JP2009064527A - 垂直磁気記録媒体及び磁気記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】人工的にパターニングされた非磁性凸構造104間に形成される溝部の底面及び側壁にシード層108と記録層109とを形成し、凸部上の記録層を除去する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明による磁気記録媒体の作製プロセスの一例を示す工程模式図である。本図ではDTMを想定し、トラック方向断面模式図を示しているが、BPMに関しても同様である。
Claims (15)
- 磁気記録層がトラック毎もしくはビット毎に磁気的に分離された垂直磁気記録媒体において、
周期的に形成された凹部を有する非磁性層と、
前記凹部の底面及び側壁にシード層を介して形成された磁気記録層とを有し、
前記磁気記録層は前記凹部内に配置されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 請求項1記載の垂直磁気記録媒体において、前記凹部を有する非磁性層の上に停止層が形成されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1記載の垂直磁気記録媒体において、前記凹部には、前記シード層の下に軟磁性裏打層が形成されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1記載の垂直磁気記録媒体において、前記凹部を有する非磁性層の下に軟磁性裏打層が形成されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1記載の垂直磁気記録媒体において、前記凹部の深さは前記シード層と磁気記録層を合わせた厚さよりも大きいことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 基板上に軟磁性下地層を形成する工程と、
前記軟磁性下地層の上に保護層を形成する工程と、
前記保護層の上に非磁性層を形成する工程と、
前記非磁性層に周期的な凹部を形成する工程と、
前記周期的な凹部が形成された非磁性層の上に停止層を形成する工程と、
前記停止層の上にシード層を形成する工程と、
前記シード層の上に磁気記録層を形成する工程と、
前記磁気記録層の上に非磁性の平坦化層を形成する工程と、
前記非磁性層の上面に形成された停止層より上方の層を除去する平坦化工程と
を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項6記載の垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性層に周期的な凹部を形成する工程は、前記非磁性層の上にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして用いてエッチングもしくはミリングによりパターンを転写する工程とを有することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項6記載の垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性層に周期的な凹部を形成する工程は、モールドを用いたインプリント法により前記非磁性層にパターンを転写する工程であることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項6記載の垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記平坦化工程ではイオンミリングによるエッチバックを用いることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項6記載の垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記平坦化工程では化学機械的研磨を用いることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 基板上に非磁性層を形成する工程と、
前記非磁性層に周期的な凹部を形成する工程と、
前記周期的な凹部が形成された非磁性層の上に停止層を形成する工程と、
前記停止層の上に軟磁性下地層を形成する工程と、
前記軟磁性下地層の上にシード層を形成する工程と、
前記シード層の上に磁気記録層を形成する工程と、
前記磁気記録層の上に非磁性の平坦化層を形成する工程と、
前記非磁性層の上面に形成された停止層より上方の層を除去する平坦化工程と
を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項11記載の垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記平坦化工程ではイオンミリングによるエッチバックを用いることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項11記載の垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記平坦化工程では化学機械的研磨を用いることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 垂直磁気記録媒体と、
前記垂直磁気記録媒体を駆動する媒体駆動部と、
垂直磁気記録ヘッドと再生ヘッドとを搭載したスライダと、
前記スライダを固定するジンバルと、
前記ジンバルを駆動するアクチュエータと、
信号処理系とを有し、
前記垂直磁気記録媒体は、周期的に形成された凹部を有する非磁性層と、前記凹部の底面及び側壁にシード層を介して形成された磁気記録層とを有し、前記磁気記録層は前記凹部内に配置されており、前記磁気記録層がトラック毎もしくはビット毎に磁気的に分離された垂直磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録装置。 - 請求項14記載の磁気記録装置において、前記凹部を有する非磁性層の上に停止層が形成されていることを特徴とする磁気記録装置。
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