JP2009066976A - 流体噴射ヘッドの製造方法及び流体噴射装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】流体の吐出量を均一にすることが可能な流体噴射ヘッドの製造方法及び流体噴射装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】流体を噴射する複数のノズル開口及び前記ノズル開口のそれぞれに連通する圧力室が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの振動板に振動を与える圧電素子及び前記圧電素子を固定する固定板を有する圧電ユニットと、前記圧電ユニットを収容する収容室を備えたヘッドケースとを備えた流体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電ユニットを前記収容室に収容して前記圧電素子を前記振動板に当接させる収容工程と、前記圧電ユニットを収容方向に押圧して前記圧電ユニットの一部を前記収容室の側壁面に当接させる押圧工程と、前記圧電ユニットを前記振動板及び前記側壁面に当接させた状態で、前記圧電素子と前記振動板並びに前記固定板と前記ヘッドケースとをそれぞれ接着固定させる固定工程とを備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、流体噴射ヘッドの製造方法及び流体噴射装置の製造方法に関する。

流体を噴射する流体噴射装置として、例えばインクジェット式記録装置などが知られている。インクジェット式記録装置は、記録媒体に文字や画像等を記録する装置であり、記録ヘッド（噴射ヘッド）に設けられたノズル開口から記録媒体にインクが噴射される構成になっている。記録ヘッドとして、ノズル開口が一方向に沿って配列されたヘッドを用いるのが一般的である（例えば、特許文献１参照。）。

このヘッドは、例えばピエゾ素子などの圧電振動子に電気信号を供給することでノズル開口からインクを噴射する構成になっている。各ノズル開口についてインクの吐出量を均一にするには、ノズル開口と圧電振動子との位置関係がノズル開口ごとに一定になっていることが好ましい。圧電振動子は、記録ヘッド内の固定部材に固定されるようになっており、記録ヘッド内の部品の部品寸法によって位置決めされるようになっている。
特開２００３−５３９７０号公報

しかしながら、記録ヘッド内の部品寸法のばらつきや組立誤差などがあると、ノズル開口ごとに当該ノズル開口と圧電振動子との配置にバラつきが生じ、インクの吐出量にもばらつきが生じる虞がある。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、流体の吐出量を均一にすることが可能な流体噴射ヘッドの製造方法及び流体噴射装置の製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係る流体噴射ヘッドの製造方法は、流体を噴射する複数のノズル開口及び前記ノズル開口のそれぞれに連通する圧力室が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの振動板に振動を与える圧電素子及び前記圧電素子を固定する固定板を有する圧電ユニットと、前記圧電ユニットを収容する収容室を備えたヘッドケースと、を備えた流体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電ユニットを前記収容室に収容して前記圧電素子を前記振動板に当接させる収容工程と、前記圧電ユニットを収容方向に押圧して前記圧電ユニットの一部を前記収容室の側壁面に当接させる押圧工程と、前記圧電ユニットを前記振動板及び前記側壁面に当接させた状態で、前記圧電素子と前記振動板並びに前記固定板と前記ヘッドケースとをそれぞれ接着固定させる固定工程とを備えることを特徴とする。

本発明によれば、圧電ユニットを収容室に収容して圧電素子を振動板に当接させ、圧電ユニットを収容方向に押圧して当該圧電ユニットの一部を収容室の側壁面に当接させ、圧電ユニットを振動板及び側壁面に当接させた状態で、圧電素子と振動板並びに固定板とヘッドケースとをそれぞれ接着固定させることとしたので、固定板及び圧電素子の収容室内での位置が決定されることになる。このため、流体噴射ヘッドの部品寸法にばらつきがある場合であっても、圧電素子とノズル開口との距離は複数のノズル開口のそれぞれについて均一になる。これにより、流体の吐出量をノズル開口ごとに均一にすることが可能となる。

