TWI688710B - 低溫泵 - Google Patents

Abstract

本發明可減少低溫泵的製造成本。低溫泵的低溫低溫板部具備夾著低溫泵中心軸而配置於低溫冷卻台的兩側之2個低溫板構件(62)。各低溫板構件(62)具備：弓形平坦部(75)，其具有圓弧部(78)及弦(79)；及第1折曲部(76)，與弓形平坦部(75)一體形成且作為弦(79)的一部分而與弓形平坦部(75)連接。弓形平坦部(75)經由第1折曲部(76)熱耦合於低溫冷卻台。各低溫板構件(62)的弓形平坦部(75)的弦的剩餘部分的形狀被設定為不與冷凍機發生干擾且能夠彼此更換2個低溫板構件(62)。

Description

低溫泵

本申請主張基於2017年2月8日申請之日本專利申請第2017-021002號的優先權。該申請的所有內容藉由參閱援用於本說明書中。 　　本發明係有關一種低溫泵。

低溫泵為藉由冷凝或吸附在被冷卻成極低溫之低溫板捕捉氣體分子以進行排氣之真空泵。低溫泵通常為實現半導體電路製造製程等所要求之潔淨的真空環境而使用。 (先前技術文獻) (專利文獻) 　　專利文獻1：日本特開平7-35041號公報

(本發明所欲解決之課題) 　　本發明的一態樣的例示性的目的之一為減少低溫泵的製造成本。 (用以解決課題之手段) 　　依本發明的一態樣，低溫泵具備：冷凍機，其具備高溫冷卻台及低溫冷卻台；放射屏蔽件，其熱耦合於前述高溫冷卻台，並且沿通過低溫泵進氣口的中心之低溫泵中心軸的方向延伸且包圍前述低溫冷卻台；及低溫低溫板部，其熱耦合於前述低溫冷卻台，並且與前述低溫冷卻台一起被前述放射屏蔽件包圍。低溫低溫板部具備2個低溫板構件，該低溫板構件在前述低溫泵中心軸的方向之前述低溫冷卻台的上端與下端之間的高度位置夾著前述低溫泵中心軸而配置於前述低溫冷卻台的兩側。各低溫板構件具備：弓形平坦部，具有圓弧部及弦；及第1折曲部，與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的一部分與前述弓形平坦部連接。前述弓形平坦部經由前述第1折曲部熱耦合於前述低溫冷卻台。前述弓形平坦部的圓弧部從前述低溫泵中心軸的方向觀察時確定該低溫板構件的外緣。各低溫板構件的前述弓形平坦部的前述弦的剩餘部分的形狀被設定為不與前述冷凍機發生干擾且能夠彼此更換前述2個低溫板構件。 　　本發明的一態樣，低溫泵具備：冷凍機，其具備高溫冷卻台及低溫冷卻台；放射屏蔽件，其熱耦合於前述高溫冷卻台，並且沿通過低溫泵進氣口的中心之低溫泵中心軸的方向延伸且包圍前述低溫冷卻台；低溫低溫板部，其熱耦合於前述低溫冷卻台，且與前述低溫冷卻台一起被前述放射屏蔽件包圍，該低溫低溫板部具備夾著前述低溫泵中心軸而配置於前述低溫冷卻台的兩側之2個低溫板構件；及2個安裝面，與前述2個低溫板構件分別對應。各低溫板構件具備：弓形平坦部，具有圓弧部及弦；及第1折曲部，與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的一部分與前述弓形平坦部連接。前述第1折曲部安裝於對應之安裝面。前述弓形平坦部經由前述第1折曲部熱耦合於前述低溫冷卻台。各低溫板構件的前述弓形平坦部的前述弦的剩餘部分的形狀被設定為不與前述冷凍機發生干擾且能夠彼此更換前述2個低溫板構件。各低溫板構件具備與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的剩餘部分的至少一部分而與前述弓形平坦部連接之第2折曲部，前述第2折曲部沿前述弦的方向遠離前述安裝面而配置。 　　另外，在方法、裝置、系統等之間相互置換本發明的構成要素和表現形式亦作為本發明的態樣同樣有效。 (發明之效果) 　　依本發明，能夠減少低溫泵的製造成本。

以下，參閱附圖對用於實施本發明的形態進行詳細說明。說明及附圖中對相同或等同的構成要素、構件、處理標註相同符號，並適當省略重複說明。所描繪之各部的比例尺和形狀為便於說明而簡易設定，除非特別指明，則為非限制性解釋。實施形態為示例，對本發明的範圍不做任何限定。實施形態中所描述之所有特徵及其組合，未必為發明的本質。 　　圖1為概略地表示實施形態之低溫泵10之側視剖面圖。圖2係概略地表示圖1所示之低溫泵10之頂視圖。圖1表示包括用單點劃線表示之低溫泵中心軸C之剖面。但是，為便於理解，圖1中表示低溫泵10的低溫低溫板部的側面而非其剖面。圖2係B-B線的向視圖。又，圖3及圖4係概略地表示實施形態之低溫泵10的低溫低溫板部的一部分之立體圖。 　　低溫泵10為了提高例如安裝於離子植入裝置、濺射裝置、蒸鍍裝置或其他真空處理裝置的真空腔室且將真空腔室內部的真空度提高至所希望的真空處理所要求之級別而使用。低溫泵10具有用於從真空腔室接收應排出之氣體的進氣口12。氣體通過進氣口12而進入到低溫泵10的內部空間14。 　　低溫泵10可以有意識地以圖示方向亦即使進氣口12朝向上方之姿勢設置於真空腔室而使用。但是，低溫泵10的姿勢並不限定於此，低溫泵10亦可以朝其他方向設置於真空腔室。 　　另外，以下為簡單明了地表示低溫泵10的構成要素的位置關係，有時使用“軸向”、“徑向”這樣的術語。軸向表示通過進氣口12之方向(圖1中，沿通過進氣口12的中心之低溫泵中心軸C之方向)，徑向表示沿進氣口12之方向(與中心軸C垂直的方向)。為方便起見，有時關於軸向，相對靠近進氣口12則稱為“上”，相對較遠則稱為“下”。亦即，有時相對遠離低溫泵10的底部則稱為“上”，相對靠近則稱為“下”。關於徑向，靠近進氣口12的中心(圖1中為中心軸C)則稱為“內”，靠近進氣口12的周緣則稱為“外”。另外，這種表現形式無關於低溫泵10安裝於真空腔室時的配置。例如，低溫泵10可以以使進氣口12沿鉛垂方向朝下的方式安裝於真空腔室。 　　又，有時將包圍軸向之方向稱為“周方向”。周方向為沿進氣口12之第2方向，且為與徑向正交之切線方向。 　　低溫泵10具備冷凍機16、第1段低溫板18、第2段低溫板總成20及低溫泵殼體70。第1段低溫板18亦可稱為高溫低溫板部或100K部。第2段低溫板總成20亦可稱為低溫低溫板部或10K部。 　　冷凍機16例如為吉福德-麥克馬洪式(Gifford-McMahon)冷凍機(所謂GM冷凍機)等極低溫冷凍機。冷凍機16為二段式冷凍機。因此，冷凍機16具備第1冷卻台22及第2冷卻台24。冷凍機16構成為將第1冷卻台22冷卻為第1冷卻溫度，並將第2冷卻台24冷卻為第2冷卻溫度。第2冷卻溫度低於第1冷卻溫度。例如第1冷卻台22被冷卻為65K～120K左右，80K～100K為較佳，第2冷卻台24被冷卻為10K～20K左右。 　　又，冷凍機16具備結構上由第1冷卻台22支撐第2冷卻台24，同時結構上由冷凍機16的室溫部26支撐第1冷卻台22之冷凍機結構部21。因此，冷凍機結構部21具備沿徑向同軸延伸之第1缸體23及第2缸體25。第1缸體23將冷凍機16的室溫部26連接於第1冷卻台22。第2缸體25將第1冷卻台22連接於第2冷卻台24。室溫部26、第1缸體23、第1冷卻台22、第2缸體25及第2冷卻台24依次排成一條直線。 　　第1缸體23及第2缸體25各自的內部配設有能夠往復移動的第1置換器及第2置換器(未圖示)。在第1置換器及第2置換器分別組裝有第1蓄冷器及第2蓄冷器(未圖示)。又，室溫部26具有用於使第1置換器及第2置換器往復移動的驅動機構(未圖示)。驅動機構包括以週期性地反覆向冷凍機16的內部供給與排出工作氣體(例如氦氣)的方式切換工作氣體的流路之流路切換機構。 　　第1冷卻台22設置於冷凍機16的第1段低溫端。第1冷卻台22為在與室溫部26相反的一側從外側包圍第1缸體23的端部並包圍工作氣體的第1膨脹空間之構件。第1膨脹空間為在第1缸體23的內部形成於第1缸體23與第1置換器之間且容積隨著第1置換器的往復移動而變化之可變容積。第1冷卻台22由具有比第1缸體23高的導熱率之金屬材料形成。例如，第1冷卻台22由銅形成，第1缸體23由不鏽鋼形成。 　　第2冷卻台24設置於冷凍機16的第2段低溫端。第2冷卻台24為在與室溫部26相反的一側從外側包圍第2缸體25的端部並包圍工作氣體的第2膨脹空間之構件。第2膨脹空間為在第2缸體25的內部形成於第2缸體25與第2置換器之間且容積隨著第2置換器的往復移動而變化之可變容積。第2冷卻台24由具有比第2缸體25高的導熱率之金屬材料形成。第2冷卻台24由銅形成，第2缸體25由不鏽鋼形成。圖1中示出第2冷卻台24與第2缸體25的邊界24b。 　　冷凍機16與工作氣體的壓縮機(未圖示)連接。冷凍機16使藉由壓縮機加壓之工作氣體在內部膨脹以冷卻第1冷卻台22及第2冷卻台24。膨脹之工作氣體被壓縮機回收且再次被加壓。冷凍機16藉由包括工作氣體的供排及與其同步之第1置換器及第2置換器的往復移動之熱循環的反覆而產生寒冷。 　　圖示之低溫泵10為所謂的臥式低溫泵。臥式低溫泵通常指冷凍機16以與低溫泵10的中心軸C交叉的(通常為正交)方式配設之低溫泵。冷凍機16的第1冷卻台22及第2冷卻台24沿與低溫泵中心軸C垂直的方向(圖1中為水平方向，冷凍機16的中心軸D的方向)排列。 　　第1段低溫板18具備放射屏蔽件30和入口低溫板32，並包圍第2段低溫板總成20。第1段低溫板18為為了保護第2段低溫板總成20免受來自低溫泵10的外部或低溫泵殼體70的輻射熱而設置之低溫板。第1段低溫板18熱耦合於第1冷卻台22。藉此，第1段低溫板18被冷卻為第1冷卻溫度。第1段低溫板18與第2段低溫板總成20之間具有間隙，第1段低溫板18不與第2段低溫板總成20接觸。 　　放射屏蔽件30為保護第2段低溫板總成20免受來自低溫泵殼體70的輻射熱而設置。放射屏蔽件30位於低溫泵殼體70與第2段低溫板總成20之間且包圍第2段低溫板總成20。放射屏蔽件30具有用於從低溫泵10的外部向內部空間14接收氣體的屏蔽件主開口34。屏蔽件主開口34位於進氣口12。 　　放射屏蔽件30具備：屏蔽件前端36，確定屏蔽件主開口34；屏蔽件底部38，位於與屏蔽件主開口34相反的一側；及屏蔽件側部40，將屏蔽件前端36連接於屏蔽件底部38。屏蔽件前端36成為屏蔽件側部40的一部分。屏蔽件側部40沿軸向從屏蔽件前端36向與屏蔽件主開口34相反的一側延伸，且以沿周方向包圍第2冷卻台24的方式延伸。