JP2009058462A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の角速度センサは、支持部29に接着剤が充填される孔30を設けるとともに、この孔30の内底面に位置する基板21の表面粗さが支持部29の上面の表面粗さよりも大となるように構成したものであり、角速度センサの出力信号の感度は安定したものが得られるという作用効果を有するものである。
【選択図】図6
Description
26 配線パターン
29 支持部
30 孔
34,37 振動子
34a 腕部
34b 取付部
35 駆動電極
36 検出電極
38 金属線
Claims (1)
- 駆動電極と検出電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた腕部とこの腕部の一端側を支持する取付部とからなる振動子と、この振動子における取付部を接着剤により固着する支持部を有するとともに配線パターンを設けた基板と、前記振動子における駆動電極、検出電極と基板における配線パターンとを電気的に接続する金属線とを備え、前記支持部に接着剤が充填される孔を設けるとともに、この孔の内底面に位置する基板の表面粗さが支持部の上面の表面粗さよりも大となるように構成した角速度センサ。
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- 2007-09-03 JP JP2007227741A patent/JP5277593B2/ja active Active
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US10473685B2 (en) | 2016-09-21 | 2019-11-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Sensor and sensor package |
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