上記の流体噴射ヘッドの製造方法は、前記押圧工程では、前記圧電ユニットに収容方向と同時に回転方向への作用力を付与し、前記回転方向への作用力によって前記圧電ユニットを前記収容室の側壁面に当接させることを特徴とする。
本発明によれば、押圧工程では圧電ユニットに収容方向と同時に回転方向への作用力を付与し、回転方向への作用力によって圧電ユニットを収容室の側壁面に当接させることとしたので、圧電ユニットを側壁面に対して容易に当接させることができる。

上記の流体噴射ヘッドの製造方法は、前記押圧工程では、押圧部材の先端に形成された押圧部で前記圧電ユニットの上端に形成された被押圧部を押圧し、前記押圧部と前記被押圧部の少なくとも一方に形成されて前記収容方向に対して傾斜する傾斜面の作用により、前記圧電ユニットに前記回転方向への作用力を付与することを特徴とする。
本発明によれば、押圧工程では、押圧部材の先端に形成された押圧部で圧電ユニットの上端に形成された被押圧部を押圧し、当該押圧部と被押圧部の少なくとも一方に形成され収容方向に対して傾斜する傾斜面の作用により、圧電ユニットに回転方向への作用力を付与するので、圧電ユニットを側壁面に容易に当接させることができる。

上記の流体噴射ヘッドの製造方法は、前記傾斜面は、前記押圧部に、前記被押圧部に対して第一角度を成すように形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、傾斜面が、被押圧部に対して第一角度を成すように押圧部に形成されていることとしたので、圧電ユニットを押圧したときに第一角度に応じた回転力を当該圧電ユニットに付与することができる。これにより、圧電ユニットを側壁面に容易に当接させることができる。また、押圧部側に傾斜面を設けることで、部品製造上の負担を軽減することができる。

上記の流体噴射ヘッドの製造方法は、前記傾斜面は、前記被押圧部に、前記押圧部に対して第二角度をなすように形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、傾斜面は、押圧部に対して第二角度をなすように被押圧部に形成されていることとしたので、圧電ユニットを押圧したときに第二角度に応じた回転力を当該圧電ユニットに付与することができる。これにより、圧電ユニットを側壁面に容易に当接させることができる。

上記の流体噴射ヘッドの製造方法は、前記側壁面のうち少なくとも一部は、前記収容室の平面視中央部に対して外側に傾斜していることを特徴とする。
本発明によれば、側壁面のうち少なくとも一部が収容室の平面視中央部に対して外側に傾斜しているので、収容室のうち圧電ユニットを固定する部分に比べて圧電ユニットを挿入する挿入口側が広がることになり、当該圧電ユニットを挿入しやすくなる。また、側壁面が傾斜していることにより圧電ユニットが傾きやすくなるため、押圧部材で圧電ユニットを押圧したときに回転力が付与されやすくなる。

本発明に係る流体噴射装置の製造方法は、複数ノズルから流体を噴射する流体噴射ヘッドを備えた流体噴射装置の製造方法であって、前記流体噴射ヘッドの製造工程において、上記の流体噴射ヘッドの製造方法を用いることを特徴とする。
本発明によれば、ノズル開口ごとに流体の吐出量を均一にすることが可能な流体噴射ヘッドを得ることができ、高品質の流体噴射装置を得ることができる。

以下、図面をもとにして本発明の実施の形態を説明する。以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。本実施形態では、本発明に係る流体噴射装置として、インクジェット式プリンタを例示して説明する。

図１は、本実施形態に係るプリンタ（流体噴射装置）１の構成を概略的に示す斜視図である。
同図に示すように、プリンタ１は、ヘッド（流体噴射ヘッド）２を搭載すると共に液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３を着脱可能に装着するキャリッジ４と、ヘッド２の下方に配設され、記録紙６が搬送されるプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構７と、記録紙６を紙送り方向に搬送する紙送り機構８を有する構成となっている。上記紙幅方向とは、主走査方向（ヘッド走査方向）である。上記紙送り方向とは、副走査方向（主走査方向に直交する方向）である。インクカートリッジ３としては、本実施形態のようにキャリッジ４に装着するものには限らず、プリンタ１の筐体側に装着してインク供給チューブを介してヘッド２に供給するタイプのものを採用してもよい。

