JP2009062890A - クライオパネル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオパネル10は、伝熱板11とパネル部12とを含む。伝熱板11は、コの字型に折り曲げられた板状体で構成される支持部材11Aと、取付板11Bとを含む。支持部材11Aの頂部には、第2段冷凍ステージ8Bにネジ止めするための孔部11aが2つ形成されている。また、取付板11Bは、パネル部12を取り付けるための部材であり、支持部材11Aにネジ止めされる。パネル部12は、4つのパネル片12Aで構成される。各パネル片12Aは、環状の薄板で構成され、それぞれの直径は、直径差が均等になるように設定されている。各パネル片12Aは、同心状に配置された状態で取付板11Bに半田付けされる。パネル部12の両面に活性層が形成される。
【選択図】図2
Description
図1は、実施の形態1のクライオパネルが用いられるクライオポンプの構造を示す図である。クライオポンプ1は、真空容器2、冷凍機3、シールド4、及びクライオパネル10を含む。
図5は、冷凍機3の第1段冷凍ステージ8A及び第2段冷凍ステージ8Bが真空容器2の横方向から挿入される、いわゆる横型のクライオポンプを示す図である。このような横型のクライオポンプでは、第2段冷凍ステージ8Bの導入方向に存在するパネル片が第2段冷凍ステージ8Bに干渉することを防ぐため、パネル片の配置を変更する必要が生じる場合がある。なお、図5には、図1では省略した第2段ディスプレーサ7Aを示す。
図7は、実施の形態3のクライオパネルを示す図であり、(a)は正面図、(b)は平面図である。実施の形態3のクライオパネル30は、径方向寸法の異なるパネル部32及び33を有する。パネル部32の径方向寸法は、パネル部33の径方向寸法よりも大きく設定されている。これと同様に、パネル部32に含まれる4つのパネル片32Aの各々の径方向寸法は、パネル部33に含まれる4つのパネル片33Aの各々の径方向寸法よりも大きく設定されている。このようなパネル部32と33は、ガス流入方向において交互に配設される。
図8は、実施の形態4のクライオパネルを示す図であり、(a)は平面図、(b)は分解した状態を示す平面図である。図9は、実施の形態4のクライオパネルの要部を示す図であり、(a)は支持部材を示す斜視図、(b)はパネル片を拡大して示す平面図である。
2 真空容器
3 冷凍機
4 シールド
5 圧縮機
6 第1段シリンダ
6A 第1段ディスプレーサ
7 第2段シリンダ
7A 第2段ディスプレーサ
8A 第1段冷凍ステージ
8B 第2段冷凍ステージ
9 ルーバ
10、20、30、40 クライオパネル
11、41 伝熱板
11A 支持部材
11B 取付板
11a 孔部
12、22、32、42 パネル部
12A、22A、32A、33A、43 パネル片
41A 第1支持部材
41B 第2支持部材
41C 円筒パネル
43A 円弧状パネル
43B 径方向パネル
43C 交差する部分
43a、43b 端部
Claims (6)
- ガス流入口を有する真空容器と、前記真空容器内に配設されるステージを有し、当該ステージを冷却する冷凍機とを備え、前記ガス流入口から前記真空容器内に流入する分子を凝固又は吸着させるクライオポンプに用いるクライオパネルであって、
前記ステージにより保持されて冷却される伝熱板と、
前記伝熱板によって支持され、前記ガス流入口に向けて配置される円弧板状又は環状板状の複数のパネル片を含むパネル部であって、前記ガス流入口の開口面から見た平面視において、各パネル片が同心状に配置されるパネル部と
を備える、クライオパネル。 - 前記パネル片は、ガス流入方向に幅を有する円弧状又は環状の薄板で構成される、請求項1に記載のクライオパネル。
- 前記パネル部の各パネル片は、等間隔で同心状に配置される、請求項1又は2に記載のクライオパネル。
- 前記パネル部は、ガス流入方向に複数段配設される、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のクライオパネル。
- 前記ガス流入口の開口面から見た平面視において、前記パネル部に含まれる各パネル片の曲率は、前記複数段のパネル部のうちの一の段と他の段とで異なる、請求項4に記載のクライオパネル。
- 前記パネル部は、前記ガス流入口の開口面から見た平面視において、放射状に分割される複数のパネル片によって構成される、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のクライオパネル。
Priority Applications (1)
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JP2007231822A JP4980179B2 (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | クライオパネル |
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Country Status (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190110096A (ko) | 2017-02-07 | 2019-09-27 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 |
TWI688710B (zh) * | 2017-02-08 | 2020-03-21 | 日商住友重機械工業股份有限公司 | 低溫泵 |
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-
2007
- 2007-09-06 JP JP2007231822A patent/JP4980179B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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JP4980179B2 (ja) | 2012-07-18 |
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