KR20090031251A - 유체 분배기를 연속하여 이동시키면서 유체 물질의 양을 분배하는 방법 - Google Patents

유체 분배기를 연속하여 이동시키면서 유체 물질의 양을 분배하는 방법 Download PDF

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로날드 엔. 아버나시
클리포드 에이. 파우러
필립 피. 마이오르카
호라티오 퀸오네스
토마스 래틀리지
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노드슨 코포레이션
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Abstract

회로기판과 같은 기판에 유체 물질을 적용하면서 연속하여 유체 분배기를 이동시키는 방법이 개시된다. 일부 방법은 일반적으로 기판상의 예상 및 실제 랜딩 위치, 또는 각각의 분배 위치에서 분배기의 예상 및 실제 위치의 통계학적 비교를 실행하는 것에 의하여 유체 물질의 각각의 분배된 양에 대한 분배 위치를 보정하는 단계를 수반한다. 다른 방법은 분배기의 이동을 위하여 서보 사이클에 의해 지정된 보정 계수에 의하여 또는 타이머의 부분적인 서보 사이클 우대(courtesy)에 의해 지정된 보정 계수에 의하여 보정된 분배 위치에서 유체 물질의 양의 분배를 개시한다.
기판, 유체 물질, 분배, 보정

Description

유체 분배기를 연속하여 이동시키면서 유체 물질의 양을 분배하는 방법{Methods for continuously moving a fliud dispenser while dispensing amounts of a fluid material}
본 발명은 일반적으로 유체 물질을 분배하기 위한 방법에 관한 것이고, 특히 회로기판 또는 다른 형태의 기판상에 유체 분배기로부터 언더필 물질(underfill material)과 같은 유체 물질을 분배하기 위한 방법에 관한 것이다.
기계적으로 작동되는 "분출(jetting)" 분배기는 통상 회로기판상으로 비접촉 방식으로 고점성 유체 물질의 미소량(minute amount) 또는 작은 액적(droplet)을 선택적으로 분배하도록 전자 산업에서 사용된다. 전형적인 분출 시스템은 방출 통로를 둘러싸는 밸브 시트를 선택적으로 결합하도록 구성되는 한쪽 단부에서 밸브 요소를 가지는 공압 작동 니들(needle)을 구비한 애플리케이터(applicator) 또는 분출 분배기를 포함한다. 밸브 요소와 밸브 시트 사이의 접촉은 압축된 유체 물질이 공급되는 챔버로부터의 방출 통로를 밀봉한다. 유체 물질의 작은 액적을 분출하도록, 밸브 요소는 밸브 시트와의 접촉으로부터 후퇴된다. 소량의 유체 물질은 밸브 시트를 지나서 방출 통로 내로 흐르는 것이 허용된다. 밸브 요소는 그런 다음 공간을 폐쇄하도록 밸브 시트를 향해 급속히 이동한다. 체적에서의 급속한 감소는 방출 통로를 통해 유체 물질을 압출하고, 유체를 통하여 진행하는 충격파(shock wave) 및/또는 압출 공정에 의해 부과되는 운동량은 유체 물질의 액적이 방출 통로의 출구로부터 분사 또는 "분출"되도록 유발한다. 유체 물질의 작은 분리량을 함유하는 액적은 탄도 궤도(ballistic trajectory)로 진행하고, 궁극적으로 회로기판상의 특정 위치에 랜딩한다(land).
분출 분배기는 고정된 높이에서 회로기판 위에서 "비행(fly)"할 수 있으며, 비접촉 방식으로 의도된 적용 영역 상으로 물질을 분출한다. "비행으로" 물질을 급속히 분출하는 것에 의하여(즉, 분출 분배기가 운전하고 있는 동안), 분배된 액적은 연속적인 선을 형성하도록 결합될 수 있다. 결과적으로, 분출 분배기는 필요한 패턴의 유체 물질을 분배하도록 용이하게 프로그램될 수 있다. 이러한 다재성(versatility)은 전자 산업에서 다양한 응용에 적합한 분출 분배기를 만들었었다.
이러한 유체 물질을 적용하기 위한 분출 분배기는 전형적으로 부품을 지지하는 회로기판의 표면을 가로지르는 패턴으로 로봇에 의해 이동된다. 그러나, 상기 운동은 연속적이지 않다. 회로기판에 대한 상대 운동이 분출 분배기를 적절한 분배 위치에 배치할 때, 유체 물질은 분출 분배기로부터 회로기판의 대응하는 영역 또는 부품상으로 분배된다. 로봇은 그런 다음 유체 물질을 수용하도록 예정된 다음의 영역 또는 부품으로 분출 분배기를 이동시키고, 연속하여 또 다른 양(amount)의 유체 물질을 분배한다.
유체 물질이 분배될 때마다, 로봇은 회로기판상의 영역들 또는 부품들 사이에서 이동하도록 분출 분배기를 가속시켜야만 한다. 유사하게, 로봇은 일정량의 유체 물질의 분배에 앞서 분출 분배기의 운동을 느리게 할 때 감속하여야만 한다. 예를 들어, 언더필 물질은 통상 짧은 선 부분(line segment)을 형성하도록 일련의 연속적인 이벤트(event)로 분배된다. 특정 응용에서, 일관된 선 부분들 사이의 정지 및 개시는 분배 시간을 늘리며, 또한 분출 분배기에서 진동을 유발한다.
그러므로, 연속하여 이동하는 분출 분배기로부터 회로기판상으로 유체 물질의 양을 더욱 정확하게 분배할 수 있는 개선된 유체 물질의 적용 방법이 필요하게 된다.
하나의 실시예에서, 다수의 분배 위치에서 유체 물질의 양을 분배하도록 분배기를 동작시키는 방법은 분배 위치를 연결하는 일정한 운동 궤도를 통하여 분배기를 연속하여 이동하면서, 각각의 분배 위치에서 분배기의 정확한 위치를 측정하는 단계를 포함한다. 각각의 실제 위치는 공간 에러(spatial error)를 발생시키도록 각각의 분배 위치와 비교된다. 상기 비교에 기초하여, 분배 위치중 적어도 하나는 각각의 공간 에러를 감소시키도록 보정된다.
또 다른 실시예에서, 다수의 분배 위치에서 유체 물질의 양을 분배하도록 분배기를 동작시키는 방법은 분배 위치를 연결하는 일정한 운동 궤도를 통하여 분배기를 연속하여 이동하면서, 유체 물질의 양중 하나를 분배하도록 각각의 분배 위치에서 분배기를 기동하는(triggering) 단계를 포함한다. 분배기로부터 분배된 유체 물질의 양은 기판상에 증착되고, 기판상의 랜딩(landing) 위치의 공간 좌표는 유체 물질의 각각의 증착된 양(deposited amount)에 대해 측정된다. 각각의 랜딩 위치의 공간 좌표는 공간 에러를 발생시키도록 기판상의 각각의 예상된 랜딩 위치에 대한 공간 좌표와 비교된다. 상기 비교에 기초하여, 분배 위치중 적어도 하나는 공간 에 러를 감소시키도록 보정된다.