ガイドロッド９は、主走査方向に架設された支持部材である。キャリッジ４は、このガイドロッド９に支持された状態で取り付けられている。このキャリッジ４は、キャリッジ移動機構７によりガイドロッド９に沿って主走査方向に移動するようになっている。リニアエンコーダ１０は、キャリッジ４の主走査方向上の位置を検出する。この検出信号は、位置情報として制御部（図示せず）に送信されるようになっている。制御部は、このリニアエンコーダ１０からの位置情報に基づいてヘッド２の走査位置を認識し、ヘッド２による記録動作（吐出動作）等を制御するようになっている。

ヘッド２の移動範囲のうちプラテン５の外側の領域には、ヘッド２の走査起点となるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、キャッピング機構１１が設けられている。キャッピング機構１１は、キャップ部材１１ａによってヘッド２のノズル開口形成面を封止し、インク溶媒の蒸発を防止する。このキャッピング機構１１は、封止状態のノズル開口面に負圧を与えてインクを強制的に吸引排出するクリーニング動作等にも用いられる。

図２は、ヘッド２の構成を概略的に示す断面図である。
同図に示すように、ヘッド２は、インク導入針１３を立設する導入針ユニット１４と、複数の圧電振動子１５を有する圧電ユニット１６と、インク流路が形成された流路ユニット１７と、圧電ユニット１６や流路ユニット１７が固定されるヘッドケース１８と、ガラエポからなり圧電振動子１５に駆動信号を供給するための回路基板２８とを有する構成になっている。

インク導入針１３は、合成樹脂で成型された中空針状の部材である。インク導入針１３の内部空間は、図示しないインクカートリッジやサブタンク等の液体貯留部材内のインクが導入される針流路２０となっている。インク導入針１３の尖端部分には、針流路２０との間で連通する導入孔２１が設けられている。インク導入針１３が液体貯留部材の内部に挿入された状態において、この導入孔２１を通じて液体貯留部材内のインクが針流路２０内に導入されるようになっている。

導入針ユニット１４は、インク導入針１３と同様に合成樹脂によって成型されている。導入針ユニット１４の内部には、インク導入針１３に対応したインク導入路２２が形成されている。インク導入路２２の上流端部は、導入針の取り付け位置に向けて徐々に拡径された形状になっている。インク導入路２２の開口部分には、インク内の異物を除去するフィルタ２３が設けられている。針流路２０の下側の開口とインク導入路２２の上側の開口とが平面視で重なるようにインク導入針１３が導入針ユニット１４上に固定されており、導入針ユニット１４のインク導入路２２とインク導入針１３の針流路２０とがフィルタ２３を介して連通するようになっている。

圧電ユニット１６は、圧電振動子（圧電素子）１５と、当該圧電振動子１５が接合される固定板２７と、上記回路基板２８からの駆動信号を圧電振動子１５に供給するフレキシブル基板２９とを有している。圧電振動子１５は、圧電体を電極で挟んで積層し、細長い櫛歯状に切り分けられた積層型の圧電振動子である。この圧電振動子１５は、縦方向に伸縮可能な縦振動方式の圧電振動子として構成されている。各圧電振動子１５は、固定端部が固定板２７上に接合されており、自由端部が固定板２７の先端縁よりも外側に突出した状態になっている。固定板２７は、平面視矩形の板状部材であり、収容室５３の側壁面５３ａに設けられた固定板係止部６１に係止された状態で接合されている。

圧電振動子１５の表面には、個別外部電極３０と共通外部電極３１とが設けられている。個別外部電極３０は、圧電振動子１５の先端面部と、圧電振動子１５における積層方向の一側面である配線接続面（フレキシブル基板２９が接続される面）とに亘って形成された電極であり、圧電振動子１５内部の個別内部電極（図示せず）に電気的に接続されている。共通外部電極３１は、圧電振動子１５の基端面部と、圧電振動子１５における積層方向の他側面である固定板取付面とに亘って形成された電極であり、圧電振動子１５内部の共通内部電極（図示せず）に電気的に接続されている。

