JP2015001186A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015001186A JP2015001186A JP2013125819A JP2013125819A JP2015001186A JP 2015001186 A JP2015001186 A JP 2015001186A JP 2013125819 A JP2013125819 A JP 2013125819A JP 2013125819 A JP2013125819 A JP 2013125819A JP 2015001186 A JP2015001186 A JP 2015001186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- cryopump
- gap
- stage
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
Description
主開口を有する放射シールドと、前記主開口を横断するプレート部材と、を備え、前記第1ステージに熱的に接続されている第1クライオパネルと、
前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第2ステージに熱的に接続されている第2クライオパネルと、を備え、
前記プレート部材は、プレート本体部と、前記プレート本体部を前記放射シールドに取り付けるための外縁部と、を備え、
前記プレート本体部は、前記第2クライオパネルに凝縮されるガスを通すための多数の小孔を有するガス通過領域と、前記本体部において前記ガス通過領域と異なる場所に形成されているガス遮蔽領域と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
前記ガス通過領域は、前記外側領域に対向し、前記ガス遮蔽領域は、前記中心領域に対向することを特徴とする実施形態1に記載のクライオポンプ。
前記ガス遮蔽領域は、前記狭窄部に対応する場所に形成されていることを特徴とする実施形態1または2に記載のクライオポンプ。
前記第2クライオパネルと前記取付座との間には側方隙間が形成され、前記第2クライオパネルと前記環状部分との間には前記側方隙間に連続する環状隙間が形成されており、
前記側方隙間の幅と前記環状隙間の幅とを合わせるように前記第2クライオパネルの形状または配置が調整されていることを特徴とする実施形態1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記冷凍機は、前記第1ステージと前記第2ステージとを接続する接続部分を備え、前記接続部分は、前記取付孔に挿入されており、
前記接続部分と前記取付孔との間には、前記主開口に近い側に上方隙間が形成され、前記主開口から遠い側に下方隙間が形成され、前記上方隙間の幅は前記下方隙間の幅より広いことを特徴とする実施形態1から6のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記クライオポンプは、主開口を横断するプレート部材と、前記プレート部材に対向する第2クライオパネルと、を備え、
前記方法は、
前記プレート部材及び前記第2クライオパネルをそれぞれ、第1温度及びそれより低い第2温度に冷却することと、
前記プレート部材の表面の一部に形成されている多数の小孔を通じて、前記プレート部材と前記第2クライオパネルとの間にガスを受け入れることと、
前記ガスを前記第2クライオパネルに凝縮することと、を備えることを特徴とする方法。
前記プレート部材に対向する前面を備え、前記第1クライオパネルより低温に冷却される第2クライオパネルと、を備え、
前記前面は、中心領域と、前記中心領域を囲む外側領域と、を備え、
前記プレート部材は、前記第2クライオパネルに凝縮されるガスを通すための多数の小孔を有し前記外側領域に対向するガス通過領域と、前記中心領域に対向するガス遮蔽領域と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第1クライオパネルより低温に冷却される第2クライオパネルと、を備え、
前記放射シールドは、前記第2クライオパネルを囲む側部を備え、前記側部と前記第2クライオパネルとの間には、狭窄部を有する隙間が形成されており、
前記入口クライオパネルは、前記狭窄部に対応する場所にガス遮蔽領域を備えることを特徴とするクライオポンプ。
主開口を有する放射シールドと、前記主開口に配設されている入口クライオパネルと、を備え、前記第1ステージに熱的に接続されている第1クライオパネルと、
前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第2ステージに熱的に接続されている第2クライオパネルと、を備え、
前記放射シールドは、前記第2クライオパネルの側方に位置し前記冷凍機を前記放射シールドに取り付けるための取付座と、前記取付座に隣接して前記第2クライオパネルを囲むシールド部分と、を備え、
前記第2クライオパネルと前記取付座との間には側方隙間が形成され、前記第2クライオパネルと前記シールド部分との間には前記側方隙間に連続する隙間部が形成されており、
前記側方隙間の幅と前記隙間部の幅とを合わせるように前記第2クライオパネルの形状または配置が調整されていることを特徴とするクライオポンプ。
前記入口クライオパネルは、前記第2クライオパネルに凝縮されるガスを通すためのガス通過領域と、ガス遮蔽領域と、を備え、前記ガス通過領域は、前記外側領域に対向し、前記ガス遮蔽領域は、前記中心領域に対向することを特徴とする実施形態11から13のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記冷凍機は、前記第1ステージと前記第2ステージとを接続する接続部分を備え、前記接続部分は、前記取付孔に挿入されており、
前記接続部分と前記取付孔との間には、前記主開口に近い側に上方隙間が形成され、前記主開口から遠い側に下方隙間が形成され、前記上方隙間の幅は前記下方隙間の幅より広いことを特徴とする実施形態11から15のいずれかに記載のクライオポンプ。
Claims (6)
- 第1ステージと、前記第1ステージより低温に冷却される第2ステージと、を備える冷凍機と、
主開口を有する放射シールドと、前記主開口に配設されている入口クライオパネルと、を備え、前記第1ステージに熱的に接続されている第1クライオパネルと、
前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第2ステージに熱的に接続されている第2クライオパネルと、を備え、
前記放射シールドは、前記第2クライオパネルの側方に位置し前記冷凍機を前記放射シールドに取り付けるための取付座と、前記取付座に隣接して前記第2クライオパネルを囲むシールド部分と、を備え、
前記第2クライオパネルと前記取付座との間には側方隙間が形成され、前記第2クライオパネルと前記シールド部分との間には前記側方隙間に連続する隙間部が形成されており、
