方法は、いわゆるリフトオフ法を用いた方法であり、遮光膜を成膜する前に、絶縁膜上の開口形成位置にレジストマスクを形成しておき、全面に遮光膜を成膜した後、そのレジストマスクをその上面に形成された遮光膜ごと剥離除去することにより開口部を形成する方法である。
特開平9−102595号公報
しかしながら、上記の特許文献1に開示された遮光膜の形成方法では、レジストマスク上に遮光膜を成膜するため、この遮光膜の成膜温度を、レジストの耐熱温度以内としなければならない。フォトレジストの耐熱温度の上限は200℃程度であるため、スパッタ法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法で300〜400℃程度の成膜温度が要されるタングステン(W)等の金属膜を遮光膜として用いることは不可能である。近年、タングステンからなる遮光膜が広く使用されているため、タングステンを使用する場合においてもリフトオフ法を適用可能とすることが望まれている。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、リフトオフ法を用いた遮光膜の成膜時の耐熱温度を向上させることができる固体撮像装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の固体撮像装置の製造方法は、シリコン基板内に形成された受光部の直上位置に開口部を有し、前記開口部外の領域を遮光する遮光膜を備えた固体撮像装置の製造方法において、前記シリコン基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記絶縁膜上にシリコン酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、前記シリコン酸化膜上の開口部形成位置にレジストマスクを形成するマスク形成工程と、前記レジストマスクに基づいて前記シリコン酸化膜をエッチングし、前記レジストマスク下のみに前記シリコン酸化膜を残存させる酸化膜エッチング工程と、全面に遮光膜を形成する遮光膜形成工程と、前記シリコン酸化膜を選択的にエッチングすることにより、前記シリコン酸化膜と前記シリコン酸化膜上の遮光膜とを除去して開口部を形成する開口部形成工程と、を備えたことを特徴とする。
なお、前記酸化膜エッチング工程では、前記レジストマスク下に残存する前記シリコン酸化膜の側壁を、上面側から下面側に向けて内方に傾斜した逆テーパ状とすることが好ましい。これにより、シリコン酸化膜の側壁が遮光膜で覆われることが防止され、エッチングにより除去し易くなる。
また、前記酸化膜エッチング工程では、気相HF処理により前記シリコン酸化膜をエッチングすることが好ましい。気相HF処理では、酸化膜質の違いにより選択的にエッチングすることが可能であり、この場合には、前記絶縁膜は熱酸化膜であり、前記シリコン酸化膜はCVD酸化膜であることが好ましい。
また、前記酸化膜エッチング工程では、ウェットエッチングにより前記シリコン酸化膜をエッチングすることも好ましい。ウェットエッチングでは、シリコン酸化膜を選択的にエッチングすることが可能であり、この場合には、前記絶縁膜は、シリコン酸化膜上にシリコン窒化膜を積層した積層膜からなることが好ましい。
また、本発明の固体撮像装置は、上記いずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする。
本発明の固体撮像装置の製造方法によれば、受光部の直上位置に、開口形状に対応するようにパターニングしたシリコン酸化膜を用いて、いわゆるリフトオフ法により遮光膜の開口部を形成するため、遮光膜の成膜時の耐熱温度を向上させることができる。シリコン酸化膜の耐熱温度は400℃以上であるため、300〜400℃の成膜温度が要されるタングステン等を遮光膜として用いることができる。
図1において、本発明の第1の実施形態に係わる固体撮像装置2は、インターライン転送方式のCCD型イメージセンサとして構成され、受光部3が水平方向(X方向)とこれに直交する垂直方向(Y方向)に沿って2次元マトリクス状(正方格子状)に配列されている。各受光部3には、読み出しゲート4が隣接して設けられており、読み出しゲート4には、垂直列ごとに垂直転送路5が接続されている。また、各垂直転送路5の終端には、水平転送路6が共通に接続されている。さらに、水平転送路6の終端には、出力アンプ7が接続されている。
各受光部3は、入射光量に応じた量の信号電荷を光電変換により生成し蓄積する。蓄積期間(露光期間)が終了すると、各受光部3に蓄積された信号電荷は、読み出しゲート4を介して一斉に垂直転送路5に移送される。垂直転送路5に移送された信号電荷は、順に水平転送路6に向けて垂直転送され、一行ずつ水平転送路6に移送される。水平転送路6に移送された信号電荷は、順に出力アンプ7に向けて水平転送され、画素単位ごとに出力アンプ7に入力される。出力アンプ7は、入力された信号電荷を順に電荷量に応じた電圧信号に変換し、撮像信号として外部に出力する。