これらの外部電極のうち、一方の個別外部電極３０はフレキシブル基板２９の個別端子に電気的に接続されており、他方の共通外部電極３１はフレキシブル基板２９の接地端子に電気的に接続されている。フレキシブル基板２９からの駆動信号が個別外部電極３０を介して圧電振動子１５に供給され、個別外部電極３０（個別内部電極）と共通外部電極３１（共通内部電極）との電位差により圧電体が変形するようになっている。

流路ユニット１７は、ノズルプレート３３と、流路形成基板３４と、封止板（振動板）３５とを有しており、これらノズルプレート３３、流路形成基板３４及び封止板３５が一体的に設けられた構成になっている。この流路ユニット１７は、ノズルプレート３３が流路形成基板３４の一方の表面に配置され、封止板３５がノズルプレート３３とは反対側となる流路形成基板３４の他方の表面に配置されている。

ノズルプレート３３は、複数のノズル開口３７を列状に開設したステンレス鋼製の薄い板材である。流路形成基板３４は、例えばシリコンウェハーから作製された板状部材であり、共通インク室３８、インク供給口３９及び圧力室４０からなる一連のインク流路となる流路基部を有している。圧力室４０は、ノズル開口３７の配列方向（ノズル開口列方向）に直交する方向が長手方向になっている。インク供給口３９は、圧力室４０と共通インク室３８との間を連通する流路幅の狭い狭窄部（オリフィス）として形成されている。共通インク室３８は、インク導入針１３から導入されインク導入路２２及びケース流路２５を介して供給されるインクを一時的に貯留する室である。共通インク室３８に貯留されたインクは、インク供給口３９を介して各圧力室４０に供給されるようになっている。

封止板３５は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の絶縁性を有する可撓性フィルムから作製された弾性体膜４６をステンレス鋼等の導電性を有する支持基板４５にラミネート加工した二重構造の複合板材である。弾性体膜４６側の面が流路形成基板３４に、支持基板４５側の面がヘッドケース１８の底面に、それぞれ接合されるようになっている。この封止板３５は、圧力室４０の一方の開口面を封止してこの圧力室４０の容積を変動させるためのダイヤフラム部４７が形成されている。ダイヤフラム部４７は、圧電振動子１５の先端１５ａを接合するための島部４９が各圧力室４０に対応して設けられている。島部４９は、ノズル開口３７の列設方向と直交する方向に細長いブロック状に形成されている。

ヘッドケース１８は、合成樹脂製の中空のブロック状部材であり、流路ユニット１７に接合されている。ヘッドケース１８の内部には、圧電ユニット１６を収容する収容室５３と、導入針ユニット１４側からのインクを流路ユニット１７側に供給するケース流路２５とが設けられている。収容室５３は、ヘッドケース１８の高さ方向を貫通するように、流路ユニット取付面となるヘッドケース１８の底面から導入針ユニット１４や回路基板２８が取り付けられる上面に亘って形成されている。収容室５３の底面開口内には、封止板３５のダイヤフラム部４７が配置されている。ケース流路２５は、インク導入穴５０を介して上記共通インク室３８に連通する状態になっている。ヘッドケース１８の底面は、封止板３５の支持基板４５側の面に接着されている。収容室５３の側壁面５３ａ及び５３ｂは、高さ方向の中腹部分から上面開口側にかけて、収容室５３の開口が広がるように当該収容室５３の平面視中央部に対して外側に傾斜している。

このヘッドケース１８には、パッキン２４を介在させた状態で導入針ユニット１４が取り付けられている。導入針ユニット１４のインク導入路２２は、このパッキン２４を介してヘッドケースのケース流路２５と連通されている。
また、ヘッドケース１８の上面には、回路基板２８が配置されている。この回路基板２８は、接合部７０においてフレキシブル基板２９に接合されている。

