JP4521047B2 - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4521047B2 JP4521047B2 JP2008130138A JP2008130138A JP4521047B2 JP 4521047 B2 JP4521047 B2 JP 4521047B2 JP 2008130138 A JP2008130138 A JP 2008130138A JP 2008130138 A JP2008130138 A JP 2008130138A JP 4521047 B2 JP4521047 B2 JP 4521047B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling stage
- radiation shield
- refrigerator
- temperature
- cryopump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
Claims (7)
- 第1冷却ステージと、第1冷却ステージよりも低温に冷却される第2冷却ステージと、を備える冷凍機と、
側面に開口が形成され、前記第1冷却ステージが外部に配置されかつ前記第2冷却ステージが内部に配置されるように前記開口に前記冷凍機が挿通されており、前記第1冷却ステージに熱的に接続されている放射シールドと、
前記第2冷却ステージに熱的に接続され、前記放射シールドの内部から外部へと前記開口を通じて延び、前記開口において前記放射シールドとの間に間隙を有して配置されている冷凍機カバーと、を備えることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記冷凍機は、前記第1冷却ステージが前記開口から外向きにオフセットを有して前記放射シールドの外部に配置されており、
前記冷凍機カバーは、前記開口から前記放射シールドの外部へと前記オフセットより短い長さだけ突き出して延びる末端部を有することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 前記放射シールドと前記冷凍機カバーとの間隙及び前記冷凍機カバーが前記開口から突き出して延びる長さは、クライオポンプの最大吸蔵量に達するまでに気体の凝縮により前記冷凍機カバーに堆積する氷層が前記放射シールド及び前記第1冷却ステージに接触しないように大きさが設定されていることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記第2冷却ステージに熱的に接続されているクライオパネルをさらに備え、
前記放射シールドと前記冷凍機カバーとの間隙及び前記冷凍機カバーが前記開口から突き出して延びる長さは、クライオポンプへの気体流入が停止されてから所定時間内に到達すべき圧力として設定されているリカバリ圧力よりも気体の凝縮により前記クライオパネルに堆積した氷層の表面における気体蒸気圧が高圧となるまで前記冷凍機カバー上の氷層が前記放射シールド及び前記第1冷却ステージに接触しないように大きさが設定されていることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。 - 前記冷凍機カバーは、前記冷凍機カバーが前記開口から突き出して延びる長さが前記放射シールドと前記冷凍機カバーとの間隙以上に設定されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記冷凍機カバーの末端部を包囲し、前記第1冷却ステージと前記放射シールドとを接続する伝熱部材をさらに備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 開口が形成されている筒状側面を有する放射シールドと、
第1の温度に冷却され、前記放射シールドに熱的に接続される第1冷却ステージと、第1の温度よりも低温である第2の温度に冷却される第2冷却ステージと、第1冷却ステージと第2冷却ステージとを接続し、第1の温度から第2の温度へと向かう温度分布を表面に有する接続部材と、を備え、前記第2冷却ステージが前記放射シールドの内部に配置されるように前記開口に挿通されている冷凍機と、
前記第2冷却ステージに熱的に接続され、前記接続部材の表面に沿って前記第1冷却ステージに向けて延びる冷凍機カバーと、
前記冷凍機カバーに堆積する氷層を前記放射シールドとの干渉を避けて収容する空間を、前記第1冷却ステージに近接する冷凍機カバーの端部との間に画定し、前記接続部材及び前記冷凍機カバーの前記第1冷却ステージに近接する端部を包囲するよう前記放射シールドから突出する伝熱部材を含む干渉抑制構造と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008130138A JP4521047B2 (ja) | 2008-05-16 | 2008-05-16 | クライオポンプ |
US12/453,525 US20090282841A1 (en) | 2008-05-16 | 2009-05-14 | Cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008130138A JP4521047B2 (ja) | 2008-05-16 | 2008-05-16 | クライオポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009275672A JP2009275672A (ja) | 2009-11-26 |
JP4521047B2 true JP4521047B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=41314840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008130138A Active JP4521047B2 (ja) | 2008-05-16 | 2008-05-16 | クライオポンプ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090282841A1 (ja) |
JP (1) | JP4521047B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101554866B1 (ko) * | 2010-11-24 | 2015-09-22 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 수소 가스 방출을 제어하는 저온 펌프 |
JP5296811B2 (ja) * | 2011-01-17 | 2013-09-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及び真空バルブ装置 |
TWI557320B (zh) * | 2011-02-09 | 2016-11-11 | 布魯克機械公司 | 低溫泵、低溫泵的前隔板及製造低溫泵之前隔板的方法 |