放射屏蔽件30具有屏蔽件底部38被封閉之筒形(例如圓筒)的形狀，且形成為杯狀。屏蔽件側部40與第2段低溫板總成20之間形成有環狀間隙42。 　　另外，屏蔽件底部38可以為不同於屏蔽件側部40的構件。例如，屏蔽件底部38可以為具有與屏蔽件側部40大致相同的直徑之平坦的圓盤，亦可以在與屏蔽件主開口34相反的一側安裝於屏蔽件側部40。又，屏蔽件底部38可以為其至少一部分被開放。例如，放射屏蔽件30可以不被屏蔽件底部38封閉。亦即，屏蔽件側部40可以為兩端被開放。 　　屏蔽件側部40具有供冷凍機結構部21插入之屏蔽件側部開口44。第2冷卻台24及第2缸體25通過屏蔽件側部開口44而從放射屏蔽件30的外部插入到放射屏蔽件30中。屏蔽件側部開口44為形成於屏蔽件側部40之安裝孔，例如為圓形。第1冷卻台22配置於放射屏蔽件30的外部。 　　屏蔽件側部40具備冷凍機16的安裝座46。安裝座46為用於將第1冷卻台22安裝於放射屏蔽件30的平坦部分，從放射屏蔽件30的外部觀察時稍微凹陷。安裝座46形成屏蔽件側部開口44的外周。安裝座46在軸向上比屏蔽件前端36靠近屏蔽件底部38。第1冷卻台22安裝於安裝座46，藉此放射屏蔽件30熱耦合於第1冷卻台22。 　　如此代替將放射屏蔽件30直接安裝於第1冷卻台22，在一實施形態中，放射屏蔽件30可以經由額外的導熱構件而熱耦合於第1冷卻台22。導熱構件例如可以為兩端具有凸緣之中空的短筒。導熱構件可以為藉由其一端的凸緣固定於安裝座46，且藉由另一端的凸緣固定於第1冷卻台22。導熱構件可以包圍冷凍機結構部21而從第1冷卻台22向放射屏蔽件30延伸。屏蔽件側部40可以包括這種導熱構件。 　　圖示之實施形態中，放射屏蔽件30構成為一體的筒狀。取而代之，放射屏蔽件30可以以藉由複數個零件而整體呈筒狀的形狀的方式構成。該等複數個零件可以以彼此具有間隙的方式配設。例如，放射屏蔽件30可以沿軸向分割為2個部分。該情況下，放射屏蔽件30的上部為兩端被開放之筒，並具備屏蔽件前端36和屏蔽件側部40的第1部分。放射屏蔽件30的下部呈上端被開放且下端被封閉，並具備屏蔽件側部40的第2部分和屏蔽件底部38。如上所述，放射屏蔽件30的下部可以不具有屏蔽件底部38，為兩端被開放之筒。屏蔽件側部40的第1部分與第2部分之間形成有沿周方向延伸之狹縫。該狹縫可以為屏蔽件側部40的至少一部分。或者，屏蔽件側部開口44可以為其上半部分形成於屏蔽件側部40的第1部分，下半部分形成於屏蔽件側部40的第2部分。 　　入口低溫板32為了保護第2段低溫板總成20免受來自低溫泵10的外部的熱源的輻射熱而設置於屏蔽件主開口34。低溫泵10的外部的熱源例如為安裝有低溫泵10之真空腔室內的熱源。入口低溫板32不僅能夠限制輻射熱還能夠限制氣體分子的進入。入口低溫板32佔據屏蔽件主開口34的開口面積的一部分以將通過屏蔽件主開口34而流入內部空間14的氣體限制為所希望的量。入口低溫板32與屏蔽件前端36之間形成有環狀的開放區域48。 　　入口低溫板32具備百葉窗部50及用於將百葉窗部50安裝於屏蔽件前端36的百葉窗安裝構件52。百葉窗安裝構件52為沿屏蔽件主開口34的直徑架設於屏蔽件前端36之棒狀的構件。入口低溫板32經由百葉窗安裝構件52及放射屏蔽件30而熱耦合於第1冷卻台22。 　　百葉窗部50分別在屏蔽件主開口34具有沿第1方向以直線狀延伸之複數個百葉窗板。複數個百葉窗板在屏蔽件主開口34沿與第1方向垂直的第2方向排列。複數個百葉窗板彼此平行排列，各百葉窗板相對於開口面傾斜配置。如圖所示，相對於中心軸C，一側的百葉窗板與另一側的百葉窗板呈逆向傾斜。複數個百葉窗板以覆蓋位於其正下方之第2段低溫板總成20的方式(亦即，從低溫泵10的外部看不到第2段低溫板總成20的方式)沿第2方向緊湊地排列。複數個百葉窗板具有彼此不同的第1方向長度以藉由該排列整體形成圓。百葉窗安裝構件52沿第2方向延伸。 　　藉此，應藉由低溫泵10排出之氣體從低溫泵10的外部通過百葉窗部50的百葉窗板之間的間隙或開放區域48進入到內部空間14。 　　入口低溫板32可以具有其他形狀。例如百葉窗部50可以具有以同心方式配置之複數個環狀百葉窗板。或者，入口低溫板32可以為一張板狀構件。 　　第2段低溫板總成20以包圍第2冷卻台24的方式安裝於第2冷卻台24。藉此，第2段低溫板總成20熱耦合於第2冷卻台24，第2段低溫板總成20被冷卻為第2冷卻溫度。第2段低溫板總成20與第2冷卻台24一起被屏蔽件側部40包圍。 　　第2段低溫板總成20具備與屏蔽件主開口34相對之頂部低溫板60、複數個(本例中為2個)低溫板構件62、低溫板安裝構件64。 　　又，如圖1所示，低溫泵10具備低溫板定位構件67。將第2段低溫板總成20熱耦合於第2冷卻台24之導熱部包括低溫板安裝構件64和低溫板定位構件67。 　　頂部低溫板60及低溫板構件62與屏蔽件側部40之間形成有環狀間隙42，因此頂部低溫板60及低溫板構件62皆不與放射屏蔽件30接觸。低溫板構件62被頂部低溫板60覆蓋。 　　頂部低溫板60為第2段低溫板總成20中靠近入口低溫板32之部分。頂部低溫板60在軸向上配置於屏蔽件主開口34或入口低溫板32與冷凍機16之間。頂部低溫板60在軸向上位於低溫泵10的內部空間14的中心部。因此，頂部低溫板60的正面與入口低溫板32之間廣闊地形成有冷凝層的主收容空間65。冷凝層的主收容空間65佔據內部空間14的上半部分。 　　頂部低溫板60為與軸向垂直配置之大致平板的低溫板。亦即，頂部低溫板60沿徑向及周方向延伸。如圖2所示，頂部低溫板60為具有比百葉窗部50大的尺寸(例如投影面積)之圓板狀板。但是，頂部低溫板60與百葉窗部50的尺寸關係並不限定於此，可以為頂部低溫板60較小，亦可以為兩者具有大致相同的尺寸。 　　頂部低溫板60以在與冷凍機結構部21之間形成間隙區域66的方式配置。間隙區域66為在頂部低溫板60的背面與第2缸體25之間沿軸向形成之空閒空間。 　　在低溫板構件62設置有活性碳等吸附材74。吸附材74例如黏著於低溫板構件62的背面。低溫板構件62的正面被設計為起到冷凝面的功能，背面被設計為起到吸附面的功能。亦可以在低溫板構件62的正面設置有吸附材74。同樣地，頂部低溫板60可以在其正面及/或背面具有吸附材74。或者，頂部低溫板60可以不具備吸附材74。 　　2個低溫板構件62夾著低溫泵中心軸C而配置於第2冷卻台24的兩側。