JP6076843B2 - クライオポンプ - Google Patents
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Description
主開口を有する放射シールドと、前記主開口を横断するプレート部材と、を備え、前記第1ステージに熱的に接続されている第1クライオパネルと、
前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第2ステージに熱的に接続されている第2クライオパネルと、を備え、
前記プレート部材は、プレート本体部と、前記プレート本体部を前記放射シールドに取り付けるための外縁部と、を備え、
前記プレート本体部は、前記第2クライオパネルに凝縮されるガスを通すための多数の小孔を有するガス通過領域と、前記本体部において前記ガス通過領域と異なる場所に形成されているガス遮蔽領域と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
前記ガス通過領域は、前記外側領域に対向し、前記ガス遮蔽領域は、前記中心領域に対向することを特徴とする実施形態1に記載のクライオポンプ。
前記ガス遮蔽領域は、前記狭窄部に対応する場所に形成されていることを特徴とする実施形態1または2に記載のクライオポンプ。
前記第2クライオパネルと前記取付座との間には側方隙間が形成され、前記第2クライオパネルと前記環状部分との間には前記側方隙間に連続する環状隙間が形成されており、
前記側方隙間の幅と前記環状隙間の幅とを合わせるように前記第2クライオパネルの形状または配置が調整されていることを特徴とする実施形態1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記冷凍機は、前記第1ステージと前記第2ステージとを接続する接続部分を備え、前記接続部分は、前記取付孔に挿入されており、
前記接続部分と前記取付孔との間には、前記主開口に近い側に上方隙間が形成され、前記主開口から遠い側に下方隙間が形成され、前記上方隙間の幅は前記下方隙間の幅より広いことを特徴とする実施形態1から6のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記クライオポンプは、主開口を横断するプレート部材と、前記プレート部材に対向する第2クライオパネルと、を備え、
前記方法は、
前記プレート部材及び前記第2クライオパネルをそれぞれ、第1温度及びそれより低い第2温度に冷却することと、
前記プレート部材の表面の一部に形成されている多数の小孔を通じて、前記プレート部材と前記第2クライオパネルとの間にガスを受け入れることと、
前記ガスを前記第2クライオパネルに凝縮することと、を備えることを特徴とする方法。
前記プレート部材に対向する前面を備え、前記第1クライオパネルより低温に冷却される第2クライオパネルと、を備え、
前記前面は、中心領域と、前記中心領域を囲む外側領域と、を備え、
前記プレート部材は、前記第2クライオパネルに凝縮されるガスを通すための多数の小孔を有し前記外側領域に対向するガス通過領域と、前記中心領域に対向するガス遮蔽領域と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第1クライオパネルより低温に冷却される第2クライオパネルと、を備え、
前記放射シールドは、前記第2クライオパネルを囲む側部を備え、前記側部と前記第2クライオパネルとの間には、狭窄部を有する隙間が形成されており、
前記入口クライオパネルは、前記狭窄部に対応する場所にガス遮蔽領域を備えることを特徴とするクライオポンプ。
主開口を有する放射シールドと、前記主開口に配設されている入口クライオパネルと、を備え、前記第1ステージに熱的に接続されている第1クライオパネルと、
前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第2ステージに熱的に接続されている第2クライオパネルと、を備え、
前記放射シールドは、前記第2クライオパネルの側方に位置し前記冷凍機を前記放射シールドに取り付けるための取付座と、前記取付座に隣接して前記第2クライオパネルを囲むシールド部分と、を備え、
前記第2クライオパネルと前記取付座との間には側方隙間が形成され、前記第2クライオパネルと前記シールド部分との間には前記側方隙間に連続する隙間部が形成されており、
前記側方隙間の幅と前記隙間部の幅とを合わせるように前記第2クライオパネルの形状または配置が調整されていることを特徴とするクライオポンプ。
前記入口クライオパネルは、前記第2クライオパネルに凝縮されるガスを通すためのガス通過領域と、ガス遮蔽領域と、を備え、前記ガス通過領域は、前記外側領域に対向し、前記ガス遮蔽領域は、前記中心領域に対向することを特徴とする実施形態11から13のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記冷凍機は、前記第1ステージと前記第2ステージとを接続する接続部分を備え、前記接続部分は、前記取付孔に挿入されており、
前記接続部分と前記取付孔との間には、前記主開口に近い側に上方隙間が形成され、前記主開口から遠い側に下方隙間が形成され、前記上方隙間の幅は前記下方隙間の幅より広いことを特徴とする実施形態11から15のいずれかに記載のクライオポンプ。
Claims (6)
- 第1ステージと、前記第1ステージより低温に冷却される第2ステージと、を備える冷凍機と、
主開口を有する放射シールドと、前記主開口に配設されている入口クライオパネルと、を備え、前記第1ステージに熱的に接続されている第1クライオパネルと、
前記入口クライオパネルに対向するトップパネルを備え、前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第2ステージに熱的に接続されている第2クライオパネルと、を備え、
前記放射シールドは、前記トップパネルの側方に位置し前記冷凍機を前記放射シールドに取り付けるための取付座と、前記取付座に隣接して前記トップパネルを周方向に囲むシールド部分と、を備え、
前記トップパネルと前記取付座との間には側方隙間が形成され、前記トップパネルと前記シールド部分との間には前記側方隙間に連続する隙間部が形成されており、
前記側方隙間の幅と前記隙間部の幅とを合わせるように前記トップパネルの形状または配置が調整されていることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記トップパネルは、前記側方隙間を拡幅する切り欠き部を有することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記トップパネルは、前記取付座から前記トップパネルを離すように、前記主開口を通る軸線から前記トップパネルの中心を外して配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記トップパネルは、前記入口クライオパネルに対向する前面を備え、前記前面は、中心領域と、前記中心領域を囲む外側領域と、を備え、
前記入口クライオパネルは、前記トップパネルに凝縮されるガスを通すためのガス通過領域と、ガス遮蔽領域と、を備え、前記ガス通過領域は、前記外側領域に対向し、前記ガス遮蔽領域は、前記中心領域に対向することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記ガス通過領域は、多数の小孔を有するプレート部分を備えることを特徴とする請求項4に記載のクライオポンプ。
- 前記放射シールドには、前記冷凍機のための取付孔が形成されており、
前記冷凍機は、前記第1ステージと前記第2ステージとを接続する接続部分を備え、前記接続部分は、前記取付孔に挿入されており、
前記接続部分と前記取付孔との間には、前記主開口に近い側に上方隙間が形成され、前記主開口から遠い側に下方隙間が形成され、前記上方隙間の幅は前記下方隙間の幅より広いことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。
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