JPS6138179A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS6138179A JPS6138179A JP15871584A JP15871584A JPS6138179A JP S6138179 A JPS6138179 A JP S6138179A JP 15871584 A JP15871584 A JP 15871584A JP 15871584 A JP15871584 A JP 15871584A JP S6138179 A JPS6138179 A JP S6138179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- adsorbent
- auxiliary
- expansion unit
- stage expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、クライオポンプに係り、特に大気圧下で沸点
が２０に以下の低沸点物質を吸着除去して減圧排気する
のに好適なりライオポンプに関するものである。
が２０に以下の低沸点物質を吸着除去して減圧排気する
のに好適なりライオポンプに関するものである。
大気圧下で沸点が２０に以下の低沸点物質（以下、低沸
点物質と略）１例えば、水素、ヘリウム等を吸着除去し
て減圧排気するクライオポンプとしては、例えば、特公
昭５８−２５８７３号公報記載のように、冷凍機で発生
した寒冷により冷却される低温パネルの内面に活性炭な
エポキシで接着したものが知られている。
点物質と略）１例えば、水素、ヘリウム等を吸着除去し
て減圧排気するクライオポンプとしては、例えば、特公
昭５８−２５８７３号公報記載のように、冷凍機で発生
した寒冷により冷却される低温パネルの内面に活性炭な
エポキシで接着したものが知られている。
二のようなりライオポンプでは、活性炭による低沸点物
質の吸着除去を目的としており、活性炭の低沸点物質吸
着能力がクライオポンプの運転操作性に与える影響は考
慮されていない。
質の吸着除去を目的としており、活性炭の低沸点物質吸
着能力がクライオポンプの運転操作性に与える影響は考
慮されていない。
本発明の目的は、吸着剤の低沸点物質吸着能力を向上さ
せることで、クライオポンプの運転操作性を向上できる
クライオポンプを提供することにある。
せることで、クライオポンプの運転操作性を向上できる
クライオポンプを提供することにある。
本発明は、温度２０に以下に冷却されるパネルに吸着剤
を貼付した補助パネルを複数段設けたことを特徴とする
もので、吸着剤の貼付は面積を増加することで、吸着剤
の低沸点物質吸着能力を向上させるようにしたものであ
る。
を貼付した補助パネルを複数段設けたことを特徴とする
もので、吸着剤の貼付は面積を増加することで、吸着剤
の低沸点物質吸着能力を向上させるようにしたものであ
る。
〔発明の実施例ゴ
本発明の一実施例を第１図、第２図により説明する。
第１因で、この場合、寒冷発生源は、例えば、蓄冷器式
冷凍１！１０で、蓄冷器式冷凍＄３０は、この場合、第
１段膨張按１】と第２段膨張機】２とを有している。第
１段膨張機１１と第２段膨張機Ｊ２とは、ケーシング】
３内に収容され、ケーシング１３内は被排気体１４と連
通させられている。第１段膨張機】１のコールドステー
ションには、断面形状がＵ字形の第１パネルＪ５が開放
端を被排気体１４に向けて設けられている。第１パネル
Ｊ５の開放端にはバッフル】６が設けられている。第２
段膨張８１２のコールドステーションには断面形状がＵ
字形の第２パネル１７が開放端を＠１パネルＪ５の底壁
に向けて設りられている。第２パネル１７の大きさは、
第］パネル】５内に収容可能な大きさである。第２パネ
ル】７は、第２段膨！機１２で発生した寒冷をコールド
ステーションを介して受取り、これによって湿度２０に
以下、１５〜２０Ｋに冷却される。
冷凍１！１０で、蓄冷器式冷凍＄３０は、この場合、第
１段膨張按１】と第２段膨張機】２とを有している。第
１段膨張機１１と第２段膨張機Ｊ２とは、ケーシング】
３内に収容され、ケーシング１３内は被排気体１４と連
通させられている。第１段膨張機】１のコールドステー
ションには、断面形状がＵ字形の第１パネルＪ５が開放
端を被排気体１４に向けて設けられている。第１パネル
Ｊ５の開放端にはバッフル】６が設けられている。第２
段膨張８１２のコールドステーションには断面形状がＵ
字形の第２パネル１７が開放端を＠１パネルＪ５の底壁
に向けて設りられている。第２パネル１７の大きさは、
第］パネル】５内に収容可能な大きさである。第２パネ
ル】７は、第２段膨！機１２で発生した寒冷をコールド
ステーションを介して受取り、これによって湿度２０に
以下、１５〜２０Ｋに冷却される。
第ｊ図、第２図で、この場合、第２段膨張機１２の外側
で、かつ、第２パネル１７の内側の位置で形状が筒状の
補足パネルＪ８が設けられている。補足パネル１８の一
端（第１図、第２図では上端）は、第２パネル１７の、
この場合、頂壁内面に設けられている。第２パネルＪ７
への補足パネル１８の設は方は、できるだけ熱抵抗が少
ない設は方が好ましいが、ロー付けでも、ネジ止めでも
良い。補足パネル】８の外側には、この場合、高さ方向
に４段補助パネル】９が環装されている。即ち、補助パ
ネル】９は内周端部にカラー２０を有する構造のもので
あり、カラー２０を補足パネル１８に圧入することで環
装される。各段の補助パネル】９の両面には、活性炭等
の吸着剤２Ｊが貼付けられており、又、補足パネル〕８
の上端部にも吸着剤２１が貼付けられている。各段の補
助パネル」９の直径Ｄ２は、第２パネル１７の直径り、
よりも３０フ程度小さくすれば良（、補助パネル１９の
段間隔りは１０〜１５Ｍで良い。
で、かつ、第２パネル１７の内側の位置で形状が筒状の
補足パネルＪ８が設けられている。補足パネル１８の一
端（第１図、第２図では上端）は、第２パネル１７の、
この場合、頂壁内面に設けられている。第２パネルＪ７
への補足パネル１８の設は方は、できるだけ熱抵抗が少
ない設は方が好ましいが、ロー付けでも、ネジ止めでも
良い。補足パネル】８の外側には、この場合、高さ方向
に４段補助パネル】９が環装されている。即ち、補助パ
ネル】９は内周端部にカラー２０を有する構造のもので
あり、カラー２０を補足パネル１８に圧入することで環
装される。各段の補助パネル】９の両面には、活性炭等
の吸着剤２Ｊが貼付けられており、又、補足パネル〕８
の上端部にも吸着剤２１が貼付けられている。各段の補
助パネル」９の直径Ｄ２は、第２パネル１７の直径り、
よりも３０フ程度小さくすれば良（、補助パネル１９の
段間隔りは１０〜１５Ｍで良い。
−例として、従来のクライオポンプにおける第２パネル
の直径を１８０８．第２パネルの高さを１２ｏｗ、第２
段膨張機のコールドステーションの直径を４０問として
吸着剤の貼！−Ｊけ面積を計算すると、０．０９２ｍ’
となる。これに対し本実施例のクライオポンプでは、例
えば、補助パネル１９の直径Ｉ）２＝ １５０ Ｍ、補
足パネル１８の内径ｄ、＝６０閣、補助パネルｊ９の段
間隔ｈ＝１５ｗＡとすれば、吸着剤の貼付は面積は０．
２３７ｄと倍増できる。
の直径を１８０８．第２パネルの高さを１２ｏｗ、第２
段膨張機のコールドステーションの直径を４０問として
吸着剤の貼！−Ｊけ面積を計算すると、０．０９２ｍ’
となる。これに対し本実施例のクライオポンプでは、例
えば、補助パネル１９の直径Ｉ）２＝ １５０ Ｍ、補
足パネル１８の内径ｄ、＝６０閣、補助パネルｊ９の段
間隔ｈ＝１５ｗＡとすれば、吸着剤の貼付は面積は０．
２３７ｄと倍増できる。
本実施例のようなりライオポンプでは、次のような効果
を得ることができる。
を得ることができる。
ｆｉｌ 吸着剤の貼付は面積を増加できるため、吸着
剤の低沸点物質吸着能力を向上でき脱着操作の頻度が少
なくなｌｉクライオポンプの運転操作性を向上できる。
剤の低沸点物質吸着能力を向上でき脱着操作の頻度が少
なくなｌｉクライオポンプの運転操作性を向上できる。
（２１！２パネルの内面に吸着剤を貼付しないため、Ｎ
、、 Ｏ，、Ａｒ等を凝縮捕集する第２パネルの表面積
を増加できる。
、、 Ｏ，、Ａｒ等を凝縮捕集する第２パネルの表面積
を増加できる。
（３） 補足パネルに吸着剤を貼付した補助パネルを
多段に設けているため、第２パネルの外径を大きくする
必要がなくクライオポンプの大型化を防止できる。
多段に設けているため、第２パネルの外径を大きくする
必要がなくクライオポンプの大型化を防止できる。
本発明の他の実施例を第３図に示す。
第３図で、本発明の一実施例を示す［図と異なる点は、
第２パネルｊ７の筒状壁に）」＼孔２２を多数穿設した
点である。
第２パネルｊ７の筒状壁に）」＼孔２２を多数穿設した
点である。
ｇ、：’ｌ ＦＢＩで一イ任廓占物暫ｆふス葺−、ＴＪ
ｐ位を寸−−幻らの小孔２２を通って補助パネル１９上
の吸着剤２Ｊに吸着されるので補助パネル】９の直径Ｄ
２をＤｌにさらに近づけることができ、吸着剤力の貼付
は面積を増すことができる。
ｐ位を寸−−幻らの小孔２２を通って補助パネル１９上
の吸着剤２Ｊに吸着されるので補助パネル】９の直径Ｄ
２をＤｌにさらに近づけることができ、吸着剤力の貼付
は面積を増すことができる。
すなわち、小孔２２がないときには低沸点物質のガスで
あるＨ２． Ｈｅ等は第２パネル１７の下端を廻って第
２パネル１７の筒状壁と補助パネル１９との間を通って
吸着剤２Ｊに吸着されるので、上部の補助パネルｆｆ９
まで有効に利用するには筒状壁と補助バネ 。
あるＨ２． Ｈｅ等は第２パネル１７の下端を廻って第
２パネル１７の筒状壁と補助パネル１９との間を通って
吸着剤２Ｊに吸着されるので、上部の補助パネルｆｆ９
まで有効に利用するには筒状壁と補助バネ 。
ル１９との隙間を１５８程度（Ｄ２トＤ１（７）差Ｔｌ
１３０ｍｍ程度）設けなければならないＬｊわども、小
孔２２があれば、その必要がないわけである。
１３０ｍｍ程度）設けなければならないＬｊわども、小
孔２２があれば、その必要がないわけである。
ただしその場合には第】パネル１５からのふく射熱が／
Ｉ）孔２２を通って直接、吸着吸２１に負荷されるので
第１パネルＪ５の内面を黒色にしたｌ〕、小孔２２の形
状を工夫したりすることが必要になる。
Ｉ）孔２２を通って直接、吸着吸２１に負荷されるので
第１パネルＪ５の内面を黒色にしたｌ〕、小孔２２の形
状を工夫したりすることが必要になる。
いずれにしても本実施例によれば吸着剤の貼付は面積を
増すことができるのでさらに性能向上を図れるという効
果がある。
増すことができるのでさらに性能向上を図れるという効
果がある。
本発明は、以上説明したように、温度２０に以下に冷却