次に、上記のヘッド２の製造工程を説明する。図３から図６は、圧電ユニット１６を収容して固定するまでの様子を示す図である。
まず、圧電ユニット１６を図３に示す収容室５３に収容する。この収容工程では、図４に示すように、収容室５３の上部の開口部から収容室５３の側壁面５３ａに沿った方向（図中下方向：収容方向）に圧電ユニット１６を挿入し、圧電振動子１５の先端１５ａを封止板３５の島部４９に当接させて、当該圧電ユニット１６を収容室５３内に収容する。

次に、圧電ユニット１６を収容方向に押圧し、当該圧電ユニットの一部を収容室５３の側壁面５３ｂに当接させる（押圧工程）。この工程では、図５に示すように、押圧部材６０によって圧電ユニット１６の固定板２７の上端を押圧する。押圧部材６０の先端には、固定板２７の上端面２７ｂに対して第一角度θ１だけ傾いた傾斜面６０ａが設けられている。この傾斜面６０ａを矩形の固定板２７の上端の角部（被押圧部）２７ｃに当接させて収容方向（図中黒矢印の方向）に固定板２７を押圧する。このとき、固定板２７の上端のうちノズル開口３７側の角部２７ｃに傾斜面６０ａを当接させるようにする。押圧部材６０には傾斜面６０ａが設けられているため、押圧されることによって角部２７ｃには図中右側（図中上側の白矢印の方向）に力が加えられ、固定板２７が図中右側に傾き、固定板２７の右側面が側壁面５３ａに当接する。さらに押圧部材６０を押圧することにより、固定板２７の右側面が側壁面５３ａの傾斜の開始点を支点として、固定板２７の下端部２７ａに図中左側（図中下側の白矢印の方向）に回転力が加えられる。

この回転力により、図６に示すように、当該固定板２７のうち側壁面５３ｂ側の下端部２７ａが側壁面５３ｂに当接（度当たり）する。圧電振動子１５は、先端１５ａが島部４９に当接したまま図中左側（ノズル開口の方向）に寄せられた状態になる。このように、収容室５３の中腹部分から入口部分にかけて側壁面５３ａを外側へ傾斜させる構成になっているため、各固定板２７を挿入しやすい上、側壁面５３ａの傾斜の開始点を支点として回転力が発生しやすくなる。ここでは、固定板２７の下端部２７ａが側壁面５３ｂに当接し、固定板２７の下端部２７ｆが固定板係止部６１に当接し、固定板２７の側面２７ｇが側壁面５３ａの中腹部分に当接した状態になっている。

次に、固定板２７の下端部２７ａを側壁面５３ｂに当接させた状態で、圧電振動子１５と島部４９とを接着固定するとともに、固定板２７とヘッドケース１８とを接着固定する（固定工程）。例えば、圧電振動子１５の先端１５ａ（又は島部４９上）及び固定板２７の下端部２７ａ（又は側壁面５３ｂ）に熱によって硬化する接着剤を形成しておき、固定板２７の下端部２７ａが側壁面５３ｂに当接している状態で熱を加え、接着剤を硬化させて接着する。

この後に上記の導入針ユニット１４や流路ユニット１７、ヘッドケース１８など各部材を組み合わせてヘッド２が製造される。また、このヘッド２にキャリッジ４や、プラテン５、キャリッジ移動機構７、紙送り機構８などを組み合わせてプリンタ１が製造される。

図７は、押圧部材６０の傾斜面６０ａの角度θ１と、ノズル開口３７−圧電振動子先端（以下、単に「先端」と表記）１５ａ間の距離Ｌ（図６参照）の関係を示すグラフである。グラフの横軸が角度θ１であり、グラフの縦軸がノズル開口３７−先端１５ａ間の距離（相対値）である。図中丸印は複数のノズル開口３７におけるノズル開口３７−先端１５ａ間の距離最大値を示している。図中菱形印はノズル開口３７−先端１５ａ間の距離の最小値を示している。図中三角印はノズル開口３７−先端１５ａ間の距離の平均値を示している。