前記側方隙間の幅と前記隙間部の幅とを合わせるように前記第2クライオパネルの形状または配置が調整されていることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記第2クライオパネルは、前記側方隙間を拡幅する切り欠き部を有することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記第2クライオパネルは、前記取付座から前記第2クライオパネルを離すように、前記主開口を通る軸線から前記第2クライオパネルの中心を外して配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記第2クライオパネルは、前記入口クライオパネルに対向する前面を備え、前記前面は、中心領域と、前記中心領域を囲む外側領域と、を備え、
前記入口クライオパネルは、前記第2クライオパネルに凝縮されるガスを通すためのガス通過領域と、ガス遮蔽領域と、を備え、前記ガス通過領域は、前記外側領域に対向し、前記ガス遮蔽領域は、前記中心領域に対向することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記ガス通過領域は、多数の小孔を有するプレート部分を備えることを特徴とする請求項4に記載のクライオポンプ。
- 前記放射シールドには、前記冷凍機のための取付孔が形成されており、
前記冷凍機は、前記第1ステージと前記第2ステージとを接続する接続部分を備え、前記接続部分は、前記取付孔に挿入されており、
前記接続部分と前記取付孔との間には、前記主開口に近い側に上方隙間が形成され、前記主開口から遠い側に下方隙間が形成され、前記上方隙間の幅は前記下方隙間の幅より広いことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013125819A JP6076843B2 (ja) | 2013-06-14 | 2013-06-14 | クライオポンプ |
TW103110674A TWI580865B (zh) | 2013-03-25 | 2014-03-21 | Low temperature pump |
CN201410112112.6A CN104074716B (zh) | 2013-03-25 | 2014-03-24 | 低温泵及真空排气方法 |
KR1020140034544A KR101530926B1 (ko) | 2013-03-25 | 2014-03-25 | 크라이오펌프 |
US14/301,719 US10456706B2 (en) | 2013-06-14 | 2014-06-11 | Cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013125819A JP6076843B2 (ja) | 2013-06-14 | 2013-06-14 | クライオポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015001186A true JP2015001186A (ja) | 2015-01-05 |
JP6076843B2 JP6076843B2 (ja) | 2017-02-08 |
Family
ID=52018040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013125819A Active JP6076843B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-06-14 | クライオポンプ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10456706B2 (ja) |
JP (1) | JP6076843B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170018790A (ko) | 2015-08-10 | 2017-02-20 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 |
CN106958519A (zh) * | 2016-01-08 | 2017-07-18 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵 |
US10861567B2 (en) | 2018-08-31 | 2020-12-08 | Micron Technology, Inc. | Capacitive voltage modifier for power management |
KR20210044227A (ko) | 2018-09-03 | 2021-04-22 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 및 크라이오펌프의 감시방법 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10376811B2 (en) * | 2018-06-08 | 2019-08-13 | Elliot Kremerman | Integrated dual stage trap with inverted cup |
US11661931B2 (en) * | 2020-11-24 | 2023-05-30 | Ulvac Cryogenics Incorporated | Cryopump and baffle plate for cryopump |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080168778A1 (en) * | 2007-01-17 | 2008-07-17 | Brooks Automation, Inc. | Pressure burst free high capacity cryopump |
JP2009275672A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4277951A (en) | 1980-04-10 | 1981-07-14 | Air Products And Chemicals, Inc. | Cryopumping apparatus |
US4449373A (en) | 1983-02-28 | 1984-05-22 | Helix Technology Corporation | Reduced vacuum cryopump |
US4791791A (en) | 1988-01-20 | 1988-12-20 | Varian Associates, Inc. | Cryosorption surface for a cryopump |