されるパネルに吸着剤を貼付した補助パネルを複数段設
けたことで、吸着剤の貼付は面積を増加できメ吸着剤の
低沸点物質吸着使方を向上できるので、クライオポンプ
の運転操作性を向上できるという効果がある。
されるパネルに吸着剤を貼付した補助パネルを複数段設
けたことで、吸着剤の貼付は面積を増加できメ吸着剤の
低沸点物質吸着使方を向上できるので、クライオポンプ
の運転操作性を向上できるという効果がある。
第１図は、本発明によるクライオポンプの一実施例を示
す縦断面図、第２図は第１図の部分拡大縦断面図、第３
図は本発明によるクライオポンプの他の実施例を示す縦
断面図である。
す縦断面図、第２図は第１図の部分拡大縦断面図、第３
図は本発明によるクライオポンプの他の実施例を示す縦
断面図である。
Claims (1)
- １、温度２０Ｋ以下に冷却されるパネルに吸着剤を貼付
した補助パネルを複数段設けたことを特徴とするクライ
オポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15871584A JPS6138179A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15871584A JPS6138179A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138179A true JPS6138179A (ja) | 1986-02-24 |
Family
ID=15677766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15871584A Pending JPS6138179A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138179A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02298765A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | 多段式蓄冷型冷凍機及びそれを組み込んだ冷却装置 |
| JPH02308985A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-21 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプにおけるクライオパネル |
| JPH0512674U (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-19 | 岩谷産業株式会社 | 冷凍機付きソープシヨンポンプ |
| FR2793851A1 (fr) * | 1999-01-13 | 2000-11-24 | Helix Tech Corp | Cryopompe haute capacite |
| JP2009275672A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
| JP2017015098A (ja) * | 2011-02-09 | 2017-01-19 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプ |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15871584A patent/JPS6138179A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02298765A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | 多段式蓄冷型冷凍機及びそれを組み込んだ冷却装置 |
| JPH02308985A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-21 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプにおけるクライオパネル |
| JPH0512674U (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-19 | 岩谷産業株式会社 | 冷凍機付きソープシヨンポンプ |
| FR2793851A1 (fr) * | 1999-01-13 | 2000-11-24 | Helix Tech Corp | Cryopompe haute capacite |
| US6155059A (en) * | 1999-01-13 | 2000-12-05 | Helix Technology Corporation | High capacity cryopump |
| JP2009275672A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
| JP2017015098A (ja) * | 2011-02-09 | 2017-01-19 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプ |
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