同図に示すように、角度θ１が０°の場合（従来の構成）に比べて、角度θ１を大きくしていくことにより、ノズル開口３７−先端１５ａ間の距離の最大値と最小値との差が平均値に近づいている、すなわち、ノズル開口３７−先端１５ａ間の距離がより均一になっている。角度θ１を１８°以上にした場合、ノズル開口３７−先端１５ａ間の距離が徐々に均一になっていき、特に角度θ１を３０°以上にした場合、ノズル開口３７−先端１５ａ間の距離の均一化が顕著になっている。この図７から、角度θ１の範囲として、３０°〜５３°程度が好ましいといえる。

このように、本実施形態によれば、圧電ユニット１６を収容室５３に収容して圧電振動子１５を封止板３５の島部４９に当接させ、圧電ユニット１６を収容方向に押圧して当該固定板２７の下端部２７ａを収容室５３の側壁面５３ｂに当接（度当たり）させ、圧電ユニット１６を島部４９及び側壁面５３ｂに当接させた状態で、圧電振動子１５と島部４９並びに固定板２７と側壁面５３ａとをそれぞれ接着固定させることとしたので、収容室５３内での固定板２７及び圧電振動子１５の位置が決定されることになる。このため、ヘッド２の部品寸法にばらつきがある場合であっても、圧電振動子１５とノズル開口３７との距離は複数のノズル開口３７のそれぞれについて均一になる。これにより、インクの吐出量をノズル開口３７ごとに均一にすることが可能となる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
上記実施形態では、固定板２７の上端の角部２７ｃを押圧する押圧部材６０に傾斜面６０ａが形成された構成としたが、これに限られることは無く、例えば、図８に示すように、固定板２７の上端面２７ｂに傾斜面２７ｄを設けても構わない。傾斜面２７ｄは、押圧方向に直交する方向に対して第二角度θ２だけ傾くようにする。第二角度θ２については、第一角度θ１と同様に設定すればよい。押圧部材８０によって傾斜面（被押圧部）２７ｄを押圧することにより、固定板２７に回転力が加えられることになる。この場合、押圧部材８０には傾斜面を設ける必要は無い。

また、上記実施形態において、押圧部材６０に傾斜面６０ａを設ける場合、当該傾斜面６０ａの傾き角度θ１を図５に示す向きとは逆向き（負の角度）にしても良い。傾斜面６０ａの傾きを逆向きにすることにより、図５に示す向きとは逆方向の回転力が生じ、固定板２７のうち側壁面５３ａ側の下端部２７ｆが側壁面５３ａに当接（度当たり）することになる。この結果、圧電振動子１５はノズル開口３７から遠ざかる方向に寄せられた位置に固定されることになる。

また、上記実施形態では、押圧部材６０によって固定板２７を押圧することにより固定板２７を側壁に当接させ、この状態で圧電振動子１５及び固定板２７を接着するものとしたが、これに限られることは無く、例えば固定板２７ではなく圧電振動子１５を側壁に当接させた状態で接着固定するようにしても勿論構わない。

また、上記実施形態では、収容室５３の側壁面５３ａ及び５３ｂが、高さ方向の中腹部分から上端側にかけて当該収容室５３の平面視中央部に対して外側に傾くように構成されていたが、これに限られることは無く、例えば側壁面５３ａ及び５３ｂが高さ方向の下端側から上端側にかけて全体的に当該収容室５３の平面視中央部に対して外側に傾くように構成されていても構わない。この構成であっても、収容室５３の上部が広がるため圧電ユニット１６を挿入しやすくすることができる上、押圧部材６０によって押圧したときに圧電ユニット１６に対して回転力を付与しやすくすることが可能である。また、側壁面５３ａ及び５３ｂのうち例えば高さ方向の中腹部分において収容室５３の平面視中央部に対して外側に傾くように構成しても構わない。

また、上述の各実施形態において、流体噴射装置から噴射される流体としては、インクのみならず、特定の用途に対応する流体を適用可能である。流体噴射装置に、その特定の用途に対応する流体を噴射可能な噴射ヘッドを設け、その噴射ヘッドから特定の用途に対応する流体を噴射して、その流体を所定の物体に付着させることによって、所定のデバイスを製造可能である。例えば、本発明の流体噴射装置（流体噴射装置）は、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、及び面発光ディスプレイ（ＦＥＤ）の製造等に用いられる電極材、色材等の材料を所定の分散媒（溶媒）に分散（溶解）した流体を噴射する流体噴射装置に適用可能である。

