JP2009081221A - 光学特性計測装置、光学特性計測方法、露光装置、露光方法及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被検光学系3の光学特性を計測する光学特性計測装置において、前記被検光学系3の像面側に入射面が位置するように配置され、前記被検光学系3を介した計測光を伝送する導光部材6と、前記導光部材6の射出面側に配置され、前記導光部材6により伝送された前記計測光を検出する検出部7と、前記導光部材6の前記入射面又は前記射出面に設けられ、前記計測光を前記検出部7に導くための所定形状のパターン5とを有する。
【選択図】図1
Description
Claims (21)
- 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置において、
前記被検光学系の像面側に入射面が位置するように配置され、前記被検光学系を介した計測光を導光する導光部材と、
前記導光部材の射出面側に配置され、前記導光部材により導光された前記計測光を検出する検出部とを有し、
前記導光部材の前記入射面又は前記射出面は、所定形状のパターンを備えることを特徴とする光学特性計測装置。 - 前記被検光学系の物体面に配置された周期パターンを有し、
前記所定形状のパターンは、周期性をもつパターンを含み、
前記検出部は、前記計測光が前記周期パターンと前記所定形状のパターンとを通過することにより形成されるモアレ縞を検出することを特徴とする請求項1記載の光学特性計測装置。 - 前記被検光学系の物体面に配置されたピンホールパターンを有し、
前記所定形状のパターンは、前記導光部材の前記入射面の高さを異ならせて形成した凸状形状または凹状形状を含み、
前記検出部は、前記ピンホールパターン、前記被検光学系及び前記所定形状のパターンを通過した前記計測光の光量分布を検出することを特徴とする請求項1記載の光学特性計測装置。 - 前記計測光は紫外域の波長を含み、
前記導光部材は複数のファイバーを束にして構成され、
前記入射面には、前記導光部材を構成する個々のファイバーの直径以下の厚みを有する蛍光膜が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の光学特性計測装置。 - 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置において、
前記被検光学系の像面側に入射面が位置するように配置され、かつ前記入射面に設けられた蛍光膜を有し、前記被検光学系を介した計測光を導光する導光部材と、
前記導光部材の射出面側に配置され、前記導光部材により導光された前記計測光を検出する検出部と
を有することを特徴とする光学特性計測装置。 - 前記被検光学系の物体面に配置されたピンホールパターンと、
前記被検光学系の像面に配置された回折格子とを備え、
前記検出部は、前記導光部材を介して前記回折格子により発生した干渉縞を検出することを特徴とする請求項5記載の光学特性計測装置。 - 前記被検光学系の物体面に配置されたピンホールパターンと、
前記被検光学系の像面と前記導光部材の前記入射面との間の光路中に配置されたマイクロレンズアレイとを備え、
前記検出部は、前記導光部材を介して前記マイクロレンズアレイにより集光された前記計測光による点像を検出することを特徴とする請求項5記載の光学特性計測装置。 - 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置において、
入射面に、入射する光の一部を反射すると共に一部を透過する反射透過膜が形成された導光部材と、
前記反射透過膜を透過し前記導光部材により導光された計測光を検出する第1検出部と、
前記反射透過膜により反射された前記計測光を検出する第2検出部と、
を備えることを特徴とする光学特性計測装置。 - 前記反射透過膜は、誘電体多層膜を含むことを特徴とする請求項8記載の光学特性計測装置。
- 前記導光部材は、前記入射面に、所定形状を有する計測用パターンを有することを特徴とする請求項8または9記載の光学特性計測装置。
- 前記計測用パターンは、前記導光部材の前記入射面の高さを異ならせて形成した凸状形状または凹状形状であることを特徴とする請求項10記載の光学特性計測装置。
- 前記計測光は紫外域の波長を含み、
前記導光部材は複数のファイバーを束にして構成され、
前記入射面には、前記導光部材を構成する個々のファイバーの直径以下の厚みを有する蛍光膜が形成されていることを特徴とする請求項8乃至11の何れか一項に記載の光学特性計測装置。 - 前記蛍光膜は、蒸着により形成されていることを特徴とする請求項4乃至7、及び12の何れか一項に記載の光学特性計測装置。
- 導光部材の光学特性を計測する光学特性計測方法において、
結像光学系の物体面に第1計測用パターンを配置する第1配置工程と、
前記導光部材の入射面が前記結像光学系の像面に位置するように前記導光部材を配置する第2配置工程と、
前記導光部材の射出面側に検出装置を配置する検出装置配置工程と、
計測光により前記第1計測用パターンを照明する照明工程と、
前記第1計測用パターンと、前記導光部材の入射面側に配置された第2計測用パターンとを介して形成された第1モアレ縞を前記導光部材を介して前記検出装置に導光して計測する第1計測工程と、
前記第1計測用パターンと、前記導光部材の射出面側に配置された前記第3計測用パターンとを介して形成された第2モアレ縞を前記検出装置で計測する第2計測工程と、
を含むことを特徴とする光学特性計測方法。 - 第1導光部材の光学特性を計測する光学特性計測方法において、
結像光学系の物体面に第1パターンを配置する第1配置工程と、
前記第1導光部材の入射面側に、第2導光部材を配置する第2配置工程と、
前記第2導光部材の入射面が前記結像光学系の像面に位置するように前記第1導光部材及び前記第2導光部材を配列する配列工程と、
前記結像光学系と、前記第2導光部材の入射面側に配置された第2パターンとを介して、前記第1パターンからの計測光を前記第2導光部材及び前記第1導光部材により検出部に導光する第1導光工程と、
前記検出部により前記第1導光工程により導光された前記計測光を検出する第1検出工程と、
前記第2導光部材及び前記第1導光部材の少なくとも一方を移動する移動工程と、
前記移動工程の後、前記第1パターンからの前記計測光を前記結像光学系及び前記第2パターンを介して前記第2導光部材及び前記第1導光部材により検出部に導光する第2導光工程と、
前記検出部により前記第2導光工程により導光された前記計測光を検出する第2検出工程と、
前記第1検出工程による検出結果及び前記第2検出工程による検出結果を比較する比較工程と、
を含むことを特徴とする光学特性計測方法。 - 前記移動工程は、前記第1導光部材及び前記第2導光部材の少なくとも一方を前記入射面に直交する方向を軸として回転させることを特徴とする請求項15記載の光学特性計測方法。
- 前記移動工程は、前記第1導光部材及び前記第2導光部材の少なくとも一方を前記入射面に平行な方向に移動させることを特徴とする請求項15記載の光学特性計測方法。
- 前記計測光は紫外域の波長を含み、
前記導光部材は複数のファイバーを束にして構成され、
前記第2導光部材の入射面には、該第2導光部材を構成する個々のファイバーの直径以下の厚みを有する蛍光膜が形成されていることを特徴とする請求項14乃至17の何れか一項に記載の光学特性計測方法。 - 第1面に配置されているパターンを第2面に配置される感光性基板上に形成する露光装置において、
請求項1乃至14の何れか一項に記載の光学特性計測装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 第1面に配置されているパターンを第2面に配置される感光性基板上に形成する露光方法において、
前記パターンを照明する照明工程と、
前記照明工程により照明された前記パターンの像を請求項1乃至13の何れか一項に記載の光学特性計測装置により計測された光学系により前記感光性基板上に形成する形成工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項20記載の露光方法を用いてパターンの像を感光性基板上に露光する露光工程と、
前記露光工程により露光された前記感光性基板を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007248404A JP5303886B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 光学特性計測装置、光学特性計測方法、露光装置、露光方法及びデバイスの製造方法 |
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