또 다른 실시예에서, 일정한 운동 궤도에 의해 연결된 다수의 분배 위치에서 유체 물질의 양을 분배하도록 분배기를 동작시키는 방법이 제공된다. 상기 방법은 일정한 운동 궤도를 통해 서보 제어(servo control) 하에서 분배기를 연속하여 이동시키며, 서보 사이클에 의해 주어진 갱신 속도(updating rate)로 분배기의 연속적인 이동의 방향을 변화시키는 단계를 포함한다. 분배기가 각각의 분배 위치에 도달하기에 앞서 주어진 수의 서보 사이클에 있을 때, 제어 신호는 각각의 양의 분배를 개시하도록 분배기로 전송한다. 대안적으로, 타이머는 서보 사이클의 본래의 시간(native time)을 개선하도록 사용될 수 있다. 분배를 개시하는 트리거(trigger)는 분배기가 서보 사이클에서 각각의 필요한 분배 위치 위에 위치될 때의 인식(knowledge)이다. 분배기로부터 분배된 유체 물질의 양은 기판상에 증착된다.
본 명세서에 통합되고 명세서의 부분을 구성하는 첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 실시예를 예시하고, 상기된 본 발명의 실시예의 일반적인 설명과 함께, 다음의 상세한 설명은 본 발명의 실시예의 원리를 설명하도록 작용한다.
본 발명에 따른 유체 물질의 양을 분배하는 방법에 의하면, 연속하여 이동하는 분출 분배기로부터 회로기판상으로 유체 물질의 양이 더욱 정확하게 분배될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하여, 유체 물질 분출 시스템(10)은 패널에 의해 부분적 으로 커버되는 상호 연결된 수직 및 수평 빔의 프레임으로 이루어진 캐비닛(11)을 포함한다. 분출 시스템(10)은 예를 들어 접착제, 에폭시, 접합물(solder)과 같은 유체 물질의 양(48)의 분배하기 위한 유체 물질 액적 발생기(12)를 포함한다. 유체 물질 액적 발생기(12)는 Z-축선 구동 메커니즘(15) 상에 장착되고 캐비닛(11)에 의해 지지되는 X-Y 포지셔너(14, positioner)에 현수된다. X-Y 포지셔너(14)는 한 쌍의 독자적으로 제어 가능한 축선 방향 구동부(16, 17)에 의해 작동된다. 유사하게, Z-축선 구동 메커니즘(15)은 축선 방향 구동부(18)에 의해 작동된다. X-Y 포지셔너(14)과 Z-축선 구동 메커니즘(15)은 액적 발생기(12)에 대해 3개의 실질적으로 직각인 운동 축선을 제공한다.
축선 방향 구동부(16, 17, 18)는 컴퓨터(24)에 의해 조정된 고정밀 좌표 위치 서보 제어에 의해 3차원 데카르트(Cartesian) 좌표 프레임에서, 다중 운동 축선(21, 22, 23)에 대해 인쇄회로기판과 같은 기판(20)의 표면 위에서 액적 발생기(12)를 신속히 이동시킬 수 있다. 축선 방향 구동부(16, 17, 18)는 각각 X, Y, Z-축선(21, 22, 23)에 대해 상대 운동을 제공하도록 모터와 구동 회로와 같은 X-Y 포지셔너(14)와 Z-축선 구동 메커니즘(15)의 전자 기계 부품을 포함한다. 액적 발생기(12)가 기판(20) 위의 상이하고 다양한 높이로부터 유체 물질을 분배하거나 또는 기판(20) 상에 장착된 부품을 처리(clear)하도록 Z-축선 구동 메커니즘(15)을 사용하여 상승 및 하강될 수 있을지라도, 액적 발생기(12)는 통상 단일의 고정된 높이로부터 유체 물질의 액적을 분사 또는 분출한다.
캐비닛(11)에 장착된 컴퓨터(24)는 분출 시스템(10)에 대한 전체적인 제어를 제공하여, 움직임 및 작동을 조정한다. 컴퓨터(24)는 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 이해될 수 있는 것으로서 프로그램 가능한 논리 제어기(PLC), 디지털 신호 프로세서(DSP), 또는 메모리(25)에 저장된 소프트웨어를 실행하고 본 명세서에 기술된 기능을 수행할 수 있는 중앙 처리 유닛을 구비한 다른 마이크로프로세서 기반 제어기일 수 있다. 인간 기계 인터페이스(human machine interface, HMI) 장치(26)는 공지된 방식으로 컴퓨터(24)에 동작 가능하게 연결된다. HMI 장치(26)는 알파벳 수치(alphanumeric) 디스플레이, 터치 스크린 및 다른 시각적 인디케이터와 같은 출력 장치와, 작업자로부터 명령 또는 입력을 수령하고 진입된 입력을 컴퓨터(24)의 중앙 처리 유닛으로 전송할 수 있는 알파벳 수치 키보드, 포인팅 장치, 키패드, 누름 버튼, 제어 노브 등과 같은 입력 장치 및 제어부를 포함할 수 있다. 컴퓨터(24)는 기판 제조 조립 라인에서 이용되는 자동화된 설비와 호환 가능한 표준 통신 버스(28)를 구비할 수 있다. 캐비닛(11)에 의해 지지되는 제어 패널(30)은 예를 들어 셋업, 교정(calibration), 유체 물질 적재 동안 특정 기능의 수동 개시를 위한 누름 버튼을 포함한다.
컴퓨터(24) 및 축선 방향 구동부(16)와 전기적으로 결합되는 운동 컨트롤러(32)는 액적 발생기(12), 첨부된 비디오 카메라 및 광 조립체(34)의 3차원 운동을 제어한다. 운동 컨트롤러(32)는 각각의 축선 방향 구동부(16, 17, 18)와 전기 통신하며, 컴퓨터(24)의 지시하에서 공지된 방식으로 개별적인 축선 방향 구동부(16, 17, 18)의 구동 회로를 분리하는 명령 신호를 제공한다. 컴퓨터(24)는 전형적으로 일련의 기판(20)에 대해 반복되는 입안된(scripted) 방식으로 축선 방향 구 동부(16, 17, 18)를 이동시키도록 운동 컨트롤러(32)에 지시한다.