また、流体噴射装置としては、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する流体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる流体を噴射する流体噴射装置であってもよい。

さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する流体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する流体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する流体噴射装置、ジェルを噴射する流状体噴射装置、トナーなどの粉体を例とする固体を噴射するトナージェット式記録装置であってもよい。そして、これらのうちいずれか一種の流体噴射装置に本発明を適用することができる。

本発明の実施の形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図。 ヘッドの構成を示す断面図。 ヘッドの製造過程の一部を示す工程図。 同、工程図。 同、工程図。 同、工程図。 傾斜部の傾斜角とノズル開口−圧電振動子先端間の距離との関係を示すグラフ。 本発明のヘッドの他の製造過程を示す工程図。

符号の説明

１…プリンタ（流体噴射装置） ２…ヘッド（流体噴射ヘッド） １５…圧電振動子（圧電素子） １５ａ…先端 １６…圧電ユニット １７…流路ユニット １８…ヘッドケース ２７…固定板 ２７ａ…下端部 ２７ｂ…上端面 ２７ｃ…角部 ２７ｄ…傾斜面 ２７ｆ…下端部 ２７ｇ…側面 ３５…封止板（振動板） ３７…ノズル開口 ４９…島部 ５３…収容室 ５３ａ…側壁面 ５３ｂ…側壁面 ６０…押圧部材 ６０ａ…傾斜面 ８０…押圧部材 θ１…第一角度 θ２…第二角度

Claims (7)

1. 流体を噴射する複数のノズル開口及び前記ノズル開口のそれぞれに連通する圧力室が形成された流路ユニットと、
   前記流路ユニットの振動板に振動を与える圧電素子及び前記圧電素子を固定する固定板を有する圧電ユニットと、
   前記圧電ユニットを収容する収容室を備えたヘッドケースと、
   を備えた流体噴射ヘッドの製造方法であって、
   前記圧電ユニットを前記収容室に収容して前記圧電素子を前記振動板に当接させる収容工程と、
   前記圧電ユニットを収容方向に押圧して前記圧電ユニットの一部を前記収容室の側壁面に当接させる押圧工程と、
   前記圧電ユニットを前記振動板及び前記側壁面に当接させた状態で、前記圧電素子と前記振動板並びに前記固定板と前記ヘッドケースとをそれぞれ接着固定させる固定工程と
   を備えることを特徴とする流体噴射ヘッドの製造方法。
2. 前記押圧工程では、前記圧電ユニットに収容方向と同時に回転方向への作用力を付与し、前記回転方向への作用力によって前記圧電ユニットを前記収容室の側壁面に当接させる
   ことを特徴とする請求項１に記載の流体噴射ヘッドの製造方法。
3. 前記押圧工程では、
   押圧部材の先端に形成された押圧部で前記圧電ユニットの上端の被押圧部を押圧し、前記押圧部と前記被押圧部の少なくとも一方に形成され前記収容方向に対して傾斜する傾斜面の作用により、前記圧電ユニットに前記回転方向への作用力を付与する
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流体噴射ヘッドの製造方法。
4. 前記傾斜面は、前記押圧部に、前記被押圧部に対して第一角度を成すように形成されている
   ことを特徴とする請求項３に記載の流体噴射ヘッドの製造方法。
5. 前記傾斜面は、前記被押圧部に、前記押圧部に対して第二角度をなすように形成されている
   ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の流体噴射ヘッドの製造方法。
6. 前記側壁面のうち少なくとも一部は、前記収容室の平面視中央部に対して外側に傾斜している
   ことを特徴とする請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の流体噴射ヘッドの製造方法。
7. 複数ノズルから流体を噴射する流体噴射ヘッドを備えた流体噴射装置の製造方法であって、
   前記流体噴射ヘッドの製造工程において、請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載の流体噴射ヘッドの製造方法を用いることを特徴とする流体噴射装置の製造方法。

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