低溫板構件62沿與低溫泵中心軸C垂直的平面而配置。為便於理解，圖2中用虛線表示低溫板構件62及低溫板安裝構件64。 　　2個低溫板構件62配置於低溫泵中心軸C的方向之第2冷卻台24的上端與下端之間的高度位置。第2冷卻台24在與低溫泵中心軸C垂直的方向(冷凍機16的中心軸D的方向)之末端具備凸緣部24a。低溫泵中心軸C的方向之第2冷卻台24的上端及下端藉由凸緣部24a被確定。亦即，2個低溫板構件62配置於低溫泵中心軸C的方向之第2冷卻台24的凸緣部24a的上端與下端之間的高度位置。2個低溫板構件62配置於相同的高度。圖1所示之第2冷卻台24與第2缸體25的邊界24b確定冷凍機16的中心軸D的方向之第2冷卻台24的另一端部(亦即，與凸緣部24a相反的一側的端部)。 　　圖3中示出2個低溫板構件62和低溫板安裝構件64，圖4中示出1個低溫板構件62。 　　2個低溫板構件62被設計成相同的組件。2個低溫板構件62具有相同的形狀，且由相同的材料形成。低溫板構件62具有弓形、半月狀或半圓狀的形狀。低溫板構件62例如由銅等高導熱率的金屬材料形成，例如可以被鎳等鍍層被覆。 　　低溫板安裝構件64具備與2個低溫板構件62分別對應之2個安裝面68。低溫板安裝構件64為具有方形的倒U字形的形狀之支架，亦為用於從第2冷卻台24向頂部低溫板60及低溫板構件62導熱的導熱板。2個安裝面68相當於低溫板安裝構件64的2個側面。低溫板構件62使用緊固構件87(例如柳釘)而安裝於對應之安裝面68。 　　在連結該等安裝面68之低溫板安裝構件64的上表面69安裝有頂部低溫板60。安裝面68從上表面69的兩側朝向下方在上表面69垂直延伸。 　　第2冷卻台24及低溫板定位構件67在低溫板安裝構件64的內側沿冷凍機16的中心軸D的方向插入，第2冷卻台24經由低溫板定位構件67安裝於低溫板安裝構件64。低溫板定位構件67安裝於低溫板安裝構件64的上表面69(其中，與頂部低溫板60相反的一側)。頂部低溫板60、低溫板安裝構件64及低溫板定位構件67使用緊固構件(例如螺栓)而一體地固定於第2冷卻台24。 　　各低溫板構件62具備弓形平坦部75、第1折曲部76及第2折曲部77。各低溫板構件62由單一的金屬板形成。在一張平坦的金屬板例如進行沖壓加工，藉此第1折曲部76及第2折曲部77與弓形平坦部75形成為一體而製作出1個低溫板構件62。吸附材74設置於弓形平坦部75。在第1折曲部76及第2折曲部77未設置吸附材74。 　　弓形平坦部75具有圓弧部78及弦79。弦79為連結圓弧部78的兩端之1條直線。圓弧部78及弦79位於與低溫泵中心軸C垂直的平面，向低溫泵中心軸C的方向觀察時確定低溫板構件62的輪廓。圓弧部78確定低溫板構件62的外緣，弦79確定低溫板構件62的內緣。低溫板構件62以圓弧部78靠近放射屏蔽件30的屏蔽件側部40且弦79靠近冷凍機16的第2冷卻台24及第2缸體25的方式配置。弦79與冷凍機16的軸向D平行，弦79的一半沿冷凍機16的第2冷卻台24及第2缸體25延伸，剩餘一半越過第2冷卻台24朝向屏蔽件側部40延伸。 　　弓形平坦部75其整個領域皆平坦，包括圓弧部78之外緣部尤為平坦。該點上，低溫板構件62與在外周部具有圓錐台狀傾斜面之典型的低溫板的形狀不同。 　　第1折曲部76中弦79的一部分，具體而言在弦79的中央部與弓形平坦部75連接。第1折曲部76作為用於將低溫板構件62緊固於低溫板安裝構件64的緊固部而設置。第1折曲部76安裝於低溫板安裝構件64的對應之安裝面68。弓形平坦部75經由第1折曲部76熱耦合於第2冷卻台24。第1折曲部76為與弓形平坦部75成一定角度(例如直角)之矩形狀的部分。第1折曲部76相對於弓形平坦部75直立。第1折曲部76沿弦79的方向細長，弦79的方向之第1折曲部76的寬度與低溫板安裝構件64的安裝面68的寬度大致相等。 　　第1折曲部76相對於弓形平坦部75朝上方折彎，且具有通過緊固構件87之緊固孔88。緊固孔88在弦79與第1折曲部76的上邊76a之間靠近上邊而配置。緊固孔88比弦79與第1折曲部76的上邊76a的中間線89更靠上方形成。 　　這樣一來，緊固孔88與弓形平坦部75的距離變大，因此，便於操作人員操作用於緊固之工具(例如柳釘槍)，且製造製程中之作業性提高。又，依該結構，低溫板構件62安裝於低溫板安裝構件64時，施加於低溫板構件62的弓形平坦部75之重力作為將第1折曲部76按壓到安裝面68之轉矩而作用。因此，與其他安裝結構(例如，安裝用的折曲部相對於低溫板構件朝下方折彎，且在折曲部的下邊附近緊固於安裝面之情況)相比，弓形平坦部75相對於安裝面68傾斜的情況得到抑制。 　　第2折曲部77的弦79的剩餘部分(亦即未設置第1折曲部76的部分)的至少一部分，具體而言在弦79的兩端部與弓形平坦部75連接。第2折曲部77沿弦79的方向遠離低溫板安裝構件64的安裝面68而配置。第2折曲部77相對於安裝面68位於外側。第2折曲部77為相對於弓形平坦部75成一定角度(例如直角)之邊緣部，且沿弦79的方向細長延伸。第2折曲部77相對於弓形平坦部75直立。 　　第2折曲部77作為低溫板構件62的剛性加強部而設置。第2折曲部77能夠抑制弓形平坦部75變形。尤其，低溫板構件62為比較大型之情況下，與安裝面68的寬度(亦即弦79的中央部的長度)相比，成為安裝面68的外側之弦79的端部的長度變長，其結果，弓形平坦部75的兩端部容易在重力作用下發生彎曲、傾斜等變形。藉由第2折曲部77的設置，即使低溫板構件62為比較大型亦能夠抑制變形。 　　第2折曲部77遍及弦79的剩餘部分的全長而與弓形平坦部75連接。藉此，第2折曲部77沿弦79的方向與第1折曲部76連續。第2折曲部77遍及弦79的剩餘部分的全長，因此能夠更有效地抑制低溫板構件62變形。 　　第2折曲部77與第1折曲部76同樣地相對於弓形平坦部75朝上方折彎。自弓形平坦部75算起的第2折曲部77的高度比自弓形平坦部75算起的第1折曲部76的高度低。這樣一來，第2折曲部77不易干擾周圍的構成要素(例如，沿低溫泵中心軸C的方向相鄰配置之其他低溫板)。又，便於沿軸向緊湊地配置複數個低溫板構件62。例如，第2折曲部77的高度可以比弦79與第1折曲部76的上邊76a的中間線89低。 　　另外，第2折曲部77可以朝與第1折曲部76不同的方向或角度折彎。例如，可以為第1折曲部76朝上方折彎，第2折曲部77朝下方折彎。可以為第1折曲部76與弓形平坦部75垂直地折彎，第2折曲部77相對於弓形平坦部75以傾斜的角度折彎。 　　