비디오 카메라 및 광 조립체(34)는 슬롯(50)을 검사하여 기판(20)상의 참조 기준 기점(reference fiducial point)을 위치 선정하도록 액적 발생기(12)와 함께 이동한다. 비디오 카메라 및 광 조립체(34)는 그 전체에 있어서 참조에 의해 본 명세서에 통합되는 미국특허 제5,052,338호에 기술된 형태의 것일 수 있다. 비디오 카메라 및 광 조립체(34)는 시각(vision) 회로(36)와 전기적으로 결합되고, 시각 회로는 기판(20)의 상부면(37)을 조명하기 위한 라이트에 전력을 공급한다. 시각 회로(36)는 조립체(34)에 있는 비디오 카메라로부터 이미지를 수신하여 분출 작업동안 컴퓨터(24)로 전송하며, 비디오 카메라는 전하 결합 소자(CCD, charge-coupled device)일 수 있다.
분출된 유체 물질의 양(48)을 수용하도록 의도된 기판(20)은 컨베이어(38)에 의해 액적 발생기(12) 밑으로 직접 운반된다. 종래 디자인의 컨베이어(38)는 상이한 치수의 기판(20)을 수용하도록 조정될 수 있는 폭을 가진다. 컨베이어(38)는 또한 공압으로 작동되는 리프트 및 록킹 메커니즘(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 컨베이어(38)는 일군(batch)의 기판(20)에 있는 각각의 기판(20)을 도 2에서 단일 헤드 화살표(40)에 의해 지시된 바와 같이 액적 발생기(12)에 가까이 있는 필요한 위치로 연속하여 이동시킨다.
도 1 및 도 2를 참조하여, 컨베이어 컨트롤러(42)는 기판 컨베이어(38)와 전기적으로 연결된다. 컨베이어 컨트롤러(42)는, 컴퓨터(24)의 지시하에서, 폭 조정 및 컨베이어(38)의 리프트 및 록킹 메커니즘을 제어하기 위하여 운동 컨트롤러(32) 와 컨베이어(38) 사이의 인터페이스를 제공한다. 대안적으로, 운동 컨트롤러(32)를 통한 제어 신호의 루트를 정하지 않고 컨베이어 컨트롤러(42)와 직접 연결될 수 있다. 컨베이어 컨트롤러(42)는 또한 유체 물질 적용 전후에 분출 시스템(10)을 통한 기판(20)의 전달을 제어한다.
각각의 축선 방향 구동부(16, 17, 18)는 각각 폐쇄 루푸 피드백 제어를 위하여 사용되는 엔코더(44, 45, 46)를 포함한다. 엔코더(44, 45, 46)는 각각의 축선 방향 구동부(16, 17, 18)의 동작을 반영하는 신호를 발생시키고, 축선 방향 구동부는 차례로 기판(20)에 대한 액적 발생기(12)의 위치에서의 변화를 나타낸다.
상기 액적 발생기(12)는 기판(20)의 상부면(37)을 향하여 하향하여 분출 분배기(60)로부터 액적 또는 유체 물질의 양(48)을 분출한다. 상부면(37)에 충돌하는 유체 물질의 양(48)은 유체 물질 도트(50, dot)로서 기판(20) 상에서의 충돌로 적용된다. 기판(20)은 표면 지지 장착 부품(carrying surface-mounted component)의 형태일 수 있으며, 이는 기판(20) 상의 목표화된 위치에서 유체 물질 도트(50)를 형성하도록 정확한 배치로 미소의 유체 물질의 양(48)을 신속하게 분출하는데 필수적이다. 액적 발생기(12)는 연속적인 분출된 유체 물질의 양(48)이 유체 물질의 부분 또는 선, 또는 기판(20)의 상부면(37) 상에서 도트(50)의 선을 형성하도록 작동될 수 있다. 본 발명에서 사용되는 바와 같은, 용어 "분출"은 유체 물질의 양(48)을 형성하기 위한 그리고 도트(50, 또는 선(52))를 형성하기 위한 공정을 지칭한다. 분출 분배기(60)는 매우 높은 속도로, 예를 들어 초당 100 이상, 또는 더욱 미소량으로 노즐(98)에 있는 개구 또는 출구 오리피스(102)로부터 유체 물질의 양(48)을 분출할 수 있다.
분출 분배기(60)는 미소량의 유체 물질(48)을 분출하기 위하여 특별하게 디자인된 비접촉 분배기이다. 분출 분배기(60)는, 에어 실린더(66)에 배치된 에어 피스톤(64)과, 에어 피스톤(64)으로부터 챔버(70) 내로 연장하는 하부 로드 또는 샤프트(68)를 포함하는 액추에이터 또는 니들 밸브(62)를 포함한다. 샤프트(68)의 하단부(72)는 복귀 스프링(76)에 의해 편향되어 밸브 시트(74)와 접촉한다. 접촉 관계로 있을 때, 하단부(72)는 밸브 시트(74)에 밀봉을 제공하도록 기하학적으로 형상화된다. 그러므로, 니들 밸브(62)는 밸브 시트(74)와 접촉하여 지지하는 하단부(72)에 의해 폐쇄되고, 니들 밸브(62)는 밸브 시트(74)로부터 하단부(72)를 멀리 이동시키는 것에 의하여 개방되어, 하단부(72)와 니들 시트(62) 사이의 틈새를 통한 유체 물질의 하류 유동을 허용한다.
마이크로미터(87)의 스크루(80)의 단부 상에서 한정된 스토퍼 표면에 인접하여 배치된 원위 상단부를 가지는 상부 로드(78)는 에어 피스톤(64)으로부터 위로 연장한다. 마이크로미터(87)를 조정하면, 에어 피스톤(64)의 스트로크의 상부 제한이 변하고, 그러므로 샤프트(68)의 스트로크 길이가 변한다. 스트로크 길이는 하단부(72)가 밸브 시트(74)를 타격하기 전에 니들 밸브(62)의 최종 속도를 결정한다. 대체로, 도트(50)의 크기는 증가하는 스트로크 길이와 함께 증가한다. 대체로, 보다 긴 스트로크 길이는 유체 물질의 분출된 양(48)에 대해 보다 높은 분사 속도를 발생시킨다. 액적 발생기 컨트롤러(84)로부터의 지시에 의해 제어되는 모터(81)는 마이크로미터 스크루(80)에 기계적으로 결합될 수 있다. 결과적으로, 액적 발생기 컨트롤러(84)는 에어 피스톤(64)의 스트로크를 자동으로 조정할 수 있으며, 이는 각각의 분출된 유체 물질의 양(48)에서의 유체 물질의 체적을 변화시킨다. 상기된 것과 유사한 분출 분배기는 그 전체에 있어서 참조에 의해 본 명세서에 통합되는 미국특허 제6,253,957호 및 제5,747,102호에 보다 전체적으로 기술되어 있다. 액적 발생기(12)가 상이한 디자인을 사용하여 실행될 수 있기 때문에, 본 명세서에 기술된 특정 실시예는 본 발명의 예시로서 고려되며 본 발명을 한정하지 않는다.