図1のI−I線に沿う断面構造を示す図2において、n型シリコン基板(半導体基板)10の表層にp型ウェル層11が形成されている。p型ウェル層11内には、n型層からなり光電変換により信号電荷(この場合は電子)を生成して蓄積する受光部(光電変換素子)3が形成されている。この受光部3の上には、暗電流を防止するためのp+型のホール蓄積層12が形成されている。受光部3の一方の側方には、p型ウェル層11の表層部からなる読み出しゲート4を介して、n型層からなる垂直転送路5が形成されている。受光部3の他方の側方には、p+型層からなるチャネルストップ13を介して隣接画素に属する垂直転送路5が形成されている。
シリコン基板10の表面には、酸化シリコン(SiO2)からなるゲート絶縁膜14が形成され、このゲート絶縁膜14上には、垂直転送路5、読み出しゲート4、及びチャネルストップ13の略直上を覆うように、ポリシリコンからなる転送電極15が形成されている。この転送電極15の表面には、酸化シリコンからなる層間絶縁膜16が形成されている。この層間絶縁膜16上には、転送電極15の上方及び側方を覆うとともに受光部3の直上位置に開口部17aを有するタングステンからなる遮光膜17が形成されている。
遮光膜17上には、BPSG(Boron Phosphorous Silicate Glass)からなるパッシベーション膜18が形成されており、パッシベーション膜18上には有機膜からなる平坦化膜19が形成されている。そして、この平坦化膜19上には、カラーフィルタ20が形成されており、カラーフィルタ20の上には、有機膜からなる平坦化膜21を介してマイクロレンズ22が形成されている。
次に、固体撮像装置2の製造方法を図3及び図4に示す各工程図に沿って説明する。なお、図3及び図4は、図1のI−I線に沿う断面における製造工程を示し、シリコン基板10内については、受光部3以外の図示を省略している。
シリコン基板10内にp型及びn型の不純物イオンをそれぞれ注入することにより、前述のp型ウェル層11、受光部3、ホール蓄積層12、チャネルストップ13、垂直転送路5、読み出しゲート4等(図2参照)を形成する。この後、図3(A)に示すように、熱酸化法によってシリコン基板10上にシリコン酸化膜(熱酸化膜)からなるゲート絶縁膜14を形成し、このゲート絶縁膜14上にCVD法によってポリシリコン膜を形成し、フォトリソグラフィによって形成したレジストマスクに基づいてポリシリコン膜をパターニングすることにより転送電極15を形成し、さらに熱酸化法により、転送電極15の表面上にシリコン酸化膜(熱酸化膜)からなる層間絶縁膜16を形成する。
次いで、図3(B)に示すように、CVD法により、層間絶縁膜16及びゲート絶縁膜14上を覆うように全面にシリコン酸化膜30を堆積する。なお、このシリコン酸化膜30は、CVD法により成膜されたシリコン酸化膜であることから、CVD酸化膜と称される。次いで、図3(C)に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、シリコン酸化膜30の上面を研摩して平坦化し、この平坦面上にレジスト材を塗布してフォトリソグラフィを行うことにより、受光部3の直上位置(遮光膜の開口部形成位置)に、形成する開口部の形状に対応したレジストマスク31を形成する。
次いで、レジストマスク31に基づいて、シリコン酸化膜30に対してドライエッチング(例えば、反応性イオンエッチング(RIE))を行うことにより、図4(A)に示すように、レジストマスク31下のみにシリコン酸化膜30aを残存させる。この残存したシリコン酸化膜30aの形状としては、その側壁が、上面側から下面側に向けて内方に傾斜した逆テーパ状であることが好ましい。これは、後の遮光膜の成膜の際に、シリコン酸化膜30aの側部が遮光膜で覆われてしまい、シリコン酸化膜30aの剥離除去が困難になるのを防止するためである。この逆テーパ状形状を形成するには、エッチング条件の調整により可能であり、エッチングの方向性(鉛直方向と水平方向との比率)をエッチング実行時に変化させることにより為し得る。例えば、エッチングの進行に応じて、鉛直方向への異方性から等方性の度合いを強めていけばよい。
次いで、図4(B)に示すように、スパッタ法によって全面にタングステンからなる遮光膜17を形成する。なお、遮光膜17の形成に先立って、スパッタ法により、チタンナイトライドからなる密着性層(図示せず)を形成してもよい。このときのスパッタ法による成膜温度は、300〜400℃程度であるが、シリコン酸化膜30aは、その成膜温度以上の耐熱性を有するため、従来のような問題はなく、タングステン等の高融点金属からなる遮光膜17を通常の方法で成膜可能である。
次いで、気相HF(フッ化水素)処理によるエッチングにより、図4(C)に示すように、シリコン酸化膜30aをその上面に形成された遮光膜17ごと剥離除去し、洗浄を行うことにより、開口部17aを形成する。気相HF処理は、気相HFガス中の水分濃度を制御することで、酸化膜質の違いによりエッチングレートを大きく変化させることが可能なエッチング技術である。本実施形態の場合には、熱酸化膜に対するCVD酸化膜のエッチングレートを高めることで、熱酸化膜からなるゲート絶縁膜14にダメージを与えずに、CVD酸化膜からなるシリコン酸化膜30aのみを選択的にエッチングすることができる。
この後、通常の方法にて、パッシベーション膜18、平坦化膜19、カラーフィルタ20、平坦化膜21、及びマイクロレンズ22を順に形成することにより、固体撮像装置2が完成する。
なお、上記第1の実施形態では、ゲート絶縁膜14を熱酸化膜、シリコン酸化膜30をCVD酸化膜として形成しているが、シリコン酸化膜30は、ゲート絶縁膜14と膜質が異なるシリコン酸化膜であればよく、BPSG膜やPSG膜とすることも好適である。また、ゲート絶縁膜14は、熱酸化膜に限られず、CVD酸化膜として形成してもよいし、熱酸化膜上にCVD酸化膜を積層した積層型の膜としてもよい。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図5に示すように、本発明の第2の実施形態に係わる固体撮像装置40は、シリコン窒化膜41が設けられていること以外は、上記第1の実施形態と同一の構成である。同一の部分については第1の実施形態と同一の符号を付し、説明は省略する。
シリコン窒化膜41は、層間絶縁膜16及びゲート絶縁膜14上を覆うように形成されており、ゲート絶縁膜14とともに遮光膜17の下地膜となっている。また、シリコン窒化膜41は、マイクロレンズ22を介して入射した入射光の反射を防止するための、反射防止膜として機能している。
この固体撮像装置40の製造方法を図6に示す各工程図に沿って説明する。第1の実施形態と同様に、図6は、図1のI−I線に沿う断面における製造工程を示し、シリコン基板10内については、受光部3以外の図示を省略している。
受光部3等が形成されたシリコン基板10上にシリコン酸化膜(熱酸化膜)からなるゲート絶縁膜14を形成し、このゲート絶縁膜14上に転送電極15を形成し、転送電極15の表面上にシリコン酸化膜(熱酸化膜)からなる層間絶縁膜16を形成するまでの工程は、上記と同様であり、本実施形態では、さらに、図6(A)に示すように、CVD法によって、層間絶縁膜16及びゲート絶縁膜14上にシリコン窒化膜(SiN膜)41を形成する。
次いで、上記第1の実施形態と同様に、図6(B)に示すように、CVD法によって全面にシリコン酸化膜42を堆積し、シリコン酸化膜42の上面をCMP法によって平坦化した後、図6(C)に示すように、この平坦面上の遮光膜の開口部形成位置に、形成する開口部の形状に対応したレジストマスク43を形成する。次いで、レジストマスク43に基づいてドライエッチング(例えば、反応性イオンエッチング(RIE))を行うことにより、図7(A)に示すように、レジストマスク43下のみにシリコン酸化膜42aを残存させる。この残存したシリコン酸化膜42aは、上記第1の実施形態と同様に、その側壁が、上面側から下面側に向けて内方に傾斜した逆テーパ状であることが好ましい。
次いで、図7(B)に示すように、スパッタ法によって全面にタングステンからなる遮光膜17を形成する。なお、遮光膜17の形成に先立って、スパッタ法により、チタンナイトライドからなる密着性層(図示せず)を形成してもよい。このときのスパッタ法による成膜温度は、300〜400℃程度であるが、シリコン酸化膜42aは、その成膜温度以上の耐熱性を有するため、従来のような問題はなく、タングステン等の高融点金属からなる遮光膜17を通常の方法で成膜可能である。
次いで、本実施形態では、ウェットエッチングにより、図7(C)に示すように、シリコン酸化膜42aをその上面に形成された遮光膜17ごと剥離除去し、洗浄を行うことにより、開口部17aを形成する。このウェットエッチングの薬液としては、HF水溶液を用いる。このウェットエッチングでは、シリコン窒化膜に比べ、シリコン酸化膜に対するエッチングレートが極めて高いため、シリコン窒化膜41にダメージを与えずに、シリコン酸化膜42aのみを選択的にエッチングすることができる。
この後、通常の方法にて、パッシベーション膜18、平坦化膜19、カラーフィルタ20、平坦化膜21、及びマイクロレンズ22を順に形成することにより、固体撮像装置40が完成する。
なお、上記第2の実施形態では、ゲート絶縁膜14を熱酸化膜、シリコン酸化膜42をCVD酸化膜として形成しているが、シリコン酸化膜42は、BPSG膜やPSG膜とすることも好適である。また、ゲート絶縁膜14は、熱酸化膜に限られず、CVD酸化膜として形成してもよいし、熱酸化膜上にCVD酸化膜を積層した積層型の膜としてもよい。