第2折曲部77可以僅設置於弦79的剩餘部分(亦即未設置第1折曲部76的部分)的一部分。 　　如圖2所示，向低溫泵中心軸C的方向觀察時，2個低溫板構件62以兩者的中間線(冷凍機16的中心軸D)為對稱軸而彼此對稱配置。2個低溫板構件62的圓弧部78位於以低溫泵中心軸C為中心之相同圓周上。又，各低溫板構件62具有通過弦79的中點(或低溫泵中心軸C)且以與弦79垂直的線E作為對稱軸而線對稱的形狀。 　　各低溫板構件62的弓形平坦部75的弦79的剩餘部分(亦即未設置第1折曲部76的部分)的形狀被設定為不與冷凍機16(例如第2冷卻台24及第2缸體25)發生干擾且能夠彼此更換2個低溫板構件62。 　　作為1個例示性的結構，2個低溫板構件62的間隔90被設定為在弦79的方向上的任一位置皆能夠將第2冷卻台24插入於2個低溫板構件62之間的大小。2個低溫板構件62的間隔90在弦的方向上遍及弦的全長為恆定。 　　如此，2個低溫板構件62具有互換性。一低溫板構件62能夠安裝於低溫板安裝構件64的2個安裝面68中的任一個安裝面。將一個低溫板構件62安裝於一個安裝面68時與安裝於另一個安裝面68時，低溫板構件62的圓弧部78位於相同的圓周上。又，將一個低溫板構件62安裝於一個安裝面68時與安裝於另一個安裝面68時，低溫板構件62的弦79相對於冷凍機16的中心軸D位於相等的距離。低溫板構件62不論為2個安裝面68中的哪一個安裝面，皆能夠不與冷凍機16的第2冷卻台24及第2缸體25發生干擾而安裝。 　　如圖1所示，低溫板定位構件67固定於第2冷卻台24的凸緣部24a，且被第2冷卻台24支撐。低溫板定位構件67形成為上下顛倒之倒L字形。低溫板定位構件67的縱邊部例如藉由螺栓等適當的緊固構件安裝於凸緣部24a。低溫板定位構件67的上邊部67a從第2冷卻台24的凸緣部24a沿冷凍機16的中心軸D的方向延伸。該上邊部67a在低溫板安裝構件64中沿第2冷卻台24或第2缸體25朝向第1冷卻台22延伸。 　　第2冷卻台24在冷凍機16的中心軸D的方向遠離低溫泵中心軸C。從冷凍機16的中心軸D的方向之放射屏蔽件30的安裝座46至第2冷卻台24的凸緣部24a為止的距離比從冷凍機16的中心軸D的方向之放射屏蔽件30的安裝座46至低溫泵中心軸C為止的距離短(相反，亦可以長)。因此，假設第2段低溫板總成20配置於第2冷卻台24的正上方，則導致第2段低溫板總成20沿冷凍機16的中心軸D的方向遠離低溫泵中心軸C。 　　但是，低溫板定位構件67以將各低溫板構件62的圓弧部78的中心定位在低溫泵中心軸C上的方式支撐2個低溫板構件62。形成有低溫板定位構件67，以便能夠將低溫板安裝構件64配置在用於將低溫板構件62相對於低溫泵中心軸C對位的適當的位置。如此，第2段低溫板總成20被定位在低溫泵中心軸C上。 　　藉由使用低溫板定位構件67，對中心軸D的方向之冷凍機16的長度的制約得到緩和。其結果，代替以低溫泵10專用而設置之冷凍機，可採用現有的冷凍機。這有助於減少低溫泵10的製造成本。 　　另外，為了相對於低溫泵中心軸C之第2段低溫板總成20的對位，低溫板定位構件67的上邊部67a與圖1所示相反地，可以以從第2冷卻台24的凸緣部24a沿冷凍機16的中心軸D的方向遠離第2缸體25的方式延伸。關於具有大口徑的進氣口12之低溫泵10，可以為具有這種形狀之低溫板定位構件67。 　　低溫泵殼體70為收容第1段低溫板18、第2段低溫板總成20及冷凍機16之低溫泵10的筐體，其為以保持內部空間14的真空氣密的方式構成之真空容器。低溫泵殼體70以非接觸方式包含第1段低溫板18及冷凍機結構部21。低溫泵殼體70安裝於冷凍機16的室溫部26。 　　藉由低溫泵殼體70的前端，進氣口12被分隔。低溫泵殼體70具備從其前端朝向徑向外側延伸之進氣口凸緣72。進氣口凸緣72遍及低溫泵殼體70的整周而設置。低溫泵10使用進氣口凸緣72而安裝於真空排氣對象的真空腔室。 　　低溫泵10具備以使從屏蔽件主開口34流入之氣體的流向從冷凍機結構部21偏轉的方式構成之氣體流向調整構件80。氣體流向調整構件80以使通過百葉窗部50或開放區域48而流入至主收容空間65之氣體流向從第2缸體25偏轉的方式構成。氣體流向調整構件80可以為在冷凍機結構部21或第2缸體25的上方與之相鄰配置之氣體流向偏轉構件或氣體流向反射構件。氣體流向調整構件80例如為一張平坦板，但亦可以彎曲。 　　氣體流向調整構件80以不與第2冷卻台24及第2段低溫板總成20這兩方接觸的方式與冷凍機結構部21相鄰配置。氣體流向調整構件80以不與第2冷卻台24、第2段低溫板總成20及第2缸體25中的任一個接觸的方式沿第2缸體25配置。氣體流向調整構件80與第2缸體25之間形成有間隙86。如此，氣體流向調整構件80在熱方面或結構上從冷卻為第2冷卻溫度之部分及支撐該部分分離。 　　氣體流向調整構件80朝向間隙區域66而從屏蔽件側部40延伸，且熱耦合於第1冷卻台22。氣體流向調整構件80被屏蔽件側部40支撐。因此，氣體流向調整構件80被冷卻為第1冷卻溫度。 　　氣體流向調整構件80以至少局部堵塞環狀間隙42的方式沿屏蔽件側部40周方向延伸。氣體流向調整構件80在周方向上局部性地設置於與屏蔽件側部開口44相同的位置。氣體流向調整構件80從上觀察時為矩形狀。另外，氣體流向調整構件80沿周方向偏長，例如可以遍及整周沿屏蔽件側部40設置。 　　氣體流向調整構件80的基端部82(亦即安裝於屏蔽件側部40之部分)沿徑向位於百葉窗部50的外側，因此如圖2所示，在進氣口12露出。氣體流向調整構件80的基端部82能夠通過開放區域48及環狀間隙42從低溫泵10的外部識別。基端部82沿軸向觀察時不與頂部低溫板60重合。 　　氣體流向調整構件80的前端部84進入間隙區域66，且被頂部低溫板60覆蓋。該前端部84在低溫泵徑向上配置於頂部低溫板60的外周端與中心軸C之間。前端部84不會到達第2冷卻台24，因此如上所述氣體流向調整構件80不與第2冷卻台24接觸。 　　如此，氣體流向調整構件80插入於頂部低溫板60與第2缸體25的間隙區域66，藉此間隙區域66的入口變窄。藉此，能夠減少從主收容空間65流入至間隙區域66的氣體。 　　以下說明上述結構的低溫泵10的動作。低溫泵10在工作時，首先在該工作之前用其他適當的粗抽泵將真空腔室內部粗抽至1Pa左右。之後，使低溫泵10工作。藉由冷凍機16的驅動，第1冷卻台22及第2冷卻台24分別被冷卻為第1冷卻溫度及第2冷卻溫度。藉此，熱耦合於該等之第1段低溫板18、第2段低溫板總成20亦分別被冷卻為第1冷卻溫度及第2冷卻溫度。氣體流向調整構件80熱耦合於第1冷卻台22，因此被冷卻為第1冷卻溫度。 　　入口低溫板32將從真空腔室朝向低溫泵10飛來之氣體冷卻。藉由第1冷卻溫度而蒸氣壓充分變低的(例如10^-8 Pa以下的)氣體在入口低溫板32的表面冷凝。該氣體可以稱為第1種氣體。第1種氣體例如為水蒸氣。如此，入口低溫板32能夠將第1種氣體排出。藉由第1冷卻溫度而蒸氣壓未充分變低的氣體的一部分通過百葉窗部50或開放區域48而進入至主收容空間65。或者，氣體的其他部分被入口低溫板32反射，而未進入到主收容空間65。 　　進入到主收容空間65之氣體藉由第2段低溫板總成20被冷卻。藉由第2冷卻溫度而蒸氣壓充分變低的(例如10^-8 Pa以下的)氣體在第2段低溫板總成20的表面冷凝。該氣體可以稱為第2種氣體。第2種氣體例如為氬氣。如此，第2段低溫板總成20能夠排出第2種氣體。與主收容空間65直接正對，因此在頂部低溫板60的正面，第2種氣體的冷凝層可能會大幅成長。另外，第2種氣體為無法以第1冷卻溫度冷凝的氣體。 　　藉由第2冷卻溫度而蒸氣壓未充分變低的氣體被第2段低溫板總成20的吸附材吸附。該氣體可以稱為第3種氣體。第3種氣體例如為氫氣。如此，第2段低溫板總成20能夠排出第3種氣體。因此，低溫泵10能夠藉由冷凝或吸附排出各種氣體，且將真空腔室的真空度提升至所希望的級別。 　　如上所述，2個低溫板構件62具有互換性。2個低溫板構件62至少有一部分形狀相同。藉此，能夠將第2段低溫板總成20的製造製程的至少一部分共用化，藉此減少低溫泵10的製造成本。尤其，該實施形態中，2個低溫板構件62作為相同的組件而設計。2個低溫板構件在相同的製造製程中製造。低溫泵的組件種類減少。製造成本進一步減少。 　　將該構思應用到直徑不同的低溫板構件62上，還能夠將該等製造製程的一部分共用化。用直徑不同的低溫板構件將第1折曲部76(緊固部)設為共用形狀，並將弓形平坦部75的圓弧部78設為平坦，藉此能夠將沖壓加工用的模具共用化。能夠使用為具有大直徑之低溫板構件62的沖壓加工(例如，折彎加工、穿孔加工)而設計之模具，進行比其小直徑的低溫板構件62的沖壓加工。模具通常造價高，因此模具的共用化對製造成本的降低相當有效。對提供進氣口12的口徑不同的複數種低溫泵10之製造商來講相當有利。 　　如上所述，在低溫泵10設置有氣體流向調整構件80。氣體流向調整構件80覆蓋第2缸體25，因此第2缸體25不會在屏蔽件主開口34露出。氣體流向調整構件80能夠使從主收容空間65朝向第2缸體25之第2種氣體的流向向其他方向偏轉。因此，第2缸體25在其表面具有從第1冷卻溫度向第2冷卻溫度之溫度分佈，但在第2冷卻溫度或與其相近的溫度的表面部分冷凝之第2種氣體幾乎不存在或根本不存在。又，氣體流向調整構件80具有第1冷卻溫度，因此第2種氣體不在氣體流向調整構件80的表面冷凝。 　　進入到主收容空間65之氣體的一部分可能被氣體流向調整構件80反射。被反射之氣體的至少一部分朝向第2段低溫板總成20。或者，被反射之氣體的一部分朝向放射屏蔽件30或入口低溫板32，在此再次被反射而朝向第2段低溫板總成20。如此，第2段低溫板總成20能夠藉由冷凝而排出第2種氣體並藉由吸附排出第3種氣體。 　　低溫泵通常具備溫度不同的兩種低溫板。氣體在低溫的低溫板冷凝。伴隨低溫泵的使用，冷凝層在低溫低溫板上成長。同樣地，在支撐低溫低溫板之結構部，冷凝層亦可能成長。成長之冷凝層皆可能與高溫的低溫板接觸。這樣一來，導致氣體在高溫低溫板與冷凝層接觸的部位再次氣化而釋放到周圍。來自冷凝層的氣體釋放可能有礙於低溫泵充分發揮其作用。因此，正接觸時的氣體的吸留量能夠給低溫泵帶來最大吸留量。 　　但是，依實施形態之低溫泵10，氣體流向調整構件80能夠緩和或防止第1冷卻溫度的部位與第2冷卻溫度的部位靠近之部位的冷凝層的成長。藉此，低溫泵10能夠緩和或防止冷凝層與第1冷卻溫度的部位的接觸乃至冷凝層的再氣化。其結果，能夠在主收容空間65的頂部低溫板60的正面冷凝大量的第2種氣體。藉此，能夠提高低溫泵10的氣體吸留量。 　　以上，依據實施形態對本發明進行了說明。本領域技術人員當然能夠理解，本發明並不限定於上述實施形態，其能夠進行各種設計變更且存在各種變形例，並且這種變形例亦屬於本發明的範圍。 　　例如，如圖5所示，可以在低溫板安裝構件64的各安裝面68安裝複數個低溫板構件62。在各安裝面68有複數個(本例中為2個)低溫板構件62沿低溫泵中心軸的方向排列。這樣一來，能夠在冷凍機16的第2冷卻台24的兩側分別配置複數個低溫板構件62。 　　上述內容以臥式低溫泵10為例進行了說明。但是，本發明亦能夠應用於所謂的立式低溫泵。立式低溫泵通常為指冷凍機16沿低溫泵中心軸C配設之低溫泵。 　　低溫板構件62的形狀並不限定於上述形狀，可以具有其他形狀。弓形平坦部75、第1折曲部76及/或第2折曲部77可以為其整體並不完全平坦。例如，弓形平坦部75可以在任意部位(例如，除圓弧部78以外之部位)具有傾斜面、凹部或凸部。又，低溫板構件62的圓弧部78並非一定為嚴格意義上的圓弧。同樣地，低溫板構件62的弦79並非一定為嚴格意義上的直線。弓形平坦部75、第1折曲部76及/或第2折曲部77可以具有孔或狹縫等開口部。 　　上述實施形態中，放射屏蔽件30的安裝座46形成於放射屏蔽件30的下半部分。因此，第2冷卻台24在低溫泵中心軸C的方向比較靠近屏蔽件底部38。但是，這種第2冷卻台24的配置並不是必須的。可以為放射屏蔽件30的安裝座46形成於放射屏蔽件30的上半部分，且第2冷卻台24在低溫泵中心軸C的方向上靠近屏蔽件前端36配置。又，可以為放射屏蔽件30的安裝座46在低溫泵中心軸C的方向上形成於屏蔽件側部40的中央部，第2冷卻台24在低溫泵中心軸C的方向上配置於放射屏蔽件30的中心。 　　本發明的實施形態亦能夠表現為如下。 　　1. 一種低溫泵，其特徵為，具備： 　　冷凍機，其具備高溫冷卻台及低溫冷卻台； 　　放射屏蔽件，其熱耦合於前述高溫冷卻台，並且沿通過低溫泵進氣口的中心之低溫泵中心軸的方向延伸且包圍前述低溫冷卻台；及 　　低溫低溫板部，其熱耦合於前述低溫冷卻台，並且與前述低溫冷卻台一起被前述放射屏蔽件包圍，該低溫低溫板部具備2個低溫板構件，該低溫板構件在前述低溫泵中心軸的方向之前述低溫冷卻台的上端與下端之間的高度位置夾著前述低溫泵中心軸而配置於前述低溫冷卻台的兩側， 　　各低溫板構件具備：弓形平坦部，具有圓弧部及弦；及第1折曲部，與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的一部分與前述弓形平坦部連接，前述弓形平坦部經由前述第1折曲部熱耦合於前述低溫冷卻台，前述弓形平坦部的圓弧部從前述低溫泵中心軸的方向觀察時確定該低溫板構件的外緣， 　　各低溫板構件的前述弓形平坦部的前述弦的剩餘部分的形狀被設定為不與前述冷凍機發生干擾且能夠彼此更換前述2個低溫板構件。 　　2. 如實施形態第1項所述之低溫泵，其特徵為，還具備： 　　2個安裝面，與前述2個低溫板構件分別對應，且前述第1折曲部安裝於對應之安裝面， 　　各低溫板構件具備與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的剩餘部分的至少一部分而與前述弓形平坦部連接之第2折曲部，前述第2折曲部沿前述弦的方向遠離前述安裝面而配置。 　　3. 如實施形態第2項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述第2折曲部遍及前述弦的剩餘部分的全長與前述弓形平坦部連接，且沿前述弦的方向與前述第1折曲部連續。 　　4. 如實施形態第1至3中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述2個低溫板構件作為相同組件而設計。 　　5. 如實施形態第1至4中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述2個低溫板構件的間隔被設定為，在前述弦的方向的任一位置皆能夠將前述低溫冷卻台插入於前述2個低溫板構件之間的大小。 　　6. 如實施形態第5項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述2個低溫板構件的間隔在前述弦的方向上遍及弦的全長恆定。 　　7. 如實施形態第1至6中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述第1折曲部相對於前述弓形平坦部朝上方折彎，且具有通過緊固構件的孔， 　　前述孔在前述弦與前述第1折曲部的上邊之間靠近前述上邊而配置。 　　8. 如實施形態第1至7中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述冷凍機的前述高溫冷卻台及低溫冷卻台沿與前述低溫泵中心軸垂直的方向排列， 　　前述低溫泵還具備被前述低溫冷卻台支撐且從前述低溫冷卻台沿與前述低溫泵中心軸垂直的方向延伸之低溫板定位構件， 　　前述低溫板定位構件以將各低溫板構件的弓形平坦部的圓弧部的中心定位在前述低溫泵中心軸上的方式支撐前述2個低溫板構件。 　　9. 一種低溫泵，其特徵為，具備： 　　冷凍機，其具備高溫冷卻台及低溫冷卻台； 　　放射屏蔽件，其熱耦合於前述高溫冷卻台，並且沿通過低溫泵進氣口的中心之低溫泵中心軸的方向延伸且包圍前述低溫冷卻台； 　　低溫低溫板部，其熱耦合於前述低溫冷卻台，且與前述低溫冷卻台一起被前述放射屏蔽件包圍，該低溫低溫板部具備夾著前述低溫泵中心軸而配置於前述低溫冷卻台的兩側之2個低溫板構件；及 　　2個安裝面，與前述2個低溫板構件分別對應， 　　各低溫板構件具備：弓形平坦部，具有圓弧部及弦；及第1折曲部，與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的一部分與前述弓形平坦部連接，前述第1折曲部安裝於對應之安裝面，前述弓形平坦部經由前述第1折曲部熱耦合於前述低溫冷卻台， 　　各低溫板構件的前述弓形平坦部的前述弦的剩餘部分的形狀被設定為不與前述冷凍機發生干擾且能夠彼此更換前述2個低溫板構件， 　　各低溫板構件具備與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的剩餘部分的至少一部分而與前述弓形平坦部連接之第2折曲部，前述第2折曲部沿前述弦的方向遠離前述安裝面而配置。 　　10. 如實施形態第9項所述之低溫泵，其特徵為， 　　在前述低溫泵中心軸的方向之前述低溫冷卻台的上端與下端之間的高度位置夾著前述低溫泵中心軸而配置於前述低溫冷卻台的兩側。 　　11. 如實施形態第9或10項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述弓形平坦部的圓弧部從前述低溫泵中心軸的方向觀察時確定該低溫板構件的外緣。 　　12. 如實施形態第9至11中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述第2折曲部遍及前述弦的剩餘部分的全長與前述弓形平坦部連接，且沿前述弦的方向與前述第1折曲部連續。 　　13. 如實施形態第9至12中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述2個低溫板構件作為相同組件而設計。 　　14. 如實施形態第9至13中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述2個低溫板構件的間隔被設定為，在前述弦的方向的任一位置皆能夠將前述低溫冷卻台插入於前述2個低溫板構件之間的大小。 　　15. 如實施形態14項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述2個低溫板構件的間隔在前述弦的方向上遍及弦的全長恆定。 　　16. 如實施形態第9至15中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述第1折曲部相對於前述弓形平坦部朝上方折彎，且具有通過緊固構件的孔， 　　前述孔在前述弦與前述第1折曲部的上邊之間靠近前述上邊而配置。 　　17. 如實施形態第9至16中任一項所述之低溫泵，其特徵為， 　　前述冷凍機的前述高溫冷卻台及低溫冷卻台沿與前述低溫泵中心軸垂直的方向排列， 　　前述低溫泵還具備被前述低溫冷卻台支撐且從前述低溫冷卻台沿與前述低溫泵中心軸垂直的方向延伸之低溫板定位構件， 　　前述低溫板定位構件以將各低溫板構件的弓形平坦部的圓弧部的中心定位在前述低溫泵中心軸上的方式支撐前述2個低溫板構件。

10‧‧‧低溫泵12‧‧‧進氣口16‧‧‧冷凍機24‧‧‧第2冷卻台30‧‧‧放射屏蔽件62‧‧‧低溫板構件67‧‧‧低溫板定位構件68‧‧‧安裝面75‧‧‧弓形平坦部76‧‧‧第1折曲部77‧‧‧第2折曲部78‧‧‧圓弧部C‧‧‧低溫泵中心軸79‧‧‧弦87‧‧‧緊固構件88‧‧‧緊固孔

圖1係概略地表示實施形態之低溫泵之側視剖面圖。 　　圖2係概略地表示圖1所示之低溫泵之頂視圖。 　　圖3係概略地表示實施形態之低溫泵的低溫低溫板部的一部分之立體圖。 　　圖4係概略地表示實施形態之低溫泵的低溫低溫板部的一部分之立體圖。 　　圖5係概略地表示實施形態之低溫泵的低溫低溫板部的一部分之立體圖。

62‧‧‧低溫板構件

64‧‧‧低溫板安裝構件

68‧‧‧安裝面

69‧‧‧上表面

75‧‧‧弓形平坦部

76‧‧‧第1折曲部

77‧‧‧第2折曲部

78‧‧‧圓弧部

79‧‧‧弦

87‧‧‧緊固構件

90‧‧‧間隔

Claims (9)

1. 一種低溫泵，其特徵為，具備：冷凍機，其具備高溫冷卻台及低溫冷卻台；放射屏蔽件，其熱耦合於前述高溫冷卻台，並且沿通過低溫泵進氣口的中心之低溫泵中心軸的方向延伸且包圍前述低溫冷卻台；及低溫低溫板部，其熱耦合於前述低溫冷卻台，並且與前述低溫冷卻台一起被前述放射屏蔽件包圍，該低溫低溫板部具備2個低溫板構件，該低溫板構件在前述低溫泵中心軸的方向之前述低溫冷卻台的上端與下端之間的高度位置夾著前述低溫泵中心軸而配置於前述低溫冷卻台的兩側，各低溫板構件具備：弓形平坦部，具有圓弧部及弦；及第1折曲部，與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的一部分與前述弓形平坦部連接，前述弓形平坦部經由前述第1折曲部熱耦合於前述低溫冷卻台，前述弓形平坦部的圓弧部從前述低溫泵中心軸的方向觀察時確定該低溫板構件的外緣，各低溫板構件的前述弓形平坦部的前述弦的剩餘部分的形狀被設定為不與前述冷凍機發生干擾且能夠彼此更換前述2個低溫板構件；還具備：2個安裝面，與前述2個低溫板構件分別對應，且前述 第1折曲部安裝於對應之安裝面，將某一低溫板構件安裝於一方之安裝面時與安裝於另一方之安裝面時，低溫板構件之圓弧部位於同一圓周上。
2. 如申請專利範圍第1項所述之低溫泵，其中各低溫板構件具備與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的剩餘部分的至少一部分而與前述弓形平坦部連接之第2折曲部，前述第2折曲部沿前述弦的方向遠離前述安裝面而配置。
3. 如申請專利範圍第2項所述之低溫泵，其中前述第2折曲部遍及前述弦的剩餘部分的全長與前述弓形平坦部連接，且沿前述弦的方向與前述第1折曲部連續。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之低溫泵，其中前述2個低溫板構件作為相同組件而設計。
5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之低溫泵，其中前述2個低溫板構件的間隔被設定為，在前述弦的方向的任一位置皆能夠將前述低溫冷卻台插入於前述2個低溫板構件之間的大小。
6. 如申請專利範圍第5項所述之低溫泵，其中前述2個低溫板構件的間隔在前述弦的方向上遍及弦的全長恆定。
7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之低溫泵，其中前述第1折曲部相對於前述弓形平坦部朝上方折彎，且具有通過緊固構件的孔，前述孔在前述弦與前述第1折曲部的上邊之間靠近前述上邊而配置。
8. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之低溫泵，其中前述冷凍機的前述高溫冷卻台及低溫冷卻台沿與前述低溫泵中心軸垂直的方向排列，前述低溫泵還具備被前述低溫冷卻台支撐且從前述低溫冷卻台沿與前述低溫泵中心軸垂直的方向延伸之低溫板定位構件，前述低溫板定位構件以將各低溫板構件的弓形平坦部的圓弧部的中心定位在前述低溫泵中心軸上的方式支撐前述2個低溫板構件。
9. 一種低溫泵，其特徵為，具備： 冷凍機，其具備高溫冷卻台及低溫冷卻台；放射屏蔽件，其熱耦合於前述高溫冷卻台，並且沿通過低溫泵進氣口的中心之低溫泵中心軸的方向延伸且包圍前述低溫冷卻台；低溫低溫板部，其熱耦合於前述低溫冷卻台，且與前述低溫冷卻台一起被前述放射屏蔽件包圍，該低溫低溫板部具備夾著前述低溫泵中心軸而配置於前述低溫冷卻台的兩側之2個低溫板構件；及2個安裝面，與前述2個低溫板構件分別對應，各低溫板構件具備：弓形平坦部，具有圓弧部及弦；及第1折曲部，與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的一部分與前述弓形平坦部連接，前述第1折曲部安裝於對應之安裝面，前述弓形平坦部經由前述第1折曲部熱耦合於前述低溫冷卻台，各低溫板構件的前述弓形平坦部的前述弦的剩餘部分的形狀被設定為不與前述冷凍機發生干擾且能夠彼此更換前述2個低溫板構件，將某一低溫板構件安裝於一方之安裝面時與安裝於另一方之安裝面時，低溫板構件之圓弧部位於同一圓周上，各低溫板構件具備與前述弓形平坦部一體形成且作為前述弦的剩餘部分的至少一部分而與前述弓形平坦部連接之第2折曲部，前述第2折曲部沿前述弦的方向遠離前述安裝面而配置。

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