액적 발생기 컨트롤러(84)는 압축 유체 공급원(도시되지 않음)에 연결된 전압 대 압력 트랜스듀서(85), 예를 들어 에어 파일로트 유체 조정기, 하나 이상의 공압 솔레노이드 등과 전기적으로 결합된다. 액적 발생기 컨트롤러(84)는 전압 대 압력 트랜스듀서(85)에 출력 펄스를 제공하도록 구성되고, 전압 대 압력 트랜스듀서는 에어 실린더(65) 내로 압축 공기의 펄스를 주입하는(porting) 것에 의해 응답하고, 밸브 시트(74)로부터 샤프트(68)의 하단부(72)를 멀리 리프팅하는 에어 피스톤(64)의 신속한 리프팅을 만들어, 복귀 스프링(76)을 더욱 압축한다. 밸브 시트(74)로부터 하단부(72)를 리프팅하면, 유체 물질이 챔버(70)로부터 밸브 시트(74)와 노즐(98)에 있는 출구 오리피스(102) 사이의 공간 내로 흡인된다.
도 1 및 도 2를 계속 참조하여, 액적 발생기 컨트롤러(84)는 또한 전압 대 압력 트랜스듀서(86), 예를 들어 에어 파일로트 유체 조정기, 하나 이상의 공압 솔레노이드 등과 전기적으로 결합된다. 전압 대 압력 트랜스듀서(86)는 유체 압축원(도시되지 않음)에 연결되고, 차례로 유체 물질의 공급을 유지하는 공급 저장부(88)에 압축 공기를 주입한다. 충전된 주사기 카트리지의 형태를 가질 수 있는 공급 저장부(88)는 분배 작업에 요구되는 바와 같은 유체 물질의 양을 연속 수용하기 위하여 챔버(70)와 연통한다. 그러므로, 공급 저장부(88)는 유체 물질의 양(48)을 분출하는데 사용하기 위해 압출된 유체 물질을 챔버(70)로 공급한다.
도 3을 참조하여, 분출 시스템(10)을 작동시키기 위한 루틴은 기판(20)상에 일정 패턴의 유체 물질 도트(50)를 분배하기 위하여 도시된 한편, 액적 발생기(12)는 기판(20)에 대해 정지 없이 연속하여 이동된다. 기판(20) 상에서의 상기 패턴의 유체 물질은 X, Y 및 Z 운동 축선(21, 22, 23)에 의해 정의되는 기준 프레임에 있는 분배 위치의 맵(map)으로부터 발생된다. 각각의 분배 위치는 유체 물질의 양(48)을 수용하는 기판의 평면에 실질적으로 평행한 평면에 위치될 수 있다. 맵에 수용된 각각의 개별적인 분배 위치에서, 컴퓨터(24)는 액적 발생기(12)가 분출 분배기(60)로부터 유체 물질의 양(48) 중 하나를 분사하도록 액적 발생기 컨트롤러(84)에 지시한다.
블록(140)에서 그리고 도 3의 루틴의 부분으로서, 분출 시스템(10)은 유체 물질의 분배 없이 일정한 운동 궤도 또는 분배 위치를 포함하는 분배 경로를 통하여 액적 발생기(12)를 이동시키도록 작동된다. 이를 위하여, 컴퓨터(24)는 분배 위치의 맵에 있는 각각의 분배 위치를 통하여 액적 발생기(12)를 연속하여 이동시키도록 운동 컨트롤러(32)에 방향 명령 신호를 제공한다. 이러한 것은 분배 위치의 맵을 통한 방향으로 매끄러운 변화와 함께 축선 방향 구동부(16, 17, 18)에 의해 분출 분배기(60)가 이동되도록 한다. 모든 분배 위치를 위한 분배 경로는 맵에 있는 모든 분배 위치에서 유체 물질의 양(48)을 분배하기 위해 이동하는 액적 발생 기(12)에 대한 전체 진행 거리를 최소화하기 위하여 최적화될 수 있다.
블록(142)에서, 액적 발생기(12)의 실제 위치는 액적 발생기(12)가 충분한 가속 또는 감속으로 연속하여 이동됨으로써 각각의 3개의 운동 축선(21, 22, 23)을 따르는 시간의 함수로서 기록된다. 이를 위하여, 컴퓨터(24)는 액적 발생기(12)가 분배 경로를 통해 연속하여 이동됨으로써 하나 이상의 엔코더(44, 45, 46)에 의해 발생되어 전송된 전기 출력 신호를 모니터한다. 이러한 출력 신호들은 시간의 함수로서 액적 발생기(12)의 3차원에서의 위치를 나타낸다. 이러한 엔코더 판독치는 실제 위치중 하나를 발생시키도록 각각의 분배 위치와 상관된다. 각각의 분배 위치에서, 컴퓨터(24)는 엔코더 신호를 기록하고, 기판(20)에 대한 액적 발생기(12)의 실제 위치를 나타내는 기록된 엔코더 신호와 그 분배 위치를 상관시킨다.
블록(144)에서, 블록(140, 142)의 절차가 통계적으로 중요한 횟수 동안 반복된다(예를 들어 100회 반복). 이러한 반복의 종결에서, 컴퓨터(24)가 맵에 있는 각각의 분배 위치에 기록된 위치를 나타내는 엔코더 신호를 평가하는 블록(146)으로 제어가 전달된다. 특히, 컴퓨터(24)는 다중 반복 동안 각각의 분배 위치에서 액적 발생기(120의 실제 공간적 위치를 통계적으로 분석한다. 블록(148)에서, 통계적 분석에 근거하여, 컴퓨터(24)는 분배 위치 중 적어도 하나가 대응하는 공간 에러를 감속시키도록 보정되는 보정 또는 최적화된 분배 위치의 보정된 맵을 생성한다. 통계적 분석은 에러가 따르는 경로를 최적으로 보정한다. 에러가 따르는 경로는 반복하려는 경향이 있으며, 이는 통계적 수학의 실행이 분배 정확도를 개선하도록 한다.
블록(150)에서, 컴퓨터(24)는 컨베이어 컨트롤러(42)에 대한 명령을 내리는 것에 의하여 분출 시스템(10) 내에서 고정된 위치로 기판(20) 중 하나를 컨베이어(38)가 운반하도록 한다. 공지된 방식에서, 비디오 카메라 및 광 조립체(34)의 비디오 카메라는 시각 회로(36)를 통해 컴퓨터(24)로 기판(20)의 하나 이상의 이미지를 전송한다. 컴퓨터(24)는 이미지(들)에서 보일 수 있는 기판(20) 상에 기준 마크를 위치시키고, 임의의 기판 오정렬(misalignment)을 보정한다. 컴퓨터(24)는 기판(20) 상으로 유체 물질의 양(48)을 분배하기 위하여 액적 발생기 컨트롤러(82)가 액적 발생기(12)를 작동시키도록 한다. 유체 물질의 양(48)은 액적 발생기(12)가 기판(20)에 대한 정지 없이 연속하여 이동되는 동안 분배된다. 액적 발생기 컨트롤러(84)가 각각의 유체 물질의 양(48)을 분배하도록 컴퓨터(24)로부터 지시하는 명령 신호에 의해 기동되는 분배 위치는 블록(148)에서 발생된 분배 위치의 보정된 맵에 의해 결정된다. 분출 분배기(60)로부터의 유체 물질의 양(48)은 기판(20)의 상부면(37)에 충돌하고, 유체 물질 도트(50)의 하나로서 접촉부 상에 적용된다.
