JP2012506635A5 -

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流体分注システム内の複数の分注ヘッドを較正する方法であって、その方法は、
流体分注システム内に実質的に平坦な型を位置決めするステップと、
印加する各電圧ごとに、
−基板上の複数の分注ヘッドから複数の小滴を分注し、
−前記基板に前記型でパターニングしてパターン層を画定し、
−前記パターン層の残留層厚さを測定する、
ように、前記複数の分注ヘッドに印加される電圧の変化をさせるステップと、
印加された各電圧から測定された前記残留層厚さから、前記複数の分注ヘッドの各分注ヘッドが実質的に同じ体積を分注するように所望の残留層厚さを決定するステップと、
所望の電圧を定義するために前記所望の残留層厚さと関連付けられた前記印加電圧を決定するステップと、
前記複数の分注先端ヘッドを前記所望の電圧が印加されるように更新するステップと、
から構成されることを特徴とする方法。
前記所望の膜厚は、前記所望の電圧が印加された前記複数の分注ヘッドのそれぞれにおいて実質的に同じであることを確認するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。