JP2009072776A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基板上のあらかじめ定めた数の分注位置において、流体材料の液滴を分注するようにディスペンサを作動する方法であって、
   あらかじめ定めた数の分注位置の座標を記憶し、それらの座標を使用して、前記分注位置を通る連続的な移動通路を生成するステップを含み、前記連続的な移動通路は、少なくとも１つの非線形の通路セグメントを含んでおり、
   前記分注位置を通る補正された連続的な移動通路を生成するステップと、
   前記補正された連続的な移動通路にそってディスペンサを連続的に移動させるステップと、
   前記あらかじめ定めた数の分注位置で基板上にディスペンサから流体材料の液滴を分注するステップとを含み、
   各々の分注位置に到達する前に、前記ディスペンサが前記液滴のうちの１つの分注を開始する信号が供給されるようになっている、
   ことを特徴とする方法。
2. 前記分注位置を通る補正された連続的な移動通路を生成するステップは、
   前記分注位置を通して前記ディスペンサを連続的に移動させるステップと、
   前記分注位置の各々における前記ディスペンサの実際の位置を時間の関数として記録するステップと、
   前記分注位置の各々における前記ディスペンサの実際の位置を統計的に解析して、補正された連続的な移動通路を生成するステップと、
   を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記ディスペンサの実際の位置は、前記ディスペンサを移動させる複数の軸駆動部に設けられたエンコーダを使用して記録されることを特徴とする、請求項２に記載の方法。
4. 前記分注位置を通る補正された連続的な移動通路を生成するステップは、
   前記分注位置を通して前記ディスペンサを連続的に移動させるステップと、
   前記分注位置の各々においてテスト用基板の上にテスト用の液滴を分注するステップと、
   第一のテスト用基板の上の各々のテスト用の液滴について着地位置を測定するステップと、
   前記テスト用基板の上の各々のテスト用の液滴について測定された着地位置を、予想された着地位置と比較して、前記各々のテスト用の液滴について空間誤差を生成するステップと、
   前記各々のテスト用の液滴についての空間誤差を統計的に解析して、補正された連続的な移動通路を生成するステップと、
   を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
5. 前記基板の上の各々のテスト用の液滴について着地位置を測定するステップは、
   前記基板の上のテスト用の液滴の画像を分析することを含む、
   ことを特徴とする、請求項４に記載の方法。