KR20000015118A (ko) | 1998-08-27 | 2000-03-15 | 윤종용 | 배플을 구비한 크라이오 펌프 |
CN100579619C (zh) * | 2005-02-08 | 2010-01-13 | 住友重机械工业株式会社 | 改进的低温泵 |
JP5184995B2 (ja) | 2008-07-04 | 2013-04-17 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
WO2011055465A1 (ja) | 2009-11-09 | 2011-05-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及び真空排気方法 |
JP6031451B2 (ja) | 2011-02-09 | 2016-11-24 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプ |
JP5679913B2 (ja) | 2011-06-14 | 2015-03-04 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプ監視方法 |
US9174144B2 (en) * | 2012-04-20 | 2015-11-03 | Sumitomo (Shi) Cryogenics Of America Inc | Low profile cryopump |
-
2013
- 2013-06-14 JP JP2013125819A patent/JP6076843B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-11 US US14/301,719 patent/US10456706B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080168778A1 (en) * | 2007-01-17 | 2008-07-17 | Brooks Automation, Inc. | Pressure burst free high capacity cryopump |
JP2009275672A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170018790A (ko) | 2015-08-10 | 2017-02-20 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 |
KR102499170B1 (ko) | 2015-08-10 | 2023-02-10 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 |
CN106958519A (zh) * | 2016-01-08 | 2017-07-18 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵 |
US10861567B2 (en) | 2018-08-31 | 2020-12-08 | Micron Technology, Inc. | Capacitive voltage modifier for power management |
US11367490B2 (en) | 2018-08-31 | 2022-06-21 | Micron Technology, Inc. | Capacitive voltage modifier for power management |
KR20210044227A (ko) | 2018-09-03 | 2021-04-22 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 및 크라이오펌프의 감시방법 |
KR102597865B1 (ko) | 2018-09-03 | 2023-11-02 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 및 크라이오펌프의 감시방법 |
US11920576B2 (en) | 2018-09-03 | 2024-03-05 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method of monitoring cryopump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10456706B2 (en) | 2019-10-29 |
JP6076843B2 (ja) | 2017-02-08 |
US20140366562A1 (en) | 2014-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6338403B2 (ja) | クライオポンプ及び真空排気方法 | |
JP6076843B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP6415230B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP6710604B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP2010014066A (ja) | クライオポンプ | |
TWI580865B (zh) | Low temperature pump | |
JP2013160105A (ja) | クライオポンプ | |
KR102364147B1 (ko) | 크라이오펌프 | |
KR102499169B1 (ko) | 크라이오펌프 | |
JP2010048132A (ja) | クライオポンプ | |
JP4751377B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP2017122414A (ja) | クライオポンプ | |
US10359034B2 (en) | Cryopump | |
KR102364146B1 (ko) | 크라이오펌프 | |
JP6053552B2 (ja) | クライオポンプ及びクライオポンプ取付構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151013 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160617 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160628 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6076843 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |