JP2009174470A - クライオポンプ及び真空排気方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプ10は、クライオポンプ容器12と、冷凍機14と、低温パネル16と、中間パネル18と、放射シールド20とを含んで構成される。クライオポンプ容器12は、排気されるべき気体が進入する吸気口を有する。放射シールド20は一端に開口部を有する。低温パネル16は、放射シールド20の内部に配置され、放射シールド20よりも低温に冷却される。中間パネル18は、放射シールド20よりも低温、かつ低温パネル16よりも高温に冷却される。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- 排気されるべき気体が進入する吸気口を有するクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内部に配置され、前記吸気口側の端部に開口を有する放射シールドと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温に冷却される低温パネルと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温、かつ低温パネルよりも高温に冷却される中間パネルと、
を備えることを特徴とするクライオポンプ。 - 冷凍機をさらに備え、
前記冷凍機は前記クライオポンプ容器内部に配設され、かつ、気体の膨張作用によって冷却を実現するシリンダを含み、
前記シリンダは、第1冷却ステージと第2冷却ステージとを有し、
前記第1冷却ステージは前記放射シールドと接続し、
前記第2冷却ステージは前記低温パネルと接続し、
前記中間パネルは、前記シリンダの、前記第1冷却ステージと、前記第2冷却ステージとの間に熱的に接続されることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 前記放射シールドの開口部に設置されるバッフルをさらに備え、
前記中間パネルは、前記バッフルと前記低温パネルとの間に配置されることを特徴とする請求項2に記載のクライオポンプ。 - 前記中間パネルは、半導体製造におけるイオン注入工程に用いられるドーパントガスの飽和蒸気圧と、希望到達真空度とが一致する温度以下に冷却されることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。
- 前記中間パネルは、希望到達真空度と三フッ化ホウ素の飽和蒸気圧が一致する温度以下に冷却されることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。
- 前記中間パネルは、希望到達真空度とホスフィンの飽和蒸気圧が一致する温度以下に冷却されることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。
- 前記中間パネルは、希望到達真空度とアルシンの飽和蒸気圧が一致する温度以下に冷却されることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。
- 前記放射シールドは、80〜100Kに冷却され、
前記中間パネルは、40〜50Kに冷却され、
前記低温パネルは、10〜20Kに冷却されることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。 - クライオポンプ容器と、クライオポンプ容器内部に配置される第1のクライオパネルと、クライオポンプ容器内部に配置され、第1のクライオパネルより低温に冷却される第2のクライオパネルと、前記第1のクライオパネルと前記第2のクライオパネルとを冷却する冷凍機と、を備え、前記冷凍機はシリンダによる気体の膨張作用により冷却を実現するタイプのクライオポンプであり、当該クライオポンプを使用して排気をする方法であって、
第3のクライオパネルを前記冷凍機のシリンダに熱的に接続し、
前記シリンダからの伝熱により前記第3のクライオパネルが前記第1のクライオパネルよりも低温となり、かつ前記第2のクライオパネルよりも高温となるよう冷却動作を実行せしめることを特徴とする真空排気方法。 - 排気されるべき気体が進入する吸気口を有するクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内部に配置され、前記吸気口側の端部に開口を有し、冷凍機の第1の個所によって冷却される放射シールドと、
前記放射シールド内部に配置され、冷凍機の第2の個所によって冷却される低温パネルと、
前記放射シールド内部に配置され、冷凍機の第3の個所によって冷却される中間パネルと、
を備え、冷凍機の最も低温な個所から見て、第2の個所、第3の個所、第1の個所の順に遠ざかるよう位置決めがなされていることを特徴とするクライオポンプ。
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JPH0642459A (ja) * | 1992-07-22 | 1994-02-15 | Ulvac Japan Ltd | クライオポンプ |
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CN107237735B (zh) * | 2016-03-29 | 2019-05-28 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵 |
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