도 3의 루틴은 일군의 기판(20)을 처리하는 제조 작업의 부분으로서 분출 시스템(10) 내로 운반되는 추가의 기판(20) 상으로 분배 위치의 보정된 맵을 사용하여 유체 물질의 양(48)을 분배하도록 반복될 수 있다. 제조 작업중에 있는 각각의 기판(20)에 대하여, 유체 물질의 양(48)은 액적 발생기(12)가 정지 없이(즉, 임의의 가속 또는 감속 없이) 기판(20)에 대해 연속하여 이동되는 동안 분배된다. 액적 발생기 컨트롤러(84)가 유체 물질의 양(48)을 분배하도록 기동되는 분배 위치는 블록(148)에서 발생된 분배 위치의 보정된 맵에 의해 결정된다.
도 4를 참조하여 그리고 대안적인 실시예에 따라서, 기판(20) 상에서의 각각의 유체 물질 도트(50)의 실제 공간적 위치는 분배 위치의 보정된 맵을 발생시키도록 예상된 공간적 위치와 비교된다.
블록(160)에서, 컴퓨터(24)는 컨베이어(38)를 작동시켜 분출 시스템(10) 내에 있는 고정된 위치로 기판(20) 중 하나를 운반하도록 컨베이어 컨트롤러(42)에 명령한다. 공지된 방식에서, 비디오 카메라 및 광 조립체(34)의 비디오 카메라는 시각 회로(36)를 통하여 컴퓨터(24)로 기판(20)의 하나 이상의 이미지를 전송한다. 컴퓨터(24)는 이미지에서 보일 수 있는 기준 마크를 기판(20)에 위치시켜, 임의의 기판 오정렬을 보정한다. 그 후, 컴퓨터(24)는 유체 물질 도트(50)로서 기판(20) 상에 랜딩하는 각각의 유체 물질의 양(48)을 분배하기 위해 액적 발생기 컨트롤러(84)가 액적 발생기(12)를 작동시키도록 한다.
블록(162)에서, 컴퓨터(24)는 카메라 및 광 조립체(34)의 비디오 카메라와 시각 회로(36)가 취득한 이미지를 분석하는 것에 의하여 기판(20) 상의 각각의 유체 물질 도트(50)의 랜딩 위치를 위한 공간 좌표를 측정한다. 컴퓨터(24)는 미리 프로그램된 패턴으로 정의된 기준 또는 예상된 랜딩 위치와 이미지에 있는 각각의 유체 물질 도트(50)를 위해 측정된 랜딩 위치를 비교한다. 상기 비교에 기초하여, 컴퓨터(24)는 기판(20) 상의 유체 물질 도트(50)의 패턴을 발생시킨 맵에서의 각각의 분배 위치를 위해 X, Y 운동 축선(21, 22)을 포함하는 X-Y 평면에서의 공간 에러를 발생시킨다.
블록(164)에서, 블록(160, 162)의 절차는 통계적으로 중요한 횟수 동안 반복 된다(예를 들어 100회 반복). 각각의 반복은, 분출 시스템(10) 내에서의 고정된 위치로 또 다른 기판(20)을 운반하는 단계, 기판(20) 상의 기준 마크를 확인하도록 비디오 카메라 및 광 조립체(34)의 비디오 카메라를 사용하는 단계, 임의의 기판 오정렬을 보정하는 단계, 분출 분배기(60)로부터 기판(20) 상으로 유체 물질의 양(48)을 분배하는 단계, 비디오 카메라 및 광 조립체(34)의 비디오 카메라가 취득한 이미지에서 기판(20) 상의 유체 물질 도트(50)의 랜딩 위치를 측정하는 단계, 각각의 랜딩 위치에 대한 공간 에러를 발생시키도록 상기 패턴에서 예상된 랜딩 위치와 측정된 랜딩 위치를 비교하는 단계를 수반한다. 이미지의 분석은 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 인식되는 표준 이미지 분석 기술을 이용하여 달성된다. 이러한 반복의 종료시에, 제어는 블록(166)으로 전달된다.
블록(166)에서, 컴퓨터(24)는 상기 패턴에서의 각각의 유체 물질 도트(50) 및 반복 절차에서 기판(20)에 대한 공간 에러를 통계학적으로 분석한다. 각각의 분배 위치와 관련된 공간 에러는 에러를 따르는 서보 위치뿐만 아니라 아베 에러(abbe error, 즉, 서보 루프 외측의 에러)를 포함한다. 서보 루프 에러와 아베 에러는 모두 매우 반복 가능한 경향이 있다. 서보 루프 에러와 아베 에러의 반복 능력은 분출 시스템(10)이 통계학적 기술을 사용하여 상기 패턴에서의 최종 분배 위치의 정확성을 보정하는 것을 허용한다. 각각의 랜딩 위치에 대한 공간 에러가 감소되도록, 공간 에러는 맵에서의 분배 위치를 보정하도록 사용된다.
블록(168)에서, 컴퓨터(24)는 컨베이어(38)가 분출 시스템(10) 내의 고정된 위치로 또 다른 기판을 운반하고, 기판(20 상의 기준 마크를 확인하도록 비디오 카 메라 및 광 조립체(34)의 비디오 카메라를 사용하고, 임의의 기판 오정렬을 보정하고, 연속하여 이동하는 분출 분배기(60)로부터 기판(20) 상으로 유체 물질의 양(48)을 분배하기 위하여 액적 발생기 컨트롤러(84)가 액적 발생기(12)를 작동시키도록 한다. 분배 위치의 맵은 블록(166)에서 계산된 공간 에러를 위해 보정된다. 블록(170)에서, 컴퓨터(24)는 비디오 카메라 및 광 조립체(34)의 비디오 카메라에 의해 찍힌 이미지에서 기판(20) 상의 각각의 유체 물질 도트(50)의 랜딩 위치를 측정하고, 공간 에러를 발생시키도록 실제 측정된 상륙 위치와 상기 패턴에서 예상된 랜딩 위치를 비교한다.
블록(172)에서, 컴퓨터(24)는 최대 허용 가능한 에러를 나타낼 수 있는 기준치와 공간 에러를 비교한다. 공가 에러가 처리 허용 오차 내에 있지 않으면, 처리 허용 오차 이내로 공간 에러를 감소시키는 분배 위치의 보정된 맵을 발생시키도록 재교정하기 위해 제어는 블록(160)으로 복귀한다. 공간 에러가 처리 허용 오차 내에 있으면, 보정된 맵으로 유체 물질의 양(48)의 미리 프로그램된 패턴을 제조 작업중인 일련의 기판(20)에 적용하도록 블록(174)으로 전달된다.
도 5를 참조하여 그리고 실시예에 따라서, 기판(20)에 대해 액적 발생기(12)를 연속하여 이동시키기 위한 방법은 하나의 연속하는 경로 내로 일련의 별개의 분산 위치를 연결 또는 잇는 스플라인(spline) 기술 또는 유사한 수학적 방법을 사용하는 단계를 포함한다. 각각의 분배 위치는 액적 발생기(12)로부터 유체 물질의 양(48) 중 하나를 궁극적으로 분사하는 분배 행위를 대기(eueuing) 또는 기동하기 위한 위치를 나타낸다. 기동 위치는 각각의 유체 물질의 양(48)이 분배될 때 액적 발생기(12)가 정지하지 않음으로써 액적 발생기(12)의 연속적인 운동을 보상한다.
블록(180)에서, X, Y 및 Z 운동 축선(21, 22, 23) 내의 미리 프로그램된 패턴의 분배 위치는 컴퓨터(24) 상에서 실행하는 궤도 발생기 내로 입력된다. 각각의 분배 위치는 X, Y 및 Z 운동 축선(21, 22, 23)에 대한 한 세트의 공간 좌표에 의해 정의된다. 블록(182)에서, 컴퓨터(24) 상에서 실행하는 궤도 발생기는 분배 경로 또는 일정한 운동 궤도를 결정하여, 액적 발생기(12)가 각각의 분배 위치를 통해 이동하는 것을 보장한다. 다양하고 상이한 수학적 알고리즘이 일정한 운동 궤도를 생성하여 최적화하도록 채택될 수 있다. 전형적으로, 최적화는 액적 발생기(12)의 전체 운동을 감소시키는 한편, 기판(20) 상의 유체 물질 도트(50)의 배치 정확성을 최적화하는 것을 목표로 한다. 하나의 실시예에서, 알고리즘은 X, Y 및 Z 운동 축선(21, 22, 23)을 따르는 액적 발생기(12)의 방향 변화에 대해 매끄러운 변이를 정의하는 곡선으로 일정한 운동 궤도를 정의하는 입방의(cubic) 스플라인 기술을 수반한다. 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 인식되는 바와 같이, 스플라인은 구분적으로(piecewise) 다항식(파라메트릭(parametric)) 곡선이며, 특히 입방의 스플라인은 유체 물질의 양(48)을 위한 분배 위치와 같은 한 세트의 제어 지점을 통과하는 구분적으로 3차 다항식(third-order polynomial)으로 구성된 스플라인이다.
블록(184)에서, 일정 운동 궤도는 시간 의존 원칙(time dependent basis)으로 분출 분배기(60)를 발포하도록 기동 명령을 통합하는 것에 의하여 변경된다. 일정한 운동 궤도는 축선 방향 구동부(16, 17, 18)의 매 사이클을 위한 시간 간격 및 위치 정보를 포함한다. 분출 분배기(60)의 잠재성(latency, 즉 유체 물질의 양(48) 중 하나를 분배하도록 분출 분배기(60)를 기동하는 것과 유체 물질의 양(48)을 실제로 분사하는 것 사이의 시간)이 시간에 있어서 공지되기 때문에, 분출 발포 또는 기동 명령은 각각의 필요한 분배 위치로부터의 시간 간격(축선 방향 구동부(16, 17, 18)의 사이클에 비례하는)을 감산하는 것에 의해 상기 패턴에 있는 분배 위치들 사이에서 운동을 위하여 일정한 운동 궤도 내로 삽입된다.
축선 방향 구동부(16, 17, 18)는 서보 또는 스테퍼 모터의 구성을 가질 수 있어서, 축선 방향 구동부(16, 17, 18)는 위치 및 속도의 폐루프 제어인 서보 루프에서의 서보 제어 하에서 컴퓨터(24) 및 운동 컨트롤러(32)에 의해 제어된다. 서보 사이클 시간은 축선 위치를 측정하여 새로운 방향 명령을 발포하기 위해 필요한 시간의 양을 나타낸다. 컴퓨터(24) 및/또는 운동 컨트롤러(32)는 엔코더(44, 45, 46)에 의해 제공된 축선 방향 구동부(16, 17, 18)의 시간 의존 위치를 포함하는 피드백 정보의 흐름(stream)을 샘플링한다. 컴퓨터(24) 및/또는 운동 컨트롤러(32)는 제어 신호의 형태로 하는 방향 명령을 축선 방향 구동부(16, 17, 18)에 공급한다. 축선 방향 구동부(16, 17, 18)는 제어 신호를 수신하고, 다음의 갱신까지 제어 신호에 포함된 지시에 따라서 연속하여 이동한다.
수학적 예로서, 서보 제어의 서보 사이클 시간이 1 msec이면, X, Y, Z 운동 축선(21, 22, 23)에 대한 축선 방향 구동부(16, 17, 18)의 축선 위치가 측정되고, 새로운 방향이 초당 1000회의 속도(즉, 1㎑)로 운동 컨트롤러(32)를 통하여 컴퓨터(24)에 의해 명령된다. 보다 짧은 서보 사이클 시간은 축선 방향 구동부(16, 17, 18)의 축선 위치 위에 보다 엄격한 제어를 제공한다.
서보 사이클 시간에 기초한 보정은 액적 발생기(12)가 기동된 후에 분출 분배기(60)로부터 유체 물질의 양(48) 중 하나를 분출하는데 있어서 진성 지연(intrinsic delay) 시에 보상한다. 보정은 액적 발생기(12)를 사전 발사(prefire)하도록 요구된 공지의 시간으로부터 결정되어서, 유체 물질의 양(48)은 기판(20) 상의 유체 물질 도트(50) 및 각각의 서보 사이클에 대한 공지의 고정된 시간 중 하나로서 적절한 분배 위치에 랜딩한다. 서보 사이클의 수는 공지의 고정된 서보 사이클 시간에 의해 분할된 공지의 사전 발사 시간의 지수(quotient)로부터 결정된다.
예를 들어, 유체 물질의 양(48) 중 하나는 각각의 축선 방향 구동부(16, 17, 18)에 대한 서보 사이클의 절대수에 의해 명기된 운동 축선(21, 22, 23)에 대한 (x, y, z) 좌표를 구비한 분배 위치에서 분사된다. 분출 분배기(60)의 사전 발사 시간은 2.5msec와 동등한 것으로 추정되고, 단위 시간당 서보 사이클의 수(즉, 서보 사이클 속도)는 msec당 10 서보 사이클에 동등한 것으로 추정된다. 이러한 추정치에 기초하여, 분출 분배기(60)를 사전 발사하기 위한 서보 사이클에서의 기동 또는 사전 발사 명령은 컴퓨터(24)에 의해 계산되어 액적 발생기(12)로 전송된다. 기동 명령은 사전 발사 시간의 산출물과 분배 위치를 결정하는 서보 사이클의 절대수로부터 감산된 단위 시간당 서보 사이클의 수와 동등하다. 이 예에서, 기동 명령은 2.5msec의 산출물과 msec당 10 서보 사이클에 수치적으로 동등하며, 이러한 것은 분배 위치에 대한 각각의 좌표로부터 감산된 25 서보 사이클에 동등하다.
대안적으로, 타이머는 부분적인 서보 사이클에 의해 보정 계수를 지정하는 것에 의하여 타이밍 분석(resolution)을 개선하도록 서보 사이클과 관련하여 사용될 수 있다. 수학적 예로서, 사전 발사 시간이 3.5ms에 동등하고 서보 사이클 속도가 1.0ms에 동등하면, 알고리즘은 분배 위치에 도달하는 분출 분배기(60)의 궤도에 4.0ms 앞서 0.5ms 타이머에서 시작하게 된다. 타이머가 사용될 때, 시간은 서보 사이클의 일부이다.
블록(186)에서, 컴퓨터(24)는 상기 패턴에 있는 각각의 분배 위치에서 기판(20) 상으로 유체 물질의 양(48)을 분배하도록 액적 발생기 컨트롤러(84)가 액적 발생기(12)를 작동시키도록 한다. 기동 명령에 동등한 보정은 액적 발생기(12)를 사전 발사시키도록 각각의 분배 위치에서 적용된다. 각각이 축선 방향 구동부(16, 17, 18)에 대한 다수의 서보 사이클에서 측정되는 기동 명령은 컴퓨터(24)가 유체 물질의 양(48) 중 하나의 분사를 개시하는 명령을 포함하는 액적 발생기(12)에 대한 명령 신호를 전송하는 순간과, 유체 물질의 양(48)이 실제로 분출 분배기(60)로부터 분사되는 순간 사이의 시간 지체 또는 지연을 보상한다.
연속적인 운동은 액적 발생기(12)가 상기 패턴에 있는 분배 위치 중에서 이동됨으로써 액적 발생기를 가속 및 감속시키는 종래의 운동 계획에서 관찰되는 진동을 제거한다. 스플라인, 또는 유사한 기술을 사용하여, 액적 발생기(12)가 각각의 분배 위치를 통해 이동하게 되는 것을 수학적으로 보장한다. 액적 발생기(12)를 사전 기동하는 방법은 액적 발생기(12)를 사전 발사 또는 기동하기 위한 위치를 결정하도록 종래에 요구되는 수학적 처리를 제거한다.
본 명세서에서 "수직", "수평" 등과 같은 용어에 대한 참조는 기준의 절대 프레임을 만들도록 제한의 방식이 아니라 예의 방식으로 만들어진다. 특히, 본 명세서에서 정의된 X, Y, Z 운동 축선(21, 22, 23)에 의해 만들어지는 데카르트 좌표 프레임은 예시적인 것이며 기술의 편의를 위해 사용된다. 다양한 다른 기준 프레임이 본 발명을 기술하는 목적을 위해 동등하게 채택될 수 있다.
본 발명이 하나 이상의 실시예의 설명에 의해 예시되었지만, 실시예는 상당히 상세하게 기술되었으며, 실시예들은 첨부된 특허청구범위의 범위를 그렇게 상세하게 제한 또는 임의의 방식으로 한정하도록 의도되지 않는다. 추가의 이점 및 변경은 당업자에게 용이하게 자명하게 된다. 그러므로, 본 발명은 보다 넓은 양태에 있어서 특정 상세에 한정되지 않으며, 도시되고 기술된 장치, 방법, 및 예시적인 예를 나타낸다. 따라서, 출원인의 일반적인 발명 개념의 범위 및 사상으로부터 벗어남이 없이 신기술이 상세한 설명으로부터 만들어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유체 물질 분출 시스템의 개략도.
도 2는 도 1의 유체 물질 분출 시스템의 개략 블록도.
도 3은 도 1 및 도 2의 유체 물질 분출 시스템의 동작을 제어하기 위한 절차의 실시예를 일반적으로 도시한 흐름도.
도 4는 도 1 및 도 2의 유체 물질 분출 시스템의 동작을 제어하기 위한 절차의 또 다른 실시예를 도시한 흐름도.
도 5는 도 1 및 도 2의 유체 물질 분출 시스템의 동작을 제어하기 위한 절차의 또 다른 실시예를 도시한 흐름도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
10 : 분출 시스템 12 : 액적 발생기
14 : X-Y 포지셔너 15 : Z-축선 구동 메커니즘
16, 17, 18 : 축선 방향 구동부 20 : 기판
21, 22, 23 : 다중 운동 축선 또는 X, Y, Z-축선
24 : 컴퓨터 32 : 운동 컨트롤러
34 : 카메라 및 광 조립체 36 : 시각 회로
38 : 컨베이어 42 : 컨베이어 컨트롤러
44, 45, 46 : 엔코더 48 : 유체 물질의 양
50 : 유체 물질 도트 60 : 분배기
62 : 니들 밸브 64 : 피스톤
66 : 에어 실린더 68 : 샤프트
70 : 챔버 74 : 밸브 시트
80 : 스크루 87 : 마이크로미터
84 : 액적 발생기 컨트롤러

Claims (19)

  1. 다수의 분배 위치에서 유체 물질의 양을 분배하도록 분사기를 작동시키는 방법으로서,
    (a) 상기 다수의 분배 위치를 연결하는 일정한 운동 궤도를 통하여 상기 분배기를 연속하여 이동시키는 단계;
    (b) 상기 분배기가 상기 일정한 운동 궤도를 통해 이동되는 동안, 각각의 상기 다수의 분배 위치에서 상기 분배기의 다수의 실제 위치 중 하나를 측정하는 단계;
    (c) 다수의 공간 에러 중 하나를 발생시키도록, 상기 다수의 분배 위치 중 하나와 각각의 상기 다수의 실제 위치를 비교하는 단계; 및
    (d) 상기 비교에 기초하여, 각각의 상기 다수의 공간 에러를 감소시키도록 상기 다수의 분배 위치중 하나 이상을 보정하는 단계를 포함하는 분사기 작동 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 분배기를 연속하여 이동시키는 단계는, 상기 다수의 분배 위치에 있는 상기 분배기로부터 유체 물질을 분배함이 없이 상기 일정한 운동 궤도를 통하여 상기 분배기를 이동시키는 단계를 포함하는 분사기 작동 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 필요한 횟수 동안 상기 단계 (a) 및 단계 (b)를 반복하는 단계를 추가로 포함하는 분사기 작동 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 다수의 분배 위치중 하나와 각각의 상기 다수의 실제 위치를 비교하는 단계는 상기 다수의 공간 에러를 발생시키도록 상기 다수의 실제 위치를 통계적으로 분석하는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 각각의 상기 다수의 분배 위치는 상기 유체 물질의 양을 수용하는 기판의 평면에 실질적으로 평행한 평면에 위치되고,
