JP2022016630A - クライオポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプの低温クライオパネル部は、クライオポンプ中心軸を挟んで低温冷却ステージの両側に配置された2つのクライオパネル部材62を備える。各クライオパネル部材62は、円弧部78及び弦79を有する弓形状平坦部75と、弓形状平坦部75と一体形成され弦79の一部で弓形状平坦部75と接続された第1折曲部76と、を備える。弓形状平坦部75は、第1折曲部76を介して低温冷却ステージに熱的に結合されている。各クライオパネル部材62の弓形状平坦部75の弦の残部の形状が、冷凍機と干渉することなく2つのクライオパネル部材62を互いに交換可能とするように定められている。
【選択図】図3
Description
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、クライオポンプ吸気口の中心を通るクライオポンプ中心軸の方向に延在し前記低温冷却ステージを囲む放射シールドと、
前記低温冷却ステージに熱的に結合され、前記低温冷却ステージとともに前記放射シールドに囲まれた低温クライオパネル部であって、前記クライオポンプ中心軸の方向における前記低温冷却ステージの上端と下端との間の高さ位置で、前記クライオポンプ中心軸を挟んで前記低温冷却ステージの両側に配置された2つのクライオパネル部材を備える低温クライオパネル部と、を備え、
各クライオパネル部材は、円弧部及び弦を有する弓形状平坦部と、前記弓形状平坦部と一体形成され前記弦の一部で前記弓形状平坦部と接続された第1折曲部と、を備え、前記弓形状平坦部は、前記第1折曲部を介して前記低温冷却ステージに熱的に結合され、前記弓形状平坦部の円弧部が、前記クライオポンプ中心軸の方向に見たとき当該クライオパネル部材の外縁を定め、
各クライオパネル部材の前記弓形状平坦部の前記弦の残部の形状が、前記冷凍機と干渉することなく前記2つのクライオパネル部材を互いに交換可能とするように定められていることを特徴とするクライオポンプ。
各クライオパネル部材は、前記弓形状平坦部と一体形成され前記弦の残部の少なくとも一部で前記弓形状平坦部と接続された第2折曲部を備え、前記第2折曲部は、前記弦の方向に前記取付面から外れて配置されていることを特徴とする実施形態1に記載のクライオポンプ。
前記穴は、前記弦と前記第1折曲部の上辺との間で前記上辺に近接して配置されていることを特徴とする実施形態1から6のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記クライオポンプは、前記低温冷却ステージに支持され前記低温冷却ステージから前記クライオポンプ中心軸に垂直な方向に延在するクライオパネル位置決め部材をさらに備え、
前記クライオパネル位置決め部材は、各クライオパネル部材の弓形状平坦部の円弧部の中心を前記クライオポンプ中心軸上に位置決めするように前記2つのクライオパネル部材を支持することを特徴とする実施形態1から7のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、クライオポンプ吸気口の中心を通るクライオポンプ中心軸の方向に延在し前記低温冷却ステージを囲む放射シールドと、
前記低温冷却ステージに熱的に結合され、前記低温冷却ステージとともに前記放射シールドに囲まれた低温クライオパネル部であって、前記クライオポンプ中心軸を挟んで前記低温冷却ステージの両側に配置された2つのクライオパネル部材を備える低温クライオパネル部と、
前記2つのクライオパネル部材にそれぞれ対応する2つの取付面と、を備え、
各クライオパネル部材は、円弧部及び弦を有する弓形状平坦部と、前記弓形状平坦部と一体形成され前記弦の一部で前記弓形状平坦部と接続された第1折曲部と、を備え、前記第1折曲部が、対応する取付面に取り付けられ、前記弓形状平坦部は、前記第1折曲部を介して前記低温冷却ステージに熱的に結合され、
各クライオパネル部材の前記弓形状平坦部の前記弦の残部の形状が、前記冷凍機と干渉することなく前記2つのクライオパネル部材を互いに交換可能とするように定められ、
各クライオパネル部材は、前記弓形状平坦部と一体形成され前記弦の残部の少なくとも一部で前記弓形状平坦部と接続された第2折曲部を備え、前記第2折曲部は、前記弦の方向に前記取付面から外れて配置されていることを特徴とするクライオポンプ。
前記穴は、前記弦と前記第1折曲部の上辺との間で前記上辺に近接して配置されていることを特徴とする実施形態9から15のいずれかに記載のクライオポンプ。
前記クライオポンプは、前記低温冷却ステージに支持され前記低温冷却ステージから前記クライオポンプ中心軸に垂直な方向に延在するクライオパネル位置決め部材をさらに備え、
前記クライオパネル位置決め部材は、各クライオパネル部材の弓形状平坦部の円弧部の中心を前記クライオポンプ中心軸上に位置決めするように前記2つのクライオパネル部材を支持することを特徴とする実施形態9から16のいずれかに記載のクライオポンプ。
Claims (10)
- 高温冷却ステージ及び低温冷却ステージを備える冷凍機と、
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、クライオポンプ吸気口の中心を通るクライオポンプ中心軸の方向に延在し前記低温冷却ステージを囲む放射シールドと、
前記低温冷却ステージに熱的に結合され、前記低温冷却ステージとともに前記放射シールドに囲まれた低温クライオパネル部であって、前記クライオポンプ中心軸の方向における前記低温冷却ステージの上端と下端との間の高さ位置で、前記クライオポンプ中心軸を挟んで前記低温冷却ステージの両側に配置された2つのクライオパネル部材と、を備える低温クライオパネル部と、
前記2つのクライオパネル部材にそれぞれ対応する2つの取付面と、を備え、
各クライオパネル部材は、
円弧部及び弦を有する弓形状平坦部と、
前記弓形状平坦部と一体形成され前記弦の一部で前記弓形状平坦部と接続され前記弦の一部で前記弓形状平坦部と接続されており、対応する前記取付面に取り付けられる第1折曲部と、
前記弓形状平坦部と一体形成され前記弦の残部の少なくとも一部で前記弓形状平坦部と接続された第2折曲部と、を備え、
前記弓形状平坦部からの前記第2折曲部の高さは、前記弓形状平坦部からの前記第1折曲部の高さよりも低いことを特徴とするクライオポンプ。 - 前記第2折曲部の高さは、前記弦と前記第1折曲部の上辺との中間線よりも低いことを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記2つのクライオパネル部材はそれぞれ、当該クライオパネル部材の第1折曲部を一方の取付面に取り付けたときと他方の取付面に取り付けたときとで、当該クライオパネル部材の円弧部が同一の円周上にあることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記クライオポンプ吸気口に設けられた入口クライオパネルをさらに備え、
前記入口クライオパネルは、各々が第1方向に直線状に延在する複数の羽板を有するルーバー部を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記複数の羽板は、前記第1方向に垂直な第2方向に互いに平行に配列されることを特徴とする請求項4に記載のクライオポンプ。
- 前記複数の羽板は、その配列によって全体として円形を形成するように互いに異なる第1方向長さを有することを特徴とする請求項4または5に記載のクライオポンプ。
- 前記低温クライオパネル部は、前記2つのクライオパネル部材よりも前記クライオポンプ吸気口側に配置されたトップクライオパネルをさらに備え、
前記トップクライオパネルの前面と前記入口クライオパネルとの間に凝縮層の主収容空間が形成されており、前記主収容空間は、前記クライオポンプの内部空間の上半分を占めていることを特徴とする請求項4から6のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記トップクライオパネルは、前記入口クライオパネルよりも大きい寸法を有する円板状パネルであることを特徴とする請求項7に記載のクライオポンプ。
- 高温冷却ステージ及び低温冷却ステージを備える冷凍機と、
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、クライオポンプ吸気口の中心を通るクライオポンプ中心軸の方向に延在し前記低温冷却ステージを囲む放射シールドと、
前記低温冷却ステージに熱的に結合され、前記低温冷却ステージとともに前記放射シールドに囲まれた低温クライオパネル部であって、前記クライオポンプ中心軸の方向における前記低温冷却ステージの上端と下端との間の高さ位置で、前記クライオポンプ中心軸を挟んで前記低温冷却ステージの両側に配置された2つのクライオパネル部材と、を備える低温クライオパネル部と、
前記クライオポンプ吸気口に設けられた入口クライオパネルと、を備え、
前記低温クライオパネル部は、前記2つのクライオパネル部材よりも前記クライオポンプ吸気口側に配置されたトップクライオパネルをさらに備え、
前記トップクライオパネルの前面と前記入口クライオパネルとの間に凝縮層の主収容空間が形成されており、前記主収容空間は、クライオポンプの内部空間の上半分を占めていることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記低温冷却ステージ及び前記低温クライオパネル部の両方と非接触であるように前記低温クライオパネル部のトップクライオパネルと前記2つのクライオパネル部材との間に配置される気体流れ調整部材をさらに備えることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のクライオポンプ。
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