JP2009064758A - 有機elディスプレイパネル製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機ELディスプレイパネル製造装置は、真空蒸着室9内で蒸着源8から発した有機材料を有機ELディスプレイパネルに用いられる基板3に蒸着させるようになっている。そして、有機ELディスプレイパネル製造装置は、基板3を保持する基板トレイ1と、基板トレイ1の蒸着源の側に突設された防着部材2と、を備えている。有機ELディスプレイパネル製造時における真空蒸着室への着膜を著しく低減することができる。
【選択図】図1
Description
(実施例1)
図1は、有機ELディスプレイパネル製造装置における、真空蒸着室の内部構造を示す断面模式図である。図2は、有機ELディスプレイパネル製造装置の概略構成図である。
(実施例2)
図4は、インライン型単色有機ELディスプレイパネル製造装置32の概略構成図である。この装置32に使用される基板トレイ1は、図3(C)に示す形状をしている。この基板トレイ201は、1対の防着部材202を末広がり状に備えている。
1 基板トレイ(基板保持部材)
2 防着部材
3 基板
5 基板トレイ保持部
6 シャッタ
8 蒸着源
9 真空蒸着室
22 ころ(搬送手段)
31 有機ELディスプレイパネル製造装置
32 有機ELディスプレイパネル製造装置
101 基板トレイ(基板保持部材)
102 防着部材
201 基板トレイ(基板保持部材)
202 防着部材
Claims (2)
- 真空蒸着室内で蒸着源から発した有機材料を有機ELディスプレイパネルに用いられる基板に蒸着させる有機ELディスプレイパネル製造装置において、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材の前記蒸着源の側に突設された防着部材と、を備え、
前記防着部材は、蒸着源から発した有機材料の拡散領域を受け入れる位置に突設されている、
ことを特徴とする有機ELディスプレイパネル製造装置。 - 前記基板保持部材を前記真空蒸着室に対して搬入搬出を行う搬送手段を備えた、
ことを特徴とする請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル製造装置。
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