    상기 다수의 실제 위치 중 하나를 측정하는 단계는 각각의 상기 다수의 분배 위치에 있는 상기 평면에서 상기 분배기의 다수의 실제 위치 중 하나를 결정하는 단계를 포함하는 분배기 작동 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 분배기의 다수의 실제 위치 중 하나를 결정하는 단계는 상기 평면에서 상기 분배기를 이동시키는 다수의 축선 방향 구동부로부터의 엔코더 판독치를 각각의 상기 다수의 분배 위치와 상관시켜, 상기 다수의 실제 위치 중 하나를 발생시키는 단계를 포함하는 분배기 작동 방법
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 다수의 분배 위치 중 적어도 하나가 보정된 후에, 상기 분배기가 기판에 대해 상기 일정한 운동 궤도에서 이동되는 동안, 상기 유체 물질의 양 중 하나를 분배하도록 각각의 상기 분배 위치에서 상기 분배기를 기동하 는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 기판상에 상기 유체 물질의 양을 증착하는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  9. 다수의 분배 위치에서 유체 물질의 양을 분배하도록 분배기를 작동시키는 방법으로서,
    (a) 상기 다수의 분배 위치를 연결하는 일정한 운동 궤도를 통하여 상기 분배기를 연속하여 이동시키는 단계;
    (b) 상기 일정한 운동 궤도에서 상기 분배기를 연속하여 이동시키는 동안, 상기 유체 물질의 양 중 하나를 분배하도록 각각의 상기 다수의 분배 위치에서 상기 분배기를 기동하는 단계;
    (c) 기판상의 다수의 랜딩 위치에서 상기 분배기로부터 분배된 상기 유체 물질의 양을 증착하는 단계;
    (d) 상기 기판상에서 각각의 상기 다수의 랜딩 위치에 대한 다수의 공간 좌표를 측정하는 단계;
    (e) 다수의 공간 에러 중 하나를 발생시키도록, 각각의 상기 다수의 랜딩 위치에 대한 상기 다수의 공간 좌표를 다수의 예상된 랜딩 위치 중 하나에 대한 다수의 공간 좌표와 비교하는 단계; 및
    (f) 상기 비교에 기초하여, 각각의 상기 다수의 공간 에러를 감소시키도록 상기 다수의 분배 위치 중 적어도 하나를 보정하는 단계를 포함하는 분배기 작동 방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 기판상에서 상기 다수의 공간 좌표를 측정하는 단계는,
    상기 기판의 이미지와 상기 기판상에 증착된 상기 유체 물질의 양을 취득하는 단계; 및
    상기 기판상에 증착된 각각의 상기 유체 물질의 양의 상기 다수의 공간 좌표를 측정하도록 상기 이미지를 분석하는 단계를 포함하는 분배기 작동 방법.
  11. 제 9 항에 있어서, 다수의 기판에 대하여 단계 (a) 내지 (d)를 반복하는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 다수의 랜딩 위치의 다수의 공간 좌표를 상기 기판상의 다수의 예상된 랜딩 위치 중 하나에 대한 다수의 공간 좌표와 비교하는 단계는,
    상기 다수의 공간 에러를 발생시키도록, 상기 다수의 예상된 랜딩 위치와 비교하여 각각의 상기 다수의 랜딩 위치에 대한 상기 다수의 공간 좌표를 통계학적으로 분석하는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  13. 일정한 운동 궤도에 의해 연결된 다수의 분배 위치에서 유체 물질의 양을 분배하도록 분배기를 작동시키는 방법으로서,
    상기 일정한 운동 궤도를 통하여 서보 제어 하에서 상기 분배기를 연속하여 이동시키는 단계;
    상기 분배기가 서보 사이클에 의해 주어진 갱신 속도로 연속하여 이동하는 동안, 상기 분배기의 방향을 변화시키는 단계;
    상기 분배기가 상기 다수의 분배 위치 중 하나에 도달하기에 앞서 주어진 수의 서보 사이클에 있을 때, 각각의 상기 유체 물질의 양의 분배를 개시하도록 상기 분배기에 제어 신호를 전송하는 단계; 및
    상기 분배기로부터 분배된 상기 유체 물질의 양을 기판상에 증착하는 단계를 포함하는 분배기 작동 방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 각각의 상기 다수의 분배 위치에 대한 다수의 공간 좌표를 정의하는 단계; 및
    각각의 상기 다수의 분배 위치에 대한 상기 다수의 공간 좌표로부터, 상기 다수의 분배 위치를 연결하는 상기 일정한 운동 궤도를 계산하는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 일정한 운동 궤도를 계산하는 단계는 상기 일정한 운동 궤도를 계산하도록 입방의 스플라인 기술을 수반하는 알고리즘을 사용하는 단 계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  16. 일정한 운동 궤도에 의해 연결된 다수의 분배 위치에서 유체 물질의 양을 분배하도록 분배기를 작동시키는 방법으로서,
    상기 일정한 운동 궤도를 통하여 서보 제어 하에서 상기 분배기를 연속하여 이동시키는 단계;
    상기 분배기가 서보 사이클에 의해 주어진 갱신 속도로 연속하여 이동하는 동안, 상기 분배기의 방향을 변화시키는 단계;
    상기 분배기가 상기 다수의 분배 위치 중 하나에 도달하기에 앞서서 일정 시간으로부터 추론된 주어진 위치에 있을 때, 각각의 상기 유체 물질의 양의 분배를 개시하도록 상기 분배기에 제어 신호를 전송하는 단계; 및
    상기 분배기로부터 분배된 상기 유체 물질의 양을 기판상에 증착하는 단계를 포함하는 분배기 작동 방법.
  17. 제 16 항에 있어서, 각각의 상기 다수의 분배 위치에 대한 공간 좌표를 정의하는 단계; 및
    각각의 상기 다수의 분배 위치에 대한 상기 다수의 공간 좌표로부터, 상기 다수의 분배 위치를 연결하는 상기 일정한 운동 궤도를 계산하는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  18. 제 16 항에 있어서, 상기 일정한 운동 궤도를 계산하는 단계는 상기 일정한 운동 궤도를 계산하도록 입방의 스플라인 기술을 수반하는 알고리즘을 사용하는 단계를 추가로 포함하는 분배기 작동 방법.
  19. 제 16 항에 있어서, 상기 시간은 서보 사이클의 일부인 분배기 작동 방법.
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