JP6053552B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2016-12-27 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びクライオポンプ取付構造 |
JP6338403B2 (ja) | 2013-03-25 | 2018-06-06 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及び真空排気方法 |
JP6076843B2 (ja) * | 2013-06-14 | 2017-02-08 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
TWI580865B (zh) * | 2013-03-25 | 2017-05-01 | Sumitomo Heavy Industries | Low temperature pump |
JP6415230B2 (ja) * | 2014-10-07 | 2018-10-31 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP6710604B2 (ja) | 2015-08-10 | 2020-06-17 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP7369129B2 (ja) * | 2018-09-03 | 2023-10-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの監視方法 |
JP2022117029A (ja) | 2021-01-29 | 2022-08-10 | アルバック・クライオ株式会社 | クライオポンプ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3232324C2 (de) * | 1982-08-31 | 1986-08-28 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Refrigerator-betriebene Kryopumpe |
US4514204A (en) * | 1983-03-21 | 1985-04-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Bakeable cryopump |
JPS6138179A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Hitachi Ltd | クライオポンプ |
JPH0355829Y2 (ja) * | 1986-07-15 | 1991-12-12 | ||
US4763483A (en) * | 1986-07-17 | 1988-08-16 | Helix Technology Corporation | Cryopump and method of starting the cryopump |
US7997089B2 (en) * | 2003-11-28 | 2011-08-16 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Method and apparatus for regeneration water |
-
2008
- 2008-05-16 JP JP2008130138A patent/JP4521047B2/ja active Active
-
2009
- 2009-05-14 US US12/453,525 patent/US20090282841A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090282841A1 (en) | 2009-11-19 |
JP2009275672A (ja) | 2009-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4521047B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP5184995B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP5632241B2 (ja) | クライオポンプ及び極低温冷凍機 | |
JP6710604B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP2012219730A (ja) | クライオポンプシステム、圧縮機、及びクライオポンプの再生方法 | |
JP2014208993A (ja) | クライオポンプ及び真空排気方法 | |
JP6076843B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP5123103B2 (ja) | クライオポンプ | |
KR102436493B1 (ko) | 크라이오펌프 | |
KR101339978B1 (ko) | 크라이오펌프 및 극저온 냉동기 | |
JP2009281363A (ja) | クライオポンプ | |
JP2011153629A (ja) | クライオポンプ | |
JP6913049B2 (ja) | クライオポンプ | |
TW202010941A (zh) | 低溫泵 | |
KR20220110073A (ko) | 크라이오 펌프 | |
JP2009250148A (ja) | クライオポンプおよび冷凍機 | |
JPH10122144A (ja) | クライオトラップ | |
KR20200123100A (ko) | 크라이오펌프 | |
US10359034B2 (en) | Cryopump | |
JP6053552B2 (ja) | クライオポンプ及びクライオポンプ取付構造 | |
JP6762672B2 (ja) | クライオポンプ | |
WO2010097888A1 (ja) | 二段式冷凍機の運転制御方法、二段式冷凍機を有するクライオポンプの運転制御方法、二段式冷凍機、クライオポンプ及び真空基板処理装置 | |
TW202332832A (zh) | 低溫泵 | |
JPH0560067A (ja) | クライオポンプによる水素排気方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100223 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100420 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100518 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100521 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4521047 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |