JP2009108744A - クライオポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプ10は、一端に開口部を有する筒状の熱シールド16と、熱シールド16内部に配置され、熱シールド16よりも低温に冷却されるパネル構造体14と、を備え、パネル構造体14表面に形成された吸着領域にて開口部から熱シールド16内部へと飛来する気体分子を吸着により捕捉して排気する。パネル構造体14は、気体分子が開口部から直線的な飛来経路を経て到達しうる部位に第1の吸着領域が形成され、気体分子が開口部から直線的な飛来経路を経ては到達しない部位に第2の吸着領域が形成され、第1の吸着領域の単位面積当たり排気速度が第2の吸着領域の単位面積当たり排気速度よりも相対的に高くされている。
【選択図】図1
Description
Claims (13)
- 一端に開口部を有する筒状の熱シールド部材と、熱シールド部材内部に配置され、熱シールド部材よりも低温に冷却されるパネル構造体と、を備え、パネル構造体表面に形成された吸着領域にて前記開口部から熱シールド部材内部へと飛来する気体分子を吸着により捕捉して排気するクライオポンプであって、
前記パネル構造体は、気体分子が前記開口部から直線的な飛来経路を経て到達しうる部位に第1の吸着領域が形成され、気体分子が前記開口部から直線的な飛来経路を経ては到達しない部位に第2の吸着領域が形成され、第1の吸着領域の単位面積当たり排気速度が第2の吸着領域の単位面積当たり排気速度よりも相対的に高くされていることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記パネル構造体は、第2の吸着領域が第1の吸着領域よりも大きい単位面積当たり気体吸蔵量を有するよう構成されていることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 第1の吸着領域は、第2の吸着領域に比べ、パネル構造体の前記開口部により近い部位に形成されることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記熱シールド部材は、前記開口部とは反対側の端部に閉塞部を有し、
前記パネル構造体は、前記熱シールド部材内部に配置され、前記開口部に向く第1の面と前記閉塞部に向く第2の面とを有する中間部材と、互いに間隔をあけて前記第1の面に立設される複数の第1パネルと、互いに間隔をあけて前記第2の面に立設される複数の第2パネルと、を備えることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 第1の吸着領域は第1パネルの両面に第1の吸着剤を設けることにより形成され、第2の吸着領域は第2パネルの両面に第2の吸着剤を設けることにより形成され、
隣接する第1パネル間にて対向する第1の吸着領域間に形成される間隙が、隣接する第2パネル間にて対向する第2の吸着領域間に形成される間隙よりも広くなるように、第1の吸着剤の大きさ、第2の吸着剤の大きさ、第1パネルの配置、及び第2パネルの配置が定められていることを特徴とする請求項4に記載のクライオポンプ。 - 前記中間部材は前記開口部に対して平行に配置される円板状の部材であり、前記第1の面と前記第2の面とは互いに反対側を向く面であり、
前記第1パネルは前記第1の面に放射状に第1の間隔で等間隔に立設され、前記第2パネルは前記第2の面に放射状に前記第1の間隔で等間隔に立設され、
第1の吸着剤は第1の活性炭であり、第2の吸着剤は第1の活性炭よりも大径である第2の活性炭であることを特徴とする請求項5に記載のクライオポンプ。 - 前記中間部材は前記開口部に対して平行に配置される円板状の部材であり、前記第1の面と前記第2の面とは互いに反対側を向く面であり、
前記第1パネルは前記第1の面に放射状に第1の間隔で等間隔に立設され、前記第2パネルは前記第2の面に放射状に前記第1の間隔よりも狭い第2の間隔で等間隔に立設され、
第1の吸着剤及び第2の吸着剤はともに同径の活性炭であることを特徴とする請求項5に記載のクライオポンプ。 - 前記パネル構造体は、前記開口部に対して斜めに配置されるパネルを含み、
第1の吸着領域は、前記パネルの表面のうち前記開口部を向くほうの面に形成されており、第2の吸着領域は、第1の吸着領域が形成されている面の裏面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 第1の吸着領域は第1の活性炭を接着することにより形成され、第2の吸着領域は第1の活性炭よりも大径である第2の活性炭を接着することにより形成されることを特徴とする請求項8に記載のクライオポンプ。
- 前記開口部に設けられ、前記シールド部材に熱的に接続されているバッフルをさらに備え、
第1の吸着領域は、バッフルを通過した気体分子が直線的な飛来経路を経て到達しうるパネル構造体の部位に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 一端に開口部を有する筒状の熱シールド部材と、熱シールド部材内部に配置され、熱シールド部材よりも低温に冷却されるパネル構造体と、を備え、パネル構造体表面に形成された吸着領域にて前記開口部から熱シールド部材内部へと飛来する気体分子を吸着により捕捉して排気するクライオポンプであって、
前記パネル構造体は、気体分子が前記開口部から直線的な飛来経路を経て到達しうる部位に第1の吸着領域が形成され、気体分子が前記開口部から直線的な飛来経路を経ては到達しない部位に第2の吸着領域が形成され、第2の吸着領域の単位面積当たり気体吸蔵量が第1の吸着領域の単位面積当たり気体吸蔵量よりも大きいことを特徴とするクライオポンプ。 - 異種の吸着剤がそれぞれ区分された領域に設けられていることを特徴とするクライオパネル構造体。
- パネル表面に小径の活性炭が接着されて形成されている排気速度重視領域と、パネル表面に大径の活性炭が接着されて形成されている吸蔵量重視領域とを備えるクライオパネル構造体。
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