また、上記第2の実施形態では、ウェットエッチングによりシリコン酸化膜42aを除去するリフトオフを行っているが、ウェットエッチングに代えて、気相HF処理を用いることも勿論可能である。
また、上記第1及び第2の実施形態では、固体撮像装置としてインターライン転送方式のCCD型イメージセンサを例に挙げているが、本発明はこれに限定されるものでなく、フレーム転送方式のCCD型イメージセンサにも適用可能である。さらには、本発明は、CMOS型イメージセンサ等にも適用可能である。
2 固体撮像装置
3 受光部
10 シリコン基板
14 ゲート絶縁膜
15 転送電極
16 層間絶縁膜
17 遮光膜
17a 開口部
30 シリコン酸化膜
31 レジストマスク
40 固体撮像装置
41 シリコン窒化膜
42 シリコン酸化膜
43 レジストマスク
3 受光部
10 シリコン基板
14 ゲート絶縁膜
15 転送電極
16 層間絶縁膜
17 遮光膜
17a 開口部
30 シリコン酸化膜
31 レジストマスク
40 固体撮像装置
41 シリコン窒化膜
42 シリコン酸化膜
43 レジストマスク
Claims (7)
- シリコン基板内に形成された受光部の直上位置に開口部を有し、前記開口部外の領域を遮光する遮光膜を備えた固体撮像装置の製造方法において、
前記シリコン基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記絶縁膜上にシリコン酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、
前記シリコン酸化膜上の開口部形成位置にレジストマスクを形成するマスク形成工程と、
前記レジストマスクに基づいて前記シリコン酸化膜をエッチングし、前記レジストマスク下のみに前記シリコン酸化膜を残存させる酸化膜エッチング工程と、
全面に遮光膜を形成する遮光膜形成工程と、
前記シリコン酸化膜を選択的にエッチングすることにより、前記シリコン酸化膜と前記シリコン酸化膜上の遮光膜とを除去して開口部を形成する開口部形成工程と、
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記酸化膜エッチング工程では、前記レジストマスク下に残存する前記シリコン酸化膜の側壁を、上面側から下面側に向けて内方に傾斜した逆テーパ状とすることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記酸化膜エッチング工程では、気相HF処理により前記シリコン酸化膜をエッチングすることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記絶縁膜は熱酸化膜であり、前記シリコン酸化膜はCVD酸化膜であることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記酸化膜エッチング工程では、ウェットエッチングにより前記シリコン酸化膜をエッチングすることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜上にシリコン窒化膜を積層した積層膜からなることを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 請求項1から6いずれか1項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする固体撮像装置。
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JP2007248966A JP2009081254A (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013045851A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Daido Steel Co Ltd | 薄膜磁気センサ及びその製造方法 |
JP2020021855A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 日本放送協会 | 撮像素子およびその製造方法 |
-
2007
- 2007-09-26 JP JP2007248966A patent/JP2009081254A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013045851A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Daido Steel Co Ltd | 薄膜磁気センサ及びその製造方法 |
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